JPS59158539A - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents
樹脂封止型半導体装置Info
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- JPS59158539A JPS59158539A JP58034111A JP3411183A JPS59158539A JP S59158539 A JPS59158539 A JP S59158539A JP 58034111 A JP58034111 A JP 58034111A JP 3411183 A JP3411183 A JP 3411183A JP S59158539 A JPS59158539 A JP S59158539A
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- JP
- Japan
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- resin
- sealed
- substrate
- lsi chip
- holes
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- Pending
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
- H01L23/3121—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed a substrate forming part of the encapsulation
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く技術分野〉
本発明は樹脂封止型半導体装置に関するものである。
〈従来技術〉
従来、半導体素子を封止する方法としてガラスシール、
金属シール、樹脂シール等が提案されているが、ガラス
シール、金属シールは高価であり又工程数−1−の問題
があるのに対し、樹脂シールは簡単な工程でしかも安価
にできるという利点がある為、最近(・ゴはとんど樹脂
シールが採用されている。
金属シール、樹脂シール等が提案されているが、ガラス
シール、金属シールは高価であり又工程数−1−の問題
があるのに対し、樹脂シールは簡単な工程でしかも安価
にできるという利点がある為、最近(・ゴはとんど樹脂
シールが採用されている。
第1図(イ)は:2)−ドフレーム1にL S Iテッ
プ2をダイレクトボンティングし、樹脂3にて封止した
例であり、又同図(ロ)Ifiセラミック基板4」−の
LSIチップ2とリードフレーム1をワイヤー5にて接
続し、その北に樹脂3を被せて封止した所謂フラットパ
ッケージの例である。
プ2をダイレクトボンティングし、樹脂3にて封止した
例であり、又同図(ロ)Ifiセラミック基板4」−の
LSIチップ2とリードフレーム1をワイヤー5にて接
続し、その北に樹脂3を被せて封止した所謂フラットパ
ッケージの例である。
しかしながら、この種の樹脂封止型半導体装置において
は、リードフレーム(金属)Iと樹脂3との密着性か悪
く、この部分を通じて内部に湿気が入り半導体素子(L
!Mチップ)2の劣化が促進されるとめう問題があった
。
は、リードフレーム(金属)Iと樹脂3との密着性か悪
く、この部分を通じて内部に湿気が入り半導体素子(L
!Mチップ)2の劣化が促進されるとめう問題があった
。
〈目的〉
本発明はかかる従来の問題点に鑑みて成されたもので、
耐湿性に優れた非常に信頼性の高い樹脂封止型半導体装
置を提供せんとするものである。
耐湿性に優れた非常に信頼性の高い樹脂封止型半導体装
置を提供せんとするものである。
〈実施例〉
以下図にもとついて本発明の詳細な説明する。
第2図は本発明に係る樹脂封止型半導体装置の断面図で
ある。
ある。
この半導体装置はスルーホール及び外部リードパターン
を形成した基板の該スルーホール部にLSIチップをボ
ンディングし、この−ヒを被うように樹脂で封止して成
る。図において、6は樹脂基板、7はLSIチップのボ
ンディング部に対応するように該基板に形成されたスル
ーホールである。スルーホール7は触媒入り基板にメッ
キ法にて成長させるフルアディティブ法とか、Cu箔の
接着あるいはCuペーストによってその導体部分が形成
されている。これらの方法によって形成されたスルーホ
ールの導体部分は樹脂基板6に強固に密着し、該両者間
は非常に耐湿性に優れたものとなっている。
を形成した基板の該スルーホール部にLSIチップをボ
ンディングし、この−ヒを被うように樹脂で封止して成
る。図において、6は樹脂基板、7はLSIチップのボ
ンディング部に対応するように該基板に形成されたスル
ーホールである。スルーホール7は触媒入り基板にメッ
キ法にて成長させるフルアディティブ法とか、Cu箔の
接着あるいはCuペーストによってその導体部分が形成
されている。これらの方法によって形成されたスルーホ
ールの導体部分は樹脂基板6に強固に密着し、該両者間
は非常に耐湿性に優れたものとなっている。
樹脂基板6の裏面には各スルーホール7の導体部分に接
続される外部リードパターン8を従来通りエツチング法
により形成している。そして、このように形成された樹
脂基板6の表面、すなわち外部リードパターン8の形成
面と逆の方の面に現われているスルーホール端部9にL
SIチップ10をダイレクトボンディングし、この」二
を樹脂IIにて封止するとともに、外部リードパターン
形成面側のスルーホール7を半田I2にて封止して構成
している。
続される外部リードパターン8を従来通りエツチング法
により形成している。そして、このように形成された樹
脂基板6の表面、すなわち外部リードパターン8の形成
面と逆の方の面に現われているスルーホール端部9にL
SIチップ10をダイレクトボンディングし、この」二
を樹脂IIにて封止するとともに、外部リードパターン
形成面側のスルーホール7を半田I2にて封止して構成
している。
かかる構成によれば、LSIチップ10を封止する樹脂
11は基板6に密着し、しかもこの基板6は樹脂製であ
るために所謂樹脂と樹脂の結合となり、この両者間は密
着性が非常に強い。1だ、基板6とスルーホール7の間
は上述したように一般に密着性に優れ、しかも該ホール
は半田12にて封止さJしているので、内部のLSIチ
ップ1゜を完全に密閉することが出来る。
11は基板6に密着し、しかもこの基板6は樹脂製であ
るために所謂樹脂と樹脂の結合となり、この両者間は密
着性が非常に強い。1だ、基板6とスルーホール7の間
は上述したように一般に密着性に優れ、しかも該ホール
は半田12にて封止さJしているので、内部のLSIチ
ップ1゜を完全に密閉することが出来る。
〈効果〉
以上の様に本発明の樹脂封止型半導体装置によれば、ス
ルーホールと外部リードパターンを形成してなる樹脂基
板にLSIチップを載せて樹脂封止するようにしたから
、装置の耐湿性を良くし、半導体素子の劣化を防止する
ことが出来る。
ルーホールと外部リードパターンを形成してなる樹脂基
板にLSIチップを載せて樹脂封止するようにしたから
、装置の耐湿性を良くし、半導体素子の劣化を防止する
ことが出来る。
箸β図(イ)及び(鴫は従来の樹脂封止型半導体装置の
断面図、第2図は本発明の樹脂封止型半導体装置の断面
図。 6は基板、7はスルーホール、8は外部リードパターン
、10はLSIチップ、I+は樹脂、12は半田。 代理人 弁理士 福 士 愛 彦(他2名ン第1図 第2 図
断面図、第2図は本発明の樹脂封止型半導体装置の断面
図。 6は基板、7はスルーホール、8は外部リードパターン
、10はLSIチップ、I+は樹脂、12は半田。 代理人 弁理士 福 士 愛 彦(他2名ン第1図 第2 図
Claims (1)
- 1 基板片面に形成したリードパターンに接続されるよ
うに該基板に適宜スルーホールを形成するとともに、該
パターン形成面と逆の面のスルーホール部に半導体装設
を接続し、該装置の七を被うように樹脂で封止してなる
ことを特徴とする樹脂封止型半導体装置4.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58034111A JPS59158539A (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 樹脂封止型半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58034111A JPS59158539A (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 樹脂封止型半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59158539A true JPS59158539A (ja) | 1984-09-08 |
Family
ID=12405159
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58034111A Pending JPS59158539A (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 樹脂封止型半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59158539A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0657932A3 (en) * | 1993-12-13 | 1996-02-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Connection electrode for a chip housing, assembly and associated manufacturing method. |
-
1983
- 1983-02-28 JP JP58034111A patent/JPS59158539A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0657932A3 (en) * | 1993-12-13 | 1996-02-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Connection electrode for a chip housing, assembly and associated manufacturing method. |
US5628919A (en) * | 1993-12-13 | 1997-05-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Methods for producing a chip carrier and terminal electrode for a circuit substrate |
US5640051A (en) * | 1993-12-13 | 1997-06-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Chip package, a chip carrier, a terminal electrode for a circuit substrate and a chip package-mounted complex |
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