JPS62192810A - 可動弁を備えた一定断面のゲ−トを横切る流体の音速および亜音速状態での流量制御法 - Google Patents

可動弁を備えた一定断面のゲ−トを横切る流体の音速および亜音速状態での流量制御法

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JPS62192810A
JPS62192810A JP62030716A JP3071687A JPS62192810A JP S62192810 A JPS62192810 A JP S62192810A JP 62030716 A JP62030716 A JP 62030716A JP 3071687 A JP3071687 A JP 3071687A JP S62192810 A JPS62192810 A JP S62192810A
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フランシス・キユニイ
ユーグ・ヴエルメイル
ジヤン・アルノール
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LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
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Air Liquide SA
LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、可動弁を備えた一定断面のゲートを横切る流
体の音速および亜音速状態での流量制御法にして、ゲー
ト上流の流体の圧力P上流およびゲート下流の流体の圧
力P  、ならびに弁の位下流 置dを測定し、次に流体の流量Q実をHI算し、それを
規定値Q0 と比較して、その差Q実 Qoの信号が望
ましい方向への弁の移動を命令する方法に関するもので
ある。
本発明は、また、当該方法を用いるための装置にして、
中断なしに音速状態にもまた亜音速状態にも利用し得る
装置に関するものである。
ヨーロッパ特許出rIa86,259号明細書から、上
流の圧力が支配する上流チャンバーから下流の圧力が支
配する下流チャンバーの中へ流れ込むガスが横断するオ
リフィスを有し、当該オリフィスが多少とも電気的に制
御される可動弁によって塞がれる気体流量信号発生装置
は、既に知られている。この弁は、その位置によって決
まる一定面での気体の通過を可能にする。この位置を測
定して第1の電気信号を得、また上流の圧力と下流の圧
力の差を測定して、この圧力の差を表わす電気信号を供
給する。これら2つの信号は、計算のための電気回路の
2つのそれぞれの入力にあたえられ。
それにより回路の出力には、気体の有効流量に対応する
信号が供給されることになる。この最後の信号を規定信
号と比較して、そこからエラー信号が得られる場合には
、それを用いて一定の方向での弁の変位の制御が行われ
る。
アナログ・システムについても、SIEMEN、7S−
ZETTSCllRIFT、第41巻第8号1967年
8月、692〜695ページ、エルランゲン;クルト・
工ヴエ著: rきわめで大きい面積の貫流のjlす定・
調整装置としての断面オリイフス用スライダーの運用試
験」、およびREGELUNGS−TECI(INIS
CIIE PRAXIS、第19巻第4号1977年4
月、M17−M20ヘーシ、ミュンヘン在G、シュトロ
ーマン著:r M S Rの諸isの解決」の中にも記
述されている。
C0NTR0L ENGINEERING、第10巻第
9号1963年3月、101〜105ページ、ニュ・−
ヨーク(tJsA)、G、バーター著: 「気体の流れ
の制御:新しい視点」の中には、ゲートに対する流体の
上流および下流の圧力ならびに流体の上流の温度を測定
し、また、一定の断面を有するゲートの可動弁の位置も
測定して行う流体の流量制御システ11が記述されてい
る。このシステ11では、」−記の測定によって得られ
た4つのデータが計算機に送られ、計算機が、流体の流
れの条件(音速状態または亜音速状態)に応じて、当該
論文の中にあたえられている方程式を用いてゲー1〜を
横切る流体の実流量を計算し、その結果、計算機が発す
る信号が規定値と比較され、その比較の結果量されるエ
ラー信号によって、可動弁が望ましい方向に動かされる
ようになっている。
このようなシステムは、高い性能をもっているが、中に
用いられる手段がとくに実現が困難であることが明らか
にされている。実際、用いられる計算機は、まず第1に
、どのような状態(音速状態かあるいは亜音速状態か)
を明らかにし、次にいずれかの場合において対応する方
程式を用いて得られるパラメーターの函数として流量を
計算しなければならない。次に、得られた値が、測定値
を有する弁の位置での在来の自動制御システムにもとづ
く規定値と比較される。したがって1例えば、気体が同
じで利用条件が同じ場合でも、計算機は流量の計算シし
直さなければならないことになり、その結果、同じ操作
を無制限に繰り返さなければならない。
本発明にもとづく方法は、流量の計算方法をかなり単純
化し、それによって中に用いられる手段もかなり単純化
できるようにするものである。
本発明は、流体の流量が、音速状態あるいは亜音速状態
のいずれにある場合でも、音速状態での流量値に対応す
る値を計算し、次に気体の流れの状態が亜音速状態であ
ることが明らかにされた場合には、その計算値に補正係
数をかけることによって得られるという事実にもとづく
ものである。
本発明の基礎となる考え方は、まず、流体の流れが、計
算の容易な音速状態にあると仮定して、ゲートを横切る
気体の流量を、弁の位置および流体のゲー1への上流の
圧力の函数として計算するということで成り立っている
。次に、流体の下流の圧力と1−流の圧力を比較して、
流れが音速状態にあるか亜音速状態にあるかを判定する
。流れが音速状態にある場合は、流量はすでに計算ずみ
である。流れが亜音速状態にある場合は、音速状態での
流量の値にメモリの中にあらかじめ貯える補正係数を乗
じる2このメモリのアドレスは、流体の上流の圧力と下
流の圧力の間の比と1対Jの対応をなす函数である。
本発明にもとづく方法は、まず、Kが流体の温度とゲー
トの断面積によって決まる定数とした場合に、流体の流
れが音速状態であるときの流体の実流量を表わす積Q、
速= K X P上流×dを求めて流量Q実を計算し、
次に、上流の圧力P上流を下流の圧力P下流と比べで、
流体が音速状態にあるか、あるいは亜音速状態にあるか
を明らかにするが、そのとき、流れの状態が音速であれ
ば流量Q音速は実流量を表わすのに対して、その流れが
亜音速であれば値Q音速に補正係数を乗じて実流量Q実
を得ることを特徴とするものである。
望ましくは、亜音速状態での補正には5次の式で表わさ
れる気体の流れの法則を用いた系を利用する。すなわち
、 式中、P上流/P下流が変化したとき根がとるさまざま
な値は、不連続な方法で並べられ読取り専用メモリまた
はプログラムし得る読取り専用メモリ(ROMまたはE
PROM)の中に整理して貯えられる。
1つの望ましい実施形態の変形にもとづけば、上に示し
た根の値は、Bをあらかじめ定められた係数とした場合
、P上流/P下流XBに等しいアドレスを有するメモリ
区画から直接量される。もちろん、この係数の値が使用
可能なメモリ区画の数に左右されることはいうまでもな
い。とくに。
P   /P   が1に等しいか、あるいは1より上
流  下流 大きいという事実(なぜなら、この条件が満たされなけ
れば、望ましい方向への流れは存在しないことになる)
を考慮すれば、係数Bは、利用される最初のメモリ区画
を表わすものとなろう6気体の流れが、有効断面Sの管
路を通って行われるときには、気体の流量は、上流の(
絶対)圧力と下流の(絶対)圧力の比 X=P上流/P下流定臨界値 γ より大きい場合、気体の流量は気体の下流の圧力には左
右されない。ただし、一定圧力および一定容積での比熱
の比を この場合、音速での管路を通る気体の流量は、次の式で
表わされる。
この条件では、気体の流れは音速状態にある。
ただし、Kは測定システムの形状によって決まる係数、
Tは絶対温度、Mは気体の分子量である。
圧力の比が臨界値Xcより小さくなった場合、同じ管路
の中の亜音速での気体の流量は、下の式%式% XがXcより小さければ、状態は、亜音速である。
X=Xcならば、g(γ、X)=1であることを確認す
る。
上に示した亜音速状態での式から亜音速状態での流量が
、音速状態での流量の値に補正係数g(γ、x)をかけ
たものであることが良くわかる。
本発明は、以下の実施例を用いた説明により良く理解さ
れよう。ただし、これらの例が本発明の範囲を限定する
ものでないことはいうまでもない。
第1図には、本発明にもとづくシステムが図式的に示さ
れている。流量を調整する必要のあるゲート1は、ゲー
ト1の可動弁の変位を測定する変位ピックアップ4.な
らびにゲート1の上流の圧力を測定する圧力ピックアッ
プ2に接続されている。ピックアップ2および4から発
される電気信号は1乗算回路40に送られ、この回路は
、信号Q=KxS×P上、を送り出す・この信号は・音
速状態での気体の流量値を表わし、装置20によ・て表
示される・この流量Q音速の測定値は・回線39によっ
て(AとBの間の実線の接続を経由して)比較回路8へ
送られ、この回路は、この測定値を規定値VGCと比較
し、増幅器8によって送られるエラー信号は、(38、
を経由して)作動装置10へ送られ、この装置がゲート
1の弁に機械的に作用して(通常の調整の原理に基づい
て)望ましい方向での流量の変化を生じさせる。本発明
にもとづくこの補正装置は、気体の流れが亜音速になっ
たときには計算した流HQ 音速に補正係数をかける機
能をもつもので1図には記号12で示されており、線3
9上でAとBの間に挿入される(この場合には、AとB
の間の実線で示した接続はなくなる)。この装置12は
、記号:37のついた点線で示された管路によって装置
12へ送られてくるゲート下流の気体の圧力を測定する
圧力ピックアップP  を含んでいる。装置12は、ま
下流 た、Cに挿入される電気接続36を経由して上流の圧力
Pの情報も受けとる。第1図の装置は、また乗算回路1
]−も含んでいて、流量Qはその中へ送られて規定値γ
と比較されることに注意する必要がある。この規定値は
酸素ガスの流量を燃料ガスの流量で割って得られる比で
ある(これら2つのガスが例えば酸素可燃ボイラー中に
用いられる場合)。もちろん、本発明を流量ゲート】の
調節にのみ用いるときには、この乗算回路11を省くこ
とができる。
第2図は、第1図のとくに装置12に関する部分をより
詳細に示した図である。この図でも、第1図と同じ構成
要素は同じ参照番号で示されている。+’+慎Aでの流
量の計算値Qは、ディジタル・アナログ乗算コンバータ
ー7へ送られる。管路;37(点1))は、ゲート下流
の気体を、参照番″i’!、 :3で示された圧カビツ
クアップP下流へ導く。このピックアップ3は、下流の
気体の圧力に応じた′f電気信号回路9へ送り、また、
この回路のもう1つの人力は、ゲートの上流の気体の圧
力に応じた電気信号を受信するようになっている。装置
っけ、除算器で比P上流ZPFdとを求め、この比に応
じた電気信号をディジタル・アナログ・コンバーター5
へ送る。このコンバーターは、P −b a /P下流
アナログ信号を、  (ROM=読取り専用型の)メモ
リ6のメモリ・アドレスに対応するディジタル信号に変
換する。例えば、128のメモリ区画を用意した場合、
コンバーターは○から127までいずれか1つの信号を
送って、メモリ6のメモリ区画の1つにアクセスできる
ようにする。
メモリが2nのメモリ区画をもっている場合には、コン
バーター5は、P上流/P下流の信号をOから2n−1
までの間に含まれる1つの数値に変換することになる。
コンバーター5は、電気的にメモリ6に接続されており
、それによって既に説明したようにこのメモリの区画の
いずれか1つにアクセスできる。そのメモリ区画が作動
状態になると、その内容がディジタル・アナログ乗算コ
ンバーターである回路7へ送られる。すなわち、メモリ
7の内容は、まず補正係数の値を表わすアナログ信号に
変換され1次に前記装置7が点Aを経由して送られてき
た流量Q音速とメ1リカ゛ら出された補正係数の積をア
ナログの形で演算し、その大きさがゲートを通る実際の
値を表わすアナログイカ号を送り出す。この流量は、表
示のために装置21へ送られ、また増幅器8へ送られ、
この増幅器は、既に述べたようにこの計算値を規定値と
比較して、作動袋に10に作用し、この作動装置がゲー
ト1の弁の望ましい方向への変位を命令することになる
第3図は、例えば燃料と酸素の流量の調節を必要とする
酸素可燃ボイラーに用いる場合の応用例の略図を示した
ものである。この第3図で1図の上の部分は、第2図の
図式と同じであり、下部もほぼ同じであることがわかる
(上半分の構成部分に対応する下半分の構成部分には、
上半分の数字の前に1を付けたものが示されている)。
燃料ガスのゲート1の中で測定された流量は、乗算回路
11へ送られ、この回路は、燃料/酸素ガスの流量比を
表わす規定値γに応じて、増幅器108に規定信号VC
2を送る。この信号は、酸素用ゲート101の酸素の流
量に関する規定値を表わす。この図式図に示されている
回路全体の機能は、前に述べたものと同じである。
第4図は、その弁の変位が圧力ピックアップ4によって
測定されるゲー1へ1をもつ第1図の方式の応用例を示
したものである。この図に用いられている3つの圧力ピ
ックアップ、すなわちピックアップ2,3、および4は
、いずれも同種のもので、セラミックの膜のLにセリグ
ラフィー法(肉厚堆積法)によりゲージ・ブリッジを取
り付けたもので構成される圧力セルである。膜は、セラ
ミックの底抜上に、ガラスを用いて、高温ではめ込まれ
る。応力用ゲージ・ブリッジには、ブリッジの2つの端
部の間に電力が供給され、他の2つの端部では、ピック
アップ上に加えられる圧力がピックアップの部品の抵抗
を変えるために圧力に応じて変化する電圧が測定される
。これにより、作動装置10の作用により、軸棒63は
上または下にずれ、それとともに弁65を動かし、弁が
多少とも弁座66から解放されて、図の矢印で示した方
向のガスの流量を調整するようになる。弁65が変位し
たとき、弁は、つめ68と連動するフランジ62上に支
えられたスプリング69を作動し。
つめ68は、圧力ピックアップ4上に支えられるように
なる。弁65が(図で)下へ動くと、つめ68がピック
アップ4にかける圧力が増大し、それによってゲージ・
ブリッジ4の抵抗を変える。
同様にして、弁65が上へ動くと、つめ68の圧力が1
経減され、それに応じてゲージ・ブリッジ4の抵抗が変
化する。ピックアップ4から出される圧力P上流の値を
示す電気信号は、ピックアップ4の電源端子へ送られ、
その出力端子上で圧力P上流と弁の変位dの積に比例す
る電気信号を生成する。なお、この比例係数はKで表わ
される。
(この値は、圧力および電源電圧に比例した出力信号を
送るために用いられるゲージ・ブリッジ式圧力ピックア
ップに固有のものである)。
既に述べたように、この情報は、装置12の入力Aを経
由して、装置7へ送られ、この装置は、下記の信号を送
出する。
Q=K (P上流)XDXfXg (これらの各種記号の意味については既に述べたものを
参照のこと)。
第5図は1本発明にもとづく装置の機能に適合させたピ
ックアップ2,3、および4の制御用電気回路の詳細を
示した図である。圧力P  のピ上流 ツタアップ2は、ブリッジに組み立てた4つの抵抗で図
式的に示されている。電源電圧VCは点P工□に加えら
れ、一方ブリッジのP□1に向い合った点P1□は、操
作増幅器A□の出力に接続されており、この増幅器の+
はアースされている。この増幅器の−はブリッジの入力
P工、に接続されており、また、その反対側の入力P工
、は、電気信号σ×P上流×Voを送り出す。(σ=ニ
ブリッジ感度)この信号は、一方ではコンパレーター増
幅器A2の入力子へ、他方ではコンパレーター増幅器A
、の入力子へ送られる。このコンパレーター増幅器A、
は、アースとA3の出力の間で分岐された抵抗R1とR
2のブリッジを用いて在来の方法で組み立てられており
、その共通の点は入力−に接続されている。増幅器A3
の出力は、入力P、1を介して圧力ピックアップ4に接
続されており、その反対側の入力P32は、増幅器A4
の出力に接続されており、またその士はアースされてい
る。一方、A4の−は、ブリッジ4の入力P1.に接続
されており、その反対側の入力Pff4は、電気信号を
増幅器A5の入力子へ送る。抵抗R3、R4のブリッジ
は、その入力−と出力の間に接続されている。
このコンパレーター増幅器Asの出力は、信号K×P上
流xDをディジタル・アナログ乗算コンバーター7へ送
る。さらに、増幅器A2の出力は、下流の圧力ピックア
ップ3の入力P21に接続され。
その反対側の入力P2□は、増幅器A6の出力に接続さ
れており、その+はアースされ、またその−はピックア
ップ3の入力P24に接続されており。
またその反対側の入力P2.は、それ自身A2の負の入
力に接続されている。これにより、増幅器A2の出力は
、アナログ・ディジタル・コンバーター5の入力へ信号
P上流/P下流を送るが、これは、ピックアップ3がR
2,とR24の間の出力から、一方では流体の下流の圧
力に比例し、他方ではR2,とR2,の間の電源電圧に
比例する信号を送り出すためである。コンバーター5は
、ある基準値を備えており、現在の例では2V、に等し
い。
実際、P上流/P下流がほぼ2より大きいときには、流
れは音速状態になり、この条件のもとでは補正係数Gは
1に等しい。したがって、以下に示す方法で、簡単に、
亜音速状態での流れを音速状態の流れに変えることがで
きる。P上’d+ε/P下Jεは、常に1よりおおきい
か等しいので積P上流/P下dLXvoは常にVCより
大きい。アナログ・ディジタル・コンバーター5の入力
での基準値が2v0であることを考えれば、このコンバ
ーターは、Oと2VoO間に含まれるすべての入力アナ
ログ値を数値に変えることがわかる。現在の応用例では
、コンバーターの入力には、0とVCの間のいかなる値
も存在しない。そのことから、メモリR○M6の中の対
応するすべてのメモリ区画も用いられないことになる。
voと2Voの間の各位は。
乗算比P   /P   の処理後、コンバーター5上
流  下流 を用いて数値に変換される。voと2V、の間に20の
メモリ・レベルを設けるとすると、2つの連続する2つ
の測度の間のレベルは、ゼロを除いて1/2nより小さ
くなることはあり得す、また得られるものは、丸めて、
最も近いそれより小さい値かそれより大きい値にされる
。第5図の装置には、また、気体の切替スイッチ400
が含まれている。また実際、一定数の気体を用いること
ができる。図に示した例では、切替スイッチ400によ
って、8種の気体の中から1つを選ぶことができる(3
ビツトによる選択)。このようにすれば、一方では気体
のセレクターによってあたえられた3ビツトから、他方
ではコンバーター5によって送られてくるビット数(例
えば」二に示した例では8)によってアドレスするメモ
リを用意することが必要となり、したがって、適用され
る補正係数は、11ビツトのアドレスをもつことになる
(16にビットのメモリの場合)。コンバーター7へ送
られる補正係数は、8ビツトの信号の形をとり得るが、
この信号は、既に説明したようにコンバーター7で変換
された後、コンバーター7が信号Q=K×P上、δXD
XfXgを送ることを可能にする。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明にもとづく方法の実施形態を図式的に
示した図、 第2図は、第1図の図式を詳細に示した図、第3図は、
a濃燃料式バーナーの調節への応用例。 第4図は、ゲージ・ブリッジ式圧力セルを利用したシス
テムを有する実用的な実施例を示したもの。 第5図は、第4図に示したゲージ・ブリッジ式セルの制
御用電気回路を示したものである。 1、、、、ゲート、2,3,4.、、、圧力ピックアッ
プ。 5.6,7.、、、補正手段、8.、、、比較手段、9
 、、、、除算器、10.、、、作動装置。 FIG、I IG2

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、可動弁を備えた一定断面のゲートを横切る流体の音
    速および亜音速状態での流量制御法にして、ゲート上流
    の流体の圧力P_上_流およびゲート下流の流体の圧力
    P_下_流、ならびに弁の位置dを測定し、次に流体の
    流量Q_実を計算し、それを規定値Q_0_Oと比較し
    て、その差Q_実−Q_0の信号が望ましい方向への弁
    の移動を命令する方法において、まず、Kが流体の温度
    とゲートの断面積によって決まる定数とした場合に、流
    体の流れが音速状態であるときの流体の実流量をあらわ
    す積 Q_音_速=K×P_上_流×dを求めて流量Q_実を
    計算し、次に、上流の圧力P_上_流を下流の圧力P_
    下_流と比べて、流体が音速状態にあるか、あるいは亜
    音速状態にあるかを明らかにするが、そのとき、流れの
    状態が音速であれば流量Q_音_速は実流量Q_実を表
    わすのに対して、その流れが亜音速であれば値Q_音_
    速に補正係数を乗じて実流量の値Q_実を得ることを特
    徴とする方法。 2、適当な補正係数は、そのアドレスが測定値P_上_
    流/P_下_流の函数であるメモリ区画の中から選ばれ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の方法
    。 3、実流量の計算段階が、比R=P_上_流/P_下_
    流の測定によって行われること、それをあるあらかじめ
    定められた値R_0と比較し、積Q_音_速=K×P_
    上_流×dを計算して、R>R_0のときは積Q_音_
    速を直接規定値Q_0と比較し、 差Q_音_速−Q_0の信号が望ましい方向への弁の移
    動を命令し、一方、R<R_0のときは、比Rをその値
    がある数値を含むメモリのアドレスに対応する数の信号
    に変換し、その数値を補正アナログ信号に変え、それに
    Q_音_速を乗じて、亜音速状態での流量Q_亜_音_
    速に比例する値を表わすようにし、次にこの値Q_亜_
    音_速を規定値Q_0と比較して信号Q_亜_音_速−
    Q_0が望ましい方向への弁の移動を命令するようにす
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項または第2項
    に記載の方法。 4、ゲートの位置の変動を明らかにするために、ゲート
    の弁と機械的につながった圧力ピックアップ上で圧力の
    変動を測定することを特徴とする特許請求の範囲第1項
    ないし第3項の任意の1項に記載の方法。 5、P_上_流/P_下_流の比を直接求めるために、
    P_上_流およびP_下_流測定用ゲージ・ブリッジ式
    電圧力ピックアップを用い、ブリッジの出力の向い合っ
    た2つの端子の間にあたえられる電気信号が、一方では
    ブリッジの2つの電源端子の間の電源電圧に、他方では
    ピックアップによって測定された圧力に比例することを
    特徴とする特許請求の範囲第1項ないし第4項の任意の
    1項に記載の方法。 6、可動弁(10)の変位を測定する変位ピックアップ
    (4)に接続された流量を調節すべきゲート(1)、ゲ
    ート(1)の上流の圧力P_上_流を測定する圧力ピッ
    クアップ(2)、積Q_音_速=K×P_上_流×dを
    計算するための手段、ゲート(1)の下流の圧力P_下
    _流を測定する圧力ピックアップ(3)、比P_上_流
    /P_下_流を計算するための手段(9)、比P_上_
    流/P_下_流を臨界値Xcと比較するための手段(9
    )、P_上_流/P_下_流がXcより小さいときには
    、信号Q_実を送る値Q_音_速の補正手段(5、6、
    7)を備え、該信号Q_実が次に比較手段(8)によっ
    て規定値V_Cと比較され、該比較手段がゲートの弁の
    作動装置(10)に命令信号を送ることを特徴とする装
    置。 7、値Q_音_速の補正手段が、各種メモリ区画の中に
    補正係数を入れ、これらメモリ区画のアドレスが比P_
    上_流/P_下_流によってあたえられるメモリ手段に
    よって構成されることを特徴とする特許請求の範囲第6
    項に記載の装置。 8、メモリ(6)が、数値メモリであり、アナログ信号
    P_上_流/P_下_流を数値に変換するための入力手
    段およびメモリの出力のディジタル信号をアナログ信号
    に変換するための出力手段を含んでいることを特徴とす
    る特許請求の範囲第7項に記載の装置。 9、比P_上_流/P_下_流を計算するための手段が
    、応力ゲージ・ブリッジの形をしたP_上_流およびP
    _下_流の2つの圧力ピックアップ(2、3)を含み、
    P_上_流を測定するブリッジ(2)は、電圧V_0の
    供給を受けて、σをブリッジの感度とした場合、信号σ
    ×P_上_流×V_0を送り、該信号は操作増幅器A_
    2の第1の入力へ送られ、該増幅器の第2の入力は、前
    記操作増幅器A_2の出力電圧Vsの供給を受けて第2
    のブリッジ(3)P_下_流の発するσ×P_下_流V
    sに等しい信号を受けとり、それにより操作増幅器の出
    力信号VsがP_上_流P_下_流×V_0に等しくな
    ることを特徴とする特許請求の範囲第6項ないし第8項
    の任意の1項に記載の装置。
JP62030716A 1986-02-14 1987-02-14 可動弁を備えた一定断面のゲ−トを横切る流体の音速および亜音速状態での流量制御法 Pending JPS62192810A (ja)

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