JPS5916696B2 - 高圧放電灯の製造方法 - Google Patents
高圧放電灯の製造方法Info
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- JPS5916696B2 JPS5916696B2 JP8898676A JP8898676A JPS5916696B2 JP S5916696 B2 JPS5916696 B2 JP S5916696B2 JP 8898676 A JP8898676 A JP 8898676A JP 8898676 A JP8898676 A JP 8898676A JP S5916696 B2 JPS5916696 B2 JP S5916696B2
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- Japan
- Prior art keywords
- getter material
- discharge lamp
- pressure discharge
- getter
- manufacturing
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は発光管を収納してなる外管内に、金属ゲッター
材を設けた高圧放電灯の製造方法の改良に関する。
材を設けた高圧放電灯の製造方法の改良に関する。
高圧放電灯、とくにメタルノ・ライドランプでは外管内
に不純ガスとくに水素ガスや水分が存在すると点灯中発
光管壁を通って水素ガスが侵入し、放電開始電圧を高く
したり、立消えを起したりする。
に不純ガスとくに水素ガスや水分が存在すると点灯中発
光管壁を通って水素ガスが侵入し、放電開始電圧を高く
したり、立消えを起したりする。
これを防止するため外管内にバリウム（Ｂａ）、アルミ
ニウム（Ａｔ）、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ
）等の金属を単体または合金の形で不純ガスのゲッター
材として設置する方法が知られている。
ニウム（Ａｔ）、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ
）等の金属を単体または合金の形で不純ガスのゲッター
材として設置する方法が知られている。
ところが、これらの金属に十分なゲッター作用を持たせ
るには、一度高真空中で加熱し、活性な状態にすること
が必要である。
るには、一度高真空中で加熱し、活性な状態にすること
が必要である。
そのため従来は、高周波誘導加熱装置を用いてリング状
のゲッター材を外部より加熱する方法が実施されている
。
のゲッター材を外部より加熱する方法が実施されている
。
しかしながら、この方法では装置が大損りとなるばかり
でなく作業性が悪い欠点があった。
でなく作業性が悪い欠点があった。
本発明は上記の点に鑑みなされたもので、金属ゲッター
材を発光管と電気的に並列に接続し、外管を十分に排気
したのち放電灯の外部リード線を通して、直接電流を通
じ、前記ゲッター材を加熱し活性な状態にするとともに
、さらに電流を増してゲッター材を高温とし、ついには
溶断せしめることによって、放電灯完成ののち発光管の
主電極間に目的の印加電圧を加えうるようにしたもので
ある。
材を発光管と電気的に並列に接続し、外管を十分に排気
したのち放電灯の外部リード線を通して、直接電流を通
じ、前記ゲッター材を加熱し活性な状態にするとともに
、さらに電流を増してゲッター材を高温とし、ついには
溶断せしめることによって、放電灯完成ののち発光管の
主電極間に目的の印加電圧を加えうるようにしたもので
ある。
なお、溶断の際ゲッター材が外管中央部に飛散して光束
を低下させないように、ゲッター材を容器内に収納する
か又は遮蔽板を設ける必要がある。
を低下させないように、ゲッター材を容器内に収納する
か又は遮蔽板を設ける必要がある。
又ゲッター材は、放電灯の放電開始電圧より低い電圧で
、十分高温となり、溶断するよう直径０．１〜０．５朋
程度の細線を用いるが、帯状のものや、比較的太い線で
もその一部を溶断し易いように細くしておけばよい、以
下本発明を図に基づいて説明する。
、十分高温となり、溶断するよう直径０．１〜０．５朋
程度の細線を用いるが、帯状のものや、比較的太い線で
もその一部を溶断し易いように細くしておけばよい、以
下本発明を図に基づいて説明する。
第１図は本発明に係る高圧放電灯の一実施例を示す側面
図であり、図中１は石英よりなる発光管で、両端に主電
極２，３および補助電極４が封着されている。
図であり、図中１は石英よりなる発光管で、両端に主電
極２，３および補助電極４が封着されている。
このような発光管１はステム５に植立した支柱６により
外管７内に支持されている。
外管７内に支持されている。
８はチタン、アルミニウム等の金属ゲッター材であり、
コイル状に形成されている。
コイル状に形成されている。
このゲッター材の両端は、外部電源に接続可能な２本の
導入線９．１０に発光管と電気的に並列に接続されてい
る。
導入線９．１０に発光管と電気的に並列に接続されてい
る。
１１はゲッターが飛散し外管中央部に付着するのを防止
するための保護容器であり、ガラス、磁気、金属などの
筒状体よりなる。
するための保護容器であり、ガラス、磁気、金属などの
筒状体よりなる。
なお、１２は始動抵抗、１３は排気管である。
次に、ゲッターの活性化の方法について説明する。
上記のように構成された放電灯の外管内を高真空（１０
−３Ｔｏｒｒ以上）に排気した後導入線間に通常放電開
始電圧より低い電圧（１００Ｖ以下程度）を印加し、ゲ
ッター材に電流を通じてゲッターの活性化温度（各ゲッ
ター材の融点の７０係程度）以上に加熱する。
−３Ｔｏｒｒ以上）に排気した後導入線間に通常放電開
始電圧より低い電圧（１００Ｖ以下程度）を印加し、ゲ
ッター材に電流を通じてゲッターの活性化温度（各ゲッ
ター材の融点の７０係程度）以上に加熱する。
次にさらに印加電圧を増して（放電開始電圧よりは低い
）、ゲッター材の温度を増し、溶断させる（第２図）。
）、ゲッター材の温度を増し、溶断させる（第２図）。
このように、ゲッター材を溶断させるようにしているの
は放電灯に放電開始電圧以上の電圧が印加されたとき放
電灯側に電流が十分に供給されるようにするためである
。
は放電灯に放電開始電圧以上の電圧が印加されたとき放
電灯側に電流が十分に供給されるようにするためである
。
次に本発明の実施例について説明する。
ゲッタ材：０．３φＸ１００ｍｍのチタン線をコイル状
にしだもの飛散保護容器：１０φＸＩ！Ｍｍパイレック
スガラス管 活性化電圧＝１０〜１２ｖ（３０秒） 溶断電圧：１５ｖ 添加物： Ｓ ｃ Ｉｓ （６ｒｎｆｆ ） Ｎａ
Ｉ （２０ｍｆ）−ＨＰ（５５ｍｆ） −Ａｒ （２
０Ｔｏｒｒ）上記のように構成した４００Ｗ仕様のメタ
ルハライドランプとゲッター材を使用しない同様のメタ
ル・・ライドランプの放電開始電圧の変化を第３図に示
す。
にしだもの飛散保護容器：１０φＸＩ！Ｍｍパイレック
スガラス管 活性化電圧＝１０〜１２ｖ（３０秒） 溶断電圧：１５ｖ 添加物： Ｓ ｃ Ｉｓ （６ｒｎｆｆ ） Ｎａ
Ｉ （２０ｍｆ）−ＨＰ（５５ｍｆ） −Ａｒ （２
０Ｔｏｒｒ）上記のように構成した４００Ｗ仕様のメタ
ルハライドランプとゲッター材を使用しない同様のメタ
ル・・ライドランプの放電開始電圧の変化を第３図に示
す。
同図からも明らかなように、本発明に係るメタルハライ
ドランプは、外管内の不純ガス、とくに水素ガスの発生
を防止し、放電開始電圧の上昇がきわめて少ない特性を
示すことがわかる。
ドランプは、外管内の不純ガス、とくに水素ガスの発生
を防止し、放電開始電圧の上昇がきわめて少ない特性を
示すことがわかる。
また、不純ガス（水素ガス）に帰因すると思われる発光
管管壁の黒化も少なくなシ、光束維持率もゲッター材を
用いないものに比べ優れている。
管管壁の黒化も少なくなシ、光束維持率もゲッター材を
用いないものに比べ優れている。
又、ゲッター材としてチタン線のほかに、ジルコニウム
（Ｚｒ）、アルミニウム（Ａｔ）、タンタル（Ｔａ）や
、これらを含む合金例えば、ＡＡ−Ｂａ。
（Ｚｒ）、アルミニウム（Ａｔ）、タンタル（Ｔａ）や
、これらを含む合金例えば、ＡＡ−Ｂａ。
Ｔ ｉ −Ｚ ｒ 、Ｚ ｒ−ＡＡなどでも同様の効果
が認められた。
が認められた。
なお、Ａｔ−Ｂａ合金ゲッター材は、金属容器（鉄）に
収納されたものが一般に市販されており、これをそのま
ま溶断させてもよいが第４図に示すようにこれをＴｉ線
やＡｔ線と直列に接続して、ＴｉやＡｔの部分を溶断さ
せるようにすれば、容器材料を飛散させずにすむ。
収納されたものが一般に市販されており、これをそのま
ま溶断させてもよいが第４図に示すようにこれをＴｉ線
やＡｔ線と直列に接続して、ＴｉやＡｔの部分を溶断さ
せるようにすれば、容器材料を飛散させずにすむ。
これは、容器金属を溶断させるには、比較的大きな電流
を要するため、ｋｌ−Ｂａをスパッターさせる温度より
やや高温と々る電流で溶断させたいときに有効である。
を要するため、ｋｌ−Ｂａをスパッターさせる温度より
やや高温と々る電流で溶断させたいときに有効である。
また、融点が高く溶断させるのに大きな電力を必要とす
るＴａ等はその線の一部を細く加工することによって溶
断し易くすることができる。
るＴａ等はその線の一部を細く加工することによって溶
断し易くすることができる。
以上のように本発明に係る高圧放電灯の製造方法は、ゲ
ッター材に十分なるゲッター作用をもたせるために、外
管を排気した後発光管と並列に接続したゲッター材に電
流を通し、加熱溶断させるようにしたものであり、従来
のように高周波誘導加熱装置などの大損りな設備を必要
とせず、外部リード線から直接通電することによってゲ
ッター材の活性化が可能であり、又ゲッター材を溶断さ
せた後は同じリード線を使ってランプを点灯することが
できるため、簡単で作業性もよい。
ッター材に十分なるゲッター作用をもたせるために、外
管を排気した後発光管と並列に接続したゲッター材に電
流を通し、加熱溶断させるようにしたものであり、従来
のように高周波誘導加熱装置などの大損りな設備を必要
とせず、外部リード線から直接通電することによってゲ
ッター材の活性化が可能であり、又ゲッター材を溶断さ
せた後は同じリード線を使ってランプを点灯することが
できるため、簡単で作業性もよい。
第１図は本発明に係る高圧放電灯の一実施例を示す側面
図、第２図は同じくゲッター材の溶断働程を示す図、第
３図は同じく働程特性図、第４図は同じく他の実施例の
一部を示す側面図。
図、第２図は同じくゲッター材の溶断働程を示す図、第
３図は同じく働程特性図、第４図は同じく他の実施例の
一部を示す側面図。
Claims (1)
- １ 外管内に、発光管と並列に金属ゲッター材を接続し
ておき、外管内を排気した後、前記ゲッター材に電流を
通して該ゲッター材を活性化させ、さらに加熱溶断させ
ることを特徴とする高圧放電灯の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8898676A JPS5916696B2 (ja) | 1976-07-28 | 1976-07-28 | 高圧放電灯の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8898676A JPS5916696B2 (ja) | 1976-07-28 | 1976-07-28 | 高圧放電灯の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5314982A JPS5314982A (en) | 1978-02-10 |
| JPS5916696B2 true JPS5916696B2 (ja) | 1984-04-17 |
Family
ID=13958112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8898676A Expired JPS5916696B2 (ja) | 1976-07-28 | 1976-07-28 | 高圧放電灯の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5916696B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11275316B2 (en) | 2005-12-30 | 2022-03-15 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
-
1976
- 1976-07-28 JP JP8898676A patent/JPS5916696B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11275316B2 (en) | 2005-12-30 | 2022-03-15 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5314982A (en) | 1978-02-10 |
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