JPS61120003A - 赤外線厚さ測定装置 - Google Patents
赤外線厚さ測定装置Info
- Publication number
- JPS61120003A JPS61120003A JP24166384A JP24166384A JPS61120003A JP S61120003 A JPS61120003 A JP S61120003A JP 24166384 A JP24166384 A JP 24166384A JP 24166384 A JP24166384 A JP 24166384A JP S61120003 A JPS61120003 A JP S61120003A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- reflecting plate
- measured
- infrared rays
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の分野
この発明は、赤外線を用いて測定物体の厚さを測定する
装置に関するものである。
装置に関するものである。
（２）従来技術
従来、フィルムのような測定物体の厚みを測定するには
、測定物体に赤外線投光し、測定物体を反射または透過
した赤外線の減衰量から測定物体の膜厚、厚さを測定し
ていた。
、測定物体に赤外線投光し、測定物体を反射または透過
した赤外線の減衰量から測定物体の膜厚、厚さを測定し
ていた。
しかしながら、測定物体が薄い場合、透過形の測定方式
では、測定物体を透過した赤外線の十分な減衰量が得ら
れず、Ｓ ／’ Ｎ比が悪く、測定精度が悪かった。ま
た、測定物体が透明な場合、従来の反射形の測定方式で
は、投光した光がほとんど測定物体を透過してしまい、
測定物体を反射した赤外線の十分な反射光が得られず、
やはり、測定精度があまり良くなかった。
では、測定物体を透過した赤外線の十分な減衰量が得ら
れず、Ｓ ／’ Ｎ比が悪く、測定精度が悪かった。ま
た、測定物体が透明な場合、従来の反射形の測定方式で
は、投光した光がほとんど測定物体を透過してしまい、
測定物体を反射した赤外線の十分な反射光が得られず、
やはり、測定精度があまり良くなかった。
（３）発明の目的
この発明の目的は、以上の点に鑑み、透明なフィルムの
ような測定物体の厚さを高精度に測定することができる
ようにした赤外線厚さ測定装置を提供することである。
ような測定物体の厚さを高精度に測定することができる
ようにした赤外線厚さ測定装置を提供することである。
（４）発明の概要
この発明は、投受光一体形の検出器と、この検出品と測
定物体をはさんだ反対側に設【プられた反射板とを備え
、検出器から投光された赤外線は、測定物体を通過し、
反射板で反射され、再び測定物体を透過して検出器に入
射されるようにし、測定物体の厚さを測定するようにし
た赤外線厚さ測定装置である。
定物体をはさんだ反対側に設【プられた反射板とを備え
、検出器から投光された赤外線は、測定物体を通過し、
反射板で反射され、再び測定物体を透過して検出器に入
射されるようにし、測定物体の厚さを測定するようにし
た赤外線厚さ測定装置である。
（５）発明の実施例
第１図は、この発明の一実施例を示す構成説明図である
。
。
図に、１３いて、１は、投受光一体形の検出器、２は１
紙上に垂直に走行する透明フィルムのような測定物体３
をはざんで検出器１と対向する反対ｍｌの位置に設けら
れた反射板、４は、支持フレームで、上方フレーム４１
は検出器１を支持、走行・しない走行手段、制御手段に
より常に対向した位置で、同期して移動するようになっ
ている。また、反射板２は、アルミニウムの表面にアル
マイト処理を施し、ナシ刑法とされた拡散面となってい
る。
紙上に垂直に走行する透明フィルムのような測定物体３
をはざんで検出器１と対向する反対ｍｌの位置に設けら
れた反射板、４は、支持フレームで、上方フレーム４１
は検出器１を支持、走行・しない走行手段、制御手段に
より常に対向した位置で、同期して移動するようになっ
ている。また、反射板２は、アルミニウムの表面にアル
マイト処理を施し、ナシ刑法とされた拡散面となってい
る。
つまり、検出器１と反射板２とは、測定物体３の幅方向
を往復走査し、各点の厚みを測定する。
を往復走査し、各点の厚みを測定する。
検出器１からの赤外線は、測定物体３を透過し、反射板
２滲反射し、再び測定物体３を透過し、検出器１に入射
する。
２滲反射し、再び測定物体３を透過し、検出器１に入射
する。
測定が確実で、測定精度が向上する。
検出器１から投受光される赤外線として、例えば単一波
長のものを用い、その戻ってくる赤外線の減衰量から測
定物体３の厚さを測定してもよい。
長のものを用い、その戻ってくる赤外線の減衰量から測
定物体３の厚さを測定してもよい。
また第２図で示すように、光源１ｏの光を回転セクタ１
１により測定物体３が吸収する波長λ１と吸収しない波
長λ２との光に分離して反射ミラーＭ１より投光し、回
面鏡Ｍ２により集光し、検出器１２により検出するよう
にしてもよい。
１により測定物体３が吸収する波長λ１と吸収しない波
長λ２との光に分離して反射ミラーＭ１より投光し、回
面鏡Ｍ２により集光し、検出器１２により検出するよう
にしてもよい。
また、第３図で示すように、測定物体３のフィルムのベ
ース３０が、不透明である場合、そのベース３０がアル
ミニムのように表面反射性を有する場合、反射板２を用
いず、そのベース３０で赤外線を反射させ同一装置で測
定できる。また、第４図で示すように、ベース３１が透
明である場合、反（ト）仮２を利用して同様に測定が可
能である。
ース３０が、不透明である場合、そのベース３０がアル
ミニムのように表面反射性を有する場合、反射板２を用
いず、そのベース３０で赤外線を反射させ同一装置で測
定できる。また、第４図で示すように、ベース３１が透
明である場合、反（ト）仮２を利用して同様に測定が可
能である。
また、測定物体が多層フィルムである場合、例えば特公
昭５８−９３６２号公報で示される演算手段を用い、同
様に測定か可能である。
昭５８−９３６２号公報で示される演算手段を用い、同
様に測定か可能である。
（６）発明の効果
■投受光一体形の検出器を用いているので、分離形で必
要な光軸調整は不要である。
要な光軸調整は不要である。
■反射板を用いて、赤外線測定光を測定物体を２１１透
過するようにしているので、測定物体を透過する光の減
衰Ｍは２イ８となり、Ｓ ｙ′Ｎ比が向上し、特ｌ、：
ｅ物のフィルムに対し測定精度が大幅に向上する。
過するようにしているので、測定物体を透過する光の減
衰Ｍは２イ８となり、Ｓ ｙ′Ｎ比が向上し、特ｌ、：
ｅ物のフィルムに対し測定精度が大幅に向上する。
■同一ライン、測定Ｍ置で、透明フィルム、透明ベース
上のコート債、不透明ベース上のコート予の各種の厚み
の測定ができる。
上のコート債、不透明ベース上のコート予の各種の厚み
の測定ができる。
■散乱面を有する反射板を用いた場合、鏡面状反射板と
比べて反射板の角度変動による測定値変動が小さく、ま
た、散乱光による計測のため測定物体の位置変動に対し
、測定値への外乱の影響が少い。
比べて反射板の角度変動による測定値変動が小さく、ま
た、散乱光による計測のため測定物体の位置変動に対し
、測定値への外乱の影響が少い。
■反射板が検出器と同期するため、幅広の反射板は不要
であり、材料費、工事費が安価に、幅広のフィルムの測
定が行える。
であり、材料費、工事費が安価に、幅広のフィルムの測
定が行える。
第１図、第２図、第３図、第４図は、この発明の一実施
例を示す構成説明図である。 １・・・検出器、 ２・・−反射板、 ３・・・測定物
体、４・・・支持フレーム 特許出願人 株式会社 千野製作所 謬１０ 争２回
例を示す構成説明図である。 １・・・検出器、 ２・・−反射板、 ３・・・測定物
体、４・・・支持フレーム 特許出願人 株式会社 千野製作所 謬１０ 争２回
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、投受光一体形の検出器と、この検出器と測定物体を
はさんだ反対側に設けられた反射板とを備え、検出器か
ら投光された赤外線は、測定物体を透過し反射板で反射
され、再び測定物体を透過して検出器に入射されるよう
にし、測定物体の厚さを測定することを特徴とする赤外
線厚さ測定装置。 ２、前記反射板の表面を拡散面としたことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の赤外線厚さ測定装置。 ３、前記検出器と反射板とを同期して移動させるように
したことを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２
項記載の赤外線厚さ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24166384A JPS61120003A (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 赤外線厚さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24166384A JPS61120003A (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 赤外線厚さ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61120003A true JPS61120003A (ja) | 1986-06-07 |
Family
ID=17077665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24166384A Pending JPS61120003A (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 赤外線厚さ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61120003A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006348941A (ja) * | 2005-06-14 | 2006-12-28 | Alstom Technology Ltd | 蒸気タービン |
| JP2007021743A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Dainippon Printing Co Ltd | 見当マーク検出装置および印刷ユニット |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49134351A (ja) * | 1973-04-25 | 1974-12-24 | ||
| JPS511135A (ja) * | 1974-06-24 | 1976-01-07 | Nippon Telegraph & Telephone |
-
1984
- 1984-11-16 JP JP24166384A patent/JPS61120003A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49134351A (ja) * | 1973-04-25 | 1974-12-24 | ||
| JPS511135A (ja) * | 1974-06-24 | 1976-01-07 | Nippon Telegraph & Telephone |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006348941A (ja) * | 2005-06-14 | 2006-12-28 | Alstom Technology Ltd | 蒸気タービン |
| JP2007021743A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Dainippon Printing Co Ltd | 見当マーク検出装置および印刷ユニット |
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