JPS59119355A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
- Publication number
- JPS59119355A JPS59119355A JP57228385A JP22838582A JPS59119355A JP S59119355 A JPS59119355 A JP S59119355A JP 57228385 A JP57228385 A JP 57228385A JP 22838582 A JP22838582 A JP 22838582A JP S59119355 A JPS59119355 A JP S59119355A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dry plate
- hard dry
- hard
- plate
- centering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
・（１）発明の技術分野
本発明は露光装置、詳しくはステッパーまたはフォトマ
スクリピータ−におけるウェハまたはガラス乾板（ハー
ド乾板）位置ぎめおよび解放用の芯出し機構に関する。
スクリピータ−におけるウェハまたはガラス乾板（ハー
ド乾板）位置ぎめおよび解放用の芯出し機構に関する。
（２）技術の背景
例えばフォトマスクの製造においては１．フォトマスク
リピータ−を用いハード乾板に対して露光を行う。かが
るフォトマスクリピータ−は第１図の概略断面図に示さ
れる構造のものであり、同図において、Ｌはレンズ１ａ
の上方位置におかれた水銀灯からの光、ｌａ、ｌｂ、１
ｃ４；ｉ：レンズ、２は実際に形成されるパターンの例
えば１０倍のパターンが作られたレチクル、３は本体、
４はレンズカバー、５はハード乾板、６は金属性の台（
ステージ）を示し、ハード乾板５はソーダガラスの上に
クロム（Ｃｒ） ＩＩＩが、またこのクロム１戻の上に
フォトレジスト膜が塗布されたものであり、ハード乾板
５上にレチクル２のパターンが順次縮小投影される。
リピータ−を用いハード乾板に対して露光を行う。かが
るフォトマスクリピータ−は第１図の概略断面図に示さ
れる構造のものであり、同図において、Ｌはレンズ１ａ
の上方位置におかれた水銀灯からの光、ｌａ、ｌｂ、１
ｃ４；ｉ：レンズ、２は実際に形成されるパターンの例
えば１０倍のパターンが作られたレチクル、３は本体、
４はレンズカバー、５はハード乾板、６は金属性の台（
ステージ）を示し、ハード乾板５はソーダガラスの上に
クロム（Ｃｒ） ＩＩＩが、またこのクロム１戻の上に
フォトレジスト膜が塗布されたものであり、ハード乾板
５上にレチクル２のパターンが順次縮小投影される。
台６は図示しない駆動源に接続されてＸＹ方向の動きを
なし、レチクル２のパターンが一駒ずつ順次ハード乾板
５上に縮小投影されることを可能にし、所定の露光が終
ると現像工程、エソチング工程等を経てフォトマスクが
完成される。かがるフォトマスクは例えばウェハの露光
に用いられるものである。
なし、レチクル２のパターンが一駒ずつ順次ハード乾板
５上に縮小投影されることを可能にし、所定の露光が終
ると現像工程、エソチング工程等を経てフォトマスクが
完成される。かがるフォトマスクは例えばウェハの露光
に用いられるものである。
第２図は台６の平面図であり、この台６の上にハード乾
板５が配置される。同図において７は台６の中心、８は
溝、９は図示しない排気装置に連結された排気孔を示し
、溝８と排気孔９はハード乾板５が台６上に置かれると
き、排気孔８がら排気することによりハード乾板５を台
６に接し真空吸着する如き真空吸着手段を構成する。こ
こでハード乾板５が正しく位置ぎめしてセントされるこ
とが前記した露光のために重要であり、その目的開位置
ぎめピンのための孔１０ａ、１０ｂ 、、、が設けられ
る。
板５が配置される。同図において７は台６の中心、８は
溝、９は図示しない排気装置に連結された排気孔を示し
、溝８と排気孔９はハード乾板５が台６上に置かれると
き、排気孔８がら排気することによりハード乾板５を台
６に接し真空吸着する如き真空吸着手段を構成する。こ
こでハード乾板５が正しく位置ぎめしてセントされるこ
とが前記した露光のために重要であり、その目的開位置
ぎめピンのための孔１０ａ、１０ｂ 、、、が設けられ
る。
ハード乾板５は、１辺が例えば１０．１６ｃｍ （４
インチ） 、１２．７ｃｍ （５インチ） 、ｌ’５．
２４ｃｍ （ｆｉインチ）の長さの方形のもので（こ
れらを以下には４インチハード乾板０９．と略称する）
、それの位置ぎめのために、中心７がら一定の距離の点
１０ａ。
インチ） 、１２．７ｃｍ （５インチ） 、ｌ’５．
２４ｃｍ （ｆｉインチ）の長さの方形のもので（こ
れらを以下には４インチハード乾板０９．と略称する）
、それの位置ぎめのために、中心７がら一定の距離の点
１０ａ。
１０ｂ 、、、に穴を形成しておき、ハード乾板５の寸
法に応じ３点例えば１０ａ、 １０ｂ、 １０ｃにピン
を挿入し、３点固定法によってハード乾板５を位置ぎめ
する。
法に応じ３点例えば１０ａ、 １０ｂ、 １０ｃにピン
を挿入し、３点固定法によってハード乾板５を位置ぎめ
する。
ハード乾板５が位置ぎめされてセントされると、それは
前記した真空チャックによって強固に台６上に吸着固定
され、しかる後に露光が行われる。
前記した真空チャックによって強固に台６上に吸着固定
され、しかる後に露光が行われる。
以上にはフォトマスクの製造に用いるフォトマスクリピ
ータ−について説明したが、ウェハの露光に際してはス
テッパーが用いられる。しかし、ステッパーも上記のリ
ピータ−と同一構成であり、ウェハを台６上に固定する
についても全く同様の機構が用いられうる。
ータ−について説明したが、ウェハの露光に際してはス
テッパーが用いられる。しかし、ステッパーも上記のリ
ピータ−と同一構成であり、ウェハを台６上に固定する
についても全く同様の機構が用いられうる。
（３）従来技術と問題点
上記したフォトマスクリピータ−は一般に良好に作動す
るが、のハード乾板５の位置ぎめおよびそれの露光後の
取出しにおいて問題がある。
るが、のハード乾板５の位置ぎめおよびそれの露光後の
取出しにおいて問題がある。
第２図に戻りハード乾板の位置ぎめに関し説明すると前
記した如くハード乾板の寸法に応じてその都度所定の穴
１０ａ、、、にピ°ンの入れ替えを行わなければならな
い。フォトマスクの種類が頻繁に代えられたとすると、
かかるピンの入れ替えに余分の時間を要し、フォトマス
クリピータ−の作業性が低下する原因となる。
記した如くハード乾板の寸法に応じてその都度所定の穴
１０ａ、、、にピ°ンの入れ替えを行わなければならな
い。フォトマスクの種類が頻繁に代えられたとすると、
かかるピンの入れ替えに余分の時間を要し、フォトマス
クリピータ−の作業性が低下する原因となる。
ハード乾板５の露光が終ると、それを台６から取り出さ
なければならない。第１図に戻ると、ハード乾板５の上
表面とレンズカバー４の先端部分との間隔はきわめて小
であり、ハード乾板５上のフォトレジスト膜を剥離する
ことなく引き出すには、ハード乾板５を台５にほぼ平行
に出さなければならない。
なければならない。第１図に戻ると、ハード乾板５の上
表面とレンズカバー４の先端部分との間隔はきわめて小
であり、ハード乾板５上のフォトレジスト膜を剥離する
ことなく引き出すには、ハード乾板５を台５にほぼ平行
に出さなければならない。
ところが、ハード乾板５は台６に接して真空吸着されて
いるので、引き出すときにハード乾板５の台６と接して
いる裏面が台６とこすり合う。
いるので、引き出すときにハード乾板５の台６と接して
いる裏面が台６とこすり合う。
台６は前記したように金属性のものであるので、ハード
乾板５がこずられたとき裏面に傷が付くことがある。か
かる傷はフォトマスクを用いて露光すると５の被照射体
例えばウェハ上に転写されるので、不良品の原因となる
おそれがある。
乾板５がこずられたとき裏面に傷が付くことがある。か
かる傷はフォトマスクを用いて露光すると５の被照射体
例えばウェハ上に転写されるので、不良品の原因となる
おそれがある。
（４）発明の目的
本発明は上記従来の問題点に鑑み、乾板またはウェハを
、容易にかつ正確に位置ぎめしてセットし、またそれを
傷付けることなく容易に取り出すことが可能な露光装置
を提供するにある。
、容易にかつ正確に位置ぎめしてセットし、またそれを
傷付けることなく容易に取り出すことが可能な露光装置
を提供するにある。
（５）発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば、複数の気体通路と、
該気体通路の圧力に応じて上下動する複数の位置決めピ
ンを有する試料台を備え、該位置決めピンを複数の被露
光乾板のサイズに対応して配置し、被露光乾板のサイズ
に応じて該気体通路の圧力を切り換え、該位置決めピン
を選択的に該試料台上に突出させるようにしたことを特
徴とする露光装置を提供することによって達成され、ま
た該露光装置において、前記位置決めピンの１または数
個は、最も小なる乾板のための位置決めピンよりは試料
台の中心に近い位置に配置され、乾板の取出しの際に該
試料台の表面の上に突出する構成としてもよい。
該気体通路の圧力に応じて上下動する複数の位置決めピ
ンを有する試料台を備え、該位置決めピンを複数の被露
光乾板のサイズに対応して配置し、被露光乾板のサイズ
に応じて該気体通路の圧力を切り換え、該位置決めピン
を選択的に該試料台上に突出させるようにしたことを特
徴とする露光装置を提供することによって達成され、ま
た該露光装置において、前記位置決めピンの１または数
個は、最も小なる乾板のための位置決めピンよりは試料
台の中心に近い位置に配置され、乾板の取出しの際に該
試料台の表面の上に突出する構成としてもよい。
（６）発明の実施例
以下本発明実施例を図面によって詳述する。
第３図に本発明にかかる露光装置機構、すなわちフォト
マスクリピータ−の台の平面図が示され、この台は以下
に説明する芯出し機構を除くと第２図に示した従来の台
６と同１．；構成のものであるので、第３図において既
に図示した部分と同じ部分は同一符号を付して示す。
マスクリピータ−の台の平面図が示され、この台は以下
に説明する芯出し機構を除くと第２図に示した従来の台
６と同１．；構成のものであるので、第３図において既
に図示した部分と同じ部分は同一符号を付して示す。
台６には、第２図の実施ｃ７）例（７）穴１０ａ、１０
ｂ、、。
ｂ、、。
に対応する位置に、芯出し機構２０ａ、２０ｂ、、、を
設ける。すなわち図において、芯出し機構２０ａ、２０
ｂ。
設ける。すなわち図において、芯出し機構２０ａ、２０
ｂ。
２０ｃは４インヂハード乾板のためのものであり、２０
ｄ、 ２０ｅ、 ２０ｆは次のより大なる寸法の５イン
チハード乾板のためのものであり、順次同様にして異な
る寸法のハード乾板を位置ぎめするよう芯出し機構を配
置する。
ｄ、 ２０ｅ、 ２０ｆは次のより大なる寸法の５イン
チハード乾板のためのものであり、順次同様にして異な
る寸法のハード乾板を位置ぎめするよう芯出し機構を配
置する。
芯出し機構２０ａは第４図に示される構成のもので、同
図において１１は気体流路、１２は切替スイッチで、流
路１１は気体例えば窒素（Ｎ２）ガスまたはドライエア
の供給源（図示せず）に連結されている。切替スイッチ
には処理されるべきハード乾板の寸法に対応して認識符
号を付けておき、与えられたハード乾板に対して切り替
えられるべきスイッチが容易に幌織されうるようにする
。
図において１１は気体流路、１２は切替スイッチで、流
路１１は気体例えば窒素（Ｎ２）ガスまたはドライエア
の供給源（図示せず）に連結されている。切替スイッチ
には処理されるべきハード乾板の寸法に対応して認識符
号を付けておき、与えられたハード乾板に対して切り替
えられるべきスイッチが容易に幌織されうるようにする
。
第４図の芯出し機構２０ａ 、 、 、は突出位置にあ
り、その１つの詳細は第５図（ａｌに示される。それは
、弁部２１、ピン部２２、封止部２３から成り、例えば
ドライエアが第５図（ａｌに矢印で示す方向に送られる
と、弁部２１が持ち上げられてピン部２２が台６の上表
面の上に突出する。その状態が第４図に示されるが、こ
の位置で所定の例えば４インチハード乾板が位置ぎめさ
れうる。すなわち、操作者は、ハード乾板の１辺は芯出
し機構２０ａ、２０ｂに、他の１辺は芯出し機構２０ｃ
に接するようハード乾板を押し付けると、３点固定の原
理でハード乾板の中心は台６の中心７と一致する。
り、その１つの詳細は第５図（ａｌに示される。それは
、弁部２１、ピン部２２、封止部２３から成り、例えば
ドライエアが第５図（ａｌに矢印で示す方向に送られる
と、弁部２１が持ち上げられてピン部２２が台６の上表
面の上に突出する。その状態が第４図に示されるが、こ
の位置で所定の例えば４インチハード乾板が位置ぎめさ
れうる。すなわち、操作者は、ハード乾板の１辺は芯出
し機構２０ａ、２０ｂに、他の１辺は芯出し機構２０ｃ
に接するようハード乾板を押し付けると、３点固定の原
理でハード乾板の中心は台６の中心７と一致する。
他の例えば５インチハード乾板を位置ぎめしたいときは
、第５図（ｂｌに矢印で示される方向にドライエアが流
れるようスイッチを切り替えると、弁部２Ｉが下がり、
それと共にピン９１４２２の頂部は台６０表面と同一面
上に位置し、また封止部２３が流路１１の孔を封じ、芯
出し機構２０ａは舎内に隠れることになる。次いで、５
インチハード乾板のための切替スイッチを切り替えて、
芯出し機構２０ｄ。
、第５図（ｂｌに矢印で示される方向にドライエアが流
れるようスイッチを切り替えると、弁部２Ｉが下がり、
それと共にピン９１４２２の頂部は台６０表面と同一面
上に位置し、また封止部２３が流路１１の孔を封じ、芯
出し機構２０ａは舎内に隠れることになる。次いで、５
インチハード乾板のための切替スイッチを切り替えて、
芯出し機構２０ｄ。
２０ｅ、２０ｆを第４図、第５図（８１に示される如く
に突出させる。かくして、与えられたハード乾板に対し
、それの位置ぎめのためには、従来技術における位置ぎ
めピンの入れ替え等をなすことなく、切替スイッチの操
作のみによって位置ぎめ用の芯出し機構を容易に台６の
上表面の上に突出させまたは台６内に隠させることが可
能になり、それによって異なった寸法のハード乾板の位
置ぎめが容易に、かつ、正確になされうる。なお、特定
のハート乾板に関して芯出し機構の数と配置をいかにす
るかは前辺って選定しておけばよいが、図示の３個の芯
出し機構の配置で満足すべき操作が可能となった。
に突出させる。かくして、与えられたハード乾板に対し
、それの位置ぎめのためには、従来技術における位置ぎ
めピンの入れ替え等をなすことなく、切替スイッチの操
作のみによって位置ぎめ用の芯出し機構を容易に台６の
上表面の上に突出させまたは台６内に隠させることが可
能になり、それによって異なった寸法のハード乾板の位
置ぎめが容易に、かつ、正確になされうる。なお、特定
のハート乾板に関して芯出し機構の数と配置をいかにす
るかは前辺って選定しておけばよいが、図示の３個の芯
出し機構の配置で満足すべき操作が可能となった。
本発明の実施例においては、上記した芯出し機構と同様
の解放用芯出し機構３０ａ、３０ｂ 、、’、を、台６
上に載置される最も小なる寸法のハード乾板用の芯出し
機構、例えば４インチハード乾板が最も小なる寸法のも
のであるときは芯出し機構２０ａ、２０ｂ。
の解放用芯出し機構３０ａ、３０ｂ 、、’、を、台６
上に載置される最も小なる寸法のハード乾板用の芯出し
機構、例えば４インチハード乾板が最も小なる寸法のも
のであるときは芯出し機構２０ａ、２０ｂ。
２０ｃの内方にすなわちそれよりも中心７により近い位
置に、１１１１Ｉｌないし複数個設置する。これらのＭ
成用芯出し機構３０ａ、、、は第４図、第５図に示した
芯出し機構と同様の原理で働くよう構成する。
置に、１１１１Ｉｌないし複数個設置する。これらのＭ
成用芯出し機構３０ａ、、、は第４図、第５図に示した
芯出し機構と同様の原理で働くよう構成する。
第３図に戻り、ハード乾板の処理が終ると（そのときま
で機構３０ａ 、、、は第５図（ｂｌに示す台Ｇ内に隠
れた状態にある）、前記したと同様に、すなわ、ち所定
のスイッチ（それにも認識符号が付けられている）を切
り替え、芯出し機構３０ａ、、、を台６の上表面の上に
突出させる。それによってハード乾板は真空手段により
真空吸着された状態から解放され自由になる。次いで操
作者は自由になっ−たハード乾板を引き出せばよく、そ
のときハード乾板は台６から完全に離れているから、従
来例における如くハード乾板の裏面と台６の表面とがこ
すり合されハード乾板の裏面が傷付けられることが防止
されうる。
で機構３０ａ 、、、は第５図（ｂｌに示す台Ｇ内に隠
れた状態にある）、前記したと同様に、すなわ、ち所定
のスイッチ（それにも認識符号が付けられている）を切
り替え、芯出し機構３０ａ、、、を台６の上表面の上に
突出させる。それによってハード乾板は真空手段により
真空吸着された状態から解放され自由になる。次いで操
作者は自由になっ−たハード乾板を引き出せばよく、そ
のときハード乾板は台６から完全に離れているから、従
来例における如くハード乾板の裏面と台６の表面とがこ
すり合されハード乾板の裏面が傷付けられることが防止
されうる。
上記した解放用芯出し機構は１個ないし数個設置しうる
が、第３図に示す如く方形を構成する如く４個設置し、
または真空チャックの溝８の外側に３個等間隔に設置し
てもよい。
が、第３図に示す如く方形を構成する如く４個設置し、
または真空チャックの溝８の外側に３個等間隔に設置し
てもよい。
（７ン発明の効果
、 以上、詳細に説明したように、本発明の露光装置に
よるときは、フォトマスクリピータ−を用いるフォトマ
スク用のハード乾板の露光において、ハード乾板の位置
ぎめが容易に、かつ、正確になされうるだけでなく、露
光の終った後のハート乾板の取出しが真空吸着手段の影
響を受けることなく自由な状態でなされ、その際ハード
乾板の裏面が傷付けられることが防止されるので、半導
体装置の製造歩留りと、製造されるフォトマスクの信頼
性向上に効果大である。なお、上記においてはフォトマ
スクリピータ−におけるハード乾板の位置ぎめ、取出し
について説明したが、本発明適用範囲はその場合に限定
されるものでなく、ステッパーを用いるウェハの処理の
場合にも及ぶものであることはいうまでもない。更に、
本発明の適用範囲は図示し説明した配置に限定されるも
のではなく、その他の配置を用いる場合にも及ぶもので
ある。
よるときは、フォトマスクリピータ−を用いるフォトマ
スク用のハード乾板の露光において、ハード乾板の位置
ぎめが容易に、かつ、正確になされうるだけでなく、露
光の終った後のハート乾板の取出しが真空吸着手段の影
響を受けることなく自由な状態でなされ、その際ハード
乾板の裏面が傷付けられることが防止されるので、半導
体装置の製造歩留りと、製造されるフォトマスクの信頼
性向上に効果大である。なお、上記においてはフォトマ
スクリピータ−におけるハード乾板の位置ぎめ、取出し
について説明したが、本発明適用範囲はその場合に限定
されるものでなく、ステッパーを用いるウェハの処理の
場合にも及ぶものであることはいうまでもない。更に、
本発明の適用範囲は図示し説明した配置に限定されるも
のではなく、その他の配置を用いる場合にも及ぶもので
ある。
第１図はフォトマスクリピータ−の概略断面図、第２図
は前記フォトマスクリピータ−の台の平面図、第３図は
本発明にかかる露光装置を備えたフォトマスクリピータ
−の台の平面図、第４図は第３図の露光装置の一部の断
面図、第５図（ａ）と（ｂｌは第４図の機構の芯出し機
構を詳細に示す断面図である。 ５−ハード乾板、６一台（ステージ）、７一台６の中心
、８−溝、９−排気孔、１１−気体流路、１２−切替ス
イフチ、２０ａ、２０ｂ−一芯出し機構、２１−・−弁
部、２２− ピン部、２３−封止部、３０ａ、３０ｂ
−解放用芯出し機構
は前記フォトマスクリピータ−の台の平面図、第３図は
本発明にかかる露光装置を備えたフォトマスクリピータ
−の台の平面図、第４図は第３図の露光装置の一部の断
面図、第５図（ａ）と（ｂｌは第４図の機構の芯出し機
構を詳細に示す断面図である。 ５−ハード乾板、６一台（ステージ）、７一台６の中心
、８−溝、９−排気孔、１１−気体流路、１２−切替ス
イフチ、２０ａ、２０ｂ−一芯出し機構、２１−・−弁
部、２２− ピン部、２３−封止部、３０ａ、３０ｂ
−解放用芯出し機構
Claims (2)
- （１）複数の気体通路と、該気体通路の圧力に応じて上
下動する複数の位置決めピンを有する試料台を備え、該
位置決めピンを複数の被露光乾板のサイズに対応して配
置し、被露光乾板のサイズに応じて該気体通路の圧力を
切り換え、該位置決めピンを選択的に該試料台上に突出
させるようにしたことを特徴とする露光装置。 - （２）前記位置決めピンの１または数個は、最も小なる
乾板のための位置決めピンよりは試料台の中心に近い位
置に配置され、乾板の取出しの際に該試料台の表面の上
に突出する構成としたことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57228385A JPS59119355A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57228385A JPS59119355A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59119355A true JPS59119355A (ja) | 1984-07-10 |
| JPH0355974B2 JPH0355974B2 (ja) | 1991-08-27 |
Family
ID=16875634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57228385A Granted JPS59119355A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59119355A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7153357B2 (ja) | 2016-11-08 | 2022-10-14 | ウーディオ オサケユキチュア | 圧縮物品、およびその製造方法 |
| FI130116B (en) | 2018-09-21 | 2023-03-03 | Woodio Oy | Process for the production of shaped products |
-
1982
- 1982-12-27 JP JP57228385A patent/JPS59119355A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0355974B2 (ja) | 1991-08-27 |
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