JPS59175736A - ワイヤボンデイング装置 - Google Patents
ワイヤボンデイング装置Info
- Publication number
- JPS59175736A JPS59175736A JP58050708A JP5070883A JPS59175736A JP S59175736 A JPS59175736 A JP S59175736A JP 58050708 A JP58050708 A JP 58050708A JP 5070883 A JP5070883 A JP 5070883A JP S59175736 A JPS59175736 A JP S59175736A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wires
- wire
- twin
- laser
- separated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L24/46—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of a plurality of wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4554—Coating
- H01L2224/45599—Material
- H01L2224/4569—Material with a principal constituent of the material being a polymer, e.g. polyester, phenolic based polymer, epoxy
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
- H01L2224/7825—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/783—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
- H01L2224/78301—Capillary
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
- H01L2224/85009—Pre-treatment of the connector or the bonding area
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
- H01L2224/8512—Aligning
- H01L2224/85148—Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus
- H01L2224/85169—Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus being the upper part of the bonding apparatus, i.e. bonding head, e.g. capillary or wedge
- H01L2224/8518—Translational movements
- H01L2224/85181—Translational movements connecting first on the semiconductor or solid-state body, i.e. on-chip, regular stitch
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
- H01L2224/852—Applying energy for connecting
- H01L2224/8521—Applying energy for connecting with energy being in the form of electromagnetic radiation
- H01L2224/85214—Applying energy for connecting with energy being in the form of electromagnetic radiation using a laser
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Removal Of Insulation Or Armoring From Wires Or Cables (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(a) JA明の技術分野
本発明は信号線とアース線とを接着剤で一体化したツイ
ンワイヤをプリント基板のポンディングパッドに融着は
せるためのワイヤボンディング装置の改良に関する。
ンワイヤをプリント基板のポンディングパッドに融着は
せるためのワイヤボンディング装置の改良に関する。
(b)技術の背景
電子機器の回路部品を塔載したプリント板にワイヤをボ
ンディングする際、信号線とアース線とが接着剤で一体
化されたツインワイヤをワイヤスプリッタで前記信号線
とアース線との二本のワイヤに分離してプリント基板に
ボンディングする方法がとられている。
ンディングする際、信号線とアース線とが接着剤で一体
化されたツインワイヤをワイヤスプリッタで前記信号線
とアース線との二本のワイヤに分離してプリント基板に
ボンディングする方法がとられている。
(0)従来技術と問題点
従来のこのようなワイヤボンディング装置につシ)で第
1図より第8図までを用いて説明する。
1図より第8図までを用いて説明する。
まず第2図に示すようにウレタン樹脂1によって被覆さ
ねている信号線2およびアース線8をシート状のナイロ
ンフィラー4で接着したツインワイヤ5を形成する。
ねている信号線2およびアース線8をシート状のナイロ
ンフィラー4で接着したツインワイヤ5を形成する。
このツインワイヤ5を第1図に示すローラー11Aを用
いて移動する。そして該ツインワイヤ5は第1図、第8
図に示す凹型の窪み12を有する直方体形状の治具18
内に挿入され、第1図の電磁石14によって可動する第
1図、第8図の先の尖ったステンレス製のピン15によ
って押圧され前述のナイロンフンラ−4が切断されるよ
うになっている。
いて移動する。そして該ツインワイヤ5は第1図、第8
図に示す凹型の窪み12を有する直方体形状の治具18
内に挿入され、第1図の電磁石14によって可動する第
1図、第8図の先の尖ったステンレス製のピン15によ
って押圧され前述のナイロンフンラ−4が切断されるよ
うになっている。
このようにナイロンフィラー4が切断されて2本の信号
線とアース線とに分離されたツインワイヤーはその佐ロ
ーラー11B、l]Oによって送出され内部が中空の円
筒状のワイヤーガイド16の内部に送りこまれる。この
ワイヤガイド16は左右に分割して移動するようになっ
ており、このガイドが左右に移動することで、信号線と
アース4涙に分離されているツインワイヤid 1本づ
つ完全に分離はれる。
線とアース線とに分離されたツインワイヤーはその佐ロ
ーラー11B、l]Oによって送出され内部が中空の円
筒状のワイヤーガイド16の内部に送りこまれる。この
ワイヤガイド16は左右に分割して移動するようになっ
ており、このガイドが左右に移動することで、信号線と
アース4涙に分離されているツインワイヤid 1本づ
つ完全に分離はれる。
その後このように分=tされたツインワイヤは上下に移
動するレーザコーン17のレーザ照射口にフィードされ
、レーザビーム全11α射することでプリントシ(板1
8上のポ〉ディングバッド19に融着するようになって
いる。
動するレーザコーン17のレーザ照射口にフィードされ
、レーザビーム全11α射することでプリントシ(板1
8上のポ〉ディングバッド19に融着するようになって
いる。
ところで上述した従来の装置を用いた場合、ピ> 15
ニ’J:つて抑圧されたナイロンフィラー4が分離さ
れたツインワイヤのウレタン波膜1上に最大5涙程度の
長さとなって遊離して仮着するようにナリ、この遊離し
たナイロンフィラーがガイド16の先端を通過させる屍
にガイドの内側に引っかかり、ワイヤをフィード出来な
いような欠点を生じている。
ニ’J:つて抑圧されたナイロンフィラー4が分離さ
れたツインワイヤのウレタン波膜1上に最大5涙程度の
長さとなって遊離して仮着するようにナリ、この遊離し
たナイロンフィラーがガイド16の先端を通過させる屍
にガイドの内側に引っかかり、ワイヤをフィード出来な
いような欠点を生じている。
(d) 発明の目的
本発明は」−述した欠点を除去し、ツインワイヤを分離
した際に生ずるナイロンフラー全除去できるような、あ
るいは該ナイロンフィラーの長さを矧縮してカイト内に
容易にJ’I通でき得るような新規なワイヤポンディ〉
グーj;判の提供を目的とするものである。
した際に生ずるナイロンフラー全除去できるような、あ
るいは該ナイロンフィラーの長さを矧縮してカイト内に
容易にJ’I通でき得るような新規なワイヤポンディ〉
グーj;判の提供を目的とするものである。
(e) 発明の構成
かかる目的耐達成するための不発明のワイヤボンディン
グ装置はツインワイヤのフィード機構と、該ツインワイ
ヤを相互に酸層する被イ“を樹脂を押圧して分離するワ
イヤスプリントと、n’f配分離すれり’7 イヤヲプ
リント基板に融層するためのレーザ光源とよりなるワイ
ヤボンディング装置Nの、oIJ記ワビワイヤスプリッ
ト離すれたワイヤに前記レーザ光源からのレーザビーム
を照射する機構を併設し、@:J記分離されたワイヤに
何着している余分な樹脂を除去するようにしたことを特
徴とするものである。
グ装置はツインワイヤのフィード機構と、該ツインワイ
ヤを相互に酸層する被イ“を樹脂を押圧して分離するワ
イヤスプリントと、n’f配分離すれり’7 イヤヲプ
リント基板に融層するためのレーザ光源とよりなるワイ
ヤボンディング装置Nの、oIJ記ワビワイヤスプリッ
ト離すれたワイヤに前記レーザ光源からのレーザビーム
を照射する機構を併設し、@:J記分離されたワイヤに
何着している余分な樹脂を除去するようにしたことを特
徴とするものである。
(f) 発明の実施例
以下、+発明の一実施例につき図mを用いながら詳細に
説明する。
説明する。
第4図は不発明のワイヤボンディング装置の要部を説明
するための概略図で第5図は第4図の詳細を示す図であ
る。
するための概略図で第5図は第4図の詳細を示す図であ
る。
第4図および第5図に示すように本づe明のワイヤボン
ディング装置はレーザコーン17に矢印のように導入式
れるレーザ光をゲルマニウム反射鏡2]およびηと凸レ
ンズ囚を介してビン15によって信号線とアース線に分
離されたツインワイヤにlid射し分離されたツインワ
イヤに何着しているナイロンフィラーを完全に焼失享せ
るか、あるいはナイロンフィラーの長さをウレタン樹月
旨1のH+l1JJ105〜06朋稈度になるまで焼失
させるようにする。
ディング装置はレーザコーン17に矢印のように導入式
れるレーザ光をゲルマニウム反射鏡2]およびηと凸レ
ンズ囚を介してビン15によって信号線とアース線に分
離されたツインワイヤにlid射し分離されたツインワ
イヤに何着しているナイロンフィラーを完全に焼失享せ
るか、あるいはナイロンフィラーの長さをウレタン樹月
旨1のH+l1JJ105〜06朋稈度になるまで焼失
させるようにする。
ここでポンディングパッドI9にワイヤ5を融着させる
ときには、反射鏡21を矢印Aの方向に移動してレーデ
ビームが凸レンズUを介してレーザーツー221フ中を
通過するようにし、ワイヤ5をガイド16に送出すると
きには、反射鏡21を矢印B方向に移動してレーザ光を
反射鏡η、凸レンズ囚を介して、分離されたワイヤ5に
jK1射するようにしてナイロンフィラーを焼失させる
。
ときには、反射鏡21を矢印Aの方向に移動してレーデ
ビームが凸レンズUを介してレーザーツー221フ中を
通過するようにし、ワイヤ5をガイド16に送出すると
きには、反射鏡21を矢印B方向に移動してレーザ光を
反射鏡η、凸レンズ囚を介して、分離されたワイヤ5に
jK1射するようにしてナイロンフィラーを焼失させる
。
このようにすれは分離されたワイヤ5に付着している約
5M程度の長い寸法のナイロンフィラ一部は約0.5〜
QJ、rnm程度の短い寸法のナイロンフィラーあのよ
うになり、したかつてガイド16内に挿入されたツイン
ワイヤかナイロンフィラーによって送出はれなくなるよ
うな事故がヴd生じなくなり、ポンティング装置を停止
をせて装置〆すを修理する手間が省はボンディングに要
する工数が短縮てきる利点を生じる。
5M程度の長い寸法のナイロンフィラ一部は約0.5〜
QJ、rnm程度の短い寸法のナイロンフィラーあのよ
うになり、したかつてガイド16内に挿入されたツイン
ワイヤかナイロンフィラーによって送出はれなくなるよ
うな事故がヴd生じなくなり、ポンティング装置を停止
をせて装置〆すを修理する手間が省はボンディングに要
する工数が短縮てきる利点を生じる。
(g) 発明の効果
以上述べたように本発明のワイヤボンディング装置によ
れば、ワイヤをフィードするガイド内部でワイヤが該ワ
イヤに何着しているナイロンフィラーによって送出式れ
なくなる事故が発生しなくなり、そのためボンディング
装置をイ1に理する手間が省け、ボンディングに貿する
工数が大巾に短縮できる利点を生じる。
れば、ワイヤをフィードするガイド内部でワイヤが該ワ
イヤに何着しているナイロンフィラーによって送出式れ
なくなる事故が発生しなくなり、そのためボンディング
装置をイ1に理する手間が省け、ボンディングに貿する
工数が大巾に短縮できる利点を生じる。
第1図は従来のワイヤボンディング装置の[略図、第2
図はツインワイヤの断面図、第3図は第1図の要部断面
図、第4図は本発明のワイヤボンディング装置の要部を
示す図、第51¥、lけ第4図の要部詳細図である。 図においてlはウレタン樹脂、2は信号線、3はアース
線、4はナイロンフィラー、5はツインワイヤ、IIA
、 、 IIB 、 110けローラー、枝は窪み、1
3は治具、14は電磁石、15はビシ、16はガイド、
17゜はレーザコーン、18はプリント基板、19はポ
ンディングパッド、21 、22は反射鏡、23.24
は凸レンズ、25,2fiはナイロンフィラーを示す。 第1図 第3図
図はツインワイヤの断面図、第3図は第1図の要部断面
図、第4図は本発明のワイヤボンディング装置の要部を
示す図、第51¥、lけ第4図の要部詳細図である。 図においてlはウレタン樹脂、2は信号線、3はアース
線、4はナイロンフィラー、5はツインワイヤ、IIA
、 、 IIB 、 110けローラー、枝は窪み、1
3は治具、14は電磁石、15はビシ、16はガイド、
17゜はレーザコーン、18はプリント基板、19はポ
ンディングパッド、21 、22は反射鏡、23.24
は凸レンズ、25,2fiはナイロンフィラーを示す。 第1図 第3図
Claims (1)
- ツインワイヤのフィード機構と、該ツインワイヤを相互
に被着する被着樹脂を押圧して分離するワイヤスプリッ
トと、前記分離されたワイヤをプリント基板に融着する
ためのレーザ光源とよりなるワイヤボンディング装置の
、前記ワイヤスプリットで分離すれたワイヤに前記レー
ザ光源からのレーザビームを照射する機構を併設し、前
記分離されたワイヤに付着している余分な樹脂を除去す
るようにしたことを特徴とするワイヤボンディング装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58050708A JPS59175736A (ja) | 1983-03-25 | 1983-03-25 | ワイヤボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58050708A JPS59175736A (ja) | 1983-03-25 | 1983-03-25 | ワイヤボンデイング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59175736A true JPS59175736A (ja) | 1984-10-04 |
JPH0213836B2 JPH0213836B2 (ja) | 1990-04-05 |
Family
ID=12866395
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58050708A Granted JPS59175736A (ja) | 1983-03-25 | 1983-03-25 | ワイヤボンデイング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59175736A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4893742A (en) * | 1988-12-21 | 1990-01-16 | Hughes Aircraft Company | Ultrasonic laser soldering |
JP2009519611A (ja) * | 2005-12-12 | 2009-05-14 | レイセオン・サルコス・エルエルシー | 回路インターフェースのための電気的マイクロフィラメント |
-
1983
- 1983-03-25 JP JP58050708A patent/JPS59175736A/ja active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4893742A (en) * | 1988-12-21 | 1990-01-16 | Hughes Aircraft Company | Ultrasonic laser soldering |
JP2009519611A (ja) * | 2005-12-12 | 2009-05-14 | レイセオン・サルコス・エルエルシー | 回路インターフェースのための電気的マイクロフィラメント |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0213836B2 (ja) | 1990-04-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6417481B2 (en) | Method and a device for heating at least two elements by means of laser beams of high energy density | |
US20220416136A1 (en) | Die bonding method of LED chip and display device | |
US4843209A (en) | Method and apparatus for laser staking | |
ATE170664T1 (de) | Elektronenquelle, bilderzeugervorrichtung und deren herstellungsverfahren | |
US20100167060A1 (en) | Method of joining sheet member and sheet joined body | |
JP2813507B2 (ja) | ボンディング方法およびボンディング装置 | |
JPS59175736A (ja) | ワイヤボンデイング装置 | |
JP2006012502A (ja) | 車輌用灯具の製造方法及び車輌用灯具の製造装置。 | |
JPH10109811A (ja) | ホログラムフィルムの貼付け方法 | |
JPS60202968A (ja) | 太陽電池セルの電極接続装置 | |
CN105848855A (zh) | 用于将覆层施加到工件上的方法和用于对工件覆层的设备 | |
JPS6434593A (en) | Method for cutting and processing film | |
JP3375429B2 (ja) | 光源装置及びレンズとレーザとの固定方法 | |
JPS6475192A (en) | Method and equipment for welding by laser beam | |
CN113787722A (zh) | 封装装置及封装方法 | |
JPS5646589A (en) | Semiconductor laser device | |
JP2007296556A (ja) | レーザ切断方法及びレーザ切断装置 | |
JPH08506282A (ja) | 電子図形プリンタ用光学式文字発生器 | |
JPS5889831A (ja) | ワイヤボンデイング方法および装置 | |
JPH09138328A (ja) | 光半導体モジュールの製造装置 | |
JPH0919114A (ja) | 空芯コイルの製造装置および製造方法 | |
CN116118182A (zh) | 一种采用激光熔融成型的制造系统 | |
JPH0215871A (ja) | レーザ半田付装置 | |
JPS63284998A (ja) | スピ−カ−ネツトの貼付方法 | |
JPS5923535A (ja) | ワイヤボンデイング装置 |