JPS59166681A - 耐食部材 - Google Patents

耐食部材

Info

Publication number
JPS59166681A
JPS59166681A JP4073083A JP4073083A JPS59166681A JP S59166681 A JPS59166681 A JP S59166681A JP 4073083 A JP4073083 A JP 4073083A JP 4073083 A JP4073083 A JP 4073083A JP S59166681 A JPS59166681 A JP S59166681A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chromium
reaction vessel
reaction
corrosion
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP4073083A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0627355B2 (ja
Inventor
Takeshi Yasui
安井　毅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP58040730A priority Critical patent/JPH0627355B2/ja
Publication of JPS59166681A publication Critical patent/JPS59166681A/ja
Publication of JPH0627355B2 publication Critical patent/JPH0627355B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C22/00—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C22/73—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals characterised by the process
    • C23C22/74—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals characterised by the process for obtaining burned-in conversion coatings

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Aftertreatments Of Artificial And Natural Stones (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • Chemical Treatment Of Metals (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明は、腐食性ガスを取扱う反応容器あるいは配管等
迄の耐食部材に関する。
（発明の技術的背景とその問題） 従来より、金属１合金、セラミックス等の基体表面に、
耐摩耗性に優れる２例えば窒化チタン、炭化チタン等の
高融点化合物被膜を形成する方法として化学蒸着法が知
られている。この方法では２反応ガスを用いて高融点化
合物の被覆が９００〜１２００℃で行なわれる。
また、高温での反応では好ましくない場合には、グロー
放電空間を基体近傍に形成して２放電のエネルギーによ
り化学反応をおこさせ、被覆に要する加熱温度を４００
〜６００℃と低くして行なうグロー放電化学処理とも呼
ぶべき方法が検討されている。
これらの方法に使用する装置としては２例えばグロー放
電化学処理法の場合には、ガス供給口と排気口とを備え
た反応容器内に、被処理基体を電気的に導通した状態で
設置しうる陰極板とその裏面に設けられた基体を加熱す
るための加熱板とそれらを支持し、陰極を導入するため
の陰極導入管と、および陰極板の上方に所定の間隔をお
いて支持される陽極板とが設けられたものが知られてい
る。
而してこの方法において１例えば金属窒化物の被膜を形
成する場合には、主に金属ハロゲン化物と窒素と水素と
からなる混合ガスをガス供給口から反応容器内に供給し
、グロー放電空間内で化学反応させて基体表面に金属窒
化物の被膜を形成するわけであるが、この反応の際にハ
ロゲン化水素やハロゲンガスが形成されるため。
反応容器の内壁が徐々に腐食し、また腐食生成物や反応
の残滓が容器の内壁に付着したりするという現象があっ
た。その結果反応容器内の真空度があがらなくなったり
、得られる被膜が不均一なものとなったり、また処理終
了後の基体をとりだす際に、大気中の水分や酸素が付着
物内にとりこまれ、それが次の処理の際の不純物となっ
て悪影響を与えるという問題があった。
（発明の目的） 本発明はグロー放電化学処理装置等における反応容器の
腐食及び反応残滓などによる上述の問題を解消するもの
である。
（発明の概要） 本発明の耐食部材は、クロム化合物から加熱によって変
換された酸化クロムを基体の表面に備えたことを特徴と
する。
クロム化合物は、基体に含浸又は化学的に結合させるこ
とが好ましい。この場合、クロム化合物は液状であって
、クロム酸、塩化クロム。
硝酸クロムあるいはクロム酸マグネシウム等を主成分と
するもの、更に可溶性錯体クロム化合物等を主成分とす
るものが適用できる。なお。
必要に応じて酸化亜鉛、ケイ酸、酸化アルミニウム等を
含有する。
基体は、耐食性及び機械的強度を有するものが望ましく
ステンレス鋼等がよい。　。
本発明の耐食部材を得るには２例えば、所定の形状に設
定された耐食部材を、クロム化合物を主成分とする反応
液に浸漬したのち、加熱処理を施こして酸化クロムを含
む層に変換する。
このサイクルを複数回繰り返すことにより、所望の表面
状態を得る。含浸前の耐食部材にあらかじめ表面処理２
例えばメッキ、溶射等を施こすことは効果的である。ま
た、耐食部材がセラミックスの場合、焼成する前あるい
は半焼成のものに含浸処理を施こすこともよい。
なお耐食部材が大きい反応容器の場合には。
反応液をスプレー等で塗布あるいは含浸するとともでき
る。
こうして得られる耐食部材の表面は極めて緻密で耐食性
に優れているため１反応ガスあるいは反応液等によって
腐食されることはない。また表面に反応生成物が生成し
て付着しても清浄が簡単に行なえる。
（発明の実施例） ステンレス製の円筒状の反応容器の内面に次のような処
理を施こした。
比重１．６〜１．７のクロム酸を主成分とする溶液を容
器内面に付着せしめたのち、加熱処理を施こす。このサ
イクルを加熱温度３１０°〜７００℃の間で除々に温度
をあげながら複数回（３〜１０回）くり返した。その結
果、内面に暗緑色の酸化クロム層を有する反応容器が得
られた。
この容器を用いてＣｒ３８％、Ａｎ３．８％、Ｎｉ残の
組成の合金から成る５　０ｍｍＸ　５０ｍｍ×５酊の金
属板を被処理基体として載置し２次の条件で処理を５０
回繰り返した。その後反応容器内の付着物を除去したが
簡単に除去することができた。また得られる窒化チタン
の被膜は均一で装飾性に優れていた。
反応ガス組成　Ｔｉｃｌ’　：Ｈ２：Ｎ、　＝１：１９
：６（モル比） 一方従来のステンレス壁のみで形成された反応容器を使
用し、あとは実施例と同様の条件で処理を行なったとこ
ろ２数１０回繰り返した段階で反応容器内に付着物がひ
どく堆積し、またこの付着物の除去はなかなか困難であ
った。
（発明の効果） 以上の実施例からも明らかなように９本発明に係る反応
容器によれば、腐食生成物や反応残滓の付着物が少なく
、真空度の低下や不純物の悪影響を防止することができ
るため、得られる被膜が均一で、装飾性にすぐれたもの
となる。
また２本発明の耐食部材は、冷凍サイクルに用いる配管
等の腐食性流体に接触するものに適用して優れた効果を
有する。
代理人弁理士　則　近　憲　佑 （ほか１名）

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）クロム化合物から加熱によって変換された酸化ク
    ロムを基体の表面に備えた耐食部材。
  2. （２）基体は反応容器である特許請求の範囲第１項記載
    の耐食部材。
  3. （３）基体は、流体用配管である特許請求の範囲第１項
    に記載の耐食部材。
JP58040730A 1983-03-14 1983-03-14 耐食部材 Expired - Lifetime JPH0627355B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58040730A JPH0627355B2 (ja) 1983-03-14 1983-03-14 耐食部材

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58040730A JPH0627355B2 (ja) 1983-03-14 1983-03-14 耐食部材

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59166681A true JPS59166681A (ja) 1984-09-20
JPH0627355B2 JPH0627355B2 (ja) 1994-04-13

Family

ID=12588738

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58040730A Expired - Lifetime JPH0627355B2 (ja) 1983-03-14 1983-03-14 耐食部材

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0627355B2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61204302A (ja) * 1985-03-06 1986-09-10 N D C Kk 多孔質Ａｌ系焼結材料
JPS6253443A (ja) * 1985-08-28 1987-03-09 株式会社東芝 流体噴射式織機のサブノズル
JPS62222084A (ja) * 1986-02-28 1987-09-30 Toshiba Corp 鉄鋼部品
JPH03138303A (ja) * 1990-10-19 1991-06-12 Ndc Co Ltd 多孔質Ａｌ系焼結材の製造法
JP2007070220A (ja) * 2005-08-12 2007-03-22 Masanari Hara 塩基性れんがの製造方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54120681A (en) * 1978-03-13 1979-09-19 Nippon Steel Corp Lining of steel material
JPS575461U (ja) * 1980-06-06 1982-01-12

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2724569C2 (de) * 1977-05-31 1982-09-16 Merck Patent Gmbh, 6100 Darmstadt Beschichtete Trägermaterialien für die Dünnschichtchromatographie mit Konzentrierungszone

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54120681A (en) * 1978-03-13 1979-09-19 Nippon Steel Corp Lining of steel material
JPS575461U (ja) * 1980-06-06 1982-01-12

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61204302A (ja) * 1985-03-06 1986-09-10 N D C Kk 多孔質Ａｌ系焼結材料
JPS6253443A (ja) * 1985-08-28 1987-03-09 株式会社東芝 流体噴射式織機のサブノズル
JPS62222084A (ja) * 1986-02-28 1987-09-30 Toshiba Corp 鉄鋼部品
JPH03138303A (ja) * 1990-10-19 1991-06-12 Ndc Co Ltd 多孔質Ａｌ系焼結材の製造法
JP2007070220A (ja) * 2005-08-12 2007-03-22 Masanari Hara 塩基性れんがの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0627355B2 (ja) 1994-04-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6783863B2 (en) Plasma processing container internal member and production method thereof
CN108504975A (zh) 不锈铁质锅耐酸性材料及其制备方法、不锈铁质容器
JPH0338339B2 (ja)
JP6505126B2 (ja) 複数層基板および製造方法
JPH0466657A (ja) アルミニウム合金材およびその製造方法
US6406799B1 (en) Method of producing anti-corrosion member and anti-corrosion member
JPS59166681A (ja) 耐食部材
KR20230027298A (ko) 내침식성 금속 플루오르화 코팅된 물건들, 이들의 제조 방법 및 사용 방법
US6117573A (en) Corrosion-resistant member and a producing process thereof
JPS62103379A (ja) Ｃｖｄ装置およびドライ・エツチング装置における真空チヤンバの製造方法
JP2007107100A (ja) プラズマ処理容器内複合膜被覆部材およびその製造方法
JP4312357B2 (ja) 金属アルミニウム含有基体の窒化処理方法
JPH07113182A (ja) 金属基板を金属又は金属合金の被覆層で被覆する方法及び 装置
JPH1067584A (ja) 反応容器
CN116835581B (zh) 氟化物熔盐体系中在石墨材料上化学镀制备碳化钼涂层的方法
JPS58151469A (ja) グロ−放電化学処理装置
Taniuchi et al. Chemical vapor deposition of Si3N4 onto metal substrates
JP3493375B2 (ja) 低ガス放出高耐食アルミニウム製真空容器並びに真空機器部品およびその製造方法
JPS58174568A (ja) 金属化合物被膜の形成方法
JP2975120B2 (ja) セラミックス皮膜の形成方法
Hood Coating methods for use with the platinum metals
JPH0562710A (ja) ナトリウム−硫黄電池およびその製造法
JPH0568539B2 (ja)
CN117587389A (zh) 一种310s不锈钢表面氧化铝基防腐涂层的制备方法
JPH0723531B2 (ja) アルミニウム材の表面処理方法