JPS59143467A - 全巾走査アレーを製造する装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は全１Ｊ走査アレー（ｆｕ’ｌ　ｌ　　ｗｉｄｔ
ｈｓｃａｎｎｉｎｇ　　ａｒｒａｙ　）に関し、さらに
詳しくは多数の小さい走査アレーから全１Ｊ走査アレー
を製造する方法および装置に関する。

読出す像および書出し像の両者のラスター走査装置の関
心が増すにつれて、この分野にて経済的な全１Ｊ走査ア
レーに対する新たな要求が生じて来た。現在の走査装置
の技術の段階では、極めて長い一対の走査アレーを製造
する商業的に￥１容され、経済的に実用的な方法は未だ
開発されていない。

すなわち充分な直線長さの単一のアレーで高い解像力で
全体の線を一度に走査するように要求された数の像処理
エレメントを有づるものは未、だ開発されていない。こ
の点に関し、走査アレーについて詔る場合には、像の線
を電気信号または画素に変化づるための引き続く像受感
エレメントを含む像読出しアレーおよび像信号または画
素入ノｊに応答して像を作るために使用される引き続く
光発生またはその他のエレメントを含む像書出しアレ−
の両者がある。

従来技術において種々提案されたが長い命中走査アレー
を提供できなかった。これらの提案は多数の短いアレー
を重ね短いアレーを互いに端部ど端部どを当接させる光
学的および電気的装置を含んでいる。しかし、何れの提
案も成功に至らなかつｌｃｏ例えば小さいアレーを互い
に当接させる場合、アレーの端部を亙いに正確に整合さ
せて組合せることが困難なために像の損失および湾曲を
屡圓生じた。

本発明は多数の比較的短い走査アレーをｊＦＭ［に端部
と端部との当接関係に組合せて予め定められた長さの複
合歯線形走査アレーを形成覆る方法を提供覆ることによ
って上述問題を解決づることを提案するもので本発明の
方法はそれぞれの短いアレーの一方の表面の予め定めら
れた位置にこれと一体的に少なくとも１つのアレー整合
（＝ｌ形部分を設け、１つの短いアレーを、予め定めら
れた固定位置に多数の組合うアレー整合イ」形部分を右
１−る整合工具と面対面の接触状態に四き、少なくとも
１つの工具のアレー整合付形部分が短いアレーの、整合
付形部分と整合されるようになし、所望の長さの複合ア
レーが得られるまでそれぞれの短いアレーについて前記
工程を繰返し、短いアレーおよび整合工具をともに互い
に緊密状態になし、短いアレーの整合付形部分を相互係
合させ、これによって短いアレーを互いに正確な端部対
端部の当接関係に整合さけ、所望の長さの複合アレーを
形成りる工程より成っているのである。

本発明はさらに予め定められた数の小さい走査アレーを
正確な端部対端部の当接関係に配置し、予め定められた
長さの複合走査アレーを提供する工具に関し、この工具
は、少なくとも１つの実質的に平らな表面を有するベー
スと、予め定められたアレー整合パターンにて配列され
た工具のベースの平らな表面上の多数の別々のアレー整
合付形部分とを含み、これらのアレー整合付形部分が工
具のベースに小さいアレーを組み合わせた時にそれぞれ
の小さいアレーの補完的なアレー整合付形部分と組み合
うようになってい工、これにより小さいアレーを互いに
当接関係に正確に位置決めし整合させて良い複合走査ア
レーを形成づるようになっている。

本発明はさらに長いアレーを構成するためにアレーを同
様のアレーと互いに端部対端部の当接関係に組み合わさ
せるのを容易にするように設計された走査アレーに関し
、このアレーは、ベースと、このベース上の端部から端
部に直線的に伸長する少なくとも１つの像処理ニレメン
Ｉ・の列と、アレーのベース上の予め定められた位ｔｉ
にある少なくとも１つのアレー整合付形部分とを含み、
このアレー整合イ」形部分が予め定められたアレー整含
旬璽に固定された第二の補完的なアレー整合付形部分の
１つと組み合うようになっていて、アレーを同様のアレ
ーと予め定められた端部対端部の当接関係に位置決めし
て長いアジ−を構成するようようになっているものであ
る。

さて第１図を特に参照し、本発明のアレー製造システム
に使用するための全体を符号１０で示された受感アレー
すなわちチップが示されている。

判るように本発明の多数の比較的短い走査アレー１０が
ベース部材５２（第５図に示されて（Ａる）上に端部と
端部が整合された関係で組み台４つされて比較的長い複
合走査アレーすなわちチップ５０（第５図に示されてい
る）を形成覆るのを可能となしている。複合アレーの長
さは処理される象の最大寸法（走査づなわちＸ方向にて
）に等しくなされるのが望ましい。理解されるように、
複合走査アレーは一連の像読出しアレー（すなわちチャ
ージ、カップルド、デバイス、フォトダイオ−１：アレ
ー等）から形成されてオリジナル文書を走査して交書の
像を電気信号または画素を変換づる複合読出しアレーを
形成するか、または一連の像書出しアレー（すなわち発
光ダイオード、磁気ヘッドまたはその他のプリントヘッ
ド等）から像信号または画素入力に従って静電写真また
は複写システムの光導電体のような適当な結像部材上に
像を書出すための複合書出しアレーを形成することｈく
出来る。

走査アレー１０は全体が矩形のベース１２を含み、この
ベースは通常（１００）シリコンであって、多数の受感
装買すなわちセンナ−１４かへ一スの一方の表面１７−
ヒに直線形の夕１１１なわちアレ＝１５を作って配列さ
れている。センサー列１５はベース１２の側縁１８に平
行である。論理ゲートおよびシフトレジスター（図示ぜ
ず）を含む協＠づ−る制御回路１６もベース１２上に一
体的に設けられ、センサー１４の作動を制御するように
なっている。センサ１４は例えば読出しアレーの場合に
は入ＱｉＪする像光線を電気信号または画素に変換する
フ、ｔ　＋−ダイオードとな刀ことが出来、または像信
号入力に応答して選択的に作動されて結像部月（図示せ
ず）を露光乃るために像信号によって表わされる像に応
答する像光線を発生する発光ダイオ−１−となすことが
出来る。アレー１０が他の同様なアレー（第５図に示さ
れるように）と当接関係に接合されるのを可能とりるた
めにセンサー１４の列１５はアレーのベース１２の両端
１９にわたって伸長している。

以下にてさらに詳しく判るように走査アレー１０が他と
同様のアレーと端部対端部の当接状態で整合されるのを
可能とするために、長手方向に配列されるＶ形の溝また
は凹部２０，２１より成るのが望ましい予め定められた
アレー整合イ」形部分がベース１２の表面１７に設けら
れる。第１図に示される実施例においては、アレー整合
溝２０゜２１はＹ方向に伸長し、ベース１２の側縁１８
に実質的に垂直であって、溝２０．２１は表面１７の内
側から縁部１８まで伸長している。高ざ１１におりるＩ
＋′１２０．２１の内側寸法ｗ’　　（第６図）は整合
工具２５のビン３０の直径ｄ′に等しい。アレー整合１
ｆ４２０．２１は予め定められた距離りだり互いに離隔
されていて、それぞれの溝は予め定められた深さｄ　（
第１図）を有し、予め定められた最大１ｔ］Ｗを有する
。溝２０・、２１は距１１１１　Ｄ　’　だけベース１
２の側部から間隔をおかれている。

第２図に示される実施例においては、符号２０’　、２
１’で示されたアレー、整合溝のＹ方向の長ざＬは実質
的にＷに等しく、高さｈにおける溝２０’　、２１’の
内側寸法Ｗ′は整合工具２５（第６図）の整合ビン３０
の直径に等しく、溝２０’　、２１’　は全体的に表面
１７の内側にある。

１ｍ２０．２１の長さよりも短いが溝２０′。

２１′の長さよりも大きい長さし−を有づる整合溝か使
用可能である。

アレー整合溝２０．２１Ｊ＞よび２０’　、２１’は通
常のＶ−Ｍ　ＯＳシリコン集積回路製造技術によってア
レーベース１２の表面１７にエツチングで作るのが望ま
しい。その仙の機械的また（、ｉレーザー機械加工技術
によるようなアレー整合１１への形成方法も可能である
。

さて第３図を参照し、全体を符号２５によって示された
比較的短いアレーを互いに端部対端部の当接関係に整合
させる整合工具が示されている。

整合工具２５は全体か矩形のベース２７を有し、これの
少なくとも１つの表面２９は光学的平面になっている。

外方に突出する突起り−なわらビン３０より成るのが望
ましい多数のアレー整合イ」形部分が工具のベース２７
の表面２９に設りられている。アレー整合ビン３０は距
１！ＩＩ　ｌ＋たけ表面２９から上方に突出していて、
この距離りは走査アレー１０の！ｆ４２０，２１または
２０’　、２１’　内にアレー整合ビン３０が入ってア
レー１０を整合工具２５に組み合わせた時にビン３０の
外端３１がツル−整合溝の側壁２３に接触するのを確実
になりように選ばれている。アレー整合ビン３０は工具
のベース２７上に予め定められた位置に配置され、複合
アレーのそれぞれのアレー１０に対して一対３３の整合
ビン３０が設りられるのである。

それぞれの対３３の整合ビンの間の中心間距離ＤＩはア
レー整合溝の間に距離りに合致し、それぞれのビンの対
３３が、それぞれの整合）Ｍとアレーのベース１２の側
部１９との間の距離Ｄ′の２倍に宿しい距離Ｄ２だけ次
のビンの対から離隔されている。既述のように第２図の
実施例において、整合ビン３０の直径ｄ′はＹ方向のア
レー整合溝２０’　、２１’の寸法Ｗ′に実質的に等し
い。

一連の計画的に配置された真空ボート３５が■Ｖ！のベ
ース２７に設りられていて、これらの゛ボート３５は工
具のベース２７を貫通して適当な真空容器（図示せず）
に連通している。理解されるように、ボー［−３５にり
えられる真空はベース２７上に置かれた小さいアレー１
０を工具２５の表面２日と緊密に係合づるように吸引す
るのを助り、Ｊる。

第４図、第５図および第６図を特に参照し、多数の小さ
い走査アレー１０から長い複合走査アレーを絹み立てる
ために、小さいアレー１０は整合工具２５に１列に配置
され、アレー１０の表面１７が工具２５の表面２９に対
面し、Ｔ！ｉ　２５のアレー整合ビン３０の対３３がそ
れぞれのアレー１０のアレー整合溝２０．２１（または
２０′。

２１′　）内に突出づ゛るようになされる。Ｔ具２５の
ポート３５に導かれる真空がアレー１０を］二具２５に
ヌ＝Ｉ　して緊１ぞに吸引し、第６図に示されるように
突出しているアレー整合ビン３０をアレー整合）黄白に
押し込み、物理的に個々のアレーを互いに伯のアレーに
ｉ［シフ端部対端部の当接関係に配置する。叩解される
ように、溝２０，２１　（または２０’　、２１’　）
傾斜覆る側面２３はビン３０の外端と協１ΦＪＩ　Ｌ／
て溝をビン３０に対して芯合せを行い、これによってそ
れぞれのアレー１０を工具２５−ＶにＸ方向に正しく位
置決めり−る。

第１図のアレーの実施例において、アレーのベース１２
の縁部以下で溝２０．２１から伸長しくいることによっ
て、個々のアレーは整合工具２５と組み合される間に整
合ビンの対３３上で前方に滑らされ、１Ｒ２０，２１の
内壁２３′が接触づるまでそれぞれのアレーが整合ビン
３０上を前方に勅かされる。理解されるように、この手
順はそれぞれのアレー１０をＹ方向および２方向の両方
に位置決めし、個々のアレー１０およびこれらのアレー
をＸ方向に位置決め覆る工具２５のそれぞれの表面１７
．２９の間に面対面の接触を行ね仕る。

第２図の実施例において、個々のアレー１０は整合工具
２５上で滑らせて定位置に位置決めするのでなく上方か
ら下方に降下させ−Ｃ位置決めするようになっている。

ビン３０の直径が溝２０′。

２１′の長手方向の伸長量に合致しているから、工具２
５にそれぞれのアレー１０を組合せる時それぞれの溝２
０’　、２１’　に位置決めビン３０が相Ｈ係合づるこ
とによってアレー１０をＸ方向及びＹ方向に正確に位置
決めづる。整合工具２５上に長い複合走査アレー５０を
構成りる仝体の数の、走査アレー１０を配置して位置決
めした後で、例えば銅を被覆されたアンバーにより作ら
れることができるベース部材５２が工具２５上に組合さ
れた７１ノーの底面１７′に対面して配置される。ベー
ス部材５２の寸法はアレーの組立体の寸法より僅かに大
きいのが望ましい。アレー上にベース部材５２を配置し
た後で、ベース部材５２はエポキシ接着剤によるように
してアレーに固く取（＝Ｊけら゛れる。その後で整合１
．１３．２５が取り外されて第り図に示されるような甲
〜の複合全１アレー５０が　・残される。ここに示され
た１にＡ働υる満及びビンの代りに伯の形状、組合せ及
び配置を有りるアレー整合付形部分を設けることが、例
えば走査アレー１０及び整合工具２５の両方に対して単
一の協働する整合付形部分を設けることを含んで実施可
能である。当業者には理解できるように、走査アレー１
０が（１１０）シリコンより成る場合にはエツチングに
よって形成されたアレー整合）態はＶ形でなくＵ形断面
となされる。整合量は入れ部がアレー１０上に示され、
協働する突起が工具２５上に示されているが、整合付形
部分の型式は、整合突起が個々の走査アレー１０に形成
され、整合量は入れ部が工具２５上に形成されるように
逆になげことができる。

本発明は一ト述の構造のものを参照して説明されたが、
このような詳細構造に限定されるものではなく、特６！
ｌ晶求の範囲に限定されるような修正または変更を包含
することが企図されているのである。

【図面の簡単な説明】 第１図は全１１］走査アレーの組立をｉｌ能と４了りた
め同様のアレーを端部対端部の当接関係に組合せるのを
容易になすように設計された本発明の走査アレーの斜視
図゛。 第２図は変形形態の走査アレーの斜視図。 第３図は命中走査アレーを形成するために正確な予め定
められた当接関係に第１図及び第２図の走査アレーを組
合けるための本発明の整合工具の斜視図。 第４図は第１図及び第２図に示される型式のアレーが第
３図の整合工具によって端部対端部の当接関係になされ
て金山走査アレーを形成する本発明の組立ての手順を示
す斜視図。 第５図は本発明の原理によって構成された全

【１】走査
アレーを示す斜視図。 第６図は第３図の整合工具及び第１図及び第２図のアレ
ーの組合うアレー整合ビン及び溝の間の作用的関係を承
り拡大説明図。 １０・・・セン１ナー７レ−？ｌなわら走査アレー１２
・・・アレーのベース １４・・・センター １５・・・センターの列 ２０．２０’　、２１．２１’　・・・アレー整合溝２
５・・・整合工具 ２７・・・工具のベース ３０・・・ｊル−整合ビン ３３・・・アレー整台ビン対 ３５・・・真空ポート ５０・・・複合走査アレー ５２・・・ベース部材 代理人　浅　ｔｒ４　　　　皓 ＦＩＧ、　／ ＦＩＧ　２

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 予め設定された数の小さい走査アレーを正確な端部対端
   部当接関係に位置決めして予め決められた長さの複合走
   査アレーを形成する工具において、ａ）　少なくとも１
   つの実質的に平らな表面を有するベースと、 １＋）　　予め定められたアレー整合パターンにて前記
   ベースの平らな表面上に配列された多数の別々のアレー
   整合イ」形部分であって、前記ベースに対して前記予め
   設定された小さいアレーを組合せた時にそれぞれの小さ
   いアレーの多数の７レ一整合（＝Ｊ形部分と相互錠止す
   るように協働して、これによって前記小さいアレーを互
   いに当接関係に、正確に位置決めして整合させ、前記予
   め定められた長さ・の複合走査アレーを形成するように
   なづ前記ベースの平らな表面上の多数の別々のアレー整
   合イ」形部分と、を包含する事を特徴とする工具。