JPS5912552A - 基台移動装置 - Google Patents
基台移動装置Info
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- JPS5912552A JPS5912552A JP12058082A JP12058082A JPS5912552A JP S5912552 A JPS5912552 A JP S5912552A JP 12058082 A JP12058082 A JP 12058082A JP 12058082 A JP12058082 A JP 12058082A JP S5912552 A JPS5912552 A JP S5912552A
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- JP
- Japan
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- axis
- sample
- base
- screw body
- driving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、基準となるべき軸線に対して所定角度となし
た平面内で基台を移動させる装置で、装置の構成部品が
熱膨張しても、基台に載置した目的物の表面と上記基準
軸との交点位置力；変化しないようにした基台移動装置
に関する。
た平面内で基台を移動させる装置で、装置の構成部品が
熱膨張しても、基台に載置した目的物の表面と上記基準
軸との交点位置力；変化しないようにした基台移動装置
に関する。
従来、基準となるべき軸線に対して所定角度をなした平
面内で基台を移動させる装置、例、えば、走査型電子顕
微鏡における試料台の移動装置として第１図と第１図に
おける■−■断面図となる第２図とで示すようなものが
ある。
面内で基台を移動させる装置、例、えば、走査型電子顕
微鏡における試料台の移動装置として第１図と第１図に
おける■−■断面図となる第２図とで示すようなものが
ある。
対物レンズ２の下部に設けた試料室３内に、Ｘ軸移動ガ
イド４でＸ方向（第１図において紙面法線方向）に摺動
自在に支持されたＸ軸移動台５と一体となつｅＹ軸移動
カイドロでＹ方向（第１図において左右方向）に摺動自
在に支持されたＹ軸移動台７とが設けられ、更にＹ軸移
動台７の上部に試料台８が光軸１に対して直角になるよ
うに固定支持されており、試料台８にセットした試料９
に光軸１方向から電子線が照射される際に試料９から発
生する二次電子線を二次電子検出器１０で検出するよう
になっている。
イド４でＸ方向（第１図において紙面法線方向）に摺動
自在に支持されたＸ軸移動台５と一体となつｅＹ軸移動
カイドロでＹ方向（第１図において左右方向）に摺動自
在に支持されたＹ軸移動台７とが設けられ、更にＹ軸移
動台７の上部に試料台８が光軸１に対して直角になるよ
うに固定支持されており、試料台８にセットした試料９
に光軸１方向から電子線が照射される際に試料９から発
生する二次電子線を二次電子検出器１０で検出するよう
になっている。
ここで、試料９上を電子線で走査するための試料台８の
移動装置について説明すると、まずＸ軸方向については
、先端に操作つまみ１１と嵌着したＸ方向駆動軸１２が
、Ｘ軸移動台５の摺動方向と平行となって、試料室３の
側壁を介して回転自在に試料室３内部に延在しており、
Ｘ方向駆動軸１２の試料室３内ＶＡ智には、雄ねじ部１
２ａが形成され、この雄ねじ部１２ａと、ＸＭＩ移動台
５の下部に設けた雌ねじ休１３が螺合している。
移動装置について説明すると、まずＸ軸方向については
、先端に操作つまみ１１と嵌着したＸ方向駆動軸１２が
、Ｘ軸移動台５の摺動方向と平行となって、試料室３の
側壁を介して回転自在に試料室３内部に延在しており、
Ｘ方向駆動軸１２の試料室３内ＶＡ智には、雄ねじ部１
２ａが形成され、この雄ねじ部１２ａと、ＸＭＩ移動台
５の下部に設けた雌ねじ休１３が螺合している。
そして、操作つまみ１１ト回転操作してＸ方向駆動軸１
２を回転させると、雌ねじ体１３がＸ方向駆動軸１２の
雄ねじ部１２ａに沿って平行移動するようになり、よっ
て、雌ねじ体１３と一体となったＸ軸移動台５がＸ軸移
動ガイド４に沿って平行移動して、試料台８がＹ軸移動
ガイド６、Ｙ軸移動台７とともにＸ軸方向に移動する。
２を回転させると、雌ねじ体１３がＸ方向駆動軸１２の
雄ねじ部１２ａに沿って平行移動するようになり、よっ
て、雌ねじ体１３と一体となったＸ軸移動台５がＸ軸移
動ガイド４に沿って平行移動して、試料台８がＹ軸移動
ガイド６、Ｙ軸移動台７とともにＸ軸方向に移動する。
また、Ｙ軸方向については、先端に操作つまみ１４を嵌
着したシリンダ構造となる軸体１５ト試料室３の側壁を
介して回転自在に延在させ、一端にかさ歯車１γを設け
たＹ方向駆動軸１６をＸ軸移動台５に固定した軸受によ
って支持すると七もに、軸体１５のシリンダ部１５ａに
、例えば、シリンダ部１５ａにキー溝、Ｙ方向駆動軸１
６にキーを設け、このキーとキー溝を合わせて挿入する
で、Ｙ軸移動台７の摺動方向に平行となるように回転自
在に支持し、更に、雄ねじ休１８をＹ ｌ１ｉｌｌｌ移
動台７の下部に設けた雌ねじ休１９に螺合させ、また、
雄ねじ休１８の一端には、Ｙ方向駆動軸１６の一端に設
けたかさ歯車１７と噛み合うかさ歯車２０が設けられて
いる。そして、操作っまみ１４を回転操作して、軸体１
５と介してＹ方向駆動軸１６を回転させると、かさ歯車
１７ 、２０を介して雄ねじ体１８が回転し、この回転
に伴って雌ねじ体１９が雄ねじ体１８に沿って平行移動
するようになり、よって、雌ねじ体１９と一体となった
Ｙ軸移動台７がＹ＠移動ガイド６に沿って平行移動して
試料台８がＹ軸方向に平行移動する。
着したシリンダ構造となる軸体１５ト試料室３の側壁を
介して回転自在に延在させ、一端にかさ歯車１γを設け
たＹ方向駆動軸１６をＸ軸移動台５に固定した軸受によ
って支持すると七もに、軸体１５のシリンダ部１５ａに
、例えば、シリンダ部１５ａにキー溝、Ｙ方向駆動軸１
６にキーを設け、このキーとキー溝を合わせて挿入する
で、Ｙ軸移動台７の摺動方向に平行となるように回転自
在に支持し、更に、雄ねじ休１８をＹ ｌ１ｉｌｌｌ移
動台７の下部に設けた雌ねじ休１９に螺合させ、また、
雄ねじ休１８の一端には、Ｙ方向駆動軸１６の一端に設
けたかさ歯車１７と噛み合うかさ歯車２０が設けられて
いる。そして、操作っまみ１４を回転操作して、軸体１
５と介してＹ方向駆動軸１６を回転させると、かさ歯車
１７ 、２０を介して雄ねじ体１８が回転し、この回転
に伴って雌ねじ体１９が雄ねじ体１８に沿って平行移動
するようになり、よって、雌ねじ体１９と一体となった
Ｙ軸移動台７がＹ＠移動ガイド６に沿って平行移動して
試料台８がＹ軸方向に平行移動する。
ところで、上記のような従来の走査型顕微鏡における試
料台の移動装置は、操作っまみ１１゜１４の回転操作に
よって試料台ＢＴｈＸ軸方向とＹ軸方向にそれぞれ独立
して広範囲に移動させることができる。
料台の移動装置は、操作っまみ１１゜１４の回転操作に
よって試料台ＢＴｈＸ軸方向とＹ軸方向にそれぞれ独立
して広範囲に移動させることができる。
しかしながら、対物レンズ２の励磁電流にょる発熱、電
子線照射による試料の発熱、室温の変化等の影響全骨け
て、装置各部が熱の伝達に従って順次膨張、収縮を行な
うために、一度試料台８の位置合わせをしても、時間が
たつにつれて試料台８の位置が移動してしまい、試料９
の電子線照射位置が変化してしまう。すなわち、Ｘ軸方
向についてみると、試料室３の壁部が膨張すると、第２
図における側壁と光軸１との間の距離り、が伸びてしま
うため、試料９の電子線照射位置が左方向に移動し、ま
た、Ｘ方向駆動軸１２が膨張すると、雄ねじ部１２ａと
雌ねじ体１３との噛み合い部と、試料室３の側壁との間
の距！１１［＃ Ｌ２が伸びてしまうため、試料９の電
子線照射位置が右方向に移動してしまい、更に、Ｘ軸移
動台５が膨張すると、雄ねじ部１２ａと雌ねじ体１３と
の噛合部と光軸１との間の距離Ｌ３が伸びてしまうため
、試料９の電子線照射位置が右方向に移動してしまうと
いう問題があった。またＹ軸方向についても同様な問題
があった。したがって試料の同一点を観察する上で不便
であるばかりでなく、観察像を写真撮影する場合に１．
写真が歪んだ形で撮影されるという欠点があった。
子線照射による試料の発熱、室温の変化等の影響全骨け
て、装置各部が熱の伝達に従って順次膨張、収縮を行な
うために、一度試料台８の位置合わせをしても、時間が
たつにつれて試料台８の位置が移動してしまい、試料９
の電子線照射位置が変化してしまう。すなわち、Ｘ軸方
向についてみると、試料室３の壁部が膨張すると、第２
図における側壁と光軸１との間の距離り、が伸びてしま
うため、試料９の電子線照射位置が左方向に移動し、ま
た、Ｘ方向駆動軸１２が膨張すると、雄ねじ部１２ａと
雌ねじ体１３との噛み合い部と、試料室３の側壁との間
の距！１１［＃ Ｌ２が伸びてしまうため、試料９の電
子線照射位置が右方向に移動してしまい、更に、Ｘ軸移
動台５が膨張すると、雄ねじ部１２ａと雌ねじ体１３と
の噛合部と光軸１との間の距離Ｌ３が伸びてしまうため
、試料９の電子線照射位置が右方向に移動してしまうと
いう問題があった。またＹ軸方向についても同様な問題
があった。したがって試料の同一点を観察する上で不便
であるばかりでなく、観察像を写真撮影する場合に１．
写真が歪んだ形で撮影されるという欠点があった。
本発明は」−記に鑑みてなされたもので、その目的とす
るところは、基準となるべき軸線に対して所定角度をな
した平面内で基台と移動させる装置に於いて、装置の構
成部品が熱膨張及び収縮しても、該基台に載置された目
的物の表面と上記基準軸との交点位置が変化しないよう
にすることであり、そして、本発明の要旨は、基準とな
るべき軸線に対して所定角度？なした平面内で基台と移
動させる装置に於いて、基台に載置された目的物の表面
と上記基準軸との交点に立てた法線を含み基台の移動方
向に直交する平面にほぼ中心を位置させた駆動用雌ねじ
体と設け、更に、基台に当該基台の移動方向と一致させ
て固定した雄ねじ体を上記駆動用雌ねじ体に螺合させる
ようにし、上記駆動用雌ねじ体と回転駆動させることに
よって、基台？移動させるようにしたものである。
るところは、基準となるべき軸線に対して所定角度をな
した平面内で基台と移動させる装置に於いて、装置の構
成部品が熱膨張及び収縮しても、該基台に載置された目
的物の表面と上記基準軸との交点位置が変化しないよう
にすることであり、そして、本発明の要旨は、基準とな
るべき軸線に対して所定角度？なした平面内で基台と移
動させる装置に於いて、基台に載置された目的物の表面
と上記基準軸との交点に立てた法線を含み基台の移動方
向に直交する平面にほぼ中心を位置させた駆動用雌ねじ
体と設け、更に、基台に当該基台の移動方向と一致させ
て固定した雄ねじ体を上記駆動用雌ねじ体に螺合させる
ようにし、上記駆動用雌ねじ体と回転駆動させることに
よって、基台？移動させるようにしたものである。
以下本発明を添付図面に示す実施例に基づいて説明する
。
。
第３図は、本発明を適用した走査型電子顕微鏡における
試料台の移動装置全体を示す断面図である。第３図にお
いて、試料台８の支持構造は、第１図に示す従来装置と
同様となっており、顕微鏡本体における対物レンズ２の
下部に設けた試料室３内に、Ｘ軸移動ガイド４でＸ方向
に摺動自在に支持されたＸ軸移動台５と、Ｘ軸移動台５
と一体となったＹ軸移動ガイド６でＹ軸方向に摺動自在
に支持されたＹ軸移動台７とが設けられ、更に、Ｙ＃ｌ
移動台７の上部に試料９とセットする試料台８か光＠１
に対して直角となるように固定されている。
試料台の移動装置全体を示す断面図である。第３図にお
いて、試料台８の支持構造は、第１図に示す従来装置と
同様となっており、顕微鏡本体における対物レンズ２の
下部に設けた試料室３内に、Ｘ軸移動ガイド４でＸ方向
に摺動自在に支持されたＸ軸移動台５と、Ｘ軸移動台５
と一体となったＹ軸移動ガイド６でＹ軸方向に摺動自在
に支持されたＹ軸移動台７とが設けられ、更に、Ｙ＃ｌ
移動台７の上部に試料９とセットする試料台８か光＠１
に対して直角となるように固定されている。
上記のように固定支持された試料台８の移動機構につい
て説明すると、まずＸ＠力方向ついては、第３図の１’
Ｖ−ＩＶ断面図となる第４図と第４図のＶ−■断面とな
る第５図において、一端に操作つまみ１１ト嵌着したＸ
方向駆動＃Ｉ２１がＸ軸移動台５の摺動方向と平行とな
って試料室３の側壁を介して回転自在に試料室３内部に
延在しており、Ｘ方向駆動軸２１の他端には歯車２２．
が嵌着している。一方光軸１と試料台８に載置された試
料９の表面との交点に立てた法線上、つまり、光軸１上
ににに中心と位置させたＸ方向駆動用酸ねじ体おが試料
室３の底面に固定した軸受２４によって、Ｘ１ｌＱＩｌ
移動台５の摺動方向と平行な軸を中心に回転自在となる
ように支持されている。そして、Ｘ方向駆動用酸ねじ休
おの外周にはＸ方向駆動軸２１に設けた歯車２２に噛み
合うギア歯が形成され、Ｘ軸移動台５の下部に設けた支
持具２６ａ 、 ２６ｂ Ｋよって、Ｘ軸移動台５の摺
動方向と平行となるように両端が固定された雄ねじ休２
５がＸ方向駆動用酸ねじ体２３に螺合している。
て説明すると、まずＸ＠力方向ついては、第３図の１’
Ｖ−ＩＶ断面図となる第４図と第４図のＶ−■断面とな
る第５図において、一端に操作つまみ１１ト嵌着したＸ
方向駆動＃Ｉ２１がＸ軸移動台５の摺動方向と平行とな
って試料室３の側壁を介して回転自在に試料室３内部に
延在しており、Ｘ方向駆動軸２１の他端には歯車２２．
が嵌着している。一方光軸１と試料台８に載置された試
料９の表面との交点に立てた法線上、つまり、光軸１上
ににに中心と位置させたＸ方向駆動用酸ねじ体おが試料
室３の底面に固定した軸受２４によって、Ｘ１ｌＱＩｌ
移動台５の摺動方向と平行な軸を中心に回転自在となる
ように支持されている。そして、Ｘ方向駆動用酸ねじ休
おの外周にはＸ方向駆動軸２１に設けた歯車２２に噛み
合うギア歯が形成され、Ｘ軸移動台５の下部に設けた支
持具２６ａ 、 ２６ｂ Ｋよって、Ｘ軸移動台５の摺
動方向と平行となるように両端が固定された雄ねじ休２
５がＸ方向駆動用酸ねじ体２３に螺合している。
Ｙ方向については、第４図及び第４図のＭ −■断面と
なる第６図において、先端に操作つまみ１４ト底着した
シリンダ構造となる軸体２７を試料室３の側壁と介して
回転自在に延在させ、一端にがさ歯車２９と設けたＹ方
向駆動＠２８をＸ＠ｌｌ移動台５に固定した軸受３ｏに
よって支持するとともに、軸体２７のシリンダ部２７ａ
に設けたキー溝に、Ｙ方向駆動軸２８に設けたキーと合
わせて挿入しである。一方光軸１を含み、移動台の移動
方向と直交する平面内に中心を位置させたＹ方向駆動用
酸ねじ体３１がＸ軸移動台５の上面に固定した１ｌａｌ
ｔ受３２によって、Ｙ軸移動台７の摺動方向と平行な軸
？中心に回動自在となるように支持されている。そして
、Ｙ方向駆動用酸ねじ体３１の外周にはＹ方向駆動軸２
８に設けたかさ歯車２９に噛み合うかさ爾が形成され、
Ｙ軸移動台７０下部に設けた支持具３３ａ 、 ３３ｂ
によって、ＹＩｌｉＩＩＩ移動台７の摺動方向と平行に
なるように両端が固定された雄ねじ体３４がＹ方向駆動
用酸ねじ体３１に螺合している。
なる第６図において、先端に操作つまみ１４ト底着した
シリンダ構造となる軸体２７を試料室３の側壁と介して
回転自在に延在させ、一端にがさ歯車２９と設けたＹ方
向駆動＠２８をＸ＠ｌｌ移動台５に固定した軸受３ｏに
よって支持するとともに、軸体２７のシリンダ部２７ａ
に設けたキー溝に、Ｙ方向駆動軸２８に設けたキーと合
わせて挿入しである。一方光軸１を含み、移動台の移動
方向と直交する平面内に中心を位置させたＹ方向駆動用
酸ねじ体３１がＸ軸移動台５の上面に固定した１ｌａｌ
ｔ受３２によって、Ｙ軸移動台７の摺動方向と平行な軸
？中心に回動自在となるように支持されている。そして
、Ｙ方向駆動用酸ねじ体３１の外周にはＹ方向駆動軸２
８に設けたかさ歯車２９に噛み合うかさ爾が形成され、
Ｙ軸移動台７０下部に設けた支持具３３ａ 、 ３３ｂ
によって、ＹＩｌｉＩＩＩ移動台７の摺動方向と平行に
なるように両端が固定された雄ねじ体３４がＹ方向駆動
用酸ねじ体３１に螺合している。
次に作用？説りｌする。
操作つまみ１１２回転操作すると、Ｘ方向駆動軸２１が
回転して歯車２２とＸ方向駆動用酸ねじ体２３の外周に
Ｊし成したギヤ歯と介してＸ方向駆動用酸ねじ体２３自
体が回転し、この回転に伴ってＸ軸移動台５に設けた支
持具２６ａ 、 ２６１３で固定された雄ねじ体２５が
回転しながら、その軸方向に平行移動するようになり、
よって雄ねじ休２５と一体となったＸ軸移動台５がＸ軸
移動ガイド４に沿って平行移動して試料台８がＹ軸移動
ガイド６、Ｙ軸移動台７とともにＸ方向に移動する。
回転して歯車２２とＸ方向駆動用酸ねじ体２３の外周に
Ｊし成したギヤ歯と介してＸ方向駆動用酸ねじ体２３自
体が回転し、この回転に伴ってＸ軸移動台５に設けた支
持具２６ａ 、 ２６１３で固定された雄ねじ体２５が
回転しながら、その軸方向に平行移動するようになり、
よって雄ねじ休２５と一体となったＸ軸移動台５がＸ軸
移動ガイド４に沿って平行移動して試料台８がＹ軸移動
ガイド６、Ｙ軸移動台７とともにＸ方向に移動する。
また、操作つまみ１４を回転操作すると、軸体２７にお
けるシリンダ部２７ａのキー溝にキーが合致したＹ方向
駆動軸２８が回転して、かさ歯車２９とＹ方向駆動用酸
ねじ体３１の外周に形成したかさ歯を介してＹ方向駆動
用酸ねじ体３１自体が回転し、この回転に伴って、Ｙ軸
移動台７に股・けた支持具３３ａ 、 ３３ｂで固定さ
れた雄ねじ体３４が回転しながら、その軸方向に平行移
動するようになり、よって１４Ｆねじ体Ｍと一体となっ
たＹ軸移動台７がＹ軸移動ガイド６に沿って平行移動し
て試料台８がＹ方向に移動する。
けるシリンダ部２７ａのキー溝にキーが合致したＹ方向
駆動軸２８が回転して、かさ歯車２９とＹ方向駆動用酸
ねじ体３１の外周に形成したかさ歯を介してＹ方向駆動
用酸ねじ体３１自体が回転し、この回転に伴って、Ｙ軸
移動台７に股・けた支持具３３ａ 、 ３３ｂで固定さ
れた雄ねじ体３４が回転しながら、その軸方向に平行移
動するようになり、よって１４Ｆねじ体Ｍと一体となっ
たＹ軸移動台７がＹ軸移動ガイド６に沿って平行移動し
て試料台８がＹ方向に移動する。
尚、Ｘ軸移動台５が移動した場合、Ｘ軸移動台５に固定
された軸受３０によって支持されたＹ方向駆動軸２８は
軸体２７のシリンダ部り７ａ内を摺動するため、かさ歯
車２９とＹ方向駆動用酸ねじ体３１との相対位置は変化
しないようになっている。
された軸受３０によって支持されたＹ方向駆動軸２８は
軸体２７のシリンダ部り７ａ内を摺動するため、かさ歯
車２９とＹ方向駆動用酸ねじ体３１との相対位置は変化
しないようになっている。
ここで、Ｘ軸方向の熱膨張についてみると、試料室３の
側壁が熱膨張する場合、側壁上光軸１との間の距離は伸
びるが、Ｘ方向駆動軸２１を介して歯車２２とＸ方向駆
動用雌ねじ体おの外周に形成したギア爾との噛み合い部
がスライドし、Ｙ方向駆動軸２８が軸体２７のシリンダ
部２７ａをスライドして、Ｘ方向駆動用雌ねじ休２３と
雄ねじ体すとの螺合部のＸ方向に関する位置が光軸１の
Ｘ方向の位置に常時一致した状態に保持されるので試料
９の電子線照射位置は変化しない。
側壁が熱膨張する場合、側壁上光軸１との間の距離は伸
びるが、Ｘ方向駆動軸２１を介して歯車２２とＸ方向駆
動用雌ねじ体おの外周に形成したギア爾との噛み合い部
がスライドし、Ｙ方向駆動軸２８が軸体２７のシリンダ
部２７ａをスライドして、Ｘ方向駆動用雌ねじ休２３と
雄ねじ体すとの螺合部のＸ方向に関する位置が光軸１の
Ｘ方向の位置に常時一致した状態に保持されるので試料
９の電子線照射位置は変化しない。
また、Ｘ軸移動台５が熱膨張する場合、Ｘ軸移動台５と
一体となった雄ねじ体２５もほぼ同時に熱膨張するが、
この場合、Ｘ方向駆動用雌ねじ体ｎと雄ねじ体２５との
ｉ合部を中心に、すなわち光軸１を中心に熱膨張するの
で試料９の電子線照射位置は変化しない。
一体となった雄ねじ体２５もほぼ同時に熱膨張するが、
この場合、Ｘ方向駆動用雌ねじ体ｎと雄ねじ体２５との
ｉ合部を中心に、すなわち光軸１を中心に熱膨張するの
で試料９の電子線照射位置は変化しない。
次に、Ｙ軸方向に関してはＹ動揺動台７がＹ軸方向につ
いて自由に熱膨張するので、Ｙ動揺軸移動台７が熱膨張
する場合、Ｙ動揺動台７と一体となったＭｔねじ体３４
もほぼ同時に熱膨張するが、この場合、Ｙ方向駆動用雌
ねじ体３１と雄ねじ休３４との螺合部を中心に熱膨張す
る。ここで、Ｙ方向駆動用雌ねじ休３１と雄ねじ休３４
との螺合部のＹ軸方向に関する位置と、光軸１のＹ軸方
向の位置とが常時一致しているので、試料９の電子線照
射位置は変化しない。
いて自由に熱膨張するので、Ｙ動揺軸移動台７が熱膨張
する場合、Ｙ動揺動台７と一体となったＭｔねじ体３４
もほぼ同時に熱膨張するが、この場合、Ｙ方向駆動用雌
ねじ体３１と雄ねじ休３４との螺合部を中心に熱膨張す
る。ここで、Ｙ方向駆動用雌ねじ休３１と雄ねじ休３４
との螺合部のＹ軸方向に関する位置と、光軸１のＹ軸方
向の位置とが常時一致しているので、試料９の電子線照
射位置は変化しない。
第７図は上記で示した試料台８の移動装置全体を傾斜装
置によって試料９の電子線照射点を中心に傾斜させた場
合と示す断面説明図であるが、この場合もＸ軸方向に関
しては、試料９の電子線照射位置に立てた試料９の法線
上に、Ｘ方向駆動用雌ねじ体２３と雄ねじ体方との螺合
部が位置するようになるので、前記同様Ｘ軸方向の熱膨
張によって試料９の電子線照射位置は変化しない、また
、Ｙ軸方向に関しても、Ｙ方向駆動用雌ねじ体３１と雄
ねじ休３４との螺合部のＹ軸に関する位置と、試料９の
電子線照射位置に立てた試料９の法線のＹ軸に関する位
置力ζ一致しているので、Ｙ軸方向の熱膨張によって試
料９の電子線照射位置は変化しない。
置によって試料９の電子線照射点を中心に傾斜させた場
合と示す断面説明図であるが、この場合もＸ軸方向に関
しては、試料９の電子線照射位置に立てた試料９の法線
上に、Ｘ方向駆動用雌ねじ体２３と雄ねじ体方との螺合
部が位置するようになるので、前記同様Ｘ軸方向の熱膨
張によって試料９の電子線照射位置は変化しない、また
、Ｙ軸方向に関しても、Ｙ方向駆動用雌ねじ体３１と雄
ねじ休３４との螺合部のＹ軸に関する位置と、試料９の
電子線照射位置に立てた試料９の法線のＹ軸に関する位
置力ζ一致しているので、Ｙ軸方向の熱膨張によって試
料９の電子線照射位置は変化しない。
尚、本発明を上記のように走査型電子顕微鏡について説
明したが、これに限られることなくＸ線マイクロアナラ
イザーや、その（ＩＪ４精密油１ ｆｆ１機、精密加工
機等にも適用できる。
明したが、これに限られることなくＸ線マイクロアナラ
イザーや、その（ＩＪ４精密油１ ｆｆ１機、精密加工
機等にも適用できる。
以上説明したように、本発明によれば、基準となるべき
軸線に対して所定角度をなした５Ｖ面内で基台を移動さ
せる装置に於いて、基台に載置した試料の表面と、上記
基準軸との交点に立てた基台の法線を含み、基台の移動
方向と直交する平面内にほぼ中心を位置させた駆動Ｊｌ
雌ねじ体を設け、更に、基台に当該基台の移動力０に一
致させて固定した雄ねじ体を上記駆ａＪ月）雌ねじ体に
螺合きせるようにし、上記駆動用酊ｔねじ体を回転駆動
させることによって基台を移動させるようにしたため、
装置の構成音り高力；熱膨張及び収縮しても、該基台に
載置した試９Ｉ４．の表面と」二記基準軸との交点位置
が変化しなくなり一度適正な位置（（基台を合わせれば
、常に、照射位置か一定に保持されるという効果が得ら
れる、特に、電子顕微鏡においては試料移動装置各部の
湿度変化に関係なく、常に試料に対する電子線照射位置
が一定するので正確で容易な観察と、像の正しい操影が
可能となる。また、精密測定機、精密加工機においては
温度変化に影響されない正確な位置の測定及び加工がで
きる。
軸線に対して所定角度をなした５Ｖ面内で基台を移動さ
せる装置に於いて、基台に載置した試料の表面と、上記
基準軸との交点に立てた基台の法線を含み、基台の移動
方向と直交する平面内にほぼ中心を位置させた駆動Ｊｌ
雌ねじ体を設け、更に、基台に当該基台の移動力０に一
致させて固定した雄ねじ体を上記駆ａＪ月）雌ねじ体に
螺合きせるようにし、上記駆動用酊ｔねじ体を回転駆動
させることによって基台を移動させるようにしたため、
装置の構成音り高力；熱膨張及び収縮しても、該基台に
載置した試９Ｉ４．の表面と」二記基準軸との交点位置
が変化しなくなり一度適正な位置（（基台を合わせれば
、常に、照射位置か一定に保持されるという効果が得ら
れる、特に、電子顕微鏡においては試料移動装置各部の
湿度変化に関係なく、常に試料に対する電子線照射位置
が一定するので正確で容易な観察と、像の正しい操影が
可能となる。また、精密測定機、精密加工機においては
温度変化に影響されない正確な位置の測定及び加工がで
きる。
第１図は、走査電子顕微鏡における試料台の従来の移動
装置を示す断面図、第２図は、第１図における■−■断
面図、第３図は、本発明を適用した走査型電子顕微鏡に
おける試料台の移動装置全体を示す断面図、第４図は、
第３図における■−ＩＶ断面図、第５図は第４図におけ
るＶ−Ｖ＃Ｉ面図、第６図は第４図における■−■断面
図である。 １・・・光軸 ２・・・対物レンズ３・・
・試料室 ４・・・Ｘ １ｌＯｔ＋移動ガイ
ド５・・・Ｘ軸移動台 ６・・・Ｙ軸移動ガイド
７・・・Ｙ＠移動台 ８・・・試料台９・・・試
料 １１．１４・・・操作つまみ２１・・
・Ｘ方向駆動軸 ２２・・・歯車お・・・Ｘ方向駆
動用雌ねじ体 ２４ 、３０ 、３２・・・軸受 ２５・・・雄ね
じ体２６ａ、 ２６ｂ・・・支持具 ２７・・・軸
体２７ａ・・・シリンダ部 ２８・・・Ｙ方向駆
動軸２９・・・かさ歯車 ３１・・・Ｙ方向
駆動用部ねじ体３３ａ 、 ３３ｂ・・・支持具
３４・・・雄ねじ体特許出願人 株式会社 国際精工 第１図 第２図 第３図 第５図 第６図
装置を示す断面図、第２図は、第１図における■−■断
面図、第３図は、本発明を適用した走査型電子顕微鏡に
おける試料台の移動装置全体を示す断面図、第４図は、
第３図における■−ＩＶ断面図、第５図は第４図におけ
るＶ−Ｖ＃Ｉ面図、第６図は第４図における■−■断面
図である。 １・・・光軸 ２・・・対物レンズ３・・
・試料室 ４・・・Ｘ １ｌＯｔ＋移動ガイ
ド５・・・Ｘ軸移動台 ６・・・Ｙ軸移動ガイド
７・・・Ｙ＠移動台 ８・・・試料台９・・・試
料 １１．１４・・・操作つまみ２１・・
・Ｘ方向駆動軸 ２２・・・歯車お・・・Ｘ方向駆
動用雌ねじ体 ２４ 、３０ 、３２・・・軸受 ２５・・・雄ね
じ体２６ａ、 ２６ｂ・・・支持具 ２７・・・軸
体２７ａ・・・シリンダ部 ２８・・・Ｙ方向駆
動軸２９・・・かさ歯車 ３１・・・Ｙ方向
駆動用部ねじ体３３ａ 、 ３３ｂ・・・支持具
３４・・・雄ねじ体特許出願人 株式会社 国際精工 第１図 第２図 第３図 第５図 第６図
Claims (1)
- 基準となるべき軸線に対して所定角度をなした平面内で
基台を移動させる装置に於いて、基台に載置した試料の
表面と上記基準軸との交点に立てに法線を含み、基台の
移動方向と直交する平面内に中心を位置させた駆動用雌
ねじ体と、該駆動用雌ねじ体に螺合し、かつ基台に当該
基台の移動方向と一致させて固定された雄ねじ体と、上
記駆動用雌ねじ体を回転駆動させる駆動手段とを有する
ことを特徴とする基台移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12058082A JPS5912552A (ja) | 1982-07-13 | 1982-07-13 | 基台移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12058082A JPS5912552A (ja) | 1982-07-13 | 1982-07-13 | 基台移動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5912552A true JPS5912552A (ja) | 1984-01-23 |
Family
ID=14789794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12058082A Pending JPS5912552A (ja) | 1982-07-13 | 1982-07-13 | 基台移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5912552A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS646265U (ja) * | 1987-06-29 | 1989-01-13 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5722160B2 (ja) * | 1977-05-27 | 1982-05-11 |
-
1982
- 1982-07-13 JP JP12058082A patent/JPS5912552A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5722160B2 (ja) * | 1977-05-27 | 1982-05-11 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS646265U (ja) * | 1987-06-29 | 1989-01-13 |
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