JPS59170975A - 認識装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）発明の技術分野 本発明は認識装置に係り、特に撮像光に擾乱を生せしめ
る環境内においても、その擾乱の影響を可及的に除去し
うる認識装置に関する。

（（７）技術の背景 認識装置には、被認識物を光学的に撮像する形式のもの
がある。この種の認識装置の撮像系は、その使用される
環境によっては被認識物の画像を正しく撮り得ない場合
がある。このような状況においても、その撮像系自体に
ば何んらの手段を施すことなく、その機能を全とうしう
ろことが望ましい。

（ハ）従来技術と問題点 従来知られているネイルヘン１ζワイヤホンダは基板を
加熱してワイヤのボンディングを生しさ一已るものであ
るが、そのような加熱は、基板搭載台を２００〜３００
°Ｃにも加熱することから熱気流が生ずる。これがため
、ワイヤボンダ用認識装置の撮像系から得られる入力画
像に、第１図に示すような「ゆらぎ」を生じさせ、位置
決め精度の劣化を来たす。このような不具合を解決せん
として、第２しヅ１に示ずように、撮像系ａの光路すに
対し室温稈度の気体を気体吹き（＝ｊ乙Ｊ装置（から吹
き付ＬＪで熱気流を排除する手段か採られていた。

この手段と篩も完全たり得す、次のような弱点を有し２
ている。即ら、１−述のよ・）な気体の吹き付けにより
基板の温度を丁げてし２まうばかりでなく、気体吹き（
＝Ｊ番：Ｉ装置Ｃが大組りになり、その細帯設備が必要
となるＩ、その［ゆらぎ−１除去効果が不−１分である
というのが現状である。

（ニ）発明の目的 本発明は上述したような従来手段の右する欠点に鑑みて
創案されたもので、その目的は、撮像光擾乱環境内で使
用されてもに述のような「ゆらぎ」を極力抑えて入力画
像を取得しうる撮像系を備えた認識装置を提供すること
にある。

（ホ）発明の構成 そして、この目的は、撮像光擾乱気流を発生する環境内
の被認識物を撮像する撮像系の入光部に撮像光擾乱環境
内手段を設けることによって達成される。

（＼）発明の実施例 以下、添付図面を参照しなから、本発明の実すか例を説
明する。

第３図番３を本発明の第１の実施例を示す。この図にお
いて、１は撮像系のｉ’　Ｖカメラ−で、２は′ｉ’　
ｖカメラニア　７　ｌ・ローラである。′１゛■カメラ
コンｌ−ｔコーラ２の出力はＪ忍識装置３・＼１９続さ
れている。４はワイヤボンダヘットで、５−れは第４ｌ
６こ示ずようにワイヤボンダ装置漬５１こポンチインク
動作−＋、ｉｊ能に取付けられている。ワイヤポンタ装
置、５は認識装′＄３の出力へ１・８続された制御装置
６の制御の下にある。

このように構成される装置のｉ’　Ｖカメラ１は、基板
搭載台７に載置された基板８の半導体−４ツブ９を撮像
するものであるが、その光学鏡筒１Δの先端に撮像光擾
乱防止手段の一型式としての筒体（円筒）】０が設けら
れて本発明の特徴部分が構成されている。この筒体１０
ば透明でも不透明でもよく、固着でも着脱ｉｊＪ能でも
よいＬ７、ｋさを調節可能でもよい。

このような手段を撮像系に設けることにより、たとえ基
板搭載台７が従来の如く２５０〜３００℃に加熱され、
基板搭載台７乃至その上に載置された基板８、半導体チ
ップ９から上昇する熱気流があったとしても、筒体１ｏ
内に流入した熱気流はその中に滞流し、その中での対流
は防止される。

従っ−で、撮像光は擾乱されず、撮像系から出力される
入力画像に住する「ゆらぎ」　（第１図参照）は極力抑
えられる。

このような［ゆらぎ−１の発生は１゛■カメラ１の光路
内での熱気流の乱流状態の発生に起因するものであり、
筒体自体に発熱体にクロム線）を装着してこれにて温度
の一定化制御をすれば、筒体１０内での対流は−・層高
度に防１トしうろことになるから、「ゆらぎ」発生の防
止効果は更に強化される。

第５図は本発明の第２の実施例を示し、この実施例はト
述筒体１０の先端に透明板例えばガラス板１１を封着し
た点にその特徴部分を有する。

この構成になると、熱気流は筒体１ｏ内への流人はなく
なるから、その内部に関する限り、撮像光への熱気流の
影響は完全に除去されうろことＧこなり、この点から一
ト述「ゆらき゛ｊ発生防止に寄与することになる。

（ト）発明の効果 以上述べたところから明らかなように、本発明によれば
、 ■入力画像に律する「ゆらぎ」の発生原因の除去を可及
的になし得、 ■これにより画像処理精度の低下を防１トする、等の効
果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１４図は従来装置で生ずる入力画像の［ゆらぎ−１を
示す図、第２図は入力画像の「ゆらぎ」を防止する手段
を示す図、第３図は本発明の第１の実施例を示す図、第
４図は本発明認識装置を用いノコ自動ワイ４・ボンダ装
置の構成を示す図、第５図は本発明の第２の実施例を示
す図である。 図中、１はＴＶカメラ、ＩＡは光学６Ｍｍ、３は認識装
置、７ば基板搭載台、８は基板、９は半専体チソゾ−（
′ある。 第１図 第２図 第３図 第４図 ４３ 第５図

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）撮像光擾乱気流を発生ずる環境内の被認識物を撮
   像する撮像系の大光部に撮像光擾乱防止手段を設けたこ
   とを特徴とする認識装置。
2. （２）ｌ記撮像光擾乱防止手段は筒体であることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の認識装置。
3. （３）−ヒ記撮像光擾乱防ｌ二手段は先端部を透明板で
   封止した筒体であることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の認識装置。
4. （４）上記筒体に恒温化手段を設けたことを特徴とする
   特許請求の範囲第２項記載の認識装置。
5. （５）上記撮像系は自動ワイヤホンダ装置の撮像系であ
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項、第２項、第
   ３項、又は第４項のいずれかに記載の認識装置。