JPS59148060U - 電子顕微鏡等用仕切弁 - Google Patents
電子顕微鏡等用仕切弁Info
- Publication number
- JPS59148060U JPS59148060U JP4142983U JP4142983U JPS59148060U JP S59148060 U JPS59148060 U JP S59148060U JP 4142983 U JP4142983 U JP 4142983U JP 4142983 U JP4142983 U JP 4142983U JP S59148060 U JPS59148060 U JP S59148060U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate valve
- electron beam
- electron
- chamber
- deflector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第・１図は従来の装置を示す一部断面図、第２図は本考
案の一実施例を示す一部断面図である。 １：走査顕微鏡カラム、２：電子銃室、３：電子銃、４
：陽極、５：仕切弁室、６：０−リングバッキング、７
：仕切−弁本体、９：嫡子、１０：集束レンズ、１２：
リミットスイッチ、１３：検出回路、１４：切換えスイ
ッチ、１５：電子線偏向コイル、１６：電子線軸調整電
源、１７：電子線遮断用電源。
案の一実施例を示す一部断面図である。 １：走査顕微鏡カラム、２：電子銃室、３：電子銃、４
：陽極、５：仕切弁室、６：０−リングバッキング、７
：仕切−弁本体、９：嫡子、１０：集束レンズ、１２：
リミットスイッチ、１３：検出回路、１４：切換えスイ
ッチ、１５：電子線偏向コイル、１６：電子線軸調整電
源、１７：電子線遮断用電源。
Claims (4)
- （１）電子銃室と試料室との間の適所に仕切弁室を形成
し、該仕切弁室内に外部より駆動可能な仕切弁を設置し
、該仕切弁のバッキング面は電子銃室に対面させ、前記
電子銃室と仕切弁室との間に電子線を遮断するためのシ
ャッター装置を設け、前記仕切弁の位置を検出する手段
を設けて該位置検出手段が仕切弁の遮断状態を検知して
そるとき前記電子線シャッター装置を動作せしめて電子
線が仕切弁へ照射されないように構成しでなる電子顕微
鏡等用仕切弁。 - （２）前記電子線シャッター装置は電子線偏向器で構成
される実用新案登録請求の範囲第１項記載−の電子顕微
鏡等角仕切弁。 - （３）前記電子線シャッター用の偏向器は電子線軸調整
用の偏向器で兼用し、該偏向器へ供給する信号をシャッ
ター用と軸調整用とに切換えるようになした実用新案登
録請求の範囲第２項記載の電子顕微鏡等用仕切弁。 - （４）前記軸調整用の電子線偏向器に軸調整信号と重畳
して電子線シャッター信号を供給する実用新案登録請求
の範囲第２項記載の電子顕微鏡等用仕切弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4142983U JPS59148060U (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 電子顕微鏡等用仕切弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4142983U JPS59148060U (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 電子顕微鏡等用仕切弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59148060U true JPS59148060U (ja) | 1984-10-03 |
Family
ID=30172006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4142983U Pending JPS59148060U (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 電子顕微鏡等用仕切弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59148060U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021015685A (ja) * | 2019-07-10 | 2021-02-12 | 日本電子株式会社 | バルブ装置 |
-
1983
- 1983-03-23 JP JP4142983U patent/JPS59148060U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021015685A (ja) * | 2019-07-10 | 2021-02-12 | 日本電子株式会社 | バルブ装置 |
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