JPS61195302A

JPS61195302A - 表面検査装置

Info

Publication number: JPS61195302A
Application number: JP3622185A
Authority: JP
Inventors: Toru Nishiyama; 徹西山; Kichinosuke Kishitani; 岸谷　吉之助; Yukio Takagawa; 高川　幸男; Yukihisa Makino; 牧野　恭久
Original assignee: Nissan Motor Co Ltd
Current assignee: Nissan Motor Co Ltd
Priority date: 1985-02-25
Filing date: 1985-02-25
Publication date: 1986-08-29

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、エンジンの吸気弁及び排気弁を開閉駆動す
るための動弁機構に使用されるカムシャフトのようなカ
ム面を有する軸部品のカム面の表面欠陥を検出するため
の表面検査装置に関する。

〔従来の技術〕

従来のこの種の表面検査装置としては、例えば第８図に
示すようなカムシャフト検査装置がある。

この装置は、Ｘ軸１０１とＺ軸１０２と手首軸１０３を
持つ３軸ＮＣ装置１０４が移動テーブル１０５の上に載
置され、その手首軸１０Ｂにビデオカメラ（撮像管ある
いは固体撮像デバイスを備えたカメラ）等の光学式セン
サ１０６を取付けたものである。

そして、検査すべきカム面を有する軸部品であるカムシ
ャフト１１０のカム面に対して、センサ１０６の光軸が
常に一定の角度（例えば面直）となるように、カムシャ
フト１１０の回転と同期をとりながら、図示しない手首
軸用モータによって手首軸を矢示Ｃ方向へ回動してセン
サ１０６の角度を制御すると共にＺ軸周モータ１０８に
よって矢示Ｚ方向の高さを制御し、さらにＸ軸用モータ
１０７によって矢示Ｘ方向の位置を制御して、センサ１
０６とカムシャフト１１０のカム面との距離も一定に保
つようにして、センサ１０日をカムシャフト１１０のカ
ム面に倣って走査させ、その表面の欠陥を検出していた
。

また、移動テーブル用モータ１０９によって移動テーブ
ル１０５を紙面に垂直な方向（カムシャフト１１０に平
行する方向）に移動させて、カムシャフト１１０上の全
てのカムについて検査できるようになっている。

〔発明が解決しようとする問題点〕　　　−しかしなが
ら、このような従来のカム面を有する軸部品の表面検査
装置にあっては、３軸ＮＣ装置を用いて光学式センサの
位置及び角度を制御していたため、カムシャフトのよう
な軸部品の回転と、Ｘ軸、Ｚ軸及び手首軸の３軸との同
期をとる制御プログラムが複雑になり、そのため検査速
度が遅く、しかも高価になっていた。

また、軸部品のカム面と光学式センサの角度及び距離を
一定に保つことが、ティーチングも含めて難かしいとい
う問題点もあった。

この発明は、このような従来の表面検査装置における問
題を解決し、制御が比較的簡単で、しかも高精度で能率
よくカム面の表面欠陥を検出できるようにすることを目
的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

そのため、この発明による表面検査装置は、回転する軸
部品のカム面を走査する光学式センサとそのセンサを案
内するための円孤状のガイドと上記軸部品の回転に同期
して回転するカムにより上記センサを上記ガイドに沿っ
て移動させるセンサ駆動手段とをスライドテーブル上に
設けると共に、上記軸部品のカム面と同一形状のカム面
を有し、該軸部品の回転に同期して回転するマスタカム
によって上記ガイドの円弧中心が常に軸部品のカム面上
の被検査点に対応する位置となるように上記スライドテ
ーブルを移動させるスライドテーブル駆動手段を設けた
ものである。

〔作　　用〕

スライドテーブル駆動手段により、円孤状のガイドの円
弧中心が常に軸部品のカム面上の被検査点に対応する位
置になるようにスライドテーブルを移動させるため、そ
のガイドに案内されて移動する光学式センサと軸部品の
カム面との距離が常に一定に保たれる。

さらに、センサ駆動手段によって、軸部品の回転に同期
して光学式センサを上記円孤状のガイドに沿って移動さ
せることにより、該センサの光軸を軸部品のカム面に対
して常に一定の角度に保つことができる。したがって、
軸部品のカム面の表面欠陥を高精度で検出することがで
きる。

〔実施例〕

以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図乃至第４図は、この発明の第１実施例を示す表面
検査装置の側面図、平面図、要部正面図。

及び第２′ｆＭのＢ−Ｂ線に沿う要部断面図である。

先ず、主として第１図と第２図を参照してその構成を説
明すると、ベース板１上に一対の支柱２を立設して、そ
の上に棚板３を架設しており、第２図に示すように、そ
の棚板３の両端部付近にワークカム受４，５を固設し、
そこに仮想線で示すように１表面検査すべきカムシャフ
ト等の軸部品（以下「ワークカム」と称す）６を回転自
在に保持する。

棚板３の一端部にはさらにモータ取付板フが固設されて
おり、そこにステップモータ８を取付け、その回転軸と
ワークカム６の一端とをカップリング９によって連結し
て、ステップモータ８によってワークカム６を回転させ
るようになっている。

なお、ワークカム６には実際には軸線方向に間隔を置い
て、それぞれ位相の異なる多数のカ譬が形成されている
が１図示の都合上被検査位置にある１つのカム部６ａの
みを図示している。

ベース板１上にはまた、両端部付近に一対の支持板１０
．１０を固設して、その間に２本のガイドロッド１１．
１１を間隔を置いて平行に、且つ前述のワークカム６の
架設方向にも平行に架設し、その２本のガイドロッド１
１．１１の中間に１本のポールスクリュ１２を図示しな
いボールベアリングを介して回転自在に且つガイドロッ
ド１１に平行に装架している。

このポールスクリュ１２の一端は、ベース板１上に取付
けたステップモータ１３の回転軸にカップリング１４に
よって連結されている。

ガイドロッド１１．１１は、移動テーブル１５の下面に
固設された移動ブロック１日（第１図）を貫通してそれ
を摺動自在に案内しており、ポールスクリュ１２がこの
移動ブロック１６に螺合して貫通している。

したがって、ステップモータ１３によってポールスクリ
ュ１２を回転させると、移動ブロック１６及びそれと一
体の移動テーブル１５（さらには、その上部に設けられ
ている後述する各部）が、ガイドロッド１１に沿って第
２図の矢示り方向に移動する。

移動テーブル１５上には、ガイドプレート１７を介して
、スライドテーブル１８が第４図の矢示Ｅ方向へ摺動自
在に載置されており、このスライドテーブル１８の前端
部下面には、第４図に示すように、先端にローラ１日を
回転自在に設けたＬ字形のアーム２０を取付けている。

一方、移動ブロック１日に固設した１対の支持板２１．
２１によってマスタカム２２を回転自在に支持しており
、一方の支持板２１に取付けたステップモータ２３によ
って、このマスタカム２２をステップモータ８によるワ
ークカム６の回転に同期して回転させるようになってい
る。

このマスタカム２２には、ワークカム６のカム部６ａと
同じ形状のカム面を有するカム部２２ａと、ワークカム
６の他のカム部（図示せず）と同じ形状のカム面を有す
るカム部２２ｂ（第２図）の２種類のカム部を備えてい
る。

そして、ワークカム６のカム部６ａの表面を検査する場
合には、第４図に示すようにこのマスタカム２２のカム
部２２ａにアーム２０の先端のローラ１Ｓが当接するよ
うに、アーム２０の取付位置を選択し、シリンダ２４に
よってアーム２０を常時マスタカム６のカム面に押付け
させている。

したがって、ステップモータ２３によるマスタカム２２
の矢示Ｆ方向（第４図）の回転により。

スライドテーブル１８が矢示Ｅ方向にスライドする。

このスライドテーブル１８上に固設した基板２５に、３
枚の軸受板２６，２７．２８を間隔を置いて互いに平行
（ガイドロッド１１に対しては直交する方向）に立設し
ており、さらに、スライドテーブル１８に直接ガイド板
２日を上記各軸受板に平行に立設している（第３図も参
照）。

軸受板２６と２７の間に回転自在に装架した軸３０に、
歯車３１とダブルカムを構成する第１カム３２及び第２
カム３３を間−を置いて固設している。

また、軸受板２６にはステップモータ３４を取付けてあ
り、その回転軸を軸受板２６から突出させ、その先端に
第３図に示すように小歯車３５を固設して、歯車３１に
噛み合わせている。

このステップモータ３４は、ワークカム６を回転させる
ステップモータ８と同期して回転し、歯車３５．３１を
介して第１カム３２及び第２カム３３を回転させる。

一方、軸受板２７と２８によって軸支された回転軸３６
の軸受板２７から突出した部分に、互いに反対方向に延
びる１対の円孤状のレバー３７゜３８を軸方向に位置を
ずらせて固設したスリーブ３９を固着しており、各レバ
ー３７．！１Ｂの先端にはそれぞれローラ４０，４１を
軸支し、そのローラをそれぞれダブルカムの第１カム３
２．第２カム３３のカム面に転接させている。

また、この回転軸３６の軸受板２７と２８の間の部分に
は歯車４２を固着している。

さらに、この軸受板２フと２８の間には、回転軸３６の
上方にも回転軸４３を軸支しており、その回転軸４３に
小歯車４４を固着して、歯車４２と噛み合わせている。

そして、この回転軸４３の軸受板２８から突出した部分
に、駆動レバー４５を固着している。

ガイド板２日には、第１図に明示するように円孤状のガ
イド溝２９ａが形成されており、ビデオカメラのような
光学式センサ４６を保持するホルダ４７の裏面に植設し
た４本のガイドピン４８゜４９．５０．５１をこのガイ
ド溝２９ａに嵌入させて、詔ンサ４６をこのガイド溝２
９ａに沿ってガタなく移動させ得るようにしている。

そして、一番上のガイドピン４Ｂは２段になっていて、
その小径部４８．がガイド板２Ｓから突出して、駆動レ
バー４５の先端部に形成された長孔４５ａに嵌入してお
り、駆動レバー４５の回動によってセンサ４６がこのガ
イドピン４８を介して上下に駆動され、ガイド溝２９ａ
に沿って向きを変えながら移動する。

ところで、このガイド板２Ｓのガイド溝２９ａは、第２
図に゛も示すように、ワークカム６の例えばカム部６ａ
のカム面上のセンサ４６による被検査点Ｐに対応するＱ
点（２点番ワークカム６の軸線に沿ってカム板２日の延
長線上まで移動させた点）を円弧中心とするように形成
されており、センサ４６がガイド溝２９ａに沿って移動
することによってその光軸りの方向が変っても、常にそ
れがＰ点を通るようになっている。

次に、この実施例によるワークカムの表面検査手順を説
明する。

まず、検査しようとするワークカム６を第２図のワーク
カム受４，５にセットして、その一旦をカップリング日
によってステップモータ８の回転軸に連結する。

そして、ステップモータ１３を駆動して移動テーブル１
５をガイドロッド１１に沿って移動させ。

センサ４６の光軸りがワークカム６の検査しようとする
カム部、例えばカム部６ａに正しく対向する位置で停止
させる。

また、ステップモータ２３と３４は前回の検査終了時点
で基準回転位置になっている筈であるが、もしずれてい
る場合には基準回転位置にし、それによって、マスタカ
ム２２及びダブルカム３２゜３３を基準回転位置にする
。　ダブルカム３２゜３３が基準回転位置にある時には
、センサ４６は例えば第１図に示すようにガイド溝２９
ａの中央部で水平状態に保持されている。

第４図のアーム２０を、ワークカム６のカム部６ａと同
一形状のマスタカム２２のカム部２２ａにローラ１Ｓが
転接する位置に取付け、ワークカム６をそのカム部６ａ
がマスタカム２２のカム部２２ａと同位相になる基準回
転位置（検査開始位置）まで回転させる。

この状態で、ガイド板２日のガイド溝２９ａの円弧中心
がワークカム６のカム部６ａのカム面上のＰ点に対応す
るＱ点にあり、センサ４６の光軸りがＰ点でカム部６ａ
のカム面に当り、その点の接平面に直交（面直）してい
る。

センサ４６は、カム部６ａのカム面上のＰ点を含む幅方
向（ワークカム６の軸線方向）の１ラインの画像を例え
ばラインセンサに結像して光電変換し、電気信号として
出力する。

そこで、この状態からステップモータ８，２３゜３４を
同期回転させることにより、カム部６ａの表面検査を行
なうことができる。

すなわち、ワークカム６の例えば第１図の矢示Ｇ方向の
回転に伴なって、マスタカム２２が第４図の矢示Ｆ方向
に回転して、アーム２０を介してスライドテーブル１８
を矢示Ｅ方向にスライドさせ、その上に固設されたガイ
ド板２Ｓのガイド溝２９ａの円弧中心であるＱ点が、常
にカム面上の被検査点Ｐと対応する位置になるように、
ワークカム６とガイド板２９の間隔を調整する。それに
よって、カム部６ａの被検査点Ｐとセンサ４６との間の
距離も常に一定に保た九る。

これと同時に、ステップモータ３４によってダブルカム
３２．３３が第１図の矢示Ｈ方向に回転し、ワークカム
６の被検査点Ｐが円周面からカムリフトが増加する面に
さしかかると、このダブルカム３２，３１５によってま
ずレバー５７．３８を介して回転軸３日が右旋され、そ
れによって歯車４２．４４を介して駆動レバー４５が左
旋され、センサ４６を第１図に仮想線で示すようにガイ
ド溝２９．に沿って次第に上方へ移動させる。

その後、センサ４６を戻して、ワークカム６の被検査点
Ｐが丁度カムリフト面の頂点になった時に、再びセンサ
４６が実線で示す水平状態となり、さらに被検査点Ｐが
カムリフトが減少する面になると、センサ４６を次第に
下方へ移動させた後戻して、被検査点Ｐが円周面になっ
た時再び実線で示す状態にする。

このように、マスタカム６の回転に伴ってセンサ４６の
位置をガイド溝２９ａに沿って変化させても、その光軸
りは常にカム部６ａのカム面上の被検査点Ｐを通り、セ
ンサ４６と被検査点Ｐとの距離も一定であり、しかもそ
のＰ点におけるカム面の接平面に対する光軸りの角度も
一定（例えば直角）にすることができる。

したがって、このカム部６ａを一定の照度で照明してｂ
）′れば、二のセンサ４６によってカム部６ａのカム面
を一周走査する間に出力するビデオ信号は、ワークカム
６の回転位置による影響を受けることなく、カム面の傷
や突起などの欠陥によってのみ変化するので、そのビデ
オ信号を解析処理することによって、カム面の欠陥を精
度よく検出することができる。

このようにして、ワークカム６の１つのカム部の検査を
終了したら、ステップモータ１３を駆動して次に検査す
るカム部にセンサ４６が対向する位置まで移動テーブル
１５を移動（インデックス）させて、再び前述のように
してそのカム部の表面検査を行なう。

こうして、ワークカム６の各カム部の表面検査を順次行
なうことができる。

なお、この実施例では照明装置を図示していないが、後
述する第２実施例と同様に照明装置をセンサ４６に一体
的に取付けてもよく、その場合、特に照明光の指向性が
強い場合には、センサの光軸を被検査点でカム面に直交
させずに、センサの光軸と照明光の照射光軸とのなす角
の２等分線がカム面シこ直交するようにした方が、カム
面からの反射光を有効にセンサに入射させることができ
る。

次に、第５図乃至第７図を参照して、この発明の第２実
施例を説明するが、これは前述の第１実施例におけるス
ライドテーブル１８上の部分に相当する機構のみであり
、他の部分は第１実施例と同様な機構を用いればよいの
で、その説明を省略する。

この実施例のスライドテーブル５０上には、後部にセン
サ駆動手段支持枠５１が、前部にセンサガイド枠５２が
それぞれ立設されている。

センサ駆動手段支持枠５１の両側板５１ａ。

５１ｂ間には、第６図に示すように、ダブルカム回転軸
５３とセンサ駆動軸５４がそれぞれ図示しないボールベ
アリングを介して回転自在に横架されている。

そして、ダブルカム回転軸５５には、一対のカム板５Ｓ
ａ、Ｓｏｂを組合わせて一体に固着した第１のダブルカ
ム５５（例えばインテークバルブ用カム部検査用）と、
一対のカム板５６ａ、５６ｂを組合わせて一体に固着し
た第２のダブルカム５５（例えばエキゾーストバルブ用
カム部検査用）を、間隔を置いて位相をずらせて固定し
ている。

さらに、このダブルカム回転軸５３の第６図で左端部に
は歯車５７を固設しており、この歯車５７を側板５ｉｂ
４：取付けたステップモータ５８の回転軸に固設した小
歯車５日と噛み合わせ、このステップモータ５８によっ
て第１．第２のダブルカムｓｓ、ｓｅを回転させるよう
になっている。

一方、センサ駆動軸５４には、それぞれ先端に軸支した
ローラ６０がダブルカム５５の各カム板５５ａｔ　Ｓｏ
ｂのカム面に転接する一対のレバー６１ａｔ　６ｔｂが
、ボールベアリング６２のアウタレースによって連結さ
れて一体的に回動し、センサ駆動軸５４に対しては相対
回動可能に軸支されている。

ダブルカム５６の各カム板ｓｓａ＋　Ｓ６ｂに対応する
位置にも、レバー６１ａ、６１ｂと同様な一対のレバー
が軸支されて、ボールベアリングのアウタレースによっ
て一体に連結されており、その各レバーの先端に軸支さ
れたローラがカム板５６ａ、５６ｂのカム面に転接して
いるが、第６図ではセンサ７０等の後側にがくれている
ため図示されていない。

さらに、このセンサ駆動軸５４の両端部付近には、一対
の電磁クラッチ６３．６４が装着されており、この電磁
クラッチ６３．６４によって、ボルベアリング６２及び
もう１つのボールベアリングのアウタレースをセンサ駆
動軸５４に接続又は離脱させることにより、第１のダブ
ルカム５５側のレバー６１ａ、６１ｂ又は第２のダブル
カム５６側の図示しない一対のレバーのいずれかを、選
択的にセンサ駆動軸５４に連結して一体回転させるよう
になっている。

このセンサ駆動軸５４にはまた。第５図では基部を切除
して示しているが、伸縮レバー６５の基部を相対回動不
能に固着し、その先端部６５．を軸６日を介して光学式
センサフＯ及び照明装置７１を保持するホルダ６７の側
面に枢着している。

なお、この伸縮レバー６５は、その伸縮部６５ｂ内のス
プリングによって常時縮む習性を付与されている。

センサガイド枠５２の両側板５２ａ、５２ｂの前縁は、
第５図に示すように、ワークカム６のカム面上の被検査
点Ｐに対応する点（ワークカム６の軸線に平行でＰ点を
通る線上の点）を中心とする円孤状に形成されており、
この前縁に沿って、同じ円孤状の一対のガイドレール６
８．６８が。

第６図に示すように両側板５２ａ、５２ｂの内側に対向
して固設されている。

そして、第７図に示すように、センサ７０及び照明装置
７１を保持するホルダ６７の両側面に形成した円孤状の
ガイド溝６７ａ、６７ａをそれぞれガイドレール６Ｂ、
６Ｂに摺動自在に嵌合させて、センサ７０を照明装置７
１と共にガイドレール６８に沿ってスムーズに移動させ
得るようになっている。

この第２実施例においても、図示しない移動テーブル送
り（インデックス）機構によって５図示のスライドテー
ブル上の装置全体が第６図セ左右方向に移動して、ワー
クカム６の各カム部に対してインデックスされ１例えば
１つのカム部６ａにセンサ７０が正しく対向する位置で
停止される。

そして、検査時には図示しないマスタカムによるスライ
ドテーブル駆動手段によって、ワークカム６の１転に同
期してスライドテーブル５０が第５図で左右方向に若干
スライドして、ガイドレール６８の円弧中心が常にワー
クカム６のカム面上の被検査点Ｐに対応する位置となる
ように、ワークカム６との間隔が自動調整される。

したがって、センサ７０とワークカム６のカム面上の被
検査点Ｐとの間の距離も常に一定に保たれ、センサ７０
がガイドレール６８に沿って例えば第５図に仮想線で示
すように移動しても、その光軸りは常に被検査点Ｐを通
る。

さらに、ワークカム６の全検査するカム部６ａがインテ
ークバルブ用かエキゾーストバルブ用かによって、第６
図の電磁クラッチ６？５．６４の一方を選択して接にす
ることにより１図示しないステップモータによるワーク
カム６の回転に同期して、ステップモータ５８によって
回転されるダブルカム５５，５６のうちの一方がセンサ
駆動軸５４を回動させる。

それによって、このセンサ駆動軸５４に固着された伸縮
レバー６５が、第５図の矢示に方向に伸縮しなから矢示
Ｊ方向に揺動して、センサ７０をガイドレール６８に沿
って仮想線で示すような範囲で移動させ、その光軸りの
方向を変化させることにより、カム部６ａの被検査点Ｐ
におけるカム面の接平面に対するセンサ７０の光軸りの
角度を常に一定にすることができる。

その際、照明装置７１もその照射光軸をガイドレール６
８の円弧の径方向に向けて取付けておけば、その照射光
軸は常に被検査点Ｐを通り、−の点の接平面に対して常
に一定の角度に保たれる。

したがって、センサ７０の光軸りと照明装置７１の照射
光軸のなす角の２等分線が、ワークカム６のカム面上の
被検査点Ｐでの接平面に対して常に直交するようにホル
ダ６フを移動させれば、被検査点Ｐからの反射光をセン
サ７０によって最も効率よく受光して、ビデオ信号に変
換することができる。

このようにして、この第２実施例によっても、ワークカ
ム６の１回転によって光学式センサ７０が検査すべきカ
ム部６ａのカム面全周を同一条件で走査して、その出力
ビデオ信号からカム面の欠陥を精度よく検出することが
できる。

なお、これらの各実施例において使用する光学式センサ
のレンズには、一般にある程度焦点深度の幅があるので
、検査すべきカム部のカムリフトが比較的小さい場合に
は、スライドテーブル駆動手段によるワークカムとセン
サを案内するガイド間の距離調整を省略しても、実用上
差し支えない場合も゛ある。

〔発明の効果〕

以上説明してきたように、この発明による表面検査装置
は、ＮＧ装置を使用せず、単純なカム機構と円孤状のガ
イドによって、光学式センサと検査すべきカム面上の被
検査点との距離及びその被検査点の接平面に対するセン
サ光軸の角度を常に一定に保つことができるため、ワー
クカムの回転位置によってセンサ出力が変化することな
く、カム面の欠陥を精度よく且つ速く検出できる。

しかも、その制御はワークカムの回転とマスタカム及び
センサ駆動用のカム（実施例ではダブルカム）の回転の
同期をとるだけでよいので、例えばステップモータを使
用することにより容易に且つ安価に実施できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の１実施例を示す側面図、第２図は同
じくその平面図、第３図は第１図の矢示Ａ方向部ら見た要部正面図、第４
図は第２図のＢ−Ｂ線に沿う要部断面図、第５図はこの
発明の第２実施例を一部破断して示す側面図、第６図は同じくその一部断面にして示す正面図、第７図
は第５図のＣ−Ｃ線に沿う要部断面図、第８図は従来の
表面検査装置の一例を示す概略側面図である。１・・・ベース板　　　６・・・ワークカム（軸部品）
６ａ−・カム部８・・・ステップモータ（ワークカム回転用）１３・・
・ステップモータ（移動テーブル送り用）１５・・・移
動テーブル　　１６・・・移動ブロック１８・・・スラ
イドテーブル　　２２・・・マスタカム２３・・・ステ
ップモータ（マスタカム回転用）２Ｓ・・・ガイド板　
　　　２日・・・ガイド溝３２．３３・・・ダブルカム３４・・・ステップモータ（ダブルカム回転用）４５・
・・駆動レバー　　　４６・・・光学式センサ５０・・
・スライドテーブル５１・・・センサ駆動手段支持枠５２・・・センサガイド枠　５３・・・ダブルカム回転
軸５４・・・センサ駆動軸　　５５．５６・・・ダブル
カム５８・・・ステップモータ（ダブルカム回転用）６
０・・・ボール米アリング６３．６４・・・電磁クラッチ　６５・・・伸縮レバー
６７・・・ホルダ　　　　　６８・・・ガイドレール７
０・・・光学式センサ　　７１・・・照明装置第７図第８図

Claims

【特許請求の範囲】

１　カム面を有する軸部品を回転させながら、ビデオカ
メラ等の光学式センサによって前記カム面を走査して表
面欠陥を検出する表面検査装置において、前記光学式セ
ンサと該センサを案内するための円孤状のガイドと前記
軸部品の回転に同期して回転するカムにより前記センサ
を前記ガイドに沿って移動させるセンサ駆動手段とをス
ライドテーブル上に設けると共に、前記軸部品のカム面
と同一形状のカム面を有し、該軸部品の回転に同期して
回転するマスタカムによって前記ガイドの円弧中心が常
に前記軸部品のカム面上の被検査点に対応する位置とな
るように前記スライドテーブルを移動させるスライドテ
ーブル駆動手段を設けたことを特徴とする表面検査装置
。