JPS59121152U - 電子線露光装置等における試料保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第６図はこの考案の一実施例を示し、第１
図は移動台の一部を断面で示す正面図、第２図はそのＡ
−Ａ断面図、第３図はＢ−Ｂ断面図、第４図は下降状態
を示すＢ−Ｂ断面図、第５図は駆動体の平面図、第６図
は全体の配置を示す平面図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示し、１は試
料移動台、２は試料室、３はガイド、４はガイド溝、５
は受板、６は受面、７は試料ホルダー、８．９はローラ
ー、１０は試料装着孔、１１は試料保持板、１２は試料
、１３は押圧板、１７は上下板、２１は駆動リンク、２
２．　２３．　３４゜５８．５９．６０．６１はリンク
、３０，３１゜３２．３３はスライド溝、３７は駆動ア
ーム、４２は相殺アーム、４８，５６．５７はスプリン
グ、４９は駆動体、５４．５５は移動アーム、６６は流
体圧駆動シリンダー、６８は試料交換室、７０は試料交
換手段である。

Claims (5)

【実用新案登録請求の範囲】
1. （１）試料を保持する試料ホルダーと、この試料ホルダ
   ーを装着する受面を有する移動体と、前記試料ホルダー
   を受面に押圧および解除するように直線運動を行うリン
   グ装置と、このリンク装置の駆動節に接続する駆動アー
   ムと、この駆動アームの動作により移動体へかかる力を
   相殺する相殺アームと、前記リンク装置を押圧側に付勢
   するように各アーム間に配置されたスプリングと、この
   スプリングによる付勢に抗して前記各アームを駆動する
   ように平行に開く移動アームを有する駆動体とを備えた
   ことを特徴とする電子線露光装置等における試料保持装
   置。
2. （２）試料ホルダーはリンク装置により直線運動する押
   圧板と嵌合するようにされた実用新案登録゛請求の範囲
   第１項記載の電子線露光装置等における試料保持装置。
3. （３）リンク装置は押圧板を水平状態で上下運動させる
   ものである実用新案登録請求の範囲第１項または第２項
   記載の電子線露光装置等における試料保持装置。
4. （４）　　リンク装置はスコットラッセルリンク装置お
   よび平行４節リンクである実用新案登録請求の範囲第１
   項ないし第３項のいずれかに記載の電子線露光装置等に
   おける試料保持装置。
5. （５）駆動体は移動アームを平行状態で開く平行４節リ
   ンクを有する実用新案登録請求の範囲第１項ないし第４
   項のいずれかに記載の電子線露光装置等における試料保
   持装置。