JPS59131893A - 熱交換装置 - Google Patents

熱交換装置

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Publication number
JPS59131893A
JPS59131893A JP545883A JP545883A JPS59131893A JP S59131893 A JPS59131893 A JP S59131893A JP 545883 A JP545883 A JP 545883A JP 545883 A JP545883 A JP 545883A JP S59131893 A JPS59131893 A JP S59131893A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
liquid
etching liquid
cooled
heat exchanger
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP545883A
Other languages
English (en)
Inventor
Takekata Mori
森　勇鋼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumco Techxiv Corp
Original Assignee
Komatsu Electronic Metals Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Komatsu Electronic Metals Co Ltd filed Critical Komatsu Electronic Metals Co Ltd
Priority to JP545883A priority Critical patent/JPS59131893A/ja
Publication of JPS59131893A publication Critical patent/JPS59131893A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
    • F28F27/00—Control arrangements or safety devices specially adapted for heat-exchange or heat-transfer apparatus
    • F28F27/02—Control arrangements or safety devices specially adapted for heat-exchange or heat-transfer apparatus for controlling the distribution of heat-exchange media between different channels

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はエツチング液等の被冷却液を冷却する熱交換装
置に関する。
従来、エツチング液によってシリコンウェハの急速エツ
チングや大量エツチングを行なうと、エツチング液の発
熱量が多くなり、その−例として５０Ｃで５０００　ｋ
ｃｒＪ１／　ｈとなる場合がある。
かかるエツチング液の冷却な行なう場合、電子冷却式で
はその冷却能力から鑑みて十分な冷却かできないことは
勿論であるが、コンプレッサ式熱交換装置においても上
記エツチング液の発熱量からして装置が大がかりとなり
、また高温であることから技術的にも離しいなどの問題
ｈ″−あった。
本発明は上記実情に鑑みてなされたもので、極めて簡単
かつ安価な装置でエツチング液等の被冷却液を所望の温
度に冷却することができる熱交換装置？提供することを
目的とする。
この本発明によれば、熱交換器内で被冷却液を冷却する
冷媒として水道水を使用するとともに、この水道水の流
路に電磁弁を設け、被冷却液の温度に応じて前記電磁弁
を開閉することにより所望の冷却効果を得るようにして
いる。
以下本発明を添付図面を参照して詳細に説明する。
図は本発明による熱交換装置の一実施例を示す構成図で
ある。同図において、タンク１内のエツチング液２は、
ポンプ３によってタンクｌ→パイプ４→ポンプ３→バイ
ブ５→熱交換器６→パイプ７→タンクＩの流路で循環し
得るようになっている。
一方、熱交換器６内のパイプ８には、水道の蛇口９から
パイプ１０および電磁弁】１を介して水道水が供給され
るようになっている。
ここで、水道水の温度は約２５ｔＺ’以下であるので、
上記熱交換器６は少なくとも水道水の温度よりも高い温
度のエツチング液２を水道水の温度近傍まで冷却するこ
とができる。
次に、エツチング液２の温度制御について説明する。熱
交換器６には温度検出器１２が配設されており、この温
；す検出器１２はエツチング液２の温度を検出し、検出
温度を示す信号７ａ′温度制御装置１３に出力する。ま
た、温度設定器１４はエツチング液２の冷却すべぎ温度
を設定するもので、設定温度を示す信号を温度制御装置
１３の他の入力に出力する。
比較器を含み、検出温度が設定温度よりも高いときのみ
電磁弁１１を開（信号を電磁弁１１に出力する。
したがって、エツチング液２の温度が設定温度よりも高
くなると、熱交換器６内のパイプ８には水道水が供給が
供給され、ここでエツチング液２が冷却され、またエツ
チング液２の温度が設定温度以下になると、前記水道水
の供給が遮断され、熱交換器６内でのエツチング液２の
冷却が停止される。
なお、本実施例ではエツチング液を冷却するようにした
が、これに限らず、水ｉ―水の温度よりも高い温度の液
体であればいかなるものでもよい。
また、温度検出器１２の配役箇所は熱交換器６に限らず
、エツチング液の流路中であればいかなる箇所でもよい
。
以上説明したように本発明によれば、極めて簡単かつ安
価な装置で被冷却液を所望の温度に冷却することができ
る。
Ｃ４） （ｊ）
【図面の簡単な説明】
図は本発明による熱交換装置の一実施例な示す構成図で
ある。 １・・・タンク、２・・・エツチング液、３・・・ポン
プ、６・・・熱交換器、９・・・水道の蛇口、１１・・
・電磁弁、１２・・・温度検出器、１３・・・温度制御
装置、１４・・・温度設定器。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）被冷却液が循議する流路と水道水が循環する流路
    とを有し、これらの流路間で熱交換を行なう熱交換器と
    、前記被冷却液の温度を検出する温度検出器と、前記被
    冷却液の温度を設定する温度設定器と、前記水道水が循
    環する流路な開閉する電磁弁と、前記温度検出器の検出
    温度と前記温度設定器の設定温度との比較に基づき前１
    　　　　記電磁弁を開閉制御する温度制御装置とを具え
    た熱交換装置。
  2. （２）＠配液冷却液はエツチング液である特許請求の範
    囲第（１）項記載の熱交換装置。
JP545883A 1983-01-17 1983-01-17 熱交換装置 Pending JPS59131893A (ja)

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JPS59131893A true JPS59131893A (ja) 1984-07-28

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5122154A (ja) * 1974-08-19 1976-02-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Netsukokansochi
JPS5716798A (en) * 1980-07-04 1982-01-28 Toshiba Corp Temperature controller for heat plant

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5122154A (ja) * 1974-08-19 1976-02-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Netsukokansochi
JPS5716798A (en) * 1980-07-04 1982-01-28 Toshiba Corp Temperature controller for heat plant

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