JPS59147607A - オイル脱気装置 - Google Patents

オイル脱気装置

Info

Publication number
JPS59147607A
JPS59147607A JP2184983A JP2184983A JPS59147607A JP S59147607 A JPS59147607 A JP S59147607A JP 2184983 A JP2184983 A JP 2184983A JP 2184983 A JP2184983 A JP 2184983A JP S59147607 A JPS59147607 A JP S59147607A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
oil
container
baffle
vessel
channel member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2184983A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6411323B2 (ja
Inventor
Haruo Yamauchi
山内 治男
Takeshi Nishi
健 西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP2184983A priority Critical patent/JPS59147607A/ja
Publication of JPS59147607A publication Critical patent/JPS59147607A/ja
Publication of JPS6411323B2 publication Critical patent/JPS6411323B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、オイル中に含まれる気泡、水分等を取り除く
オイル脱気装置に関する。
〔従来技術〕
差圧計などの検出用計器においてその計器内部に圧力伝
達用として封入される液体、たとえばシリコンオイルに
は、少なくともその内部に気泡が存在してはならない。
すなわち、このような気泡は圧力により体積を極度に変
化させるもので、圧力をシリコンオイルの変位として取
出すようにした検出用計器によって好ましくない。また
、これと同様にシリコンオイル中に含まれる水も気化し
易く、圧力伝達を行なううえで弊害となるものである。
したがって、上述した検出用計器などに用いられるシリ
コンオイルでは、計器内に封入する前にその脱気および
脱水処理が必要とされている。そして、従来は上述した
シリコンオイルを真空室内に入れ、これを減圧状態にて
煮沸することによジオイル中の気泡および水分を取り除
くように構成しているが、効率面であまり好ましいもの
ではなく、その含有許容量を満足するためKは時間がか
かりすぎるものであった。
すなわち、上述したシリコンオイル等の液体中に含まれ
る水等の低沸点成分の除去量は温度と圧力と時間とによ
って決められる関数であられされるが、ここで温度は主
成分であるシリコンオイル自身の熱分解を促進するため
所定温度以下に維持する必要がある。また、上述したよ
うに効率面からは時間を短くする必要があシ、このため
に容器内圧力を下ける方法が採用されるが、容器内にオ
イルを入れたときその液体の深さ分だけの圧力が下層部
に加わってしまうものである。したがって、容器内のオ
イルにおいて本来の雰囲気をもつ減圧度が得られるのは
その表層部のみでアシ、これに適宜の攪拌手段を用いた
としても高純度をもつオイルを効率よく得ることができ
るとは言い難いものであった。
〔発明の概要〕
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、
容器内でサイフオンの原理を利用してオイルを上方空室
側に引上げ、溢出させるとともに、このオイルを薄い層
状態にて流下させるバッフルを用いるという簡単な構成
によって、オイル中に含まれた気泡や水分を短時間でし
かも効率よく除去し、高純度のオイルを簡単に得ること
ができるオイル脱気装置を提供するものである。
〔実施例〕
以下、本発明を図面に示した実施例を用いて詳細に説明
する。
第1図は本発明に係るオイル脱気装置の一実施例を示す
原理説明図であシ、同図において符号1は脱気、脱水処
理が必要な液体、たとえばシリコンオイル2を入れる略
筒状をなす密閉容器で、その上端部には開閉弁3aを介
してオイル注入口3が設けられ、また容器1の下端には
同じ−く開閉弁4aを介してオイル取出口4が設けられ
ている。
なお、図中5はオイル2中に含まれるゴミ等の不純物を
取シ除くフィルタである。
6は前記容器1の下端部に配設され容器底部を所定温度
に加熱するヒータ、γは容器1の上端側側部に接続され
図示しない真空ポンプにて容器1の上方空室8を所定値
以下の減圧状態に保持するとともに、オイル2から取シ
外された気泡や水分等を排気する排気通路、9は前記容
器1の上端側を取シ囲むように配設され冷却水を循環さ
せる冷却器である。
さて、本発明によれば、上述した構成による容器1内で
その底部側に溜まるオイル2中にその下端側の吸引口1
Oaを浸漬させるとともに、油面上の上方空室8側に突
出する吐出口1obを有するオイル引上げ用流路部材1
0と、この流路部材10の吐出口10bから溢出するオ
イルを受けかつこのオイルを薄い層状態にて流下するバ
ッフル11とを配設したところに特徴を有しでいる。
これを詳述すると、前記流路部材10は、下向きに拡が
る開口部を吸引口10aとする逆皿状をなす台座12と
その中央罠立説された・くイブ体13とから構成され、
またこのパイプ体13の外周部には前記バッフル11を
構成する略傘状をなすバッフル板14が取付は固定され
ている。なお、図中15は前記パイプ体13上端の吐出
口10bに対向してその上方に配設されオイルの突沸を
防止する傘体で、図示しないステイ等によ9741体1
3または容器1の内壁部に取付けられている。さらに、
前記台座12の下端側周壁にはこの台座12の吸引口1
0a内にオイル2をその周囲から取シ込むための孔部1
2aが適宜形成されているが、必ずしもこれに限定され
ず、この台座12の下端を容器1の底部から若干離間さ
せるように配設してもよいことは明らかであろう。
壕だ、本実施例では、上述したパンフル1Fを構成する
傘状バックル板14を複数枚パイプ体13の外周部に取
付は固定し、多段構成とするとともに、これら傘状バッ
フル板14.14の中間部に逆傘状のバッフル板16を
配設し、これによジオイルがパイプ体13の放射方向と
求心方向とに交互に流下し、薄い層状態での流下時間を
長くできるように構成している。ここで、この逆傘状バ
ッフル板16は図示しないステイ等によりパイプ体13
まだは容器1 (it]に取付は固定されていることは
容易に理解されよう。
上述した構成によれば、ヒータ6による加熱にて高温化
されたオイル2は順次沸騰・し、オイル引上げ用流路部
材10のパイプ休13内を上昇し、その上端の吐出口1
0bから減圧状態におかれている上方空室8内にあふれ
でる。そして、このあふれでたオイルはバッフル11を
構成する各段バックル板14,16.14上を順次流下
するが、このときオイルは薄い層状態にて流れるためオ
イル中の気泡、水分は非常に気発し易い状態となシ、順
次オイルから分離されて排気通路7から排出される。ま
た、このバッフル11から流下したオイルは再び容器1
内のオイル2に還流し、以後この状態をくシ返すことに
よりオイル2内の気泡、水分は分離して排気され、容器
1内には沸点が高く純度の高いシリコンオイル2が残る
ことになる。
すなわち、本発明によれば、オイル引上げ用流路部材1
0によるサイフオンの原理によシ容器1内のオイル2を
順次攪拌して上方に引上げるとともに、バッフル11に
よυ薄い層状態にて流下させてその内部の気泡、水分を
取り除くものである。
その具体的な装置の概略構成を第2図に示しており、図
中符号20は拡散ポンプ、21はロータリポンプで、前
記排気通路7中に並設されておシ、まだ拡散ポンプ20
の前後にはバイパス路22が設けられ、その他各部には
開閉弁23が適宜設けられている。また、容器1にはそ
の内部の上方空室8の内圧力を検出する圧力検出器24
が配設されている。
25はヒータ6を制御する温度コントローラで、温度検
出器26を有しかつ温度検出端26aが前記オイル引上
げ用流路部材10の台座12内のオイル温度を検出し得
るように設けられている。
そして、上述した装置では、まず、ロータリポンプ21
を駆動し、ノ(イノくス路22を介して容器1内を減圧
するとともに、その途中で)(イノくス路22を閉じ、
拡散ポンプ20を駆動し、両、1fンフ。
20.21にて容器1内を所定の減圧値に保つ。
次いで、コントローラ25にてヒータ6をカロ熱し、以
後前述した動作をくり返すことによジオイル2中の気泡
、水分等を取シ除くことができるものでおる0 このような装置において、たとえばシリコンオイル(7
04番)を用いた場合、容器1中のオイル深さが20肛
のとき、含有ガスの許容値を1.82PPMとするのに
、約20分の時間で処理できることが実験により確認さ
れており、これは従来の1/IO以下の処理時間でその
実用上の効果は太きい。なお、上述した実験での加熱温
度は約240℃、減圧度は約2 X 1O−3Torr
であり、また前記オイル弓1上げ用流路部材10のパイ
プ体13の高さはこの704番シリコンオイルの場合8
0mmが適肖であることが確認されている。
なお、本発明は上述した実施例構造に限定されず、各部
の形状、構造等を適宜変形、変更し得るものであること
は言うまでもない。たとえば浴出するオイルを薄い層状
態にて流下する。<ツフル11としては上述した実施例
のように多段構成とした方がその効果は太きいが、これ
は一段でもよく、また複数段でもよく、さらにその形状
も適宜変形し得るものである。
さらに、本発明に係るオイル脱気装置は、実施例におけ
るシリコンオイルのほか、種々のオイルの脱気装置とし
て有効に適用し得るものである。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明に係るオイル脱気装置によ
れば、容器の上方空室内にサイフオンの原理を利用して
オイルを引上げるとともに、ノくツフルにてこのオイル
を薄い層状態にて流下させるようにしたので、簡単な構
成にもかかわらず、オイル中に含まれる気泡、水分の脱
気、脱水処理を迅速かつ確実に行なえるもので、高純度
のオイルを短時間で効率よく、シかも簡単に得ること力
;でき、またこの処理のだめの加熱温度も低温でよくオ
イル主成分が分解するといった問題はないといった種々
優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るオイル脱気装置の一実施例を示す
要部拡大図、第2図はその具体的な概略構成を示す系統
図である。 1・・・・密閉容器、2・・・・オイル、6・・・・ヒ
ータ(加熱手段)、7・・・・排気通路、8・・・・上
方空室、10・・・・オイル引上げ用流路部材、10a
・・・・吸引口、10b・・・・吐出口、11・・・・
バッフル、12・・−・台座、13・−・・パイプ体、
14・・・・傘状パンフル板、16・・・・逆傘状バッ
フル板、20゜21・・・・ボンダ(減圧手段)。 特許出願人  山武ハネウェル株式会社代理人 山川数
構(はが1名) 第1図 11

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)オイルを封入する密閉容器と、この容器の底部を
    所定温度に加熱する加熱手段と、この容器の上方空室を
    減圧する減圧手段と、前記容器内のオイル中にその下端
    吸引口が浸漬されるとともに、油面上に立ち上がる吐出
    口を有するオイル引上げ用流路部材と、この流路部材の
    吐出口から浴出するオイルを受けこのオイルを薄い層状
    態にて流下させるバッフルとを備えてなることを特徴と
    するオイル脱気装置。
  2. (2)オイル引上げ用流路部材は、下向きに拡がる開口
    部を吸引口とする逆皿状台座とその中央に立設されたパ
    イプ体とから構成され、バッフルを構成する傘状をなす
    バッフル板がパイプ板の外周部に取付は固定されている
    ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のオイル脱
    気装置。
  3. (3)オ・イル引上げ用流路部材を形成するパイプ体外
    周部に、バッフルとして傘状をなす複数枚のノくツフル
    板を多段に取付は固定するとともに、これら各段の中間
    部に逆傘状をなすバッフル板を配設させるようにしたこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第2項記載のオイル脱気
    装置。
JP2184983A 1983-02-12 1983-02-12 オイル脱気装置 Granted JPS59147607A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2184983A JPS59147607A (ja) 1983-02-12 1983-02-12 オイル脱気装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2184983A JPS59147607A (ja) 1983-02-12 1983-02-12 オイル脱気装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59147607A true JPS59147607A (ja) 1984-08-24
JPS6411323B2 JPS6411323B2 (ja) 1989-02-23

Family

ID=12066543

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2184983A Granted JPS59147607A (ja) 1983-02-12 1983-02-12 オイル脱気装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59147607A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0418902A (ja) * 1990-04-27 1992-01-23 Fuji Electric Co Ltd 冷媒の脱気処理装置
DE10082042B3 (de) * 1999-07-16 2006-09-14 Heribert Schmid Trennverfahren für ein Polyglykol-Ethylengemisch im Leckstrom eines Kompressoranlagenschmiersystems und entsprechende Kompressoranlage

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5680203U (ja) * 1979-11-27 1981-06-29

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5680203U (ja) * 1979-11-27 1981-06-29

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0418902A (ja) * 1990-04-27 1992-01-23 Fuji Electric Co Ltd 冷媒の脱気処理装置
DE10082042B3 (de) * 1999-07-16 2006-09-14 Heribert Schmid Trennverfahren für ein Polyglykol-Ethylengemisch im Leckstrom eines Kompressoranlagenschmiersystems und entsprechende Kompressoranlage

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6411323B2 (ja) 1989-02-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108141991B (zh) 浸入式冷却
US1966938A (en) Method of distillation
JP3347814B2 (ja) 基板の洗浄・乾燥処理方法並びにその処理装置
US4561866A (en) Apparatus for vacuum cleaning of oil fillings
JPH0673603B2 (ja) 純水または超純水中の溶存酸素の除去方法
JP3635026B2 (ja) 硫酸リサイクル装置
JPH03169013A (ja) 表面乾燥処理方法および装置
JPS59147607A (ja) オイル脱気装置
JP2922635B2 (ja) 温純水乾燥方法及び装置
JPS6068010A (ja) オイル脱気装置
JP3444725B2 (ja) 真空脱気装置
JPH10263301A (ja) 液体濃縮方法
JP3676756B2 (ja) 基板の洗浄・乾燥処理装置
RU2048776C1 (ru) Устройство для экстракции хвойной массы
JP4360765B2 (ja) 現像廃液の濃縮装置及び濃縮方法
RU2272550C2 (ru) Способ и устройство концентрирования жидкого продукта
JPH06134446A (ja) 脱気水の製造方法及び脱気水製造用モジュール
JPH05263123A (ja) 連続真空脱ガス装置
RU1830295C (ru) Установка дл паровой обработки полупроводниковых изделий
CN107670337B (zh) 液体分离器及液体分离器的回抽控制方法
JPH06254304A (ja) 感光性塗布液の脱気方法及び装置
JP3348053B2 (ja) 基板の洗浄・乾燥処理方法ならびにその処理装置
JP3348054B2 (ja) 基板の洗浄・乾燥処理方法ならびにその処理装置
JPH0814183A (ja) 脱気装置における水封式真空ポンプの封水冷却システム
RU2142314C1 (ru) Экстрактор