JPS59134007U - 微小隙間の動的変化を光学的に測定する装置 - Google Patents
微小隙間の動的変化を光学的に測定する装置Info
- Publication number
- JPS59134007U JPS59134007U JP2576183U JP2576183U JPS59134007U JP S59134007 U JPS59134007 U JP S59134007U JP 2576183 U JP2576183 U JP 2576183U JP 2576183 U JP2576183 U JP 2576183U JP S59134007 U JPS59134007 U JP S59134007U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- beam splitter
- measured
- measurement
- dynamic changes
- Prior art date
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のドツプラー効果を利用したレーザー測定
装置を示す図、第２図は本考案の微小隙間の動的変化を
光学的上測定する装置を示す図、第３図は微小隙間測定
装置の一実施例を示す図である。 １７・・・・・・レーザ発振器、１９・・・・・ゼーム
スプリツタ、２０・・・・・・偏光ビームスプリッタ、
２３・・・・・・オプチカルファイバ、２４．２５・・
・・・・被測定物、３１、 ３２． ４９・・・・・・
光電変換素子、３３，３４゜３５．３６・・・・・・増
幅器、３７・・・・・・信号処理回路。
装置を示す図、第２図は本考案の微小隙間の動的変化を
光学的上測定する装置を示す図、第３図は微小隙間測定
装置の一実施例を示す図である。 １７・・・・・・レーザ発振器、１９・・・・・ゼーム
スプリツタ、２０・・・・・・偏光ビームスプリッタ、
２３・・・・・・オプチカルファイバ、２４．２５・・
・・・・被測定物、３１、 ３２． ４９・・・・・・
光電変換素子、３３，３４゜３５．３６・・・・・・増
幅器、３７・・・・・・信号処理回路。
Claims (1)
- 直交直線偏光された２周波の光を発するレーザ発振器、
レーザ発振器から出た光を１周波に分岐する偏光ビーム
スプリッタ、偏光ビームスプリッタから出た光を被測定
物に導（偏波面保存光ファイバ、上記光ファイバによっ
て導かれた光を透過光と反射光に分離し透過した光が再
び逆方向から入射すると光の偏光方向が入射した時点と
９０゜変わるように成した１７４波長板、１八波長板を
透過した光を入射方向と逆方向に反射する反射板、参照
光と測定光に分岐するビームスプリッタ−１被測定物か
らの測定信号を電気信号に変換する測定用光検出器、参
照光を電気信号に変換する参照用光検出器、被測定物の
１八波長板と反射板との・ 相対的な動きに応じて生じ
るドツプラーシフトをモニタする減算器、減算器でモニ
タされた信号を積算するカウントレジ支り、積算値をサ
ンプルして演算処理する計算器、計算結果を表示する表
示器から構成したことを特徴とする微小隙間の動的変化
を光学的に測定する装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2576183U JPS59134007U (ja) | 1983-02-25 | 1983-02-25 | 微小隙間の動的変化を光学的に測定する装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2576183U JPS59134007U (ja) | 1983-02-25 | 1983-02-25 | 微小隙間の動的変化を光学的に測定する装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59134007U true JPS59134007U (ja) | 1984-09-07 |
Family
ID=30156734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2576183U Pending JPS59134007U (ja) | 1983-02-25 | 1983-02-25 | 微小隙間の動的変化を光学的に測定する装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59134007U (ja) |
-
1983
- 1983-02-25 JP JP2576183U patent/JPS59134007U/ja active Pending
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