JPH0569165B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0569165B2 JPH0569165B2 JP14618985A JP14618985A JPH0569165B2 JP H0569165 B2 JPH0569165 B2 JP H0569165B2 JP 14618985 A JP14618985 A JP 14618985A JP 14618985 A JP14618985 A JP 14618985A JP H0569165 B2 JPH0569165 B2 JP H0569165B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- measured
- detector
- reflected light
- specularly reflected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(a) 発明の技術分野
この発明は、被測定物に光源の光を照射し、被
測定物からの鏡面反射光と散乱光とを検出して被
測定物の表面の粗さを測定する場合において、被
測定物と検出器との距離が多少変化しても、鏡面
反射光とともに一定の散乱角をもつた散乱光を検
出することができるようにした表面粗さ計に関す
るものである。
測定物からの鏡面反射光と散乱光とを検出して被
測定物の表面の粗さを測定する場合において、被
測定物と検出器との距離が多少変化しても、鏡面
反射光とともに一定の散乱角をもつた散乱光を検
出することができるようにした表面粗さ計に関す
るものである。
(b) 従来技術と問題点
反射光による表面粗さ計は、被測定物に光源の
光を照射し、被測定物からの反射光を検出して被
測定物の表面の粗さを測定する。この場合、測定
パラメータとして、鏡面反射光の光強度と、ある
特定の反射方向の散乱光強度とを求め、これらを
比較して被測定物の表面の粗さを測定する。
光を照射し、被測定物からの反射光を検出して被
測定物の表面の粗さを測定する。この場合、測定
パラメータとして、鏡面反射光の光強度と、ある
特定の反射方向の散乱光強度とを求め、これらを
比較して被測定物の表面の粗さを測定する。
このような場合の従来技術の構成図を第２図に
示す。
示す。
第２図の１は光源、２と３は検出器、４は被測
定物である。
定物である。
第２図では、光源１の光を被測定物４に入射角
Θで照射し、被測定物４からの鏡面反射光が反射
角Θで反射している。検出器２は反射角Θの鏡面
反射光を検出する。
Θで照射し、被測定物４からの鏡面反射光が反射
角Θで反射している。検出器２は反射角Θの鏡面
反射光を検出する。
被測定物４からは、表面の粗さに応じて鏡面反
射光以外の散乱光が発生する。
射光以外の散乱光が発生する。
検出器３は、鏡面反射光以外の特定の反射角に
対する散乱光を検出するためのものである。
対する散乱光を検出するためのものである。
第２図のような従来技術では、検出器２と検出
器３の距離を固定しているので、検出器２と被測
定物４の間の距離が変化すると、被測定物４から
の一定の散乱角をもつた散乱光を検出器３で検出
することはできなくなる。
器３の距離を固定しているので、検出器２と被測
定物４の間の距離が変化すると、被測定物４から
の一定の散乱角をもつた散乱光を検出器３で検出
することはできなくなる。
次に、検出器２、検出器３と被測定物４の距離
が変化した場合の状態を第３図により説明する。
が変化した場合の状態を第３図により説明する。
第３図のＬ１は検出器２と検出器３の距離、Ｌ
２とＬ３は検出器２と被測定物４の距離である。
２とＬ３は検出器２と被測定物４の距離である。
第３図では、Ｌ３＞Ｌ２になつており、距離Ｌ
２のときの散乱角Θ２と、距離Ｌ３のときの散乱
角Θ３との関係はΘ２＞Θ３になる。
２のときの散乱角Θ２と、距離Ｌ３のときの散乱
角Θ３との関係はΘ２＞Θ３になる。
第３図から明らかなように、検出器２と被測定
物４の距離が変化すると、検出器３に達する散乱
光の散乱角が変わつてしまうようになる。
物４の距離が変化すると、検出器３に達する散乱
光の散乱角が変わつてしまうようになる。
このような問題をなくすためには、光源１、被
測定物４、検出器２および検出器３の位置関係を
一定に保たなければならない。
測定物４、検出器２および検出器３の位置関係を
一定に保たなければならない。
(c) 発明の目的
この発明は、被測定物４と検出器２、検出器３
の距離が変わつても、鏡面反射光とともに一定の
散乱角をもつた散乱光を検出できるようにした表
面粗さ計の提供を目的とする。
の距離が変わつても、鏡面反射光とともに一定の
散乱角をもつた散乱光を検出できるようにした表
面粗さ計の提供を目的とする。
(d) 発明の実施例
この発明による実施例の構成図を第１図に示
す。
す。
第１図の５はハーフミラー、６はレンズ、７は
軸であり、その他の部分は第２図と同じである。
軸であり、その他の部分は第２図と同じである。
軸７は、鏡面反射光の進行方向である。
第１図では、ハーフミラー５を次のような状態
になるように配置する。
になるように配置する。
ハーフミラー５により、光源１からの光を反射
し、この反射光を軸７に沿つて被測定物４に導
き、被測定物４からの鏡面反射光を被測定物４へ
の入射光と正反対の方向の軸７に沿つて通過させ
るとともに、被測定物４からの散乱光を通過させ
る。
し、この反射光を軸７に沿つて被測定物４に導
き、被測定物４からの鏡面反射光を被測定物４へ
の入射光と正反対の方向の軸７に沿つて通過させ
るとともに、被測定物４からの散乱光を通過させ
る。
レンズ６の中心は軸７と一致するようにし、検
出器３をレンズ６の後側焦点面に配置し、レンズ
６に入射する一定角の散乱光を検出器３で検出さ
せるようにレンズ６を構成する。
出器３をレンズ６の後側焦点面に配置し、レンズ
６に入射する一定角の散乱光を検出器３で検出さ
せるようにレンズ６を構成する。
第１図から明らかなように、被測定物４とハー
フミラー５との距離がＬ１１，Ｌ１２，Ｌ１３の
ように変化しても、レンズ６により常に同じ散乱
角Θ１１の光線を検出器３で検出することができ
る。
フミラー５との距離がＬ１１，Ｌ１２，Ｌ１３の
ように変化しても、レンズ６により常に同じ散乱
角Θ１１の光線を検出器３で検出することができ
る。
(e) 発明の効果
この発明によれば、ハーフミラー５と、一定の
散乱角をもつた散乱光を集光するレンズ６を採用
しているので、検出器３と被測定物４の距離が多
少変化しても、鏡面反射光と一定の散乱角をもつ
た散乱光を確実に測定することができる。
散乱角をもつた散乱光を集光するレンズ６を採用
しているので、検出器３と被測定物４の距離が多
少変化しても、鏡面反射光と一定の散乱角をもつ
た散乱光を確実に測定することができる。
第１図はこの発明による実施例の構成図、第２
図は従来技術の構成図、第３図は検出器２、検出
器３と被測定物４の距離が変化した場合の状態説
明図。 １……光源、２……検出器、３……検出器、４
……被測定物、５……ハーフミラー、６……レン
ズ、７……軸。
図は従来技術の構成図、第３図は検出器２、検出
器３と被測定物４の距離が変化した場合の状態説
明図。 １……光源、２……検出器、３……検出器、４
……被測定物、５……ハーフミラー、６……レン
ズ、７……軸。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 光源１の光を被測定物４に照射し、被測定物
４からの鏡面反射光を第１の検出器２で検出する
とともに、被測定物４からの散乱光を第２の検出
器３で検出する表面粗さ計において、 光源１からの光を反射して被測定物４への照射
光とし、前記照射光に対し前記鏡面反射光を正反
対にするとともに、前記鏡面反射光と前記散乱光
を通過させるハーフミラー５と、 中心が前記鏡面反射光の進行方向と一致し、第
２の検出器３と被測定物４との距離が変化しても
被測定物４からの一定の散乱角をもつた散乱光を
第２の検出器３で検出されるように配置されたレ
ンズとを備えることを特徴とする反射光による表
面粗さ計。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14618985A JPS626111A (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | 反射光による表面粗さ計 |
| DE19863621567 DE3621567A1 (de) | 1985-06-28 | 1986-06-27 | Mit reflektiertem licht arbeitender oberflaechenrauheitsanalysator |
| GB8615726A GB2177793B (en) | 1985-06-28 | 1986-06-27 | Reflected light type surface roughness analyzer |
| GB8901427A GB2211712B (en) | 1985-06-28 | 1989-01-23 | Reflected light type surface roughness analyzer |
| GB8901426A GB2211711B (en) | 1985-06-28 | 1989-01-23 | Reflected light type surface roughness analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14618985A JPS626111A (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | 反射光による表面粗さ計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS626111A JPS626111A (ja) | 1987-01-13 |
| JPH0569165B2 true JPH0569165B2 (ja) | 1993-09-30 |
Family
ID=15402147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14618985A Granted JPS626111A (ja) | 1985-06-28 | 1985-07-03 | 反射光による表面粗さ計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS626111A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3318099B2 (ja) * | 1994-03-18 | 2002-08-26 | トピー工業株式会社 | 不均板厚ディスク |
| KR100488305B1 (ko) * | 2002-03-21 | 2005-05-11 | 주식회사 새 미 | 비접촉식 휴대용 표면거칠기 측정장치 |
-
1985
- 1985-07-03 JP JP14618985A patent/JPS626111A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS626111A (ja) | 1987-01-13 |
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