JPS59133412A - 組立精度測定装置 - Google Patents
組立精度測定装置Info
- Publication number
- JPS59133412A JPS59133412A JP740183A JP740183A JPS59133412A JP S59133412 A JPS59133412 A JP S59133412A JP 740183 A JP740183 A JP 740183A JP 740183 A JP740183 A JP 740183A JP S59133412 A JPS59133412 A JP S59133412A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- diffracted light
- detection
- gap
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/52—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with simultaneous movement of head and record carrier, e.g. rotation of head
- G11B5/53—Disposition or mounting of heads on rotating support
- G11B5/531—Disposition of more than one recording or reproducing head on support rotating cyclically around an axis
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は回転体の周方向に沿って取付けられる複数の磁
気ヘッドの取付は精度を測定する組立精度測定装置に関
する。
気ヘッドの取付は精度を測定する組立精度測定装置に関
する。
ＶＴＲにおいては、回転体であるところのディスクに物
体としての２つの磁気ヘッドが１８０度ずれて取付けら
れていて、これら磁気ヘッドを磁気テープ上に走行させ
ることによって画面信号を取抄出すようになっている。
体としての２つの磁気ヘッドが１８０度ずれて取付けら
れていて、これら磁気ヘッドを磁気テープ上に走行させ
ることによって画面信号を取抄出すようになっている。
したがって、ディスクに取付けられた２つのヘッドがこ
のディスクの周方向に精密に１８０度の角度で取付けら
れていかければ、１７画間上の像にずれが生じてしまう
から、ＶＴＲの組立工程においては、そのディスクに対
する磁気ヘッドの組立精度の検査が極めて重要となる。
のディスクの周方向に精密に１８０度の角度で取付けら
れていかければ、１７画間上の像にずれが生じてしまう
から、ＶＴＲの組立工程においては、そのディスクに対
する磁気ヘッドの組立精度の検査が極めて重要となる。
従来、ディスクに対する磁気ヘッドの組立精度を検査す
るには、一対の顕微鏡をディスクの回転軸に対して正確
に１８０度の対向角度で配置し、これら各顕微鏡で拡大
される各磁気ヘッドの端面に設けられたスリット部が各
顕微鏡における視野の中心に位置するか否かによって上
記各磁気ヘッドがディスクに精密に１８０度の角度で組
立てられているかどうかを測定していた。
るには、一対の顕微鏡をディスクの回転軸に対して正確
に１８０度の対向角度で配置し、これら各顕微鏡で拡大
される各磁気ヘッドの端面に設けられたスリット部が各
顕微鏡における視野の中心に位置するか否かによって上
記各磁気ヘッドがディスクに精密に１８０度の角度で組
立てられているかどうかを測定していた。
しかしながら、このような測定手段によると、一対の顕
微鏡の光軸をディスクの回転軸の中心に正確に合せるこ
とや１８０度の対向角度で配置するととに多大な労力を
要す石ばかりか誤差が生じやすく、また測定に際しては
ピント調整を行なったシ、一対の顕微鏡をそれぞれ覗か
なければならないなどのことによシ、作業性が極めて悪
かった。
微鏡の光軸をディスクの回転軸の中心に正確に合せるこ
とや１８０度の対向角度で配置するととに多大な労力を
要す石ばかりか誤差が生じやすく、また測定に際しては
ピント調整を行なったシ、一対の顕微鏡をそれぞれ覗か
なければならないなどのことによシ、作業性が極めて悪
かった。
さらに、顕微鏡による測定は測定者が目で見て判断する
から、判断基準にばらつきが生じて測定精度の向上に限
界があった。
から、判断基準にばらつきが生じて測定精度の向上に限
界があった。
本発明は磁気ヘッドの対向角度を光電的に測定すること
によって、その測定を容易かつ高精度に行えるようにし
た組立精度測定装置を提供することにある。
によって、その測定を容易かつ高精度に行えるようにし
た組立精度測定装置を提供することにある。
回転中の磁気ヘッドのギャップ部分に照射するようにレ
ーザ光の放出位置を定めるとと亀に、上記ギャップ部分
からの回折光を磁気ヘッド別に検出する検出手段を設け
、さらに連続する三つの検出信号のうち第１と第２、第
２と第３のそれぞれの検出時間の差で磁気ヘッドの対向
角度を測定するように構成したものである。
ーザ光の放出位置を定めるとと亀に、上記ギャップ部分
からの回折光を磁気ヘッド別に検出する検出手段を設け
、さらに連続する三つの検出信号のうち第１と第２、第
２と第３のそれぞれの検出時間の差で磁気ヘッドの対向
角度を測定するように構成したものである。
本発明を説明する前に磁気ヘッドについて第１図および
第２図にて若干説明する。すなわち、回転板（１）上に
二つの磁気ヘッド（２）、 （３）がそれぞれの磁性作
用面を外向きにして１８０度に対向して設けられている
。さらに磁気ヘット責２）、（３）のギャップ部（４）
はたとえば一方の磁気ヘッド（２）が第２図（ａ）に示
す角度θとすると、他方の磁気ヘッド（３）は同図に）
に示すように逆の向きの角度θとなる関係にされている
。θは一般的には７度にされている。第６図（ａ） ｔ
ｉ磁気ヘッドの拡大図を示す。第６図ら）はり、形状は
各々異なる。本発明は磁気ヘッド（２）。
第２図にて若干説明する。すなわち、回転板（１）上に
二つの磁気ヘッド（２）、 （３）がそれぞれの磁性作
用面を外向きにして１８０度に対向して設けられている
。さらに磁気ヘット責２）、（３）のギャップ部（４）
はたとえば一方の磁気ヘッド（２）が第２図（ａ）に示
す角度θとすると、他方の磁気ヘッド（３）は同図に）
に示すように逆の向きの角度θとなる関係にされている
。θは一般的には７度にされている。第６図（ａ） ｔ
ｉ磁気ヘッドの拡大図を示す。第６図ら）はり、形状は
各々異なる。本発明は磁気ヘッド（２）。
（３）の取付は精度測定のため、上記ギャップ部に照射
したレーザ光の回折光をもとに測定するように構成して
いる。レーザ光の磁性作用面Ｑ１）による正反射光の方
向を中心として、ギャップ部（４）の角度に直交する偏
平な光束になって進む。このため、第６図（ｂ）の磁性
作用面（２１）の断面形状によっても回折光の方向は変
化する。
したレーザ光の回折光をもとに測定するように構成して
いる。レーザ光の磁性作用面Ｑ１）による正反射光の方
向を中心として、ギャップ部（４）の角度に直交する偏
平な光束になって進む。このため、第６図（ｂ）の磁性
作用面（２１）の断面形状によっても回折光の方向は変
化する。
第３図は本発明の一実施例で、（５）はＨｅ −Ｈｅレ
ーザ発振器で、この発振器（５）は放出されるレーザ光
（Ｌ）が所定位置で回転されている回転板（１）上に取
付けられている磁気ヘッド（２）、 （３）のギャップ
部（４）の設けられている湾曲面に所定の入射角度で集
光レンズ（６ａ）を介し、照射する位置に設けられてい
る。なお、ギャップ（４）は投光されたときの回折部と
なる。そして磁気ヘッド（２）からの回折光（Ｌｌ）お
よび磁気ヘッド（２）に対向している他方の磁気ヘッド
（３）が図示の磁気ヘッド（２）の位置にきたとき得ら
れる回折光（Ｌ、）の二つの光束を透過させるように集
光レンズ（６）が設けられている。また、集光レンズ（
６ｂ）を透過した一方の回折光（Ｌｌ）の光路には第１
のプリズム（７）が設けられ、同じく他方の回折光（Ｌ
りの光路には第２のプリズム（８）が設けられている。
ーザ発振器で、この発振器（５）は放出されるレーザ光
（Ｌ）が所定位置で回転されている回転板（１）上に取
付けられている磁気ヘッド（２）、 （３）のギャップ
部（４）の設けられている湾曲面に所定の入射角度で集
光レンズ（６ａ）を介し、照射する位置に設けられてい
る。なお、ギャップ（４）は投光されたときの回折部と
なる。そして磁気ヘッド（２）からの回折光（Ｌｌ）お
よび磁気ヘッド（２）に対向している他方の磁気ヘッド
（３）が図示の磁気ヘッド（２）の位置にきたとき得ら
れる回折光（Ｌ、）の二つの光束を透過させるように集
光レンズ（６）が設けられている。また、集光レンズ（
６ｂ）を透過した一方の回折光（Ｌｌ）の光路には第１
のプリズム（７）が設けられ、同じく他方の回折光（Ｌ
りの光路には第２のプリズム（８）が設けられている。
上記二つのプリズムは磁気ヘッド（２）、 （３）のギ
ャップ角度の方向に直交する向きにカりかつそれぞれの
回折光の光束に合う形状をしているもので、それぞれの
プリズムは上下に移動する移動ステージ（１６）、（１
７１に取り付けられている。上記磁性作用面（２１）に
よるレーザ光の正反射光はビーム位置センサα樽に入力
しビーム位置センサＯＩからの検出信号は制御回路α値
は上記移動ステージ（ＩＬＤ？）を駆動する。第１．第
２のプリズム（７）、 （Ｒ）で偏向された回折光（Ｌ
ｌ）、 （Ｌりは検出器（９）で検出されるようになっ
ている。上記第１の検出器（９）は第４図に示すように
第１．第２のセンサ（１１）、（１２とがわずかに離間
した状態で並設されている。第１の検出器（９）で得ら
れた信号は差動アンプ０湧、ゲート回路（イ）を通して
信号処理装置α値に入力するようになっている。
ャップ角度の方向に直交する向きにカりかつそれぞれの
回折光の光束に合う形状をしているもので、それぞれの
プリズムは上下に移動する移動ステージ（１６）、（１
７１に取り付けられている。上記磁性作用面（２１）に
よるレーザ光の正反射光はビーム位置センサα樽に入力
しビーム位置センサＯＩからの検出信号は制御回路α値
は上記移動ステージ（ＩＬＤ？）を駆動する。第１．第
２のプリズム（７）、 （Ｒ）で偏向された回折光（Ｌ
ｌ）、 （Ｌりは検出器（９）で検出されるようになっ
ている。上記第１の検出器（９）は第４図に示すように
第１．第２のセンサ（１１）、（１２とがわずかに離間
した状態で並設されている。第１の検出器（９）で得ら
れた信号は差動アンプ０湧、ゲート回路（イ）を通して
信号処理装置α値に入力するようになっている。
なお、第１の検出器（９）において、第１のセンサ０η
は差動アンプ０３１における非反転入力端子６６）Ｋ接
続され、また、第２のセンサＱ３は反転入力端子（１？
）に接続されている。回転板（１）の回転とともに、レ
ーザ光が磁気ヘッド（２）、（３）の端部（第６図（イ
））に入射したときレーザ光は四方に散乱し、その一部
はレンズ（６ｂ）で集光され、プリズムを通らないで第
２の検出器ａ１に入射する。第２の検出器α〔からの検
出信号は上記ゲート回路に入力する。
は差動アンプ０３１における非反転入力端子６６）Ｋ接
続され、また、第２のセンサＱ３は反転入力端子（１？
）に接続されている。回転板（１）の回転とともに、レ
ーザ光が磁気ヘッド（２）、（３）の端部（第６図（イ
））に入射したときレーザ光は四方に散乱し、その一部
はレンズ（６ｂ）で集光され、プリズムを通らないで第
２の検出器ａ１に入射する。第２の検出器α〔からの検
出信号は上記ゲート回路に入力する。
次に上記構成の作用について説明する。
まず、レーザ光を第１の磁気ヘッド（２）に入射させ、
正反射光をビームボジシ曹ンセンサ（！ｅＫ入力し、正
反射光の反射方向を検出し、レーザ光がギャップ（４）
に入射したとき、回折光（Ｌｌ）の予想される光路まで
第１のプリズム（７）を制御回路（１’Ｊと移動ステー
ジａｅによって移動させる。次に回転板（１）を半回転
し、第２の磁気ヘッド（３）についても同様のことを行
い、第２のプリズム（８）を移動させる。回転板（１）
を一定速度で回転するとともにレーザ発振器（５）を作
動させてレーザ光（Ｌ）を出力すると、とのレーザ光（
Ｌ）は回転板（１）とともに回転する一対の磁気ヘッド
（２） 、 （３）の湾曲面を順次照射することになる
。レーザ光（Ｌ）が一方の磁気ヘッド（２）のギャップ
部（４）を照射したとき、散乱し回折光（Ｌｌ）が集光
レンズ（６ｂ）および第１のプリズム（７）を透過して
検出器（９）で検出される。この検出においては前記構
成の説明で述べたように第１のプリズム（７）の形状お
よび設置状態が回折光（Ｌｌ）のみを透過するようにな
っている。そして、上記回転に伴ない第４図の矢印で示
すように第１のセンサＱυから第２のセンサｕ４への移
行して検知される。したがって、差動アンプ０での演算
記号である第１のセンサ（Ｉυの出力Ｂ、と第２のセン
サＱ邊の出力Ｅ、との差ΔＥは第５図（！Ｉ） Ｋ示す
ように正から負へと反転する。すなわち、回折光（Ｌυ
が第１のセンサαυから第２のセンサＨに移行する瞬間
がゼロクロス点Ｚ、となシ、とのＺ、が生じたときの時
点が信号処理装置０！１９に記憶される。
正反射光をビームボジシ曹ンセンサ（！ｅＫ入力し、正
反射光の反射方向を検出し、レーザ光がギャップ（４）
に入射したとき、回折光（Ｌｌ）の予想される光路まで
第１のプリズム（７）を制御回路（１’Ｊと移動ステー
ジａｅによって移動させる。次に回転板（１）を半回転
し、第２の磁気ヘッド（３）についても同様のことを行
い、第２のプリズム（８）を移動させる。回転板（１）
を一定速度で回転するとともにレーザ発振器（５）を作
動させてレーザ光（Ｌ）を出力すると、とのレーザ光（
Ｌ）は回転板（１）とともに回転する一対の磁気ヘッド
（２） 、 （３）の湾曲面を順次照射することになる
。レーザ光（Ｌ）が一方の磁気ヘッド（２）のギャップ
部（４）を照射したとき、散乱し回折光（Ｌｌ）が集光
レンズ（６ｂ）および第１のプリズム（７）を透過して
検出器（９）で検出される。この検出においては前記構
成の説明で述べたように第１のプリズム（７）の形状お
よび設置状態が回折光（Ｌｌ）のみを透過するようにな
っている。そして、上記回転に伴ない第４図の矢印で示
すように第１のセンサＱυから第２のセンサｕ４への移
行して検知される。したがって、差動アンプ０での演算
記号である第１のセンサ（Ｉυの出力Ｂ、と第２のセン
サＱ邊の出力Ｅ、との差ΔＥは第５図（！Ｉ） Ｋ示す
ように正から負へと反転する。すなわち、回折光（Ｌυ
が第１のセンサαυから第２のセンサＨに移行する瞬間
がゼロクロス点Ｚ、となシ、とのＺ、が生じたときの時
点が信号処理装置０！１９に記憶される。
ついで、他方の磁気ヘッド（３）からの回折光（Ｌ、）
が検出器（９）における第１．第２のセンサＱｌ）、（
１３で検知され、第５図（ｂ）Ｋ示すようにこのときの
ゼロクロス点（為）が先程と同じように差動アンプＩで
演算される。そして、先程のゼロクロス点ｚ１が検知さ
れてから今度のゼロクロス点Ｚ、が検知されるまでの周
期Ｔ、が信号処理装置（１Ｇに記憶される。
が検出器（９）における第１．第２のセンサＱｌ）、（
１３で検知され、第５図（ｂ）Ｋ示すようにこのときの
ゼロクロス点（為）が先程と同じように差動アンプＩで
演算される。そして、先程のゼロクロス点ｚ１が検知さ
れてから今度のゼロクロス点Ｚ、が検知されるまでの周
期Ｔ、が信号処理装置（１Ｇに記憶される。
さらに、回転板（１）が回転することにより、再び最初
の磁気ヘッド（２）のギャップ部（４）からの回折光（
Ｌｌ）により上記と同じ作用で第５図（ａ）に示すゼロ
クロス点Ｚｓが再度差動アンプａｊで演算され上記ゼロ
クロス点Ｚ！からゼロクロス点２．が演算されるときま
での周期Ｔｔが信号処理装置０！９に記憶される。
の磁気ヘッド（２）のギャップ部（４）からの回折光（
Ｌｌ）により上記と同じ作用で第５図（ａ）に示すゼロ
クロス点Ｚｓが再度差動アンプａｊで演算され上記ゼロ
クロス点Ｚ！からゼロクロス点２．が演算されるときま
での周期Ｔｔが信号処理装置０！９に記憶される。
以上のようにして記憶された周期Ｔ、およびＴ２はさら
に信号処理装ＷａＳにおいて比較演算される。
に信号処理装ＷａＳにおいて比較演算される。
ここで、回転板（１）に取付けられた一対の磁気ヘッド
（２）、 （３）が正確に１８０度の角度で設けられて
いるならば、’ｒ、＝Ｔ、となるから、上記信号処理装
置（１５）が周期Ｔ１とＴ！とを比較演算するととによ
って一対の磁気ヘッド（２）、 （３）の組立精度が求
められることになる。ところが、磁性作用面Ｑηに傷や
汚れがある場合、これらによるレーザ光の散乱光は非常
に強力で、散乱光の一部が第１と第２のプリズムを通り
検出器（９）に入射したときは、第５図に示す信号と同
様の信号が得られるため、測定の誤動作を生じさせる。
（２）、 （３）が正確に１８０度の角度で設けられて
いるならば、’ｒ、＝Ｔ、となるから、上記信号処理装
置（１５）が周期Ｔ１とＴ！とを比較演算するととによ
って一対の磁気ヘッド（２）、 （３）の組立精度が求
められることになる。ところが、磁性作用面Ｑηに傷や
汚れがある場合、これらによるレーザ光の散乱光は非常
に強力で、散乱光の一部が第１と第２のプリズムを通り
検出器（９）に入射したときは、第５図に示す信号と同
様の信号が得られるため、測定の誤動作を生じさせる。
これを防ぐため、第２の検出器部が磁気ヘッド（２）、
（３）の端部（ハ）からの散乱光を検出してから、回
転板（１）が、上記端部（２つとギャップ（４）との距
離１だけ回転する時間だけ待ってゲート翰を開き、レー
ザ光がギャップ（４）を照射すると予想される時間だけ
、検出器（９）からの信号を信号処理装置ａ！９に入力
させてやる。これにより上述の誤動作を防ぐととができ
る。
（３）の端部（ハ）からの散乱光を検出してから、回
転板（１）が、上記端部（２つとギャップ（４）との距
離１だけ回転する時間だけ待ってゲート翰を開き、レー
ザ光がギャップ（４）を照射すると予想される時間だけ
、検出器（９）からの信号を信号処理装置ａ！９に入力
させてやる。これにより上述の誤動作を防ぐととができ
る。
なお、上記実施例では回転板に二つの磁気ヘッドが取付
けられている場合について述べたが、ギヤ、プ角度が上
記のように、（＋）、（−）の関係が交互にあられれる
ようになっていれば三つあるいはそれ以上であってもゼ
ロクロス点の周期の演算が可能であり、組立精度が測れ
る。
けられている場合について述べたが、ギヤ、プ角度が上
記のように、（＋）、（−）の関係が交互にあられれる
ようになっていれば三つあるいはそれ以上であってもゼ
ロクロス点の周期の演算が可能であり、組立精度が測れ
る。
以上述べたように本発明は、回転体の周方向に沿って取
付けられた散乱部を有する複数の物体の組立精度を測定
する場合に、各物体にレーザ光を照射してその散乱部か
ら回折する回折光を並設された第１のセンサと第２のセ
ンサとで検知し、このときに生じるゼロクロス点を差動
アンプで演算するとと亀に、との差動アンプから出力さ
れるゼロクロス点の周期を信号処理装置で演算すること
によシ、各物体の回転体の周方向における取付は角度を
求めるようにした。しかも、回折光の検出にあたっては
磁気ヘッドのギャップ形成角度に対応した二個のプリズ
ムを設は回折光以外の余分な光を避けるようにするとと
もに、個々のプリズムをビームボジシ璽ンセンサの検出
信号によって移動できるようにしたので、種々の断面形
状を持つ磁気ヘッドについても測定できるようになった
。
付けられた散乱部を有する複数の物体の組立精度を測定
する場合に、各物体にレーザ光を照射してその散乱部か
ら回折する回折光を並設された第１のセンサと第２のセ
ンサとで検知し、このときに生じるゼロクロス点を差動
アンプで演算するとと亀に、との差動アンプから出力さ
れるゼロクロス点の周期を信号処理装置で演算すること
によシ、各物体の回転体の周方向における取付は角度を
求めるようにした。しかも、回折光の検出にあたっては
磁気ヘッドのギャップ形成角度に対応した二個のプリズ
ムを設は回折光以外の余分な光を避けるようにするとと
もに、個々のプリズムをビームボジシ璽ンセンサの検出
信号によって移動できるようにしたので、種々の断面形
状を持つ磁気ヘッドについても測定できるようになった
。
また、反射鏡等の光学系を必要としない構成にしたので
、装置が簡略になり、若干の振動があっても測定精度が
維持できるなどの効果を奏せる。さらに、磁気ヘッド端
部からの散乱光を検出し、ゲート回路によって、ギャッ
プにレーザ光が入射されると予想される時間だけ、ゲー
トを開いてやることによシ、磁気ヘッド磁性作用面上の
傷や、汚れに影響されることなく測定できるようになっ
た。
、装置が簡略になり、若干の振動があっても測定精度が
維持できるなどの効果を奏せる。さらに、磁気ヘッド端
部からの散乱光を検出し、ゲート回路によって、ギャッ
プにレーザ光が入射されると予想される時間だけ、ゲー
トを開いてやることによシ、磁気ヘッド磁性作用面上の
傷や、汚れに影響されることなく測定できるようになっ
た。
また、従来の顕微鋺による測定手段のように光軸を回転
体の回転中心に正確に合せたり、ピント調整を行たった
どのことをせずにすむから、測定を能率よく高精度に行
なえ、しかも作業者が直接肉眼によって測定するという
ことをせずにすむから、このことによっても測定精度の
向上がはかれる。
体の回転中心に正確に合せたり、ピント調整を行たった
どのことをせずにすむから、測定を能率よく高精度に行
なえ、しかも作業者が直接肉眼によって測定するという
ことをせずにすむから、このことによっても測定精度の
向上がはかれる。
第１図は磁気ヘッドの取付は状態を示す平面図、第２図
（ａ）、（ｂ）は磁気ヘッドのギャップ部を示す上面図
、第３図は本発明の一実施例を示す概略的構成図、第４
図は第１．第２のセンサによって物体からのレーザ光が
検知される状態の説明図、第５図（ａ）、（ｂ）は差動
アンプから出力される演算信号の説明図、第６図（ａ）
は磁気ヘッドの拡大図、同図巾）は第ｅ、 鹸イー Ａ
線における断面図である。 （１）・・・回転体 （２）、（３）・・・磁
気ヘッド（４）・・・ギャップ （５）・・・レ
ーザ発振器（６ａ）、（６ｂ）・・・集光レンズ （７
）・・・第１のプリズム（８）・・・第２のプリズム
（９）・・・第１の検出器−・・・第２の検出器
Ｉ・・・第１のセンサａり・・・第２のセンサ
（１３）・・・差動アンプ（財）・・・第２のアンプ
霞・・・信号処理装置（１６１・・・移動ステージ
０η・・・移動ステージ鱈・・・ビーム位廿セ
ンサ ０・・・制御回路（イ）・・・ゲート回路 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名） １７図 軍２図 （ａン（ｂ） 箪３ 図 （０Ｌ）ＣＩ）） ■４図 ′Ｆ５図
（ａ）、（ｂ）は磁気ヘッドのギャップ部を示す上面図
、第３図は本発明の一実施例を示す概略的構成図、第４
図は第１．第２のセンサによって物体からのレーザ光が
検知される状態の説明図、第５図（ａ）、（ｂ）は差動
アンプから出力される演算信号の説明図、第６図（ａ）
は磁気ヘッドの拡大図、同図巾）は第ｅ、 鹸イー Ａ
線における断面図である。 （１）・・・回転体 （２）、（３）・・・磁
気ヘッド（４）・・・ギャップ （５）・・・レ
ーザ発振器（６ａ）、（６ｂ）・・・集光レンズ （７
）・・・第１のプリズム（８）・・・第２のプリズム
（９）・・・第１の検出器−・・・第２の検出器
Ｉ・・・第１のセンサａり・・・第２のセンサ
（１３）・・・差動アンプ（財）・・・第２のアンプ
霞・・・信号処理装置（１６１・・・移動ステージ
０η・・・移動ステージ鱈・・・ビーム位廿セ
ンサ ０・・・制御回路（イ）・・・ゲート回路 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名） １７図 軍２図 （ａン（ｂ） 箪３ 図 （０Ｌ）ＣＩ）） ■４図 ′Ｆ５図
Claims (1)
- 少なくとも二つの磁気ヘッドを回転板の周方向に沿う位
置でかつ上記磁気ヘッドに所定の角度で形成されたギャ
ップの上記回転板の回転軸に対しての傾きが互いに反対
方向に向くように取り付は上記各磁気ヘッドの所定設置
の設置ずれ量を測定する組立精度測定装置において、上
記回転板を回転する手段とこの回転中に上記ギャップに
レーザ光を照射させる位置に設けられるレーザ発振装置
と、上記ギャップの形成角度に応じた方向に進む上記ギ
ャップからの回折光を所定個所で集光する光学系と、こ
の光学系を透過した二つの光路に別々に設けられかつこ
れら透過した回折光の光束とはぼ同形の透過面を有し上
記光学系の集束点とは異なる方向に偏向させる第１．第
２のプリズムと、磁気ヘッドの磁性作用面によるレーザ
光の正反射光の方向を検出するビーム位置センサと、ビ
ーム位概センサからの検出信号を入力する制御回路と、
制御回路からの出力信号によって、第１と第２のプリズ
ムの位置を移動させる移動ステージと、これらプリズム
を透過した各回折光を検出する第１の検知系と、レーザ
光が磁気ヘッドの端部に入射したとき発生する散乱光を
検出する第２の検知系と、第２の検知系が上記散乱光を
検出してから、磁気ヘッド形状で定まる一定時間後に、
一定時間だけ第１の検知系の検知信号を通過させるゲー
ト回路と、ゲート回路を通過した上記検知系よりの検知
信号を受は選ばれた連続する三つの検出信号の第１番目
から第２番目に至る検出時間と第２番目から第３番目に
至る検出時間との差異で上記ギャップの所定角度からの
ずれ量を検出する信号処理装置とを備えることを特徴と
する組立精度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP740183A JPS59133412A (ja) | 1983-01-21 | 1983-01-21 | 組立精度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP740183A JPS59133412A (ja) | 1983-01-21 | 1983-01-21 | 組立精度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59133412A true JPS59133412A (ja) | 1984-07-31 |
| JPH059722B2 JPH059722B2 (ja) | 1993-02-05 |
Family
ID=11664859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP740183A Granted JPS59133412A (ja) | 1983-01-21 | 1983-01-21 | 組立精度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59133412A (ja) |
-
1983
- 1983-01-21 JP JP740183A patent/JPS59133412A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH059722B2 (ja) | 1993-02-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR0149741B1 (ko) | 위치좌표 측정방법 및 위치좌표 측정장치 | |
| US4097160A (en) | Method for inspecting object defection by light beam | |
| US4033696A (en) | Lens meter | |
| JPS59133412A (ja) | 組立精度測定装置 | |
| JPH01107139A (ja) | パターン検知装置 | |
| US4597668A (en) | Device for checking positional accuracy | |
| JPS622113A (ja) | 反射光による表面粗さ計 | |
| JP2983318B2 (ja) | 形状測定装置及び測定法 | |
| JPH05500853A (ja) | ガラス管壁の厚さを決定するための方法及び装置 | |
| JPH0128403Y2 (ja) | ||
| JPH0471453B2 (ja) | ||
| JPH0569165B2 (ja) | ||
| JP2591143B2 (ja) | 三次元形状測定装置 | |
| JPS6324243B2 (ja) | ||
| JP3365881B2 (ja) | レンズの屈折率検査装置 | |
| JPH04130239A (ja) | 動的面出入り測定装置 | |
| RU1768967C (ru) | Устройство дл контрол шероховатости поверхности | |
| SU1402802A1 (ru) | Способ контрол кривизны плоской поверхности | |
| JPH0331367B2 (ja) | ||
| JPH0518747A (ja) | 光軸調整方法 | |
| JPH0540024A (ja) | 形状測定システム | |
| JPS61271402A (ja) | 物体検出装置 | |
| JPH0118369B2 (ja) | ||
| JPH0359406A (ja) | 位置検出装置及び方法 | |
| JPS63223510A (ja) | 面形状測定装置 |