JPS59155676A - 流体制御弁の制御装置 - Google Patents

流体制御弁の制御装置

Info

Publication number
JPS59155676A
JPS59155676A JP2905283A JP2905283A JPS59155676A JP S59155676 A JPS59155676 A JP S59155676A JP 2905283 A JP2905283 A JP 2905283A JP 2905283 A JP2905283 A JP 2905283A JP S59155676 A JPS59155676 A JP S59155676A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
control
pulses
control valve
pulse
fluid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2905283A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0313458B2 (ja
Inventor
Takahiko Takeuchi
武内 宇彦
Kiyoshi Hayashi
林 喜与志
Yasuo Shimomura
康雄 下村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Keiki Inc
Original Assignee
Tokyo Keiki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Keiki Co Ltd filed Critical Tokyo Keiki Co Ltd
Priority to JP2905283A priority Critical patent/JPS59155676A/ja
Priority to US06/576,924 priority patent/US4858103A/en
Priority to DE3404205A priority patent/DE3404205C2/de
Priority to GB8403139A priority patent/GB2136599B/en
Publication of JPS59155676A publication Critical patent/JPS59155676A/ja
Publication of JPH0313458B2 publication Critical patent/JPH0313458B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/41Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41298Stepping motor and control valve and power cylinder and mechanical feedback
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/41Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41303Flow rate valve controls speed

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
  • Magnetically Actuated Valves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 a、産業上の利用分野 本発明は、勺−ボ弁、比例制御弁等の流体制御弁による
流量または圧ツノ制御をテーブル情報を用い1cデジタ
ル設定パターンに従って制御するようにした流体制御弁
の制御装置に関する。
b、従来技術 従来、流体制御弁の制御は、制御弁に入力される電流や
電圧に対応した流体圧力や流量等を発生するアナログ方
式による制御が行なわれており、例えば第1図に示すよ
うな制御回路が用いられている。
第1図において、アンプA1は制御回路を設定するため
の回路であり、例えばスイッチSW1を閉じて可変抵抗
器VR1を変化させると、この変化に対応した電圧がア
ンプへ1より出力される。
アンプA2は]ンデンザc1と抵抗R1を供えたアンプ
A1よりの出力の急激な変化を滑らかにしたり、もしく
は抵抗R1を取り除いて積分器として動作させることに
より所望の電圧波形を発生し、図示しない電圧増幅器な
どにより増幅してサーボ弁もしくは比例制御弁等の流体
制御弁1に供給し、所定の制御特性が得られるJ:うに
弁を制御していた。
しかしイrがら、このような従来のアナログ制御回路に
あっては、時定数回路、ダイオード等の非直線素子を用
いて制御パターンに対応した信号波形を発生する電気回
路の設、計を必要とし、このため理想的な制御電圧波形
が得られなかったり、湿度やノイズの影響により安定性
に欠け、また微妙な制御パターンの調整がなかなかでき
ず、コスト的にも高価であるという問題点があった。
C1発明の目的 本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたも
ので、流体制御弁に対する制御パターンの設定が自由に
でき、かつ設定した制御パターンの修正、変更も自由に
行なえる制御M度および安定性の高い流体制御弁の制御
装置を提供することを目的とする。
C1発明の構成および作用 この目的を達成するため本発明は、サーボ弁、比例制御
弁等の流体制御弁の制御量に対応した制御パルス数をN
分割し、全区分のパルス数を積算した値が前記制御パル
ス数となるような分割パルス数を各分割区分毎にブロッ
ク単位で記憶した第1の記憶手段と、前記分割区分の各
々につい−Cの制御パルスのパルス間隔の設定により複
数種類の制御パターンをブ「jツク単位で記憶した第2
の記憶手段とを備え、指定されたai17御パターンど
制御パルス数に従っC第1の記憶手段の対応覆るブロッ
クの各分割区分にお(プる分割制御パルス数を第2の記
憶手段の対応するブロックの各区分にcljl)るパル
ス間閉籍従ってパルス発生器より発生し、この出力パル
スを弁の制御方向に応じ−Cフ7ツプダウン力ウつタで
加算または減算し、このカウンタのtll比出力デジタ
ル/′アナログ変換器でアナログ信弓に変換して流体制
御弁に供給するようにしたものである。
このような構成により、制御パターンの形を決定する第
2の記憶手段にパルス間隔をN分割した各分割区分につ
いてブロック単位で複数種類設定することで所望の制御
パターンを予め準備することができ、また実際の制御に
際しては、準備した複数vI!類の制御パターンの′中
から必要とするパターンと制御特性を指定してやること
で、あらゆる制御特性に対応した流体制御弁の作動制御
が可能となったものである。
e、実施例 第2図は本発明の一実施例を示したブロック図である。
まず構成を説明すると、1は流体制御弁11の制御ff
1Mを設定する制御量設定器、2は制御」設定器1で設
定した制御量Mに流体制御弁11を作動づるまでの制御
パターンの種類を指定するパターン設定器である。
制御量設定器1の出力は分割パルス発生器3には後の説
明で明らかにする設定制御量に対応したパルス数Mを、
例えばN=10分割した時の各分割区分におけるパルス
数nO〜nj9をACテーブル情報として記憶したメモ
リ3aを備えている。
一方、パターン設定器2の出力はパルス間隔発1器4に
供給され、パルス間隔発生器4には設定制muに対応し
たパルス数MをN−10分割し1;各分割区分の分割パ
ルス数nO〜n9の子れぞれに対応したパルス間隔T 
O〜T9をブロック単位で記憶したTSデープル情報を
備えており、パターン設定器2で設定した制御パターン
にの指定でメモリ4aに記憶した丁Sデープルのブロッ
クが読み串され、読み出されたブロックにおけるパルス
間隔TO−1−9を出力づ′る。。
この分割パルス数発生器3の出力はアップダウンカウン
タを用いたACカウンタ5に与えられ、ACカウンタ5
には分割パルス数発生器3におけるメモリ3aのACテ
ーブルから読み出した分割パルス数n o−n 9が順
次プリセラ1〜され、後の説明で明らかにするタイ77
よりのパルスを計数し、ブリセラ1へした設定計数価n
に達すると次段のPRカウンタ6に係数出力を生ずる。
PRカウンタ6はメモリ3a、4aにおけるデープル情
報の分割数N =”1 ’Oを計数した時に出力して分
割パルス発生器3及びパルス間隔発生器4にリセットを
か【プる機能を有する。
一方、パルス間隔発生器4の出力はタイマ7に供給され
、タイマ7はパルス間隔発生器4より出力されたパルス
間隔Tnに基づくパルス間隔をもった一定パルス幅の制
御パルスを出力する。
タイマ7の出力はマルチプレクサ8に供給され、マルチ
プレクサ8には分割パルス数発生器3より流体制御弁1
1の制御方向を決める信号が供給され、この制御方向を
決める信号に基づい゛C流体制御弁11の制御量を増加
する時にはCWパルスとしてタイマ7よりのパルスを出
力し、又、流体制御弁11の制御量を減らす時にはCC
Wパルスとしてタイマ7よりの制御パルスを出力する。
9はマルチプレクサ8より出力される制御パルスを計数
するアップダウンカウンタであり、流体制御弁11の1
00パーセンl〜の制御単相当するパルス数の計数でフ
ルカウントに達し、マルチプレクサ8よりのCWパルス
で加算カウントを行ない、又CCWパルスで減算カラン
]〜を行なうようにしている。
このアップダウンカウンタ9の目数出力はディジタル/
アナログ変換器10に供給され、カウンタ計数値となる
ディジタルデータをアナD tj電j1信号又はアナ目
グ電流信号に変換し、流体制御弁11の制御(FI Q
として供給している。
ディジタル/アナログ変換器10よりの変換信号により
制9:1される流体制−御弁11としては例えばサーボ
弁が用いられ、ディジタル/アブログ変換器10よりの
電■信号若しくは電流信号となる電気入力に応じたトル
クモータの作動でフラッパノズルの絞り月を変え、スプ
ール弁等の作動により流体圧力若しくは流量を電気入力
に応じて制御するようになり、電気入力に対し流体制御
ブ゛r11自体で機械的なフィードバック系を備えてい
る。
次に分割パルス数発生器−3に設けたメモリ3aに記憶
されるACテーブル情報及びパルス間隔発生器4のメモ
リ4aに記憶されるTSテーブル情報について詳細に説
明する。
第3図は第2図の実施例におけるAC及びTSテーブル
情報の原理を示した説明であり、縦軸に制御パルス数を
示し、又横軸にパルス間隔を示している。
まず、縦軸に示す制御パルス数Mは、流体制御弁11の
制御量に対応しており、この制御パルス数Mを例えばN
−10分割し、各分割区分毎に分割パルス数n Q−n
 9を定めると、両者の交鎖領域となる斜線部で示す領
域での制御特性が個別に設定出来、その結果分割パルス
数とパルス間隔に基づいた流体制御弁の流体特性は斜線
で示す各・区分の制御特性を連続的につなげた折れ線近
似をもって実現することが出来る。
この第3図に示す分割パルス数及びパルス間隔の設定に
ついて分割パルス数nQ〜n9がACデープル情報とし
ηメモリ3aに記憶され、又パルス間隔TO〜]−5)
が丁S7−プル情報としてメーしり4aに記憶される。
更に分割IJパルス% n Q 、〜n9をへ1ブロツ
クとしたA Cテーブル情報については流体制御弁11
の最大制御品に対応した最大パルス数が予め定まってい
ることから、例えば最大パルス数を255パルスとする
とパルス1からパルス255までの255個の制御パル
ス故についてそれぞれN−10分割した255種類のブ
ロックをACテーブル情報どしてメモリ3aに記憶させ
る。一方パルス間隔To−T’(を記1危したTSテー
ブル情報については、希望する制御パターンに応じたパ
ルス間隔の設定を無限に行なうことが出来、実用的には
必要とする複数の種類のパルス間隔TO〜T9のブロッ
ク数をbつ(記憶さμmでいれば良い。
更に、具体的に説明するならば、ACテーブル情報とは
制御パルス数M分1割数N=10で割算した値(M’/
N)を10個のアドレスAO−A9に記憶したテーブル
情報となる。例えば設定制御パルス数をM−20とする
と、M/N=20/10−2となり、10個の記憶アド
レスAO−A9にはnO〜n9−2となる分割パルス数
を記憶すれば良い。
ところが、節制した制御パルス数Mが例えばM=32で
あったとすると、M/N=32/10’=3余り2とな
り、同じ分割パルス数n =3では余り2が生じ、設定
パルス数M−32に達することが出来ない。そこで分割
数N=10に対し余りが生ずる場合には、例えばパルス
数もM−32については32=3X8+4X2とするこ
とで10アドレスにはn=3を記憶し、残りの2アドレ
スにはn=4を記憶し、分割数Nによって設定はパルス
数Mに余りが生じても分割パルス数の積算値nO+n、
1・・・すn9が設定パルス数Mとなるように各分割パ
ルス数n○〜n9の値をふり分りる。
第4図は本発明で用いるACテーブル情報の一例を示し
た説明図であり、この実施例では流体制御弁の最大制御
量に対応したパルス数を255パルスとした場合を例に
と)でおり、設定制御M −=1(0,003バーセン
1〜)からM−2b5(100パーレントー)の範1川
についてAC−1・・−255で示す255ブロツクと
なるACCテーブル情報予め記憶しており、第2図に示
したfl+lJ ll1ll 、15M設定器1による
制御量の設定で対応したプ[1ツクが選択される1゜ 第5図は本発明に用いる]S−アーブル情(・1jの一
実施例を示した説明図であり、この実施例り゛(J、−
IS〜31 C示′?I’ 3’ 1グロツク、即ら3
1 +jli類の制御パターンが8己1息されT A3
つ、プロ・ンクK(ご代表して示すJ、うに10分割さ
れた1ブロツクの1アドレスのAO〜△9にはパルス間
隔TO−T9が記憶され、他のブロックについて示Jに
うに、このパルス間隔Tnは10μsec単位として記
憶されている。
この第4.5図のAC及びTSテーブルから明らかなよ
うに、本発明による流体制御弁の制御は、第4図のブロ
ックM及び第5図のブロック1〈が指定された場合を例
にとると、まず第1回目はパルス間隔Toとなるパルス
を01個発生し、最終的にパルス間隔T9となるパルス
をn99個発生ることで指定した制御パターンに従って
設定制御量Mに作動する流体制御弁の制御が実現される
次に第6図のプログラムフローを参照して第2図に示し
た実施例の動作を説明する。
まず、制御量設定器1の操作で制御fiMを設定し、合
せてパターン設定器2によりメモリ4aのTSテーブル
で準備されている中から希望する制御パターンKを選択
して設定する。このように、制御ff1M及び制御パタ
ーンKが設定されると、ブロックaにおいて制御IM及
び制御パターンKがに売み込まれ、ゾロツクbに進/V
で−PRカウンタ6をPR−0にプリセラ1〜し、ブロ
ックCでメモリ3aに記憶したACう゛−プルのブロッ
クM及びメモリ4aに記・臆したTSデープルのブロッ
クKを選択ゴる。続い−C、ブロックdで指定したブロ
ックMの第1アドレスAOに記憶している分割パルス数
n Qを△CノJウンタ5にプリセットし、次のブロッ
クeでI’ S j−−プルについて指定したブロック
1〈のアドレスAOに記憶しているパルス間隔Toをタ
イマ7にセラ1〜する。このようにパルス間隔T’ O
がセラ1〜されlこターイマ7はブロックbに示すよう
に、パルス間隔Toと%る一定パルス幅の制御パルスを
順次発生し、フルブプレク→ノ8に供給する。マルチプ
レクサ8には分割パルス数発生器3にり流体制御弁の制
御方向を示す信号が与えられてJ5す、例えば制御量を
増加させる信号が向えられている時にはタイマ7よりの
制御パルスをCWパルスとしてとしてアップダウンカウ
ンタ9に供給し、アップダウン・カウンタ9において制
御パルスの加算カウントが行なわれる。
このアップダウンカウンタ9による制御パルスの計数値
はディジタル/アナログ変換器10でアナログ゛信号に
変換され、流体制御弁11に対しカウンタ計数値の増加
に対応した電圧又は電流を供給し流体圧力若しくは流量
を制御する。
一方、タイマ7よりの制御パルスは同時にACカウンタ
5に供給されており、タイマ7より制御パルスが出力さ
れるごとにブロックQに示すようにACカウンタ5がイ
ンクリメントされ、次の判別ブロックhにおいてブロッ
クdでセットした分割パルス数noに一致するかどうか
を判別し、一致しなければブロックdに戻って同じパル
ス間隔Toで次のパルスを出力する。
従って、ブロックb−hにおいてはACカウンタ5にブ
ロックdでセットされた分割パルス数noに一致する数
の制御パルスがタイマ7より出力されるまでターr77
による制御パルスの出力を繰り返す。
続いて、タイマ7より出力しtc制御パルスの数がAC
カウンタ5にセットしlζ分割パルス数nQに一致する
と、判別ブロック1)からブロックiに3i/υてPR
カウンク6がインクリメン1−される。
続いて、判別ブロックJでPRカウンタ〔5の泪数値が
分割数N=”IQに一致づ゛るかどうかを判別し、PR
カウンタ6の泪数値が10未満の11,5に(ユ制御コ
11の途中であることからブロック1(に進んて]71
〜レス△をインクリメジ1−シ、プ[]ツクdに戻って
一グロックMにJ3Gノる次のアドレスA1の分割パル
ス数1)1を△Cカウンタ5にレットづると共にブ1−
1ツク1〈(こお(プるンアドレスΔ1のパルレス間隔
丁1をタイマ7にセラ1〜し、同様にブ1コックり〜、
11てバルズ間昭1−1と/する制御パルスをタイマ7
にJ=: 7゜て1)1飼冗生する。。
以下、同)コ1に各テーブルのブ[1ツクM、Kにおけ
るアドレスA2〜A9に、基づいたタイマよりの制御パ
ルスの出力が行なわれ、アドレスA9による制御パルス
の出力が終了するとP Rカウンタ6の計数値が10と
なることから、これが判別ブロックJで判別されテーブ
ル情報に基づいた流体制御弁の制御を終了する。
尚、上記の実施例は分割数Nを10分割とした場合を例
にとるものであったが、制御精度を高めたい時には更に
分割数を増加すれば良く、又制御精度がさほど要求され
ない時には10分割以下とすれば良い。
又、流体制御弁の最大制御量に対応したパルス数を25
5パルスとした場合を例にとるものであったが、流体制
御弁の分解能に応じて適宜のパルス数を定めることが出
来る。又、TSテーブル情報として設定づる制御パター
ンの種類については上記の実施例の31種類に限定され
ず、メモリ容量の許す範囲で無限に制御パターンの種類
を設定することが出〉kる。
更にACデープル情報にあっては流体制御弁の分解能に
応じて愚人パルス数が決まることから装置の製Z5時に
おい(△Cフーブル情報をメモリに固定的に記憶させで
いるが、パルス間隔の指定により作り出されるTSテー
ブル情報を記憶したメモリについてTJユーザが利用J
ることの出来る空きエリアを残しておき、実際に装置を
使いながらユーザーサイドにおいて必要となる流体制御
弁ののI!lりVパターンを任意に作成し又、修正変更
できるようにしてJ′3りことが望ましい。
f9発明の効果 次に本発明の詳細な説明するど、流体制御弁の制御向に
対応した制御パルス数をブロック単位で記憶した第1の
記憶手段と、前記分割区分の分割パルス数に対応したパ
ルス間隔をブロック単位で複数種類の制御パターンにつ
いて記憶した第2の記憶手段を備え、制御パルス数及び
制御パターンの指定で各分割区分のパルス間隔に従って
対応する分割区分の分割パルス数となる制御パルスを順
次発生し、この制御パルスを流体制御弁の制御方向に応
じて加算若しくは減算し、カウンタ計数値をデジタル/
アナログ変換器によりアナログ信号に変換して流体制御
弁に供給するようにしているため、制御負荷に応じた流
体制御弁の制御特性をテーブル情報の作成及び作成した
テーブル情報の指定で自由に作り出すことが出来、どの
ような形の制御パターンであってもなんらの制約も受け
ること無く簡単に実現することが出来る。。
又、アナログ的な制御波形はデジタルデータに基づいて
繰り出されていることから、温度やノイズの影響をほと
んど受けること無く、従来のアナログ制御装置に比べて
制御精度及び安定性を大幅に向上することが出来る。
更に流体制御弁の制御分解能は制御ll量を決める制御
パルス数により一義的に定まり、分解能に対応したパル
ス数が増加しでも制御パルスを発生するパルス間隔を短
くすることで極めで高い制御応答性を実現することが出
来る。
【図面の簡単な説明】
第1図は1に來例を示した回路図、第2図は本発明の一
実施例を示したブ[]ツク図、第3図はテーブル情報の
原理説明図、第4図はA Cy−プル情報の一例を示己
た説明図、第5図はTSテーブル情報の一例を示した説
明図、第6図は第2図の実施例の動作を示した70−ヂ
ャ−1〜図、第7図は本発明によるデジタル及びアナロ
グ制御出力の一例を示したタ?ムヂト−1〜図である。 1:制御」設定器   2:パターン設定器3:分割パ
ルス数発生器 4:パルス間隔光−ト器 3a 、 4a  :メし一す  5:ACカウンタ6
 : 1.) Fでカウンタ   7:タイマ8:フル
チプレクリ。 9ニアツブダウンカウンタ 10:ディジタル/アナログ変換器 11:流体制御弁 特許出願人   株式会社東京計器 代理人 弁理士  前向 進 第5図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 サーボ弁、比例制御弁等の流体制御弁の制御弁に対応し
    た制御パルス数をN分割し、全区分のパルス数を積紳し
    た値が前記制御パルス数となるような分割パルス数を各
    分割区分毎に記憶した記憶ブロックを有し、該記憶ブロ
    ックを流体制御弁の最大制御パルス故に対応するブロッ
    ク数ふん記憶した第1の記憶手段と、 前記分割区分の各々についての制御パルスのパルス間l
    Ii+の設定ににり複数種類の制御パターンをブロック
    単位で記憶した第2の記憶手段と、指定された制御パタ
    ーンと指定きれ、゛こ制御パルス数に従って前記第1の
    記憶手段の対応するブロックの各分割区分におりる制御
    パルス数を前記第2の記憶手段の3・]応するパターン
    ブロックの各分割区分におけるパルス間隔で順次発生す
    るパルス発生器と、 該パルス発生器より出力されたパルスを指定された制御
    方向に応じて加算または減算する計数手段と、 該計数手段の計数出力をアナログ信号に変換して流体制
    御弁に供給するデジタル/アナログ変換器とを備えたこ
    とを特徴とする流体制御弁の制御装置。
JP2905283A 1983-02-07 1983-02-23 流体制御弁の制御装置 Granted JPS59155676A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2905283A JPS59155676A (ja) 1983-02-23 1983-02-23 流体制御弁の制御装置
US06/576,924 US4858103A (en) 1983-02-07 1984-02-03 Fluid valve control system for controlling fluid pressure or flow
DE3404205A DE3404205C2 (de) 1983-02-07 1984-02-07 Steuereinrichtung für ein Flüssigkeitsventil
GB8403139A GB2136599B (en) 1983-02-07 1984-02-07 Controlling device for fluid valve

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2905283A JPS59155676A (ja) 1983-02-23 1983-02-23 流体制御弁の制御装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59155676A true JPS59155676A (ja) 1984-09-04
JPH0313458B2 JPH0313458B2 (ja) 1991-02-22

Family

ID=12265603

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2905283A Granted JPS59155676A (ja) 1983-02-07 1983-02-23 流体制御弁の制御装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59155676A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007177818A (ja) * 2005-12-27 2007-07-12 Smc Corp 電磁弁駆動制御装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007177818A (ja) * 2005-12-27 2007-07-12 Smc Corp 電磁弁駆動制御装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0313458B2 (ja) 1991-02-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0124373B2 (ja)
JP2667388B2 (ja) 自動電力制御装置
JPS62192810A (ja) 可動弁を備えた一定断面のゲ−トを横切る流体の音速および亜音速状態での流量制御法
JPS59155676A (ja) 流体制御弁の制御装置
US4381526A (en) Velocity control system for a data storage apparatus
JPH01238309A (ja) 利得制御回路
JPH0132414Y2 (ja)
JPS5819201B2 (ja) 検出部の出力信号を直線化する回路装置
EP0656542A2 (en) Impedance synthesizer
US4144753A (en) Circuit arrangement for determining physical parameters of flowing media by the ultrasonic method
US3681581A (en) Digital control and information system
JPH06502722A (ja) 多機能調節機構を有するトランスミッタ
US4651027A (en) Current-to-frequency converter
JPS6076796A (ja) 楽音生成装置
JP2969894B2 (ja) アクティブ測距装置
JPH0326402B2 (ja)
JPS6213146Y2 (ja)
JPS6323487B2 (ja)
SU1013869A1 (ru) Устройство дл формировани напр жени ,пропорционального логарифму интервала времени
JPH0359389B2 (ja)
JPS6117435Y2 (ja)
SU1700716A1 (ru) Устройство дл фазового управлени преобразователем
JPS60258603A (ja) プログラム信号発生装置
SU771671A1 (ru) Цифровое устройство дл воспроизведени кусочно-линейных функций
JPS5850259Y2 (ja) プログラムメ−タ