JPS59166681A - 耐食部材 - Google Patents
耐食部材Info
- Publication number
- JPS59166681A JPS59166681A JP4073083A JP4073083A JPS59166681A JP S59166681 A JPS59166681 A JP S59166681A JP 4073083 A JP4073083 A JP 4073083A JP 4073083 A JP4073083 A JP 4073083A JP S59166681 A JPS59166681 A JP S59166681A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chromium
- reaction vessel
- reaction
- corrosion
- substrate
- Prior art date
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- Granted
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C22/00—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C22/73—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals characterised by the process
- C23C22/74—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals characterised by the process for obtaining burned-in conversion coatings
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(発明の技術分野)
本発明は、腐食性ガスを取扱う反応容器あるいは配管等
迄の耐食部材に関する。
迄の耐食部材に関する。
(発明の技術的背景とその問題)
従来より、金属1合金、セラミックス等の基体表面に、
耐摩耗性に優れる2例えば窒化チタン、炭化チタン等の
高融点化合物被膜を形成する方法として化学蒸着法が知
られている。この方法では2反応ガスを用いて高融点化
合物の被覆が900〜1200℃で行なわれる。
耐摩耗性に優れる2例えば窒化チタン、炭化チタン等の
高融点化合物被膜を形成する方法として化学蒸着法が知
られている。この方法では2反応ガスを用いて高融点化
合物の被覆が900〜1200℃で行なわれる。
また、高温での反応では好ましくない場合には、グロー
放電空間を基体近傍に形成して2放電のエネルギーによ
り化学反応をおこさせ、被覆に要する加熱温度を400
〜600℃と低くして行なうグロー放電化学処理とも呼
ぶべき方法が検討されている。
放電空間を基体近傍に形成して2放電のエネルギーによ
り化学反応をおこさせ、被覆に要する加熱温度を400
〜600℃と低くして行なうグロー放電化学処理とも呼
ぶべき方法が検討されている。
これらの方法に使用する装置としては2例えばグロー放
電化学処理法の場合には、ガス供給口と排気口とを備え
た反応容器内に、被処理基体を電気的に導通した状態で
設置しうる陰極板とその裏面に設けられた基体を加熱す
るための加熱板とそれらを支持し、陰極を導入するため
の陰極導入管と、および陰極板の上方に所定の間隔をお
いて支持される陽極板とが設けられたものが知られてい
る。
電化学処理法の場合には、ガス供給口と排気口とを備え
た反応容器内に、被処理基体を電気的に導通した状態で
設置しうる陰極板とその裏面に設けられた基体を加熱す
るための加熱板とそれらを支持し、陰極を導入するため
の陰極導入管と、および陰極板の上方に所定の間隔をお
いて支持される陽極板とが設けられたものが知られてい
る。
而してこの方法において1例えば金属窒化物の被膜を形
成する場合には、主に金属ハロゲン化物と窒素と水素と
からなる混合ガスをガス供給口から反応容器内に供給し
、グロー放電空間内で化学反応させて基体表面に金属窒
化物の被膜を形成するわけであるが、この反応の際にハ
ロゲン化水素やハロゲンガスが形成されるため。
成する場合には、主に金属ハロゲン化物と窒素と水素と
からなる混合ガスをガス供給口から反応容器内に供給し
、グロー放電空間内で化学反応させて基体表面に金属窒
化物の被膜を形成するわけであるが、この反応の際にハ
ロゲン化水素やハロゲンガスが形成されるため。
反応容器の内壁が徐々に腐食し、また腐食生成物や反応
の残滓が容器の内壁に付着したりするという現象があっ
た。その結果反応容器内の真空度があがらなくなったり
、得られる被膜が不均一なものとなったり、また処理終
了後の基体をとりだす際に、大気中の水分や酸素が付着
物内にとりこまれ、それが次の処理の際の不純物となっ
て悪影響を与えるという問題があった。
の残滓が容器の内壁に付着したりするという現象があっ
た。その結果反応容器内の真空度があがらなくなったり
、得られる被膜が不均一なものとなったり、また処理終
了後の基体をとりだす際に、大気中の水分や酸素が付着
物内にとりこまれ、それが次の処理の際の不純物となっ
て悪影響を与えるという問題があった。
(発明の目的)
本発明はグロー放電化学処理装置等における反応容器の
腐食及び反応残滓などによる上述の問題を解消するもの
である。
腐食及び反応残滓などによる上述の問題を解消するもの
である。
(発明の概要)
本発明の耐食部材は、クロム化合物から加熱によって変
換された酸化クロムを基体の表面に備えたことを特徴と
する。
換された酸化クロムを基体の表面に備えたことを特徴と
する。
クロム化合物は、基体に含浸又は化学的に結合させるこ
とが好ましい。この場合、クロム化合物は液状であって
、クロム酸、塩化クロム。
とが好ましい。この場合、クロム化合物は液状であって
、クロム酸、塩化クロム。
硝酸クロムあるいはクロム酸マグネシウム等を主成分と
するもの、更に可溶性錯体クロム化合物等を主成分とす
るものが適用できる。なお。
するもの、更に可溶性錯体クロム化合物等を主成分とす
るものが適用できる。なお。
必要に応じて酸化亜鉛、ケイ酸、酸化アルミニウム等を
含有する。
含有する。
基体は、耐食性及び機械的強度を有するものが望ましく
ステンレス鋼等がよい。 。
ステンレス鋼等がよい。 。
本発明の耐食部材を得るには2例えば、所定の形状に設
定された耐食部材を、クロム化合物を主成分とする反応
液に浸漬したのち、加熱処理を施こして酸化クロムを含
む層に変換する。
定された耐食部材を、クロム化合物を主成分とする反応
液に浸漬したのち、加熱処理を施こして酸化クロムを含
む層に変換する。
このサイクルを複数回繰り返すことにより、所望の表面
状態を得る。含浸前の耐食部材にあらかじめ表面処理2
例えばメッキ、溶射等を施こすことは効果的である。ま
た、耐食部材がセラミックスの場合、焼成する前あるい
は半焼成のものに含浸処理を施こすこともよい。
状態を得る。含浸前の耐食部材にあらかじめ表面処理2
例えばメッキ、溶射等を施こすことは効果的である。ま
た、耐食部材がセラミックスの場合、焼成する前あるい
は半焼成のものに含浸処理を施こすこともよい。
なお耐食部材が大きい反応容器の場合には。
反応液をスプレー等で塗布あるいは含浸するとともでき
る。
る。
こうして得られる耐食部材の表面は極めて緻密で耐食性
に優れているため1反応ガスあるいは反応液等によって
腐食されることはない。また表面に反応生成物が生成し
て付着しても清浄が簡単に行なえる。
に優れているため1反応ガスあるいは反応液等によって
腐食されることはない。また表面に反応生成物が生成し
て付着しても清浄が簡単に行なえる。
(発明の実施例)
ステンレス製の円筒状の反応容器の内面に次のような処
理を施こした。
理を施こした。
比重1.6〜1.7のクロム酸を主成分とする溶液を容
器内面に付着せしめたのち、加熱処理を施こす。このサ
イクルを加熱温度310°〜700℃の間で除々に温度
をあげながら複数回(3〜10回)くり返した。その結
果、内面に暗緑色の酸化クロム層を有する反応容器が得
られた。
器内面に付着せしめたのち、加熱処理を施こす。このサ
イクルを加熱温度310°〜700℃の間で除々に温度
をあげながら複数回(3〜10回)くり返した。その結
果、内面に暗緑色の酸化クロム層を有する反応容器が得
られた。
この容器を用いてCr38%、An3.8%、Ni残の
組成の合金から成る5 0mmX 50mm×5酊の金
属板を被処理基体として載置し2次の条件で処理を50
回繰り返した。その後反応容器内の付着物を除去したが
簡単に除去することができた。また得られる窒化チタン
の被膜は均一で装飾性に優れていた。
組成の合金から成る5 0mmX 50mm×5酊の金
属板を被処理基体として載置し2次の条件で処理を50
回繰り返した。その後反応容器内の付着物を除去したが
簡単に除去することができた。また得られる窒化チタン
の被膜は均一で装飾性に優れていた。
反応ガス組成 Ticl’ :H2:N、 =1:19
:6(モル比) 一方従来のステンレス壁のみで形成された反応容器を使
用し、あとは実施例と同様の条件で処理を行なったとこ
ろ2数10回繰り返した段階で反応容器内に付着物がひ
どく堆積し、またこの付着物の除去はなかなか困難であ
った。
:6(モル比) 一方従来のステンレス壁のみで形成された反応容器を使
用し、あとは実施例と同様の条件で処理を行なったとこ
ろ2数10回繰り返した段階で反応容器内に付着物がひ
どく堆積し、またこの付着物の除去はなかなか困難であ
った。
(発明の効果)
以上の実施例からも明らかなように9本発明に係る反応
容器によれば、腐食生成物や反応残滓の付着物が少なく
、真空度の低下や不純物の悪影響を防止することができ
るため、得られる被膜が均一で、装飾性にすぐれたもの
となる。
容器によれば、腐食生成物や反応残滓の付着物が少なく
、真空度の低下や不純物の悪影響を防止することができ
るため、得られる被膜が均一で、装飾性にすぐれたもの
となる。
また2本発明の耐食部材は、冷凍サイクルに用いる配管
等の腐食性流体に接触するものに適用して優れた効果を
有する。
等の腐食性流体に接触するものに適用して優れた効果を
有する。
代理人弁理士 則 近 憲 佑
(ほか1名)
Claims (3)
- (1)クロム化合物から加熱によって変換された酸化ク
ロムを基体の表面に備えた耐食部材。 - (2)基体は反応容器である特許請求の範囲第1項記載
の耐食部材。 - (3)基体は、流体用配管である特許請求の範囲第1項
に記載の耐食部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58040730A JPH0627355B2 (ja) | 1983-03-14 | 1983-03-14 | 耐食部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58040730A JPH0627355B2 (ja) | 1983-03-14 | 1983-03-14 | 耐食部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59166681A true JPS59166681A (ja) | 1984-09-20 |
JPH0627355B2 JPH0627355B2 (ja) | 1994-04-13 |
Family
ID=12588738
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58040730A Expired - Lifetime JPH0627355B2 (ja) | 1983-03-14 | 1983-03-14 | 耐食部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0627355B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61204302A (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-10 | N D C Kk | 多孔質Al系焼結材料 |
JPS6253443A (ja) * | 1985-08-28 | 1987-03-09 | 株式会社東芝 | 流体噴射式織機のサブノズル |
JPS62222084A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-30 | Toshiba Corp | 鉄鋼部品 |
JPH03138303A (ja) * | 1990-10-19 | 1991-06-12 | Ndc Co Ltd | 多孔質Al系焼結材の製造法 |
JP2007070220A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-03-22 | Masanari Hara | 塩基性れんがの製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54120681A (en) * | 1978-03-13 | 1979-09-19 | Nippon Steel Corp | Lining of steel material |
JPS575461U (ja) * | 1980-06-06 | 1982-01-12 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2724569C2 (de) * | 1977-05-31 | 1982-09-16 | Merck Patent Gmbh, 6100 Darmstadt | Beschichtete Trägermaterialien für die Dünnschichtchromatographie mit Konzentrierungszone |
-
1983
- 1983-03-14 JP JP58040730A patent/JPH0627355B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54120681A (en) * | 1978-03-13 | 1979-09-19 | Nippon Steel Corp | Lining of steel material |
JPS575461U (ja) * | 1980-06-06 | 1982-01-12 |
Cited By (5)
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JPS61204302A (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-10 | N D C Kk | 多孔質Al系焼結材料 |
JPS6253443A (ja) * | 1985-08-28 | 1987-03-09 | 株式会社東芝 | 流体噴射式織機のサブノズル |
JPS62222084A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-30 | Toshiba Corp | 鉄鋼部品 |
JPH03138303A (ja) * | 1990-10-19 | 1991-06-12 | Ndc Co Ltd | 多孔質Al系焼結材の製造法 |
JP2007070220A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-03-22 | Masanari Hara | 塩基性れんがの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0627355B2 (ja) | 1994-04-13 |
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