JPS59155976A - ガスレ−ザ−とその製造方法 - Google Patents
ガスレ−ザ−とその製造方法Info
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- JPS59155976A JPS59155976A JP59024225A JP2422584A JPS59155976A JP S59155976 A JPS59155976 A JP S59155976A JP 59024225 A JP59024225 A JP 59024225A JP 2422584 A JP2422584 A JP 2422584A JP S59155976 A JPS59155976 A JP S59155976A
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- Japan
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- gas
- tube
- support plate
- window
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/032—Constructional details of gas laser discharge tubes for confinement of the discharge, e.g. by special features of the discharge constricting tube
- H01S3/0323—Constructional details of gas laser discharge tubes for confinement of the discharge, e.g. by special features of the discharge constricting tube by special features of the discharge constricting tube, e.g. capillary
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- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の，寓する技術分野〕
この発明は、ガス充填管の両端が平坦な窓によつそ気密
閉鎖され、管の少くとも窓近ぐの部分とべの少くとも支
持体側の部分か熱膨張率の異なる｛Ａ旧で作られている
カスレーザーとその製造方法に嘆ｊずるイ）のである。
閉鎖され、管の少くとも窓近ぐの部分とべの少くとも支
持体側の部分か熱膨張率の異なる｛Ａ旧で作られている
カスレーザーとその製造方法に嘆ｊずるイ）のである。
この独のレーザーの一例は米［但特許第４０６３ ８
０ ３５明７咄．ｌ｝１ｌ（占ピ載さ力，ている１ｌレ
ーザー雷とその光学的閉鎖部分に対して熱膨・辰特・欝
か著しく異った月４斗を１吏用せざるを得なくなること
か多い。例えはブルースター腔０て（ｄ１始めから高，
サＶＣめ明であり長時間使用しても不純′吻を取り入れ
ることかなく、簡単に磨き上けることかできることから
．石英か１更用される。これＶこ対して教’４管壁又．
！１毛・訝て！＋−１： ｍ工か容易で荷にヘリウムの
気密封入力ｊ月泪である′特定のガラス陣か使用１月シ
娠 これらζＱガラスの熱膨張率ｋ・は一般に：｛！５
Ｘ １ ＋１−７＠に−”（ホウケイ岐ガラス系の硬
質ガラス）から９ ５ Ｘ １． ０−”Ｋ一〇（酸化
鉛を含む軟質ガラス）の間にあって、石英の極端（で低
い熱膨張率（最高５×］０ ゜Ｋ ）ＶＣ対して熱的
に適合せず、ガラスろう結合又は溶融結合によってレー
ザーのガス室を確実に気密閉すすること、は不可能であ
る。
０ ３５明７咄．ｌ｝１ｌ（占ピ載さ力，ている１ｌレ
ーザー雷とその光学的閉鎖部分に対して熱膨・辰特・欝
か著しく異った月４斗を１吏用せざるを得なくなること
か多い。例えはブルースター腔０て（ｄ１始めから高，
サＶＣめ明であり長時間使用しても不純′吻を取り入れ
ることかなく、簡単に磨き上けることかできることから
．石英か１更用される。これＶこ対して教’４管壁又．
！１毛・訝て！＋−１： ｍ工か容易で荷にヘリウムの
気密封入力ｊ月泪である′特定のガラス陣か使用１月シ
娠 これらζＱガラスの熱膨張率ｋ・は一般に：｛！５
Ｘ １ ＋１−７＠に−”（ホウケイ岐ガラス系の硬
質ガラス）から９ ５ Ｘ １． ０−”Ｋ一〇（酸化
鉛を含む軟質ガラス）の間にあって、石英の極端（で低
い熱膨張率（最高５×］０ ゜Ｋ ）ＶＣ対して熱的
に適合せず、ガラスろう結合又は溶融結合によってレー
ザーのガス室を確実に気密閉すすること、は不可能であ
る。
光学閉鎖部をエポギ７樹脂によって管に固定する一合（
米山特許第３３９０３５１号）にはこのような不適合性
ｑま問題にならない。有機接着剤ｆ・よ処理温度が比較
的低く、硬化した状態でも充分な・弾性がある。しかし
完全（ｆｃ透明ではなく、高温度に耐えず、構成成分を
絶えずカス室内に放出するのでレーザーの寿命を１混定
する。
米山特許第３３９０３５１号）にはこのような不適合性
ｑま問題にならない。有機接着剤ｆ・よ処理温度が比較
的低く、硬化した状態でも充分な・弾性がある。しかし
完全（ｆｃ透明ではなく、高温度に耐えず、構成成分を
絶えずカス室内に放出するのでレーザーの寿命を１混定
する。
従つ・て大部分のガスレーザー製作者｛・ま数年前から
ガラスろう技術を採用し、ろう、端金′７）熱応力を除
くための砿々の処決を開発した。提ず最初に光学閉鎖部
分をたわみ性の金属容器に収芥ずることが考えられた（
米国特許第４０６３８０３号又と第３ ５ ５ ５ ４
． ５ ０号明細書）。しかしこの考えは、ろう結合が
加熱に基〈応力によって亀裂を生ずるか、閉鎖部が金属
部分の変形により位置を変えることが避けられないため
、実施に移されることはなかった。
ガラスろう技術を採用し、ろう、端金′７）熱応力を除
くための砿々の処決を開発した。提ず最初に光学閉鎖部
分をたわみ性の金属容器に収芥ずることが考えられた（
米国特許第４０６３８０３号又と第３ ５ ５ ５ ４
． ５ ０号明細書）。しかしこの考えは、ろう結合が
加熱に基〈応力によって亀裂を生ずるか、閉鎖部が金属
部分の変形により位置を変えることが避けられないため
、実施に移されることはなかった。
現在普辿に行７ｔわれているのは、管２よひ閉鎖ＩＨ５
と同様な形態安定性を示し膨張率が通光な飛躍をもって
変化する少数の中間部分を介在させた階段状結合である
。この方法は欠陥のない結果を与、えるか、実施用グイ
Ｌで高１曲となる。１夕１］えは市販されている２ ５
ｍ Ｗ ＨｅＮｅ レーザーでは、硬質ガラスの毛管
と石英の夏が組合わされその間（（４伸類の中１１（］
ガラス部分が挿入されている（ ５ｐｅｃｔｒａ −Ｐ
ｈｙｓｊＣ８のＭｏｄｅｌ、］、 ’１．０７’ ）。
と同様な形態安定性を示し膨張率が通光な飛躍をもって
変化する少数の中間部分を介在させた階段状結合である
。この方法は欠陥のない結果を与、えるか、実施用グイ
Ｌで高１曲となる。１夕１］えは市販されている２ ５
ｍ Ｗ ＨｅＮｅ レーザーでは、硬質ガラスの毛管
と石英の夏が組合わされその間（（４伸類の中１１（］
ガラス部分が挿入されている（ ５ｐｅｃｔｒａ −Ｐ
ｈｙｓｊＣ８のＭｏｄｅｌ、］、 ’１．０７’ ）。
この発明の目的は、上記の技術の現情を出発点として予
め与えら九でいる利得のレーザー管を透１ノ旬な部品で
閉鎖し、この部品かその機能を完全に果たし、更にレー
サー管と簡単ｖｃ結合することができるようにすること
である。
め与えら九でいる利得のレーザー管を透１ノ旬な部品で
閉鎖し、この部品かその機能を完全に果たし、更にレー
サー管と簡単ｖｃ結合することができるようにすること
である。
この目的（・ま特許請求の範囲第１項に特徴として挙げ
た構造を採用することによって達成される、。
た構造を採用することによって達成される、。
この発明は石英層でうわれたガラス支持板に対して行っ
た実験の結果に基〈ものである。この実験により石英層
を同一条件の′Ｆにレーザー波長の１／１０ の少数
倍程度の厚さに設けると試験片全体として次の特性を示
すことか確められた。
た実験の結果に基〈ものである。この実験により石英層
を同一条件の′Ｆにレーザー波長の１／１０ の少数
倍程度の厚さに設けると試験片全体として次の特性を示
すことか確められた。
ｍ ａ／−値は支持体のそれに対応する。従って入手で
きるガラスろうと慣何の技術によって処置することかで
きる。
きるガラスろうと慣何の技術によって処置することかで
きる。
（２）層ｌまレーザーに典型的な温度重荷に１え、基板
の膨収縮に追従する。
の膨収縮に追従する。
（３）層の表面ｌま実際上基体の表面と同じ平坦度を示
す。従つ、て支持体表面を通常の慎重さをもって研磨す
れ・ばよい。
す。従つ、て支持体表面を通常の慎重さをもって研磨す
れ・ばよい。
（４）層の屈折率ｎは到るところ一定であり、同じ一物
質の中実体のｎ値からいくらか外れている。
質の中実体のｎ値からいくらか外れている。
ブルーメタ窓の場合支持板を最適傾斜角に保持すること
により実質上常に勝れた偏光性能と反射性能が得られる
。
により実質上常に勝れた偏光性能と反射性能が得られる
。
（５）層は同じ（オ石から成り、層支持体ＶＣ等しい表
面性を示す物体と同等に透明であり、表面汚染に対して
抵抗性がある。
面性を示す物体と同等に透明であり、表面汚染に対して
抵抗性がある。
支時叡・０表面・披援ｔｔＣはスパッタリングとＣＶＤ
、去が有功であるが、蒸着法によることも可能である。
、去が有功であるが、蒸着法によることも可能である。
層の厚さ’ｉ １１０７ μｍと０５μｍ１％ｉて０］
／ｉ １１１と０． ：３ ｔｒ ｍ０間にする。
／ｉ １１１と０． ：３ ｔｒ ｍ０間にする。
ｊ曽と支１寺、取のｐ冒膨張率パー２と２３ ’ｌま容
易Ｋ １． ＯＵＸ ｌ Ｏ−７・Ｋ−１以上の塊があ
るようにすることができる。勝れた物質のわ」合せであ
るガラスとその上の石英の場合ｌＩ／）差は一般に２５
Ｘ１０ ６に以十であり、しはいｄ４０ Ｘ ］、 Ｆ
７・Ｋ −１を越え、（’＋ ５Ｘ １．０−７・Ｋ］
以−トになることも稀で、・ゴない。
易Ｋ １． ＯＵＸ ｌ Ｏ−７・Ｋ−１以上の塊があ
るようにすることができる。勝れた物質のわ」合せであ
るガラスとその上の石英の場合ｌＩ／）差は一般に２５
Ｘ１０ ６に以十であり、しはいｄ４０ Ｘ ］、 Ｆ
７・Ｋ −１を越え、（’＋ ５Ｘ １．０−７・Ｋ］
以−トになることも稀で、・ゴない。
イｋ） ｆｃ ：・ら１い結合金曜むＪ弱含支持板側４
・Ｆは軟質ガラスとじなげＦＬＩｒＪｌらない。これは
軟質ガラスが接着性の良いガラスろうと熱的に適合性を
持つことに痛く。
・Ｆは軟質ガラスとじなげＦＬＩｒＪｌらない。これは
軟質ガラスが接着性の良いガラスろうと熱的に適合性を
持つことに痛く。
石英／（軟質」ガラス構成の窓ｒｉ： 特に高出力のＨ
ｅ Ｎ ｅ レーザーに対して更に別の長所を持つ。
ｅ Ｎ ｅ レーザーに対して更に別の長所を持つ。
すなわちＨｅＮθ混合ガ冬は石英を透過し得２赤外レー
サー光をも放出するから、利用きれるレーザースペクト
ル線が充分な強さを持つため（Ｃｔｄこれを抑えなけれ
ば々らない。この事実（（対応して前記の５ｐｅｃｔｒ
ａ −Ｐｈｙｓｉｃｓの’ １０７ ’型レーザーで５
・ま毛管をその全長に亘って不均等磁場で包囲する。こ
の種の高価な手段は、石英をかぶせたガラス窓を使用す
る゛場合にはガラスが赤外）輝を吸収するため不必要と
なる。
サー光をも放出するから、利用きれるレーザースペクト
ル線が充分な強さを持つため（Ｃｔｄこれを抑えなけれ
ば々らない。この事実（（対応して前記の５ｐｅｃｔｒ
ａ −Ｐｈｙｓｉｃｓの’ １０７ ’型レーザーで５
・ま毛管をその全長に亘って不均等磁場で包囲する。こ
の種の高価な手段は、石英をかぶせたガラス窓を使用す
る゛場合にはガラスが赤外）輝を吸収するため不必要と
なる。
この発明の種々の実施形態とその展開は特許請求の範囲
４２項以下に示されている。
４２項以下に示されている。
有利な実施例の主要部を示した図面についてこの発明を
更に詳細に説明する。
更に詳細に説明する。
第１図（Ｉ′Ｃ断面を示したレーザー管は２５ ｍ Ｖ
／ −ＨｅＮ、ｅ ガスレーザーのものであり、円筒
形部分１の両方の端面が端板２と３によって閉鎖され、
内部に室４が形成される。端板２を固定管５が貫通して
室４内（（突き出し、端板３は校正された内径を持つ接
合管６として成形されている。毛管７は固定管５によっ
て中空室内部に無接触に差し込まれ、その一端が接合管
６て精確に合致している。
／ −ＨｅＮ、ｅ ガスレーザーのものであり、円筒
形部分１の両方の端面が端板２と３によって閉鎖され、
内部に室４が形成される。端板２を固定管５が貫通して
室４内（（突き出し、端板３は校正された内径を持つ接
合管６として成形されている。毛管７は固定管５によっ
て中空室内部に無接触に差し込まれ、その一端が接合管
６て精確に合致している。
第１図から分るように痣での部分か一つの回り伝対称体
にまとめられている。
にまとめられている。
上背・７と接合管６・は外（（向ってブルースター芯８
．９によって閉鎖されている。画ブル−スター窓は第２
図の拡大図から最も良く分るよう（／こ支持板１０．１
１から成り、その内面は層１２．１３で物われでいる。
．９によって閉鎖されている。画ブル−スター窓は第２
図の拡大図から最も良く分るよう（／こ支持板１０．１
１から成り、その内面は層１２．１３で物われでいる。
支持板１ｒｉｔ管と接合管に熱的に適合していない。従
ってそれぞれ移行片、即ち環１．６．１７と小管１．８
．Ｊ、９が中間に曖かれている。小管は角α二５６°４
０′で斜めに切られ、ガラスろつ２０，２Ｊによりブル
ースター芯８，９と気・１ソに結合されている。
ってそれぞれ移行片、即ち環１．６．１７と小管１．８
．Ｊ、９が中間に曖かれている。小管は角α二５６°４
０′で斜めに切られ、ガラスろつ２０，２Ｊによりブル
ースター芯８，９と気・１ソに結合されている。
毛管７には貫直孔２２があり、通孔２３によって室４に
連絡する。室４には中空陰極２４７１・あり、導：、＝
１２５ Ｋよって端板２を貫通する引込部分２６に結ば
れている。貫通孔２３は外＃１に続く保護鐘２７によっ
て冷陰極２４から出る不純物に対して遮蔽されている。
連絡する。室４には中空陰極２４７１・あり、導：、＝
１２５ Ｋよって端板２を貫通する引込部分２６に結ば
れている。貫通孔２３は外＃１に続く保護鐘２７によっ
て冷陰極２４から出る不純物に対して遮蔽されている。
管の動作中陰極２４と１＠極としての金属環１６の間に
ガス放電が発生する３、部分１から７までによって構成
された物体は５ＣｈＯｔｔ社の商品名’ ８２５０ ”
で呼はれる硬質ガラス製であり、その熱膨張率ｔ・ま４
９ Ｘ ］ Ｏ”Ｋ−１である。このガラスは機械的熱
的に高い負荷をかけることができる。支持板１−０．１
．１と小管１８゜１９は同じ会社の軟質ガラス”ＧＷ’
で作られ、そのｔ値は９５ Ｘ Ｉ Ｆ７°に−’１
であり、良好な研磨性とろう付は性を示す。商品名’
ａ Ｏ］、 ７ ／２９２’で呼ばれる５ｃｈｏｔｔ
社のガラスろうはカラス棟ｌＧＷ′に適合し、結合面に
対する濡れ性が良い。
ガス放電が発生する３、部分１から７までによって構成
された物体は５ＣｈＯｔｔ社の商品名’ ８２５０ ”
で呼はれる硬質ガラス製であり、その熱膨張率ｔ・ま４
９ Ｘ ］ Ｏ”Ｋ−１である。このガラスは機械的熱
的に高い負荷をかけることができる。支持板１−０．１
．１と小管１８゜１９は同じ会社の軟質ガラス”ＧＷ’
で作られ、そのｔ値は９５ Ｘ Ｉ Ｆ７°に−’１
であり、良好な研磨性とろう付は性を示す。商品名’
ａ Ｏ］、 ７ ／２９２’で呼ばれる５ｃｈｏｔｔ
社のガラスろうはカラス棟ｌＧＷ′に適合し、結合面に
対する濡れ性が良い。
層１２乃至１５は約０．１μｍの厚さにスパッタされた
石英から成る。陰極材料としてはジルコンが選ばれる。
石英から成る。陰極材料としてはジルコンが選ばれる。
気密閉鎖された室ＶＣｄＨθＮｅ 混合ガスが圧力２．
６ｍｂａｒに充積きれ、電圧１’２ｋＶで放電が点火さ
れ、４ｋＶで維持きれる。
６ｍｂａｒに充積きれ、電圧１’２ｋＶで放電が点火さ
れ、４ｋＶで維持きれる。
ブルースター窓の反ｑ寸特性と偏光吠惺が被着層によっ
てほとんど影響゛と受けないことば計算によって示され
る。波長を６３２ｎｍ、入射角αを５６６°、屈折率ｎ
の値を層でば１４５７、支持体では１５２０とし、層の
厚さｄを０と１１０００ｎの間で変えると、人材面内で
撮動する光Ｑて対する反射、係数ＲＰは０と０５２勤の
間で変動し、第−最小はｄ ”’ ２ （ｉ Ｑわｍに
おいて生ずる。ｄの外にαをも変えると、ＲＰＯ値、・
よＣχか５６６°乃・、ら＋］３−２３°の間で変ると
き道に１％θす、士（・でとどまる。従って干渉効果は
ほとんど効力を及ｅ旦さない。
てほとんど影響゛と受けないことば計算によって示され
る。波長を６３２ｎｍ、入射角αを５６６°、屈折率ｎ
の値を層でば１４５７、支持体では１５２０とし、層の
厚さｄを０と１１０００ｎの間で変えると、人材面内で
撮動する光Ｑて対する反射、係数ＲＰは０と０５２勤の
間で変動し、第−最小はｄ ”’ ２ （ｉ Ｑわｍに
おいて生ずる。ｄの外にαをも変えると、ＲＰＯ値、・
よＣχか５６６°乃・、ら＋］３−２３°の間で変ると
き道に１％θす、士（・でとどまる。従って干渉効果は
ほとんど効力を及ｅ旦さない。
この発明−は副手の実／／ｉ！＋１杉、・魚に限定され
ない。例え（ｄブルースター窓・は高度の喋求を満たす
ために、は１１１′ＩＵ側に級１９層を設けることがで
きる。史に閉頌部、ま場合によってガラスろうによる以
外、例えは直接（ａ４χ又は［広故による結合によって
肯に固定することかできる。拐Ｙ−１り蓮定に関１−で
も広い変更の余地かあり、例えはガラスとガラスろうと
しては多数のものが好適である。更にガラスと石英を離
れて層と支持板に対して雲母を、Ｖ端にｑよりｅｄ。
ない。例え（ｄブルースター窓・は高度の喋求を満たす
ために、は１１１′ＩＵ側に級１９層を設けることがで
きる。史に閉頌部、ま場合によってガラスろうによる以
外、例えは直接（ａ４χ又は［広故による結合によって
肯に固定することかできる。拐Ｙ−１り蓮定に関１−で
も広い変更の余地かあり、例えはガラスとガラスろうと
しては多数のものが好適である。更にガラスと石英を離
れて層と支持板に対して雲母を、Ｖ端にｑよりｅｄ。
ｐ、ｔ２ｏ３ 等の酸化物セラミックを採用すること
ができる。通常層のｔ値は支持体のそれより小さくする
が、これはす蛍市１］されるもので【−虚ない。
ができる。通常層のｔ値は支持体のそれより小さくする
が、これはす蛍市１］されるもので【−虚ない。
第１図はこの発明の実施例の断面図、第２図はその一端
部の拡大図である。 １ レーサー管、２，３・端板、７ ・毛管、８゜９
・ブルースター芯、１．０，１．１・・支持板、］２゜
１３ 被着層、２４ 陰極、１６・陽極。
部の拡大図である。 １ レーサー管、２，３・端板、７ ・毛管、８゜９
・ブルースター芯、１．０，１．１・・支持板、］２゜
１３ 被着層、２４ 陰極、１６・陽極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ］、） （ａ） ガスを満たした管が少くとも両端を
平板状の荷にブルースター角で傾斜した窓でハーメティ
ック・シールされ、 （ｂ） この管の少くとも歴に向った端部が熱膨張車
数〆１の第一相別から成り、 （Ｃ） 窓の少くとも支持体端に向った内（）１１Ｊ
が熱膨張小月すの第三材料から成り、 （ｄ、） これら二つの材料が熱的に互ＩＣ適合せず
その熱膨張率の間に ΔパニｌＸ１−χ２１ ＞１０ＸＩ ０−７４− ”の
関係があるものにおいて、 （ｅ）窓（８，９）が支持板（１０，１１）を含み、こ
の支持板が熱膨張率λ３で第−拐科に熱適合した第三材
料から成り、 （ｆｆ） その内面が第二材料の層（１２，１３）で
堕われでいる ことを特徴とするガスレーザー。 ２）層（１２，１３）が０．０７ μｍと０．５ μｍ
の間、更に限定すれば０．１μｍと０３μｍの間の厚さ
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガ
スレーザー。 ３）支持板（１０，ｌ’ｌ）がその外面も第二材料−で
覆われていることを特徴とする特許請求の範囲第１項又
は第２項記載のガスレーザー〇 ４）支持板（１０，１１）も第一材料から成るこ々を特
徴とする特許請求の範囲第１項乃至第３項の一つに記載
のガスレーザー。 ５）窓（８，９）がそれに対向する管端部（小管１８．
．１９ ）とガラスろう（２０，２１）によって結合さ
れていることを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第
４Ｊ：Ｊ４の一つに記載のガスレーサー。 ６）熱膨張率の差△ＺＫ対して次の関係式２式％ が成立シ、特ＶＣ４０Ｘ１０−７０に一１≦醸≦１．１
０Ｘ１０−７ＧＫ−’であり、ｑ９Ｋ ６５ＸＩＯ−７
ｏＫ−”≦△辰≦９５刈ｏｏＫであるのが有利であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第り項乃孕第５項の一つ
に記載のガスレーザー。 ７）第−ｔオ不斗、がガラス特Ｋｉ便で直ガラス（づ５
×１、０”””Ｋ−” ≦ｘ１ ≦６０ Ｘ １０−”
Ｋ−” ）又、ｒｉ軟軟質シラス ７０Ｘ］０−７０に
−”≦ｘｌ≦１００ｘ１０’Ｋ）であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項乃至第ｔ３頃の−っに記載のガ
スレーザー。 ８）第一材料と第三材料か同じ軟質ガラスであり、第二
材料か石英であること乞特徴とする・特許請求の範囲第
１項乃至第７項の一つにｈ記載のガスレーザー。 ９） （ａ） ガスを満たした管が少くとも両端を平
板状の特にブルースター角で１頃科した窓でハーメティ
ック・ンールサレ、 （ｂ） この管の少くとも窓に向った端部が熱膨張率
数パー１の第一材料から成り、 （Ｃ）窓の少くとも支持体端に向゛りた内側、６ｆ熱膨
張率尺２の第二材料から成り、 （ｄ） これら二つの拐料が熱的に互に適合せずその
熱膨張率の間シて △メ＝１沢１−パ２１＞ｌ０ＸＩ−０−”Ｋ−”の１関
１糸があるものにおいて、 （ｅ） 窓（８，９）が支持板（１０，１−］、）を
含み、この支持板か熱、膨張率ｇ３で第一材料Ｑて熱適
合した第三材料から成り、（ｆ） その内面が第二材
料の増（１２，１，３）で覆われている ガスレーザーを製造するため、第二材料層（１２，１３
）が研磨された支持板（１０，１１）上にスパッタリン
グ、蒸着又はＣＶＤ法によって設けられ、このユニット
が続いてレーザー管に−・−メ、ティック結合されるこ
とを特徴とするガスレーザーの製造方法、
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE33054622 | 1983-02-17 | ||
| DE3305462 | 1983-02-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59155976A true JPS59155976A (ja) | 1984-09-05 |
Family
ID=6191075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59024225A Pending JPS59155976A (ja) | 1983-02-17 | 1984-02-10 | ガスレ−ザ−とその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4649546A (ja) |
| EP (1) | EP0119408B1 (ja) |
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