JPS5915305A - 同軸共振器の共振周波数自動調整機 - Google Patents

同軸共振器の共振周波数自動調整機

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JPS5915305A
JPS5915305A JP12483882A JP12483882A JPS5915305A JP S5915305 A JPS5915305 A JP S5915305A JP 12483882 A JP12483882 A JP 12483882A JP 12483882 A JP12483882 A JP 12483882A JP S5915305 A JPS5915305 A JP S5915305A
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JP
Japan
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frequency
coaxial resonator
polishing
machine
measuring means
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JP12483882A
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Toshio Nishikawa
敏夫 西川
Sadahiro Tamura
禎啓 田村
Hiroshi Arai
啓 荒井
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P7/00Resonators of the waveguide type
    • H01P7/10Dielectric resonators

Landscapes

  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 という)の共振周波数自動調整機に関するものである。
従来より、同軸共振器1、例えばr F. M共振器は
、第1,2図に示すようにセラミック誘電体2の厚肉円
環の外周面及び内周面、場合によっては厚肉円環の軸方
向に直交する一方の端面にも銀の焼きつけもしくは銅メ
ッキを行って外、内の導体3,3を形成して、製造され
ている。
ところで、上記同軸共振器1の共振周波数は、セラミッ
ク誘電体2の軸方向の寸法やセラミック誘電体2の誘電
率に応じて変動する。しかるに、」1記同軸共振器1の
製造においては、セラミックできない。そのため、従来
、同軸共振器1の共振周波数の調整を次のような方法に
よって行なっている。
すなわち、同軸共振器lの共振周波数を周波数測定手段
によって測定した後、上記同軸共振器1の端面1aを、
その共振周波数の目標値となるように、見込みにより研
摩し、その後、再度、上記同軸共振器1の共振周波数を
測定し、また、その端面1aを研摩するという手作業を
何度も繰り返して行なっている。
ため、手間がかかり生産コストが高くなるうえに、製品
の品質に大きなバラツキが生じるといった問題がある。
また、上記のように見込みにより、同軸共振器1の端面
1aを研摩しでいるため、端面1aの削りすきにより、
目標周波数以上の同軸共振器が得られるという問題もあ
る。
そこで、本発明は、」1記問題を解消すべくなしたもの
であって、同軸共振器の周波数を目標の周波数に自動的
に調整して、製造費の低減を図ることができるうえに、
製品の品質を向上かつ均一化できる共振周波数自動調整
機を提供することを目的としている。
このため、本発明に係る共振周波数自動調整機は、一定
位置で同軸共振器をチャックした後、一定角度回転して
上記同軸共振器の開放端面を研摩・測定位置に停止させ
、さらに、一定角度回転して同軸共振器を搬出する回転
送り装置と:周波数測定手段と研摩機とを有して上記周
波数測定手段又は研摩機を上記研摩・測定位置に選択的
に移動させる加工機と:上記周波数測定手段の出力と上
記研摩機の回転を表わす出力を受けて、上記加工機の周
波数測定手段又は研摩機を上記研摩・測定位置に選択的
に移動させると共に、上記研摩機の回転数を制御する信
号を出力する制御装置とを備えて、上記制御装置の出力
により加工機を動作させることによって、研摩・測定位
置に停止させた同軸共振器に対して研摩機を一定回転数
回転駆動させて」−記同軸共振器の端面を研摩し、制御
装置において回転数に対する周波数の変化率を上記周波
数測定手段の出力と上記研摩機の回転数を表わす信号と
に基づいて算出し、上記変化率に基づいて目標の周波数
未満の前段周波数に対応する回転数を算出して、上記回
転数を表わす信号で研摩機を所定回転数回転させた後、
を記周波数測定手段で同軸共振器の周波数を測定させ、
該周波数測定手段から出力される実測周波数と上記前段
周波数とを比較して、上記画周波数の偏差を表わす信号
に基づいて、回転数に対する周波数の修正変化率を算出
し、その修正変化率を表わす信号に基づいて、目標周波
数を得るために研摩機の回転数を表わす信号を作成して
、加工機に出力して目標周波数を有する同軸共振器を自
動的に得るようにしたことを特徴としている。
以下に、図示の実施例に基づいて本発明を具体的に説明
する。
第3,4図において、6は相打供給装置、7は回転送り
装置としての回転テーブル、8は加工機、9は良品収納
部拐、10は不良品収納部利、11は制御装置である。
上記H料供給装置6は、支持スタンド12の」1端に固
定され、ホッパ13と搬入ロータ14とを備えている。
上記ホッパ13は、該ホッパ13内に投入された多数の
同軸共振器1を1個ずつ」1記搬入ロータ14に供給す
るように出口を絞っている。上記搬入ロータ14は、外
周近傍に軸方向に沿って多数の同軸共振器挿入用溝14
a、・・・、14aを有する円柱体であって、畝溝14
aの」1端位置で上記ホッパ13から1個ずつ同軸共振
器lを」二記溝14a内に挿入する一方、上記溝14a
の下端位置で上記供給装置6の前側に位置する上記回転
テーブル7の後記するアーム先端のチャック部材内に背
側より図示しない駆動シリンダの作動で同軸共振器1を
上記溝14a−内に挿入するようにしている。
」1記回転テーブル7は、9bP間隔をあけて配した4
本のアーム部7a、・・・、7aからなる十字部月を回
転可能に支持スタンド12に支持してなる。
各アーム部7aの先端には、チャック部材15を設け、
シリンダ22の駆動に伴う該チャック部材15の開閉に
より、上記同軸共振器1の外周面を、該同軸共振器1の
研摩・測定端面(以下、「端面」と略す)laを加工機
側に突出させた状態で、チャックし、もしくは同軸共振
器1を搬出するようにしている。上記チャック部材15
は、第4図に示すように、シリンダ16の、駆動により
、同軸共振器1の軸方向に前後動して、後記する研摩機
20に当接して、同軸共振器1の端面1aを研摩しうる
ようにしている。上記各アーム7aは、約90°ずつ回
転軸170回りに回転して、第3図中、回転軸17に対
して、上方の搬入位置A1右15の研摩・測定(i2置
B1下方の良品搬出位置C及び左方の不良品搬出位置り
に夫々停止するようにしている。
上記加工装置8は、」−記回転テーブル7のアーム7a
の研摩・測定位置I3の略後側に配され、上下方向−直
線」−に上から順に周波数測定手段18、ブラシ19及
び研摩機20の研摩板20aを設けC1回転テーブル7
により研摩・測定位置Bに位置さぜられた同軸共振器1
の端面1aに対し、駆動シリンダ21の駆動で加工機8
を上下動させ周波数測定手段18または研摩機20を選
択的に」−記研摩・測定位置Bに停止させるようにして
いる。
上記周波数測定手段18は、同軸共振器1に対し測定チ
ャック(図示せず。)が近づいて同軸共振器1の共振周
波数を測定するようになっている。
上記研摩機20は、研摩板20aの回転により同軸共振
器1の端面1aを研摩するようになっている。上記ブラ
シ19は、上記研摩機20で研摩された同軸共振機1の
端面1aに付着した削りカスやゴミ等を加工機8が下降
する際に取り除くようにしている。
多数の同軸共振器収納用溝9a、・・・、9aを有する
回転可能な円柱体であって、加工機8で研摩し、周波数
を測定した後、目標の周波数に達した同軸共振器1を、
チャック部材15の開操作に伴い、その各収納用溝9a
内に良品収納部材9の回転で逐次収納するようにしてい
る。
’、’5z J=記不良品収納箱10は、回転テーブル
7のアーム7aの不良品搬出位置りに設けられ、研摩し
、周波数測定された同軸共振器1のうち、目標の周波数
に達しなかった不良品の同軸共振器1′を、チャック部
材15から搬出して収納するようにしている。
さらに、上記制御装置J1はマイクロコンピュータから
構成され、該制御装置11の出力により加工機8を動作
させることによって研摩・測定位置Bに停止させた同軸
共振器1に対して研摩機2゜を一定回転数回転駆動させ
て上記同軸共振器1の端面1aを研摩するようになって
いる。そして、回転数に対する周波数の変化率を上記周
波数測定手段18の出力と上記研摩機20の回転数を表
わす信号とに基づいて算出し、上記変化率に基づいて目
標の周波数未満の前段周波数に対応する回転数を算出し
て、上記回転数を表わす信号で研摩機20を所定回転数
回転させる。その後、上記周波数測定手段18で同軸共
振器1の周波数を測定させ、該周波数測定手段18から
出力される実測周波数と上記前段周波数とを比較して、
上記画周波数の偏差を表わす信号に基づいて、回転数に
対する周波数の修正変化率を算出する。誉して、その修
正変化率を表わす信号に基づいて、目標周波数を得るた
めに研摩機20の回転数を表わす信号を作成して、加工
機8に出力して目標周波数を有する同軸共振器1を自動
的に得るようにしている。
次に、上記構成に係る自動調整機の作動を説明する。
まず、ホッパ13内に投入された同軸共振器1を搬入口
−り14の回転により、搬入位置へまで搬び、該搬入位
置へに位置する回転テーブル7のアーム7aのチャック
部材15に同軸共振器1をチャックする。この状態では
、同軸共振器1の銀の焼きつけ等がされていない研摩・
測定端面1aが、チャック部材15から支持スタンド側
すなわち加工機側に突出している。そして、回転テーブ
ル7のアーム7aを第3図中時針回りに90°回転させ
で、チャックされた同軸共振器1を研摩・測定位置13
に停止させる。
次いで、」二記、駆動ンリンダ21の駆動により加工機
8を上昇させて、上記同軸共振器1に研摩機20の研摩
板20aを対向させるようにする(第4図参照)と共に
、アーム先端に設けたンリンダ16の作動によりチャッ
ク部材15とともに同軸共振器1を加工機側に後進させ
、同軸共振器Jの端面1aを少し研摩して而出しを行う
。これは、同軸共振器1の導電体を形成する銀をセラミ
ック誘電体2(第2図参照)に手塗りする際、銀が余分
な所に付着したり、セラミック誘電体2の製造面を形成
していないためである。
次いで、駆動シリンダ21により加工機8を下降させ、
ブラシ19で同軸共振器1の端面1aを清掃したのち、
周波数測定手段18で同軸共振器1の初四周波数を測定
する(第3図中一点鎖線で示す)。そして、駆動シリン
ダ21により加工機8を上昇させて再び同軸共振器1の
端面1aを一定回転数00分だけ研摩板20aを回転さ
せて研摩する(第3図中実線で示す)。そして、再び、
加工機8を下降させて同軸共振器1の周波数測定手段1
8で測定し、上記一定回転数n□ に対応する周波数の
変化分子1 を得る。次いで、」二組周波数測定手段1
8の出力の変化分子1 と研摩機2゜である。この変化
率をもとに、周波数f□から目たがって、目標周波数f
2を得るためには、回転数(n2−n□)分だけ研摩機
20を回転させて、同軸共振器1を研摩すればよいが、
上記変化率の誤差により目標周波数°を得られないこと
や、同軸共振器1の削りすぎにより、同軸共振器1の周
波数が目標周波数f2を超えるということを防1j二す
るため、目標周波数「2未満の前段周波数f3にに対応
する回転数(na  n 1 )  を算出して、回転
数(n3−n□)を表わす信号で研摩機20を所定回転
数(n3−nl)分だけ回転させた後、周波数測定装置
18で同軸共振器10周波数を測定する。この結果、回
転数(n3 n□)に対応して周波数f3が得られれば
、次に、回転数02と03 との差に対応する(n2n
a)分、研摩機20を回転させて同軸共振器1を研摩す
れは目標の周波数12の同軸共振器1が得られる。しか
し、」1記回転数03に対して第5図ウニ点鎖線に示す
如く実測周波数14が得られれば、この実測周波数「4
と上記前段周波数f3 とを比較して、画周波数の偏差
を表わす信号に基づいて、研摩機2oの回転数に対する
周波数の修正変化率(f4F□)/(n3−nl)を算
出する。該修正変化率は第5図に二点鎖線でする。そし
て、研摩機2oを回転数(n4−03)分だけ回転させ
、同軸共振器1を研摩することにより、目標の周波数「
2の同軸共振器1を得る。この目標の周波数「2の同軸
共振器1は、回転テーブル7を第3図中時釧回りにアー
ム7aを900回転させて、良品搬出位置Cでチャック
部材15を開いて良品収納部材9内に搬出する。
波数f2未満の場合には、上記同軸共振器1を、良品搬
出位置Cで搬出せずに該良品搬出位置Cから第3図中時
針回りにさらに900回転した不良品搬出位置I)でチ
ャック部材15から搬出し、不良品収納箱10内に収納
する。
なお、本発明は本実施例に限定されることなく、その他
種々の態様で実施できる。例えば、上記回転テーブル7
のアーム7aは90°間隔の4本に限定されるものでは
なく、任意の間隔で任意の本数だけ設けてもよい。また
、加工機8の移動も」二F運動に限らず、一点を中心と
した回動運動により同様の効果を奏するようにしてもよ
い。
上記説明から明らかなように、本発明によれば、一定位
置で同軸共振器をチャックした後、−・定角度回転して
上記同軸共振器の開放端面を研摩・測定位置に停止させ
、さらに、一定角度回転して同軸共振器を搬出する回転
送り装置と;周波数測定手段と研摩機とを有して上記周
波数測定手段又は研摩機を上記研摩・測定位置に選択的
に移動させと る加工へ:上記周波数測定手段の出力と上記研摩機の回
転を表わす出力を受けて、上記加工機の周波数測定手段
又は研摩機を上記研摩・測定位置に選択的に移動させる
と共に、上記研摩機の回転数を制御する信号を出力する
制御装置とを備えて、上記制御装置の出力により加工機
を動作させることによって研摩・測定位置に停止させた
同軸共振器に対して研摩機を一定回転数回転駆動させて
」−記同軸共振器の端面を研摩し、制御装置において回
転数に対する周波数の変化率を上記周波数測定手段の出
力と上記研摩機の回転数を表わす信号とに基づいて算出
し、」1記変化率に基づいて目標の周波数未満の前段周
波数に対応する回転数を算出し゛U1J:記回転数を表
わす信号で研摩機を所定回転数回転させた後、」1記周
波数測定手段で同軸共振器の周波数を測定させ、該周波
数測定手段から出力される実測周波数と上記前段周波数
とを比較して、上記画周波数の偏差を表わす信号に基づ
いて、回転数に対する周波数の修正変化率を埠出し、そ
の修正変化率を表わす信号に基づいて、目標周波数を得
るために研摩機の回転数を表わす信号を作成して、加工
機に出力して目標周波数を有する同軸共振器を自動的に
得るようにしたので、製造費の低減を図ることができる
うえに、製品の品質を向上かつ均一化できる。
【図面の簡単な説明】
第1,2図は夫々同軸共振器を示す斜視図及び断面図、
第3,4図は夫々本発明の一実一・流側に係る自動調整
機の概略正面図及び側面図、第5図は研摩機の回転数に
対する同軸共振器の共振周波数の変化率を示す図である
。 1・・・同軸共振器、1a・・・端面、7・・・回転テ
ーブル、8・・・加工機、11・・・制御装置、15・
・・チャック部徊、18・・・周波数測定手段、2o・
・・研摩機、Δ・・・搬入位置、B・・・研摩・測定位
置、C・・・良品搬出位置、■)・・・不良品搬出位置
。 特 許 出 願 人 株式会社月田製作所代 理 人 
弁理士 青 山 葆 ほか2名第4図 第5図 回転歓

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 11)誘電体同軸共振器の開放端面を研摩して目標の共
    振周波数に調整する同軸共振器の共振周波数自動調整機
    にして、 一定位置で上記同軸共振器をチャックした後、一定角度
    回転して上記同軸共振器の研摩・測定位置に停止させ、
    さらに、一定角度回転して同軸共振器を搬出する回転送
    り装置と、 周波数測定手段と研摩機とを備えて上記周波数測定手段
    又は研摩機を上記研摩・測定位置に選択的に移動させる
    加工機と、 上記周波数測定手段の出力と上記研摩機の回転を表わす
    出力を受けて、上記加工機を移動させると共に、上記研
    摩機の回転数を制御すべく、研摩機を一定回転数回転駆
    動させて上記同軸共振器の端面を研摩した際の回転数に
    対する周波数の変化率を上記周波数測定手段の出力と上
    記研摩機の回出して、その回転数を表わす信号で研摩機
    を所定回転数回転させた後、」二記周波数測定手段で同
    軸共振器の周波数を測定させ、該周波数測定手段から出
    力される実測周波数と上記前段周波数とを比較して、上
    記画周波数の偏差を表わす信号に基づいて、回転数に対
    する周波数の修正変化率を算出し、その修正変化率を表
    わす信号に基づいて、目標周波数を得るために研摩機の
    回転数を表わす信号を作成出力する制御装置を備えたこ
    とを特徴とする同軸共振器の共振周波数自動調整機。
JP12483882A 1982-07-16 1982-07-16 同軸共振器の共振周波数自動調整機 Granted JPS5915305A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03214904A (ja) * 1990-01-19 1991-09-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 誘電体共振器の共振周波数調整用トリミング装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03214904A (ja) * 1990-01-19 1991-09-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 誘電体共振器の共振周波数調整用トリミング装置

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