JPS59126934A - ガス濃度測定装置 - Google Patents
ガス濃度測定装置Info
- Publication number
- JPS59126934A JPS59126934A JP298283A JP298283A JPS59126934A JP S59126934 A JPS59126934 A JP S59126934A JP 298283 A JP298283 A JP 298283A JP 298283 A JP298283 A JP 298283A JP S59126934 A JPS59126934 A JP S59126934A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- signal
- output
- light
- optical system
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/27—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
- G01N21/274—Calibration, base line adjustment, drift correction
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Theoretical Computer Science (AREA)
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- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ガス濃度測定装置、特にＨｅ−Ｎｅ赤外レー
ザ管７元源として、この光源からの光７２つ（二分割し
て、それぞれ試料光及び参照元とし、これらを被測定ガ
ス及び参照ガスを流入させた試料セル及び参照セルに入
射せしめ、両セルからの通過光強度を比較することによ
り被測定ガスの濃度乞測定するガス濃度測定装置（二関
する。
ザ管７元源として、この光源からの光７２つ（二分割し
て、それぞれ試料光及び参照元とし、これらを被測定ガ
ス及び参照ガスを流入させた試料セル及び参照セルに入
射せしめ、両セルからの通過光強度を比較することによ
り被測定ガスの濃度乞測定するガス濃度測定装置（二関
する。
従来技術
光源にＨｅ−Ｎｅガスレーザン用いた赤外吸光法による
ガス濃度測定装置にあっては、光源、試料セル及び参照
セル等光学系装置又は光路（＝配置される装置は、その
測定雰囲気温度ン一定に保つために恒温槽内（−収納し
て（吏用されることが多い。
ガス濃度測定装置にあっては、光源、試料セル及び参照
セル等光学系装置又は光路（＝配置される装置は、その
測定雰囲気温度ン一定に保つために恒温槽内（−収納し
て（吏用されることが多い。
このような恒温槽ン使用する場合、恒瀞槽の設定温度を
変化させると試料セル及び参照セルの入射窓及び／或は
出射窓（二結露ン生じることがあり、これ（二よりレー
ザ元の通過が妨げられ、受光素子に入射する光の強度が
著しく低下し、測定精度の低下、或は誤動作の原因とな
っている。また、このような精度の低下或は誤動作は光
源の機能低下或は光学系の異常（二よっても発生する。
変化させると試料セル及び参照セルの入射窓及び／或は
出射窓（二結露ン生じることがあり、これ（二よりレー
ザ元の通過が妨げられ、受光素子に入射する光の強度が
著しく低下し、測定精度の低下、或は誤動作の原因とな
っている。また、このような精度の低下或は誤動作は光
源の機能低下或は光学系の異常（二よっても発生する。
即ち、レーザ管のスパッタリング、リーク等による劣化
、或はレーザ元学系の軸ずれ、ミラーの汚れ等（二よる
出力低下である。
、或はレーザ元学系の軸ずれ、ミラーの汚れ等（二よる
出力低下である。
発明の目的
本発明は、ｌｊｉ：、光学系装置（二異常が発生した場
合、及びセル窓へ結露が発生した場合乞それぞれ区別し
て検知できるガス濃度れｊｊ）足装置Ｚ提供すること、
さら（＝かかる機能ン、既存の信号である参照セル通過
元信号、温度検知４３号、放電電流検知信号を使用し、
かつ結露検知手段Ｚ付加″４″るのみで達成することン
目的とする。
合、及びセル窓へ結露が発生した場合乞それぞれ区別し
て検知できるガス濃度れｊｊ）足装置Ｚ提供すること、
さら（＝かかる機能ン、既存の信号である参照セル通過
元信号、温度検知４３号、放電電流検知信号を使用し、
かつ結露検知手段Ｚ付加″４″るのみで達成することン
目的とする。
発明の構成
本発明は、試料セル及び＠照セルの各々に光７入射する
２光線方式のガス濃度測定装置（二おいて、参照セルの
通過光信号から温度変動分ン除去する温度補正手段と、
この温度補正手段゛（二て補正された信号を所定の基準
値と比較し、基準値以下と判定されたとき信号を出力し
光学系装置部分に異常が発生したこと７検知テる光学系
異常検知手段、光源の作動状態を監視し光源の機能低下
及び融能停止をそれぞれ検知する第１、第２光源監視手
段、セルの元通過窓（二結露ン生じたときこれ夕検知す
る結露検知手段、光学系異常検知手段により異常が検知
されかつ第１、第２光１呼酷視手段及び結露検知手段が
正常動作状態を判定したとき光学系異常信号を出力する
第１出力手段、光学系異常検知手段（二より異常が検知
されかつ第１光源監視手段によりう℃源機能低下が検知
されさら（二部２凭源監視手段（二上り王宮動作が検知
されたとき光源機能低下信号ン出力する第２出力手段、
４３２光源監視手段にて光源機能低比が検知されたとき
信号ン出力するづへ３出力手段を備えてなる。
２光線方式のガス濃度測定装置（二おいて、参照セルの
通過光信号から温度変動分ン除去する温度補正手段と、
この温度補正手段゛（二て補正された信号を所定の基準
値と比較し、基準値以下と判定されたとき信号を出力し
光学系装置部分に異常が発生したこと７検知テる光学系
異常検知手段、光源の作動状態を監視し光源の機能低下
及び融能停止をそれぞれ検知する第１、第２光源監視手
段、セルの元通過窓（二結露ン生じたときこれ夕検知す
る結露検知手段、光学系異常検知手段により異常が検知
されかつ第１、第２光１呼酷視手段及び結露検知手段が
正常動作状態を判定したとき光学系異常信号を出力する
第１出力手段、光学系異常検知手段（二より異常が検知
されかつ第１光源監視手段によりう℃源機能低下が検知
されさら（二部２凭源監視手段（二上り王宮動作が検知
されたとき光源機能低下信号ン出力する第２出力手段、
４３２光源監視手段にて光源機能低比が検知されたとき
信号ン出力するづへ３出力手段を備えてなる。
実施例
第１図において、（１）はＨｅ−Ｎｏガヌ１／−ザ管、
（２）はその駆＠電源、（３）は炭化水素糸ｉｌスが被
８１１１定ガスとして流入された試料セル、（４）はレ
ーザ元を吸収しないカス例えば窒素ガスが流入されたＳ
照セルで、両セル（３）（４）とも前後に九人ね、［窓
１５１５）及び光出射窓ｔ６１（６）を備え、この窓７
通ってレーザ尤（図中一点鎖線で示す）は通過する。（
７１（８）は各セル＋３）（４）の通過光が入射する受
光素子で、これら各構成部分ｌ・よ、恒温槽（９）内に
配置される。ｔｌｏ）は恒温槽（９）内の温度を検知す
る流度、険知素子、＋１１１１１２１ ｆ＋ ３１は受
光素子（７）（８）及び温度検知素子（１■からの出力
信号ン増幅するｌ１ｌＢ器でそれぞれ出カイ１号ＶＳＩ
（ｉ、■ＲＥ”、ＶＴ％１Ｐン端子ｔｌ ４１ ｉｌ
５１ ｉｌ ｆｉｔに得る。（ＲＯ）は駆動電源（２）
からレーザ管（１）に流れる放電電流工０を検知する抵
抗で、その端子電圧は増幅器面（二て増幅され、信号Ｖ
ＩＬとして端子０８１（−出力される。
（２）はその駆＠電源、（３）は炭化水素糸ｉｌスが被
８１１１定ガスとして流入された試料セル、（４）はレ
ーザ元を吸収しないカス例えば窒素ガスが流入されたＳ
照セルで、両セル（３）（４）とも前後に九人ね、［窓
１５１５）及び光出射窓ｔ６１（６）を備え、この窓７
通ってレーザ尤（図中一点鎖線で示す）は通過する。（
７１（８）は各セル＋３）（４）の通過光が入射する受
光素子で、これら各構成部分ｌ・よ、恒温槽（９）内に
配置される。ｔｌｏ）は恒温槽（９）内の温度を検知す
る流度、険知素子、＋１１１１１２１ ｆ＋ ３１は受
光素子（７）（８）及び温度検知素子（１■からの出力
信号ン増幅するｌ１ｌＢ器でそれぞれ出カイ１号ＶＳＩ
（ｉ、■ＲＥ”、ＶＴ％１Ｐン端子ｔｌ ４１ ｉｌ
５１ ｉｌ ｆｉｔに得る。（ＲＯ）は駆動電源（２）
からレーザ管（１）に流れる放電電流工０を検知する抵
抗で、その端子電圧は増幅器面（二て増幅され、信号Ｖ
ＩＬとして端子０８１（−出力される。
受光素子（８）の感度、即ち出力電圧は第２図に示す如
く温度による影響を受は温度上昇に反比例して出力電圧
が低下する。この電圧特性はｖＲｇＦさ−ａＴ＋ｂ（ａ
、ｂ；定数、Ｔ温度）と表わすことができる。それ故受
光素子（８）の出力電圧信号からの温度変動分を除去す
る必要がある。
く温度による影響を受は温度上昇に反比例して出力電圧
が低下する。この電圧特性はｖＲｇＦさ−ａＴ＋ｂ（ａ
、ｂ；定数、Ｔ温度）と表わすことができる。それ故受
光素子（８）の出力電圧信号からの温度変動分を除去す
る必要がある。
かかる温度補正手段を含め、他の精度維持機能回路（二
つき弔乙図）二基いて説明する。
つき弔乙図）二基いて説明する。
端子（ｔｅに現われた温度検知信号ＶＴＭＰは抵抗（Ｒ
１）’＆介して差動増幅器０９）のｅ ｆｉｔ！ｌ端子
に入力される。このｅｌＩＩｌ端子には、一定電椋−Ｆ
ｌが抵抗（Ｒ２）を介して加えられ、それ故、この端子
には両信号が重畳されて入力される。この差動増増器（
１９の増幅率αは１より小さく設定され、かつ抵抗（Ｒ
１）（Ｒ２）（Ｒ５）の調整（二よりこの増幅器０９の
出力は一α（ｓ、Ｔ＋ｂ＋）（ａ、ｂ：定数、Ｔ温度）
に設定される。シＯ）は参照光信号ＶＲｖｖがｅ側端子
に、また差動増幅器０９出力信号α（−ａＴ＋ｂ）がθ
１■１１端子（二人力する比較器で、その出力はアンド
ゲートｔ２］１ｔ２２）に入力される。光学系装置に異
常がなければ、電圧ＶＲ］？ＩＰは比較的高、い電位タ
ボすため、■ＩＱ入力信号α（−ａＴ＋ｂ）よりも高く
、したがって比較器（２０１の出力は“Ｌ“レベルにあ
る。他方、光軸のズレ、ミラーの汚れ等光学系に異常が
発生したときは、電圧ＶＲ１１Ｆは低下し、■ＩＱ入力
信号α（−ａＴ＋ｂ）以下となって比較器シ０）出力“
Ｈ“レベル（二液る。（２３は放電電流信号ＶＩＬが■
側端子（−１また一定電源Ｅ２がｅｌ１１１１端子に入
力する比較器で、その出力はアンドゲート１２旧二、ま
たインバータ（２（１）乞介してアンドゲート２２１＋
二人力される。信号ＶＩＬと電圧Ｅ２との関係は、レー
ザ管（１）が正常に放電しているときは、ＶＩＬ＞Ｅ２
なる関係乞もつよう、電圧Ｅ２が設定される。従って光
源が正常（二機能しているときは、比較器（２３）出力
は、Ｈ・レベルにあり、他方レーザ管（１）の機能が低
下したときは、放電電流工０が減少し、信号’ＶＩＴ、
の電位もまた低下するから、その出力は“Ｌ“レベルに
変る。
１）’＆介して差動増幅器０９）のｅ ｆｉｔ！ｌ端子
に入力される。このｅｌＩＩｌ端子には、一定電椋−Ｆ
ｌが抵抗（Ｒ２）を介して加えられ、それ故、この端子
には両信号が重畳されて入力される。この差動増増器（
１９の増幅率αは１より小さく設定され、かつ抵抗（Ｒ
１）（Ｒ２）（Ｒ５）の調整（二よりこの増幅器０９の
出力は一α（ｓ、Ｔ＋ｂ＋）（ａ、ｂ：定数、Ｔ温度）
に設定される。シＯ）は参照光信号ＶＲｖｖがｅ側端子
に、また差動増幅器０９出力信号α（−ａＴ＋ｂ）がθ
１■１１端子（二人力する比較器で、その出力はアンド
ゲートｔ２］１ｔ２２）に入力される。光学系装置に異
常がなければ、電圧ＶＲ］？ＩＰは比較的高、い電位タ
ボすため、■ＩＱ入力信号α（−ａＴ＋ｂ）よりも高く
、したがって比較器（２０１の出力は“Ｌ“レベルにあ
る。他方、光軸のズレ、ミラーの汚れ等光学系に異常が
発生したときは、電圧ＶＲ１１Ｆは低下し、■ＩＱ入力
信号α（−ａＴ＋ｂ）以下となって比較器シ０）出力“
Ｈ“レベル（二液る。（２３は放電電流信号ＶＩＬが■
側端子（−１また一定電源Ｅ２がｅｌ１１１１端子に入
力する比較器で、その出力はアンドゲート１２旧二、ま
たインバータ（２（１）乞介してアンドゲート２２１＋
二人力される。信号ＶＩＬと電圧Ｅ２との関係は、レー
ザ管（１）が正常に放電しているときは、ＶＩＬ＞Ｅ２
なる関係乞もつよう、電圧Ｅ２が設定される。従って光
源が正常（二機能しているときは、比較器（２３）出力
は、Ｈ・レベルにあり、他方レーザ管（１）の機能が低
下したときは、放電電流工０が減少し、信号’ＶＩＴ、
の電位もまた低下するから、その出力は“Ｌ“レベルに
変る。
（２勺は信号ＶＩＬがＯ側端子に、また一定電源Ｅ３が
○（Ｔ１１１端子に入力する比較器で、その出力はアン
ドゲートＩ２１１２２１−二加えられる。ここで正常時
（二おける信号ｖＩＬと電源Ｅ５との関係１・まＶＩＴ
、＞＞Ｅ５、さら（二電源Ｅ２との関係はＶ Ｉ Ｌ
＞Ｅ ２ ＞＞Ｅ ５〉Ｏである。（２６）は参照セル
（４）の少なくとも一方の窓（５）若しくは（６）（＝
貼着された結露セン井で、結露を生じていないとき“Ｈ
”レベル信号乞、結露が発生したとき“Ｌ”レベル信号
をアンドゲート＋２１１に入力する。（２７）はアンド
ゲート１２１１の出力が加わる第１出力端子で光学系異
常検知信号を得る。（２＆はアンドゲート［２２１の出
力が加わる第２出力端子で光源機能低下検知信号を得る
。１２９）は比較器＋２５１の出力がインバータ（３■
を介して加えられる第６出力端子で光源機能停止検知信
号を得る。
○（Ｔ１１１端子に入力する比較器で、その出力はアン
ドゲートＩ２１１２２１−二加えられる。ここで正常時
（二おける信号ｖＩＬと電源Ｅ５との関係１・まＶＩＴ
、＞＞Ｅ５、さら（二電源Ｅ２との関係はＶ Ｉ Ｌ
＞Ｅ ２ ＞＞Ｅ ５〉Ｏである。（２６）は参照セル
（４）の少なくとも一方の窓（５）若しくは（６）（＝
貼着された結露セン井で、結露を生じていないとき“Ｈ
”レベル信号乞、結露が発生したとき“Ｌ”レベル信号
をアンドゲート＋２１１に入力する。（２７）はアンド
ゲート１２１１の出力が加わる第１出力端子で光学系異
常検知信号を得る。（２＆はアンドゲート［２２１の出
力が加わる第２出力端子で光源機能低下検知信号を得る
。１２９）は比較器＋２５１の出力がインバータ（３■
を介して加えられる第６出力端子で光源機能停止検知信
号を得る。
いま、すべての機能が正常に動作しているとすると、比
較器（２０）の出力１・ま“Ｌ・、比較器！２３＋２９
の出力はともに′Ｈ・、結露センサ（２６）の出力も“
Ｈ“である。したがって、アンドデート１２＋１の入力
は、Ｌ“、“Ｈ・、“Ｈ゛、“Ｈ・となり第１出力端子
（２ηには“Ｌ“が、またアンドゲート［２３の入力は
、”Ｌ＝、“Ｌ・、“Ｈ・となり、第２出力端子（２８
１にもＬ・が、さらに第３出力端子［２９１＋＝もまた
“Ｌｏが現われる。
較器（２０）の出力１・ま“Ｌ・、比較器！２３＋２９
の出力はともに′Ｈ・、結露センサ（２６）の出力も“
Ｈ“である。したがって、アンドデート１２＋１の入力
は、Ｌ“、“Ｈ・、“Ｈ゛、“Ｈ・となり第１出力端子
（２ηには“Ｌ“が、またアンドゲート［２３の入力は
、”Ｌ＝、“Ｌ・、“Ｈ・となり、第２出力端子（２８
１にもＬ・が、さらに第３出力端子［２９１＋＝もまた
“Ｌｏが現われる。
一方元学系装置部分に異常が発生し７たとすると、電圧
ＶＲＩＦの低下（二より比較器ｆ’、１ｌｌｊの出力は
“Ｈ”に変る。それ故、アンドグー） ＋２１）の全入
力は“Ｈ・となり、第１出力端子（２ｎ（二は“Ｈ・が
現われる。この“Ｈ″信号より警報装置（図示せず）等
が駆動される。
ＶＲＩＦの低下（二より比較器ｆ’、１ｌｌｊの出力は
“Ｈ”に変る。それ故、アンドグー） ＋２１）の全入
力は“Ｈ・となり、第１出力端子（２ｎ（二は“Ｈ・が
現われる。この“Ｈ″信号より警報装置（図示せず）等
が駆動される。
他方、レーザ管（１）の放電出力が低下した場合には、
信号ＶＩＩ、の低下（二より、比較器（２３）の出力が
“Ｌ”ｌ二液る。このとき、信号ＶＲＢＦも同時に低下
するから比較器ｃ！０）の出力もまた“Ｈ″となってい
る。それ故アンドゲートＩ２２１の入力はすべて“Ｈ″
となり、第２出力端子１２８）に“Ｈ・信号を得る。
信号ＶＩＩ、の低下（二より、比較器（２３）の出力が
“Ｌ”ｌ二液る。このとき、信号ＶＲＢＦも同時に低下
するから比較器ｃ！０）の出力もまた“Ｈ″となってい
る。それ故アンドゲートＩ２２１の入力はすべて“Ｈ″
となり、第２出力端子１２８）に“Ｈ・信号を得る。
この“Ｈ°信号Ｃ二より光源機能低下！報知する警報が
発せられる。
発せられる。
また、レーザ管（１）の放電が停止した場合、比較 。
器（２５）の出力が“Ｌｏとなり、インバータ帥を介し
て第３出力端子Ｉ２９）に“Ｈ°信号Ｚ得、前述と同様
警報が発せられる。これらの警報はそれぞれ異なる表示
形態或は異なる警報音によってなされる。
て第３出力端子Ｉ２９）に“Ｈ°信号Ｚ得、前述と同様
警報が発せられる。これらの警報はそれぞれ異なる表示
形態或は異なる警報音によってなされる。
発明の効果
本発明はガス濃度測定装置の動作（二伴って得られ、或
はその動作に８蛯な信号を収り出して、これを光学系の
異常検知及び光源の機能低下検知、停止検知に利用する
ものであるから、上記各々の検知（二必要なセンナ等ン
不要とすることができ、装置の測定精度、信頼性を損う
ことなく、構造の簡易化、コストの低沫化を図ることが
できる。
はその動作に８蛯な信号を収り出して、これを光学系の
異常検知及び光源の機能低下検知、停止検知に利用する
ものであるから、上記各々の検知（二必要なセンナ等ン
不要とすることができ、装置の測定精度、信頼性を損う
ことなく、構造の簡易化、コストの低沫化を図ることが
できる。
（１）・・・レーザ管、（２）・・・駆動電源、（３）
・・・試料セル、（４）・・・参照セル、（５）（６１
・・・窓、（７）（８）・・・受左雰子、（９）・・・
恒湿槽、００）・・・温度検知素子、ｕｎ２１ｇ３＋１
９・・・増幅器、ｔ＋、９）・・・差動増幅器、［’４
ｔｌｌ １２３１（２５）・・・比較器、（２６）・・
・結露センナ、Ｃ′７）醸（２９）・・・第１、第２、
第５出力端子。 手 続 補 正 書（を式ン ５昭
和５８年５月１８日 特許庁長官殿 １、事件の表示
７゜昭和５８年特許願第２９８２ 号 ２、発明の名称 ガス濃度測定装置 ６、補正をする者 特許出願人 住所 守口市京阪本通２丁目１８番地 名称（１８８）三洋電機株式会社 代表者 井 植 薫 ４、代理人 住所 守口市京阪本通２丁目１８番地 連絡先：電話（東京） ８３５−１１１１特許センター
駐在鎌田袖正命令の日付（発送日） 昭和５８年４月２６日 補正の対象 図面の簡単な説明の欄 補正の内容 明細書第１０負第１４竹と第１５行との間に下記の文を
挿入する。 記 第１図及び第６図は本発明実施例の電気回路図、第２図
は受光素子の感度特性図である。
・・・試料セル、（４）・・・参照セル、（５）（６１
・・・窓、（７）（８）・・・受左雰子、（９）・・・
恒湿槽、００）・・・温度検知素子、ｕｎ２１ｇ３＋１
９・・・増幅器、ｔ＋、９）・・・差動増幅器、［’４
ｔｌｌ １２３１（２５）・・・比較器、（２６）・・
・結露センナ、Ｃ′７）醸（２９）・・・第１、第２、
第５出力端子。 手 続 補 正 書（を式ン ５昭
和５８年５月１８日 特許庁長官殿 １、事件の表示
７゜昭和５８年特許願第２９８２ 号 ２、発明の名称 ガス濃度測定装置 ６、補正をする者 特許出願人 住所 守口市京阪本通２丁目１８番地 名称（１８８）三洋電機株式会社 代表者 井 植 薫 ４、代理人 住所 守口市京阪本通２丁目１８番地 連絡先：電話（東京） ８３５−１１１１特許センター
駐在鎌田袖正命令の日付（発送日） 昭和５８年４月２６日 補正の対象 図面の簡単な説明の欄 補正の内容 明細書第１０負第１４竹と第１５行との間に下記の文を
挿入する。 記 第１図及び第６図は本発明実施例の電気回路図、第２図
は受光素子の感度特性図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 光源、該光源からの光が通過する被測定がヌを流
入させた試料セル、同様（−上記光源からのス 光が通過し該瓜（：よる吸収を受けないガスを流入させ
た参照セルｙｘ（Ｒえ、上記両セルの通過光強度を比較
して、被測定ガスの濃度Ｚ測定するガス濃度測定装置（
二おいて、上記参照セルの通過元信号を周囲温度に応じ
て補正し、該信号の温度によ：る影響を除去する温度補
正手段、該温度補正手段Ｚ経て出力された参照セル通過
光信号を予め設定された基準値と比較し、該基準値以下
と判定されたとき信号を出力し、光学系装置部分（二異
常が発生したことを検知する光学系異常検知手段、上記
光源の作動状態を監視し、該光源の機能低下及び機能停
止をそれぞれ検知する第１．第２光源監視手段、上記セ
ルの光通過窓に結ｉＫＥヲ生じたときこれン検知する結
露検知手段、上記光学系異常検知手段により異常が検知
されかつ上記＄１、第２光源監視手段及び結露検知手段
がそれぞれ正常動作状態を判定したとき光学系異常信号
Ｚ出力する第１出力手段、上記光学系異常検知手段（二
より弄常が検知されかつ第１光源監視手段により光源機
能低下が検知されさら（＝第２光源監視手段（二より正
常動作検知がなされたとき光源機能低下信号７出力する
第２出力手段、上記第２光源監視手段（こて光源機能停
止が検知されたとき信号を出力する第３出力手段〉備え
たことを特徴とするガス濃度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP298283A JPS59126934A (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | ガス濃度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP298283A JPS59126934A (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | ガス濃度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59126934A true JPS59126934A (ja) | 1984-07-21 |
Family
ID=11544575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP298283A Pending JPS59126934A (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | ガス濃度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59126934A (ja) |
-
1983
- 1983-01-11 JP JP298283A patent/JPS59126934A/ja active Pending
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