JPS59121129A - 光フアイバ母材の製造方法 - Google Patents

光フアイバ母材の製造方法

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JPS59121129A
JPS59121129A JP22970282A JP22970282A JPS59121129A JP S59121129 A JPS59121129 A JP S59121129A JP 22970282 A JP22970282 A JP 22970282A JP 22970282 A JP22970282 A JP 22970282A JP S59121129 A JPS59121129 A JP S59121129A
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JP
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pipes
quartz
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Masaji Miki
三木 正司
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Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は光フアイバ製造用母材(プリフォーム材)の製
造方法に関し、特に塗布法によってガラス材料微粉末層
を付着堆積させて母材を形成する光フアイバ母材の製造
方法に関するものである。
従来技術と問題点 従来光ファイバの製造方法としては、MCVD(Mod
ifigd Chemical Vapor Depo
sition)法やVAD(Vapor Axial 
D−po#1tion)  法によって母材を製作した
後にファイバ化する方法と、二重ルツボ法によって溶融
原料から直接7アイパ化する方法とが用いられている。
このうちMCVD法とVAD法は、熱加水分解反応によ
るガラス材料微粉末の堆積を溶融による母材化とが同一
工程をなしていて製作に長時間を必要とするが、工程上
大幅な変更を行うことは困難である。一方、二重ルツボ
法は連続工程であって直接ファイバ化を行うことができ
て製作時間が短く、かつ長尺ファイバの製造に適してい
るが、反面製作できるのは単純な構成の光ファイバに限
られ、広帯域Gl (Graded Index )形
ファイバの製作は困難である。
発明の目的 本発明はこのよう々従来技術の問題点を解決しようとす
るものであって、その目的は、石英管内にガラス材料微
粉末層を高速にかつ多数本同時に付着堆積させることが
でき、従って光フアイバ母材を短時間にかつ安価に製作
できるとともに、Gl形7アイバ用母材の製作にも適し
た、光ファイバ母材の製造方法を提供することにある。
発明の実施例 図は本発明の詳細な説明するための図であって、1+2
−+ 2−2  ・・・・・・21はそれぞれ原料槽を
示している。原料槽1には高純度水または適当な液体の
分散媒6が収容されている。原料槽2−t、2−2.・
・・・・・。
2−nにはそれぞれ異なる屈折率を有するガラスを瘉成
すべきガラス微粉末4−+ 、4j2.4−nが収容さ
れている。これらのガラス微粉末4−+ 、4−2.・
・・・・・、 4−nはそれぞれ対応する合成トーチ5
−+ 、5−2 、・・・・・・、5−nによって、周
知の熱加水分解反応によって生成されるようになってい
る。なおこれらのガラス微粉末は、別工程で製造してそ
れぞれの原料槽に分類投入してもよい。原料槽1の分散
媒3はパルプ6を経て供給パイプ7に流出する。これと
同時にはじめ原料槽2−1のパルプ8−1を開けること
によって、ガラス微粉末4−1が分散媒とともに供給パ
イプ7に送られる。攪拌槽9は、供給パイプ7から送ら
れた分散媒とガラス微粉末との混合物を攪拌し均一に分
散させてスラリ状の原料液を生成し、これを分岐管10
−t、10−2.・・・・・・、10−tn  に送る
。それぞれの分岐管は二重構造になっていて、原料液は
内管側に送られ不ようになっている。一方外管側にはガ
ス管11から供給されたアルゴン(Ar)等の不活性ガ
スがコンプレッサ12を経て加圧されて送られる。各分
岐管10−1.10−2.・・・・・・、10−おの先
端部はそれぞれノズル13−+ 、15−2 、・・・
・・・、13−mをなし、不活性ガスの圧力によってス
ラリ状の原料液を霧状にして石英パイプ14−++14
−2.・・・・・・、144の内面に吹きつける。15
−+、15−z、・・・・・・、15−mは移動装置で
あって、それぞれの石英パイプ14−114−x・・・
・・・14−、を一定速度で移動させる。移動速度は原
料液の付着が均一に行われるように適当に定める。16
−+ 、 16−2 。
・・・・・・、16−rnは電気炉であってそれぞれ石
英パイプ14−++14−2+・・・・・・、144を
加熱し、石英パイプ内面に付着した原料液の分散媒を蒸
発させてガラス微粉末層17−++17−2+・・・・
・・、17−mを形成させる。加熱温度は分散媒の蒸発
が完全に行われる温度に選べはよい。
このようにして各石英パイプ14−1.14−2.・・
・・・・。
14−7の内面にガラス微粉末4−1の層を形成し終っ
たならば、各石英パイプをもとの位置に戻し、次にパル
プ8−1を閉め、パルプ8−2を開いて再び同一工程を
繰シ返えすことによって、ガラス微粉末4−1の層の上
にガラス微粉末4−2の層を形成する。
さらに同様の工程を繰シ返えしてガラス微粉末4−1の
層まで順次付着堆積させる。
所要の層数だけガラス微粉末層を堆積し終ったならば、
石英パイプ14−++14−2.・・・・・・、14−
mを取シ外し別に設けられた電気炉等で塩素(CL)ガ
ス等を流しながら加熱してガラス化および脱OH処理を
行て溶融状態に加熱しながら一定の速度で延伸する通常
の線引き工程を経て、光ファイバを製造することができ
る。
上述の製造方法において、各原料槽2−+、2−z。
・・・・・・、2−n に収容されるガラス微粉末は、
ガラス化した際の屈折率が所望の値になるように調製す
ることが可能でおる。従って堆積された微粉末層におけ
る各層の屈折率線すべて同一になるようにしてもよく、
あるいは各層の屈折率が順次変化するようにしてもよい
。後者の方法によれば広帯域Gl形ファイバ用母材を容
易に製作することができる。
本発明の方法の好適な一実施例を示せば盗のごとくでお
る。図においてガラス微粉末を分課させるために用いる
分散媒6としては、予め調合された高純度なリン酸CH
sPO4)が用いられる。このリン酸は高純度な蒸留水
とオキシ塩化リンを混合した後、約180℃に加熱して
塩化水素を蒸発させて作成したものである。
一方、ガラス微粉末は合成トーチごとに屈折率が徐々に
増加するようにして、10槽の原料槽に調製する。各合
成トーチではガラ不微粉末生成用ノ(−す内にガラス生
成原料ガスと可燃性ガスを送シ込み、加水分解反応と熱
酸化反応を生じさせることによって、それぞれの原料槽
内にガラスを微粒子として生成させる。なおガラス微粉
末を高純度に保つため、それぞれの合成トーチと原料槽
を収容するチャンバ18−1.18−z 、・・−・・
、18−n内に送入管19−+、19−2.・・・・・
・、19−nおよび排出管20f−+ 、20−2 、
・・・・・・。
20−3を経てアルゴン(Ay)等の不活性ガスを約5
1/分の割合で流しておく。
分散媒とともにまず原料槽2−1のガラス微粉末を攪拌
槽9に送シ込み、十分に攪拌した後パルプ21 を閉じ
高純度な不活性ガス例えばアルゴンガスをコンプレッサ
12を経て加圧して供給し、各石英管14−++14−
2+・・・・・・、14−□の内面に噴霧して付着させ
たのち電気炉16−+ 、 16−2.・・・・・・、
16−mで加熱乾燥させる。この操作を10回繰少返し
た後、別工程で脱OH化、ガラス化およびコラプスを行
いプリフォームとする。
上述の方法によシ、まず合成トーチ5−1内に四塩化ケ
イン(S*C114)を500cc/分、四塩化ゲルマ
ニウム(GgCβ4)を100cc/分、水素(B、)
を41/分、酸素(O3)を21,7分の割合いで送シ
込みガラス微粉末4−1を生成させた。以後の各合成ト
ーチ5−2.・・・・・・。
5−nには四塩化ケイン、水素、酸素は同量とし、四塩
化ゲルマニウムのみ順次100cc/分ずつ増加させて
流し込み、最後の合成トーチ5−nでは1000cc/
分になるようにした。一方、分散媒6は2%リン酸を用
い、ガラス微粉末に対して混合比を約40重量%とし、
攪拌槽9内で十分に攪拌したのちアルゴンガス(圧力1
.5Kg/ cm” ) 5β/分によって噴霧して、
石英管内面に付着させた。石英管の移動速度は約15’
cm/分とし、電気炉における乾燥温度を約1000℃
とした。乾燥後、石英管を旋盤にセットして、通常のC
VD法の場合と同様に管内に塩化チオニル(SOCII
、 )およびヘリウム(H−)をそれぞれ2β/分の割
合で混合して流して脱OH化を行いながら、外部から酸
水素炎で約1500℃に加熱してガラス化を行い、さら
に約2000℃に加熱してコラプスを行った。
このようにして得られたプリフォーム母材から、ファイ
バの外径125μmφになるように線引きを行って、長
°さ290mのファイバが得られた。なおこの場合のコ
ア径は約42μmφであった。光学特性は波長0.85
μmにおいて損失4.8 dB/Km、帯域290 M
Hz ・Kmであった。
発明の詳細 な説明したように本発明によれば、石英管内面にガラス
材料微粉末層を塗布法によって形成するようにしたので
、ガラス微粉末層の付着堆積を高速にかつ多数本同時に
行うこと7!Iiできる。従って光フアイバ母材を短時
間に安価に製造することができるとともに、各層のガラ
ス微粉末層の組成を順次変化させることによって、広帯
域Gl形光ファイバの製作に適した光ファイ/<母材の
製造も容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の光ファイノ(母材の製造方法の一実施例を
説明するだめの図である。 1+ 2− + + 2−21・・・・・・、2−ユ 
:原料槽、6′:分散媒、4−++4−21・・・・・
・、4−ル ニガ2ス微粉末、5−1,5−2+・・・
・・・。 5−ユニ合成トーチ、6:)(ルブ、7:供給)くイブ
、8−1,8−21・・・・・・、8→ ニア(ルプ、
9:攪拌槽、10−+。 10−2 、・・・・・・、1O−WL:分岐管、11
:ガス管、12:コンプレッサ、15−1,1s−z、
・・・・・・、13−m:ノズル、14−1゜14−2
.−−.14−m  : 石−導管、 15−+ H1
5−21=””+ 15−m  ’移動装置、16−+
、16−z、・・・・・・、16−7X :電気炉、1
7−1117−2.・・・・・・、17−、!二微粉末
層、18−+ 、 18−21・・・・・・、18−ル
;チャンバ、19−+、19−2.−・・、19−rL
:送入管、20−+ 、 20−2 、・・・・・・、
2しユニ排出管、21:)(ルブ。 特許出願人 富士通株式会社 代理人 弁理士玉蟲久五部(外3名)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 任意の屈折率を有するガラス微粉末を分散媒に分散して
    原料液を調整する工程と、該原料液を不活性ガスによっ
    て石英パイプ内面に噴霧して付着させる工程とを有し、
    石英パイプ内面に任意数のガラス微粉末層を付着堆積し
    たのちガラス化およびコラプス等の処理を行って母材化
    することを特徴とする光フアイバ母材の製造方法。
JP22970282A 1982-12-28 1982-12-28 光フアイバ母材の製造方法 Pending JPS59121129A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1016636A1 (en) * 1998-12-28 2000-07-05 Hoya Corporation Method for manufacturing optical fiber preform and method for manufacturing optical fiber
NL1036343C2 (nl) * 2008-12-19 2010-06-22 Draka Comteq Bv Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een optische voorvorm.

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1016636A1 (en) * 1998-12-28 2000-07-05 Hoya Corporation Method for manufacturing optical fiber preform and method for manufacturing optical fiber
NL1036343C2 (nl) * 2008-12-19 2010-06-22 Draka Comteq Bv Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een optische voorvorm.
EP2199263A1 (en) 2008-12-19 2010-06-23 Draka Comteq B.V. Method and device for manufacturing an optical preform
US9051205B2 (en) 2008-12-19 2015-06-09 Draka Comteq, B.V. Method and device for manufacturing an optical preform

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