JPS59124180A - アクチエイタ用電圧電振動子の制御方式 - Google Patents
アクチエイタ用電圧電振動子の制御方式Info
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- JPS59124180A JPS59124180A JP57232634A JP23263482A JPS59124180A JP S59124180 A JPS59124180 A JP S59124180A JP 57232634 A JP57232634 A JP 57232634A JP 23263482 A JP23263482 A JP 23263482A JP S59124180 A JPS59124180 A JP S59124180A
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 38
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 7
- 230000005621 ferroelectricity Effects 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 4
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 23
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000036544 posture Effects 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- LJCNRYVRMXRIQR-OLXYHTOASA-L potassium sodium L-tartrate Chemical compound [Na+].[K+].[O-]C(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O LJCNRYVRMXRIQR-OLXYHTOASA-L 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 230000011664 signaling Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 235000011006 sodium potassium tartrate Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、強誘電性を有する結晶の逆圧電効果を利用し
たアクチェイタ用圧電振動子の制御方式特に本発明は、
一端を固定し他端を自由端とした圧電振動子において、
その自由端に磁気ヘッドを取付け、かつこの振動子に所
定の電圧を印加することによって磁気ヘッドの位置を偏
位させるようなビデオテープレコーダ用のへラドムービ
ング装置に最適なアクチェイタ用圧電振動子の制御方式
に関する。
たアクチェイタ用圧電振動子の制御方式特に本発明は、
一端を固定し他端を自由端とした圧電振動子において、
その自由端に磁気ヘッドを取付け、かつこの振動子に所
定の電圧を印加することによって磁気ヘッドの位置を偏
位させるようなビデオテープレコーダ用のへラドムービ
ング装置に最適なアクチェイタ用圧電振動子の制御方式
に関する。
背景技術
周知のように、電歪現象を示す結晶は必ず圧電効果をも
示すとは限らないが、強誘電性を示す多くの結晶、例え
ば水晶、ロッシェル塩、チタン酸バリウム等では圧電性
をもち、機椋エネルギを電気エネルギへ、逆に電気エネ
ルギを機械エネルギに変換する素子として利用し得る。
示すとは限らないが、強誘電性を示す多くの結晶、例え
ば水晶、ロッシェル塩、チタン酸バリウム等では圧電性
をもち、機椋エネルギを電気エネルギへ、逆に電気エネ
ルギを機械エネルギに変換する素子として利用し得る。
近年、この強誘電性を示す結晶は電気エネルギを機械エ
ネルギに変換するいわゆる逆圧電効果を利用して、電気
信号に応じた機械的な変位量を得る変位量制御可能なア
クチェイタとして活用され始めた。この場合、1個の結
晶で得られる変位量はわずかであるだめ、アクチェイタ
として用いる結晶は一般に金属板電極を挾んでその両側
に、あらかじめ銀厩極を焼料けておいた2個の強誘電性
を示す結晶を相対して貼伺けるバイモルフ構造に形成し
た圧電振動子として用いられている。このような圧電振
動子は、上述の電極に電界を加えて強誘電性の結晶に分
極を起させ、一方の結晶にはこの分極方向と! 同一方向にrh If、!!口加して縮みの機械的な応
力を電界に比例して生じさせ、他方の結晶には分極方向
とは逆方向に電圧を印加して伸びの’i’k ;l成約
な応力を電界に比例して生じさぜることによって、その
変位量を大きくとるようにしている。このとき、2個の
強誘電性の結晶を同方向に分極すれば、この2個の結晶
は電気的な並列接続、互いに反対方向へ分極すれば直列
接続として形成した構造となる0 ところで、このようなアクチェイタ用のバイモルフ圧電
振動子は、得られる最大変位量がその形状、寸法によっ
て大きく影響される。例えば形状が板木で面積一定で比
較した場合、一定の電界が電極に与えられているときの
変位量は、板体の長さが長くなると大きくなり、その幅
か広いと大きくなり、厚みが薄くなると大きくとれる。
ネルギに変換するいわゆる逆圧電効果を利用して、電気
信号に応じた機械的な変位量を得る変位量制御可能なア
クチェイタとして活用され始めた。この場合、1個の結
晶で得られる変位量はわずかであるだめ、アクチェイタ
として用いる結晶は一般に金属板電極を挾んでその両側
に、あらかじめ銀厩極を焼料けておいた2個の強誘電性
を示す結晶を相対して貼伺けるバイモルフ構造に形成し
た圧電振動子として用いられている。このような圧電振
動子は、上述の電極に電界を加えて強誘電性の結晶に分
極を起させ、一方の結晶にはこの分極方向と! 同一方向にrh If、!!口加して縮みの機械的な応
力を電界に比例して生じさせ、他方の結晶には分極方向
とは逆方向に電圧を印加して伸びの’i’k ;l成約
な応力を電界に比例して生じさぜることによって、その
変位量を大きくとるようにしている。このとき、2個の
強誘電性の結晶を同方向に分極すれば、この2個の結晶
は電気的な並列接続、互いに反対方向へ分極すれば直列
接続として形成した構造となる0 ところで、このようなアクチェイタ用のバイモルフ圧電
振動子は、得られる最大変位量がその形状、寸法によっ
て大きく影響される。例えば形状が板木で面積一定で比
較した場合、一定の電界が電極に与えられているときの
変位量は、板体の長さが長くなると大きくなり、その幅
か広いと大きくなり、厚みが薄くなると大きくとれる。
寸だ、この逆に板体の長さが短くなると変位量は少なく
なり、幅が狭くなると少なくなり、厚みが増すと少なく
々る。そして、この変位量は板体の長さの2乗に比例し
、厚さの2乗に反比例する。
なり、幅が狭くなると少なくなり、厚みが増すと少なく
々る。そして、この変位量は板体の長さの2乗に比例し
、厚さの2乗に反比例する。
一方、このようなバイモルフ圧電振動子がアクチェイタ
として用いられる場合には、電気信号いいかえれは交流
の電圧信号が印加されることによって制御され、信号に
応じた機徐的な変位量を得るように使用される。このと
き、バイモルフ振動子はその形状、寸法、材質によって
一定の共振点並びに反共振点を示し、上述の交流電圧信
号にある種の制約を与える。すなわち、交流電圧信号に
応じた機械的な変位量を得るためには、この共振点より
高い周波数領域では反共振点が存在し、上述の交流電圧
信号の周波数はこの共振点以下で使用しなければならな
い。その結果、バイモルフ振動子の共振点はより高いこ
とが望まれる。ところが、この共振点は上述のようにバ
イモルフ振動子の形状、寸法、材質によって変化する。
として用いられる場合には、電気信号いいかえれは交流
の電圧信号が印加されることによって制御され、信号に
応じた機徐的な変位量を得るように使用される。このと
き、バイモルフ振動子はその形状、寸法、材質によって
一定の共振点並びに反共振点を示し、上述の交流電圧信
号にある種の制約を与える。すなわち、交流電圧信号に
応じた機械的な変位量を得るためには、この共振点より
高い周波数領域では反共振点が存在し、上述の交流電圧
信号の周波数はこの共振点以下で使用しなければならな
い。その結果、バイモルフ振動子の共振点はより高いこ
とが望まれる。ところが、この共振点は上述のようにバ
イモルフ振動子の形状、寸法、材質によって変化する。
例えば、形状が板体であって面積一定の場合、板体の長
さが短いと共振周波数は高くな9、その幅が狭いと高く
なり、厚みが増すと高くなる。徒だ、この逆に板体の長
さが長くなると共振周波数は低くなり、幅が広く々ると
低く々す、厚みが少なくなると低くなる。この共振周波
数を高くするだめの条件は、すでに述べたように大きな
変位量を得るだめの形、状、寸法の条件と相反する。し
たがって、この種のバイモルフ振動子は変位量が大きく
とれるように設計すると、その共振周波数は下がり高い
周波数での制御ができず、また共振周波数が上がるよう
に設計すると、得られる変位量は少なくなり、より高圧
な電圧信号を印加しなければならない。
さが短いと共振周波数は高くな9、その幅が狭いと高く
なり、厚みが増すと高くなる。徒だ、この逆に板体の長
さが長くなると共振周波数は低くなり、幅が広く々ると
低く々す、厚みが少なくなると低くなる。この共振周波
数を高くするだめの条件は、すでに述べたように大きな
変位量を得るだめの形、状、寸法の条件と相反する。し
たがって、この種のバイモルフ振動子は変位量が大きく
とれるように設計すると、その共振周波数は下がり高い
周波数での制御ができず、また共振周波数が上がるよう
に設計すると、得られる変位量は少なくなり、より高圧
な電圧信号を印加しなければならない。
しかしながら、変位量を大きくとるためにバイモルフ圧
電素子に大きな電界を印加するにしても、その耐圧に限
界があり近年、芙現されているものでもピーク/ピーク
値でlKV程度である。また、この高圧は極めて危険で
あり、かつ制御信号として処理するときには回路に多大
な負担を強いる。
電素子に大きな電界を印加するにしても、その耐圧に限
界があり近年、芙現されているものでもピーク/ピーク
値でlKV程度である。また、この高圧は極めて危険で
あり、かつ制御信号として処理するときには回路に多大
な負担を強いる。
したがって、バイモルフ振動子に与える交流電圧信号は
より低い′成用であることが望せれる。
より低い′成用であることが望せれる。
発明の開示
本発明の目的は、上記+目反する条件を解決するだめの
アクチェイタ用圧電振動子の制御方式を提供することに
ある。
アクチェイタ用圧電振動子の制御方式を提供することに
ある。
本発明の構成は、アクチェイタ用圧電振動子を形成する
板体の結晶を固定端側と自由端側とに2分割し、固定端
側を大きく変位すべく比較的高い尖頭電圧値を有する低
い周波数の、実動信号でもっばら制御し、自由端側を小
さく変位すべく比較的低い尖頭電圧値を有する高い周波
数の1駆動信号でもっばら制御することによって上記相
反する条件を解決するものである。
板体の結晶を固定端側と自由端側とに2分割し、固定端
側を大きく変位すべく比較的高い尖頭電圧値を有する低
い周波数の、実動信号でもっばら制御し、自由端側を小
さく変位すべく比較的低い尖頭電圧値を有する高い周波
数の1駆動信号でもっばら制御することによって上記相
反する条件を解決するものである。
したがって、本発明によれば、上述のような構成をとる
ことによって固定端側の板体の長さを自出端側の長さよ
りも長く設定することを可能とし、その結果従来のこの
種のアクチェイタ用振動子に比べ広い範囲の周波数で所
望の変位量変化の制御を行なうことができる。
ことによって固定端側の板体の長さを自出端側の長さよ
りも長く設定することを可能とし、その結果従来のこの
種のアクチェイタ用振動子に比べ広い範囲の周波数で所
望の変位量変化の制御を行なうことができる。
発明を実施するだめの最良の形態
第1図(A)は本発明の一実施例圧′亀振動子の模式図
で、(B)図はその運動姿勢を示す側面図である。
で、(B)図はその運動姿勢を示す側面図である。
また、第2図は本発明の一実施例制御手段を示す回路及
び要部の構成図で、第3図はこの第2図実施例の印加電
圧(変位)対時間特性図である。
び要部の構成図で、第3図はこの第2図実施例の印加電
圧(変位)対時間特性図である。
以下、本発明をこの実施例図面に従って説明する。第1
図(A)において1は導電性を有する弾性板体で、2は
その一端u01!Iを固定するだめの固定部材、3は強
誘電性を示す第1の結晶、4は同じく強誘電性を示す第
2の結晶、5および6はそれぞれ第1および第2の結晶
の電極、7は弾性板体1の他端12側に取付けられる磁
気ヘッド等の被変位部材である。また、8は第1交流駆
動信号を供給する第1制御手段、9はこの第1交流駆動
信号がもつ周波数fLよりも高い周波数fHを有する第
2交流駆動信号を供給する第2制御手段である。
図(A)において1は導電性を有する弾性板体で、2は
その一端u01!Iを固定するだめの固定部材、3は強
誘電性を示す第1の結晶、4は同じく強誘電性を示す第
2の結晶、5および6はそれぞれ第1および第2の結晶
の電極、7は弾性板体1の他端12側に取付けられる磁
気ヘッド等の被変位部材である。また、8は第1交流駆
動信号を供給する第1制御手段、9はこの第1交流駆動
信号がもつ周波数fLよりも高い周波数fHを有する第
2交流駆動信号を供給する第2制御手段である。
ここで、弾性板体1は第1および第2の結晶3,4の共
通電極として用いられる。また、ここでは第1の結晶3
の長さLlと、第2の結晶L2とはり、)L2の関係に
設定されている。
通電極として用いられる。また、ここでは第1の結晶3
の長さLlと、第2の結晶L2とはり、)L2の関係に
設定されている。
このような構成の圧電振動子は第1と第2の交流駆動信
号が印加されると第1図(B)に示すような運動姿勢を
示す。すなわち、弾性板体1の一端11側は固定部材2
によって固定されていZめ、第1および第2交流、駆動
信号によって生じた応力は他端12側の自由端部を大き
く振動させる。このとき、第1交流駆動信号社第2交流
駆動信号よりも低い周波数に設定されかつ、第1の結晶
3の長さLlは第2結晶4の長さL2よりも長く設定さ
れているから、自由端部の根もとの変位はこの第1結晶
3によって大きなものとなる。一方、自由端部の先端は
上述の根もとの部分では得られない第1の交流駆動信号
よりも高い周波数で、駆動される。
号が印加されると第1図(B)に示すような運動姿勢を
示す。すなわち、弾性板体1の一端11側は固定部材2
によって固定されていZめ、第1および第2交流、駆動
信号によって生じた応力は他端12側の自由端部を大き
く振動させる。このとき、第1交流駆動信号社第2交流
駆動信号よりも低い周波数に設定されかつ、第1の結晶
3の長さLlは第2結晶4の長さL2よりも長く設定さ
れているから、自由端部の根もとの変位はこの第1結晶
3によって大きなものとなる。一方、自由端部の先端は
上述の根もとの部分では得られない第1の交流駆動信号
よりも高い周波数で、駆動される。
このことは、すでに述べたように第2の結晶4の長さL
2を短くすることによって達成される。その結果、これ
らの根もとと先端部分の総合運動姿態は第1図(B)の
ように々す、その先端部分は高速で[J かつ小もキ位量で振動される。
2を短くすることによって達成される。その結果、これ
らの根もとと先端部分の総合運動姿態は第1図(B)の
ように々す、その先端部分は高速で[J かつ小もキ位量で振動される。
このような運動姿態は例えば、ビデオテープレコーダに
おけるヘッドムービング装置として好適である。なぜな
らば、この棟の装置におけるヘッド、特に再生ヘッドは
その自動トラッキング制御が行なわれるときには、1記
録トランクをトレースする軌道をより高速でわずかなト
ランク幅内を移動する必要がある。また、クインクモー
ション、スローモーション等の特殊再生モードの場合の
ように、テープの定常速度で記録された信号を異なるテ
ープ速度で再生するときには、ヘッドは数トラック分を
横切ることとなる。この横切る間のへラドはノイズをピ
ックアップする。したがって、この横切る時間をより短
くする必要があシ、このためにヘッドはこのときには1
記録トラツクをトレースする始期に数トラック分の大き
な移動を必要とする。
おけるヘッドムービング装置として好適である。なぜな
らば、この棟の装置におけるヘッド、特に再生ヘッドは
その自動トラッキング制御が行なわれるときには、1記
録トランクをトレースする軌道をより高速でわずかなト
ランク幅内を移動する必要がある。また、クインクモー
ション、スローモーション等の特殊再生モードの場合の
ように、テープの定常速度で記録された信号を異なるテ
ープ速度で再生するときには、ヘッドは数トラック分を
横切ることとなる。この横切る間のへラドはノイズをピ
ックアップする。したがって、この横切る時間をより短
くする必要があシ、このためにヘッドはこのときには1
記録トラツクをトレースする始期に数トラック分の大き
な移動を必要とする。
上述の運動姿態はまさにこの前者およびもしくは後者の
必要性を満足させる。特に、近時の4種パイロット信号
を用いた −士頚囲辿DTF(DY
NAM工C−TRAC!に−FOLLOWING )装
置テ功≠15(用することも可能である。
必要性を満足させる。特に、近時の4種パイロット信号
を用いた −士頚囲辿DTF(DY
NAM工C−TRAC!に−FOLLOWING )装
置テ功≠15(用することも可能である。
このような原理に基ずく本発明の制御方式は、例えば第
2図に示すような第1と第2の制御手段80と90によ
って実現される。ここで、第2図で用いる記号並びに符
号は、説明の便宜上第1図と同一もしくは同等部分には
同符号を付する。g2図において第1制御手段80は増
幅器81.82と、第1の電圧値vlの半分すなわち1
/2V1の直流電源83 、84とによって構成される
。また、第2制御手段90は増幅器91と、第2の電圧
値v2の半分すなわち1/2V2の一対の直流電源92
.93と、一対のコンデンサ94.95によって構成さ
れる。そして、圧電振動子はここでは弾性板体1を結晶
が挾み込む、いわゆるバイモルフ構造のもので形成され
ている。第1制御手段80において一対の直流電源83
、84は第2図に示すように電極5に対し互いに逆極
性で接続される。そして、第1交流駆動信号はその源8
から両直流電源83.84を介して電極5に印加される
。その結果、圧電振動子の根もとの運動はその印加電圧
に対して第3図に示すようガ関係で生ずる。この第3図
に示す関係は縦目盛を■1からv2に置き換えることに
よって、第2制御手段90の鳴合にも当てはまる。第2
制御手段90は一対の直流電源92.’93が電極6に
対して互いに逆極性で接続される。そして、第2交流、
駆動信号はその源9から一対のコンデンサ94 、95
のそれぞれを介して電極6に印加される。その結果、圧
電振動子の自由な先端部分はこの第2交流1駆辿信号に
応じて運動する。
2図に示すような第1と第2の制御手段80と90によ
って実現される。ここで、第2図で用いる記号並びに符
号は、説明の便宜上第1図と同一もしくは同等部分には
同符号を付する。g2図において第1制御手段80は増
幅器81.82と、第1の電圧値vlの半分すなわち1
/2V1の直流電源83 、84とによって構成される
。また、第2制御手段90は増幅器91と、第2の電圧
値v2の半分すなわち1/2V2の一対の直流電源92
.93と、一対のコンデンサ94.95によって構成さ
れる。そして、圧電振動子はここでは弾性板体1を結晶
が挾み込む、いわゆるバイモルフ構造のもので形成され
ている。第1制御手段80において一対の直流電源83
、84は第2図に示すように電極5に対し互いに逆極
性で接続される。そして、第1交流駆動信号はその源8
から両直流電源83.84を介して電極5に印加される
。その結果、圧電振動子の根もとの運動はその印加電圧
に対して第3図に示すようガ関係で生ずる。この第3図
に示す関係は縦目盛を■1からv2に置き換えることに
よって、第2制御手段90の鳴合にも当てはまる。第2
制御手段90は一対の直流電源92.’93が電極6に
対して互いに逆極性で接続される。そして、第2交流、
駆動信号はその源9から一対のコンデンサ94 、95
のそれぞれを介して電極6に印加される。その結果、圧
電振動子の自由な先端部分はこの第2交流1駆辿信号に
応じて運動する。
ココテ、第1と第2の′4圧値v、とv2はV、)V2
の関係にあることは容易に理解できるであろう。
の関係にあることは容易に理解できるであろう。
また、このときの第1および第2交流、駆動信号のピー
ク対ピーク電圧値は同一値であっても、また第1交流、
駆動信号のピーク対ピーク値を第2交流、駆動信号のそ
れよりも大きく設定してもよいことはもはや理解できる
であろう。
ク対ピーク電圧値は同一値であっても、また第1交流、
駆動信号のピーク対ピーク値を第2交流、駆動信号のそ
れよりも大きく設定してもよいことはもはや理解できる
であろう。
以上、本発明を第1図および第2図に示すような実施例
に従って説明してきたが、本発明はこれに限ることなく
、例えば圧電振動子の形状は板状であればその平面形が
短冊あるいは環状のものであってもよい。1だ、第1、
第2制御手段は第2図に示す回路以外であってもよいこ
とは勿論である。なお、本発明をより理解するためには
アンペックス社より出願された特開昭53−36209
号公報が最も適切な参考文献となろう。
に従って説明してきたが、本発明はこれに限ることなく
、例えば圧電振動子の形状は板状であればその平面形が
短冊あるいは環状のものであってもよい。1だ、第1、
第2制御手段は第2図に示す回路以外であってもよいこ
とは勿論である。なお、本発明をより理解するためには
アンペックス社より出願された特開昭53−36209
号公報が最も適切な参考文献となろう。
第1図(A)は本発明の一実施例圧電振動子の模式図で
、第1図(B)は第1図(A)の圧電振動子の運動姿態
を示す図、第2図は本発明の一実施例制御手段を示す回
路および要部を示す構成図、第3図は第2図の構成にお
ける圧電振動子の印加電圧(変位)対時間を表わす特性
図である。 3.4 結晶板体、80・第1制御手段、90・・第
2制御手段、8・・第1交流1駆動信号の源、9・・第
2交流、”駆動信号の源。
、第1図(B)は第1図(A)の圧電振動子の運動姿態
を示す図、第2図は本発明の一実施例制御手段を示す回
路および要部を示す構成図、第3図は第2図の構成にお
ける圧電振動子の印加電圧(変位)対時間を表わす特性
図である。 3.4 結晶板体、80・第1制御手段、90・・第
2制御手段、8・・第1交流1駆動信号の源、9・・第
2交流、”駆動信号の源。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 一端を固定し、他端を自由端とした強誘電性を示す結晶
板体に電界を印加して分極を起させ、この電界に応じた
機械的な応力を生ずるいわゆる逆圧電効果を利用したア
クチーイク用の圧電振動子の制御方式において、 該圧電振動子を形成する前記結晶板体を前記固定端側と
自由端側とに2分割し、それぞれが個別に前記応力を生
ぜしめるべく、 第1の交流駆動信号を前記固定端側の前記結晶に印加す
る第1制御手段と、 前記第1交流駆動信号の周波数よりも高い周波数を有し
、かつ前記第1交流駆動信号の尖頭電圧値よりも低い電
圧値の第2の交流駆動信号を前記自由端側の前記結晶板
体に印加する第2制御手段とを備えたアクチェイタ用圧
電振動子の制御方式。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57232634A JPS59124180A (ja) | 1982-12-29 | 1982-12-29 | アクチエイタ用電圧電振動子の制御方式 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57232634A JPS59124180A (ja) | 1982-12-29 | 1982-12-29 | アクチエイタ用電圧電振動子の制御方式 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59124180A true JPS59124180A (ja) | 1984-07-18 |
Family
ID=16942374
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57232634A Pending JPS59124180A (ja) | 1982-12-29 | 1982-12-29 | アクチエイタ用電圧電振動子の制御方式 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59124180A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59188983A (ja) * | 1983-04-11 | 1984-10-26 | Japan Storage Battery Co Ltd | 圧電体変位装置 |
-
1982
- 1982-12-29 JP JP57232634A patent/JPS59124180A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59188983A (ja) * | 1983-04-11 | 1984-10-26 | Japan Storage Battery Co Ltd | 圧電体変位装置 |
JPH0322713B2 (ja) * | 1983-04-11 | 1991-03-27 | Japan Storage Battery Co Ltd |
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