JPS59118306A - 超音波式深孔穿孔機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は超音波を利用した深孔穿孔機に関する。

超音波を利用した深孔加工用の穿孔機はガンドリルとし
て実用され、ている。ガンドリルはその名の通シ轟初、
銃の筒孔を加工するために開発されたものであるが、ワ
ークピースが銃筒という特殊なものであるためドリルが
固定でワークピースが回転する構造となっている。即ち
ワークピースたる銃筒はその形状がらして容易に回転さ
せることができるため加工に際しては工具（ドリル）を
回転させるよｐもワークピースを回転させる方が簡単か
つ有利である。そしてこの方が孔面の直線的な大きな曲
がりが比較的小さくなる・のでワークピース回転方式が
多用されてきた。これは、深孔加工用のトリルはそのシ
ャンクが極めて細長くなっているため、更にはドリルの
断面には後述の如く切粉逃げ用の切欠が形成されるので
ねじシモーメントに弱りトリル１回転当りの送シヲ大き
くするとドリルが折れ易すくなる一７Ｊ）らである。ま
た、ドリルを回転するようにすると、その軸受部の構造
、あるいはドリル先端への切削油の供給構造を如伺にす
るか等の付随的な問題も多々生じてくる。このような訳
で不願出願人の知る限りドリルが回転するようにした胴
音波式ガンドリルは未だ開発されていない。従って従来
のガンドリルはワークピースが回転可能な場合にしか適
用できなかった。

しη）ろに、回転不能のワークピースへの深孔加工の需
要は例えば自動車、船舶、航空機等のエンジンあるいは
その他の部品に沢山ある。

いま、自動車部品全例にとればクランクシャフトあるい
はエンジンのシリンダブロックに形成する油孔等多くあ
る。しかも自動車の生産台数を考慮すれば深孔加工の延
べ作業数は膨大なものとなる。不発明は斯かる要求を充
足せんとするものである。

更にまた従来の深孔穿孔機においては孔〃１ら生じる切
粉を外部に導くための切粉用の逃げ通路をトリルシャン
クに切欠き形成した■溝にょシ形成していた。この切粉
逃げ通路は穿孔作業においては絶対的に必要なものであ
るが従来のガント“リルでは切粉がカールして連続する
ので比較的大き々■溝を切欠形成する必要があった。し
かしながらこのよりな■溝があるとドリルのねじシモー
メントが大きくとれず従って１回転当９の送υも一定限
度以下に設定せざるを得ないので所要工作時間が増大し
かつドリル寿命の低下を招く。またこのＶ溝があるとド
リルシャンクの断面形状が中心糾に関して対称形状とな
らないためにト９リルを回転した場合には直紳方回の曲
げモーメントが生じ折損し易くなる。

不発明は上述の如き背景のもとに超音波を援用したト・
リル回転式の深孔穿孔機を開発したものである。

一般に切削加工機においては工具を回転させる刀為ワー
クピースを回転させるかは相対的々ものであシ従ってガ
ンドリルにおいてもワークピースの代シにトリルを回転
させるという着想自体は側段新規なものではない。しη
１しながらこれまで斯かる着想が実現されな刀）りたと
いうことは高速度に回転する発振子が得られなかったこ
と、２リルシヤンクをパイプ状にすることができなかっ
た等の解決すべき多くの課題があるηλらであり、従っ
て不発明に如伺にしてそれらの課題を解決するかに主眼
をおいたものである。

以下、添付図面を参照しながら不発明の超音波式深孔穿
孔機の実施例について詳細に説明する。

本発明に係る超音波式深孔穿孔機の本体は機台１上に摺
動自在に支承されるスライダ３上に取付７けられる。ス
ライダ３は機台１に例えばあシ溝嵌合（第３図）シ、サ
ーがモータ等のアクチュエータ５にニジ回転駆動せＬ７
められる送υねじ軸７によｐ前後にスライドせしめられ
る。スライダ３のアクチュエータとして上述の如き送シ
ボールねじ軸機構の代シに油田シリンダあるいはカム機
構等音用いてもよい。スライダ３上にはプレート９を有
する中空ハウジング１１が固設される。中空ハウジング
のプレート９には送りねじ軸７と平行に延びる一対の平
行棒１３が摺動自在に貫通せしめられる。中空ハウジン
グ１１円にはベアリング３１．３１を介して中空円筒状
のロータ３３が回転自在に支承される。ロータ３３の一
端にはプーリ３５がキー着され、該プーリ３５にはハウ
ジング１１の開目３フ全 スＶベルト３９が巻装せしめられる。ベルト３９の他端
側はハウジング１１上に固設した可変速度誘導電動機４
１等の回転駆動源の出力軸に固着されるプーリ４３に巻
装される。その結果ロータ３３はモータ４１にエフ回転
駆動せしめられる。

プーリ３５には冷却用ファン４３が一体的に固着されロ
ータ３３に形成した軸方向の孔４５全通して冷風をロー
タ３３円に送り込みロータ３３門にこもる熱全冷却する
。この冷却風はロータ３３の周面に形成した多数の窓４
７及びハウジング１１の周面に形成した窓４９を介して
外部に放出される。

ロータ３３内には円柱状のコーン２３が同心円的に配置
される。コーン２３ばそのフランジ部５１によってロー
タ３３に固着される。この固着部、即ちフランジ部５１
の位置は後述の如く振動波形のノード部分に対応する位
置にすることが肝要である。コーン２３の一端には円柱
状の超音波発振子２１が固着される。超音波発振子２１
の接続ワイヤ５３Ａ，５３Ｂはロータ３３の中心孔５５
全通してロータ３３の外端の導体環５９Ａ。

５９Ｂに接続される。これら導体環５９Ａｊ５９Ｂには
夫々外部端子６１Ａ，６１Ｂを接続された導体ピン５７
Ａ，５７Ｂがカーボンブラシ６３Ａ。

６３Ｂを介して接触せしめられる。カーボンブラシ６３
Ａ，６３Ｂは導体ビン５７Ａ．５７Ｂ円に設けたばね（
図示せず）にニジ夫々の導体環５９Ａ。

５９Ｂに押し付けられる。外部端子６１Ａ，６１Ｂは外
部電源に接続される。これとは別に接続ワイヤ５’３Ａ
，５３Ｂの外部電源への接＠機構としては公知のスリッ
プリング等を用いることもできる。

尚、第６図においセ妊ベアリング３１のグリース漏れ防
止用のパツキンである。これはｔ−た外部７Ｊ１らの塵
埃の侵入を防止するのにも役立つ。

コーン２３の先端にはハウジング１１から突出するねじ
突起６７が突設され、これにホーン２５の径が先端に同
って小さくなっている。いま、嶋１０図に示す如くホー
ン２５の入口側の径ｋｄ１、出口側の径をｄｌとすると
、ホーン出口端における振幅Ａは次式で表わされる。

即ち、発振子２１がらの振動の振幅はｄｌとｄｌとの比
に応じて増幅される。従ってホーン２５の形状は強度等
を考慮した上で基の値ができるだけ２ 大きくなるようにとるのが好ましい。

ホーン２５の先端にもねじ突起７１が突設され、ここに
ドリル１０１が着脱自在に螺合せしめられる。これとは
別にドリル径が大きい場合にはねじ嵌合の代りにモール
スチーツク嵌合を用いてもよい。

ドリル１０１０基端部はプレート９に固定される固定軸
受装置７３に工９回転自在に支持される。

固定軸受装置７３はボールベアリング７５を有する本体
７７を有し、該本体７７内に切削油供給口（ねじ孔）７
９が形成される。この切削油供給ロア９にはオイルポン
プ（図示せず）に連結される切削油供給ノズル８１がね
じ込−４　ｈる。切削油はト９リル１０１の中心に形成
した油孔１０３全通してドリル先端に送られる。油孔１
０３はドリル１０１に形成した横孔１０５に工９切削油
供給ロア９に連結せしめられる。ドリル１０１の基端部
にはその外周に周溝（図示実施例では４個）が形成され
、これら周溝内にＯリング８３が嵌入される。これらＯ
リング８３にニジドリル１０１の基端部と固定軸受装＃
７３の本体部７７の嵌入孔８７の円周との間には僅−Ｄ
ｈな隙間が形成される。

これはドリル１０１が固定軸受装置の本体部７７に直接
触れないようにしドリル１０１に伝えられる回転及び振
動をこれらＯリング８３にニジ吸収すること全目的とし
たものである。もしもｒリル１０１が軸受本体部７７の
嵌入孔８７にすき間なくびった９と嵌入せしめられてい
ると）Ｆ　ＩＪルの振■ 動を吸収すゐことができないので１１１１受本体部には
ドリルの振動反力が直接作用し、軸受不体部の破損に至
るであろう。これは軸受７５によるドリル１０１の支持
点は後述の如く発振子２１からの振動のノードに対応す
る位置にあることが瓜要であるためＯＩＪソング３の位
置はノードから外れる〃きらである。ノート９以外の点
で振動が生じるのは超音波援用の場合の特徴である。

ドリル１０１の先端にはドリルチップ１１１が形成され
る。ドリルチッ７″ｌ　１１には公知の如く切粉逃げＶ
溝１１５（第８図ハ；形成される。不発明においては超
音波発振の効果で軸方向又はねじり方向の加速度Ｇが非
常に大きくできるので切粉が粉々になる。そのためこの
切粉逃げ■溝１１５は先端チップ１１１にのみ形成され
細長のドリルシャンク部には形成する必要がない。即ち
、不発明においてはド１ｊルシャンクは円形均一断面の
パイプ状でありその径は先端チップ１１１の径、ｃ９も
少しだけ小さくなっている。従って切粉の逃げ路は先端
チップ１１１との段差によってドリルシャンクの周囲に
形成される空間によって形成される。従来はドリルシャ
ンクにも先端チップの切粉逃げ溝に対応する■溝が長手
方向全長に亘って形成されていたので、従ってぞの■清
に相当する切＠ 大分だけシャンクのねじ強度は弱くなるのみならず曲げ
モーメントに対して弱くなる。そしてドリルコストも高
くなる。本発明では斯かる不都合は解消される。不発明
ではこのようにドリルシャンク周囲に設けた僅かな隙間
による切粉逃げ通路で十分切粉の逃出が可能なのは、上
述の如く本発明ではドリルチップに従来よりがなシ大き
な振動（ドリルチップを叩く力）’ｅ７０＞けることが
できるので切粉が粉々に微細化されるためである。即ち
、従来より切粉ががなり微細に分断される〃ｓらである
。

チップ１１１にはドリルシャンクに形成した油孔１０３
に連通する油孔１１３が設けられ、ここ〃）ら油が圧出
せしめられる。そのため切粉は連続的に排泄される。同
一径のドリルチップを用いた場合不発明のパイプ状ドリ
ルは従来のドリルの約２倍のねじυモーメントに耐えら
れる。これはドリルシャンクりの送り全２倍にすること
ができるということを意味し、従って不発明Ｖこおいて
は工作時間が大幅に短縮される。

ドリル１０１の先端近傍は可動軸受装置ｔ９１によシ支
承される。可動軸受装置９１は深匙加工がすすむにつれ
てドリル１０１が除々にワークピースＰ（第１図）内に
深く入シ込むのに応じてノードから隣接するノートワン
ピッチづつ支承点を後退するように可動となっている。

即ち、可動フランジ装置９１は第７図に示される固定フ
ランジ装＃７３と同様の形態をしているがその基部９３
は一対の棒１３に固着される。他方、棒１３は前述の如
く固定軸受装置７３に対しては摺動自在に貫通している
。棒１３の一方には第４図に示す如くラック１２１が形
成される。プレート９にはラック１２１に相当する部分
に縦孔１２３が形成されその中にビニオン１２５が嵌入
さね、る。ビニオン１２５は縦孔１２３内においてラッ
ク１２１に係合する。ビニオン１２５はプレート９に固
着されるアクチュエータ１３１の基台１３３にベアリン
グ１３５′ｆｆ：介して回転自在に支承される。アクチ
ュエータ１３１は例えばエンコーダ付きのサーボモータ
でよく、ビニオン１２５はその出力軸１４１に固着され
る。従ってビニオン１２５がアクチュエータ１３１によ
り回転駆動せしめられると棒１３がその軸線方向に往復
動せしめられる。可動軸受装置９１は前述の如く棒１３
に固定保持されているので棒１３と共に棒軸線方向に動
くことになる。可動軸受装置の一すル支承点も常に発振
子の振動波形のノードに対応する位置に置かれる。

従って可動軸受装置９１はノード間距離、即ち凶波長に
相当するピッチで１ピツチづつ後退すしめられる（第９
図参照）。７クチユエータ１３１としてす〜ボモータを
用いれば可動軸受装置９１を所定ピッチづつ間欠的に動
かして常にノードに対応する位置に位置せしめることが
できるが、ザーボモータ１３１のエンコーダに応じて作
動するストッパ機構を設けることも可能である。このス
トッパ機構は例えばソレノイｌ”１４５から構成されそ
のソレノイドプランジャ１４７にストッ／、ｏアームレ
バー１４９の一端が枢着される。レバー１４９はプレー
ト９にピン１５１を介して回動自在に枢着され、その他
端にストン／＜？ピン１５３が係止せしめられる（第２
図参照）。ス）ツノｅピン１５３はプレート９に形成し
た横孔１６１内に嵌入さればね１６３に、Ｃ５常に外方
（第４図において左方）に押圧される。ラック１２１を
形成した棒１３とは反対１＋ｌの棒１３にはノードに対
応してピン１５３に対応する位置に凹所（図示せず）が
形成されその凹所内にピン１５３が突入すゐことによυ
棒１３はピン１５３によシロツクされ可動軸受装置はも
はやそれ以上動けなくなる。図示芙施例のソレノイド１
４５はゾル型で、オンさｈるとソレノイドプランジャ１
４７が収縮しロックが作動する。尚、ピン１５３が突入
する棒１３の凹所を球の一部あるいはチー・ぐ凹所とし
た場合には復帰ばね１６３を設けなくてもピン１５３は
凹所〃）ら自動的に押し出されよう。

可動軸受装置９１の軸受部はト９リルシャンク径が小さ
いときには２つ割シリング１７１，１７３から構成され
、これらリング１７１，１７３はピン１７７に、Ｊニジ
枢着され、かつ固定ボルト１７５にｘ９拡開自在となっ
ている。従ってドリル１０１を可動軸受装置にと９つけ
ろ際にはリング１７１゜１７３’（Ｈ２つ割９にすれば
よい。尚、可動軸受装置９１及び固定軸受装置７３のド
リル１０１全直接支承する軸受部材はメタルスリーブ好
ましくは含油メタルスリーブ１７９（第５図）、７４（
第７図）で工い。

尚、第６図においてピン１９０は組立時にホーン２５全
コーン２３にねじ込むときのコーン２３の回り止め用の
ピンであシ、通常はこのピン１９０はとり外されている
。コーン、２３と一体的なロータ３３には例えば直径方
向に２ケ所、ピン１９０が嵌入する孔（図示せず）が形
成されている。

籾て以上の如く構成された穿孔機において発振子２１か
ら発せられる振動は前述の如くホーンの直径比ｄｌ、４
に応じて増幅され第９図に示す如く振幅Ａ、波長λのサ
イン波形に乗ってドリル先端に伝えられる。従ってまず
第１に肝要なことは前述の如く、発振子２１及びコーン
２３を共に支持する点（フランジ５１に相当）、ドリル
１０１を支持する固定支点（固定軸受装置７３に相当）
、及びドリル１０１の先端を支持する点（可動軸受装置
９１に相当）はいずれも振動波形の振幅がゼロになる点
、即ちノード（Ｎｏ、Ｎ工、Ｎ２．・・・Ｎｏ）に対応
する点に位置せしめることである。こうすることによっ
て機械の支承部には理論上全く振動が作用しないように
する。そしてこれとは逆に最も大きな振動の欲しい所、
即ち、ホーンの出口端（左端）とｒリルチップ先端とは
振幅が最大になる点即ちループ（Ｌｏ　１　”！　、・
・・Ｌｎ）に対応する点に位置させる。ｎの数はＰジル
１０１のシャンクの長さによって決定される。

ドリルチップ１１１によシワークビースを叩く力Ｇは次
のような公式から求められる。

但し、各記号は以下の通シとする。

Ａｏ・・・発振子の振幅（ロ） Ａ・・・ホーン出口端の振幅（μ） λ・・・波長（順） ｆ・・・周波数（Ｈｚ　） Ｃ・・・ワークピースの材料によって決定される音速（
ｒ′ｒｙＳ）ｔ・・・ノード間のピッチ（胴） Ｗ・・・チップの重量（ｆｒｌ ？・・・ｐｌＪｌチルプ端面を叩く加速度（”／Ｓ２）
λ＝〒であ°るかか まｆｃＡ＝ＡｏＸ−’　　である〃・ら？＝（２πｆ）
２Ａ　　とすると Ｇ＝　ｆｆ　Ｘ　ｗ 従って例えば−例として Ａａ　＝　５　”　　、ｆ　＝　２０　ｋｃ／Ｓｓ　　
Ｃ（ｆｆ４（Ｄ場合）＝５２００ｒｒ３／ｓ、Ｗ±１０
０　ｒｒとすると上式エシ１＝１３０ｍｍ、　Ｇ＝３９
Ｋｇ、ｆとなる。即ち、ドリルチップは３ｇＫ９．ｆ　
で毎秒２０．０００回叩くことになる。これにより切粉
が粉々に々る。従って切粉逃げ溝はドリルシャンク周囲
に形成される僅かな隙間で十分である。またドリルシャ
ンクをパイプ状にすることにより強度が増すので上述の
如き大きな切削力をかけてもドリルシャンクが破１ｊ１
ｆることはない。換言すれば在来深孔ドリルの２倍以上
の切削力が得られる。

また、ワークピースが変わる場合、即ちＣが変わる場合
にはｆを変えることによりｔを一定にしている。後述の
如く可動軸受装置９１はドリル加工が進むにつれてｔに
相当する距離だけ１ピツチづつ後退せしめられ、當にノ
ード位随にくるようにされるのでｔｋ一定にすることは
本発明機械を自動化する上で極めて重要なことである。

不発明の穿孔機は次の如く作動する。

まず初めにモータ４１をオンにして発振子２１、コーン
２３、ホーン２５と共に一すル１０１を回転せしめる。

次いで発振子２１に通電して発振子全オンにし穿孔作業
を開始する。ドリルの送υはアクチュエータ５に、Ｃシ
基台１を除く機械全体をスライダ３を介して第６図にお
いて左方に動ηユす。

このとき可動軸受装置９１は第１０図に示すノード位置
Ｎｎに置かれているがラック１２１とピニオン１２５に
ニジプレート９、従ってスライダ３に一体化されている
ので可動軸受装置９１も一すルと共に前進する。可動軸
受装置９１が少しづつ前進してワークピースに近づくと
それを感知するためのセンサ、例えば一対の発元累子２
０１と受光素子２０３（第１．２図）とから成るフォト
カップラが可動軸受装置９１の前方空間に置かれている
。可動軸受装置９１が前進してきてフォトカッシラ２０
１．２０３の元を遮断するとそれに応じて発振子２１へ
の通電が停止せしめられると共に送ｐが停止せしめられ
る。そのため特に図示はしないが例えば発振子の電源回
路及びアクチーエータ５の電源回路にフォトカップラか
らの信号に応答してオン、オフするスイッチを設けてお
けばよい。またフォトカップラがオフになると同時にア
クチュエータ１３１がオンにな９棒３を可動軸受装置９
１と共にｔだけ後退せしめる。その結果可動軸受装置９
１はＮｎからＮｎ−１位置にくる。そしたら再び発振子
２１をオンにすると共にドリル１０１の回転及び送、！
Ｓｌを行う。以上の動作を繰り返すことによりト９リル
１０１にニジワークｔ〜スＰ（第１図）に所定の深孔を
加工すゐことができる。最終的には可動軸受装置９１は
Ｎｎ−＋　Ｎｎ−１。

・・・→Ｎ４を経て第１図に示す想像線位置９１′まで
くるがこの最終位置だけはノーｒ上に位置りない。

何となればノードＮ３には固定軸受装置７３があるから
である。しかしながらこれはノードに近接しているため
に振幅が小さく刀）つ最終ステップのみの催炉な時間で
あるので何ら問題はない。ンレノイド１４５はアクチュ
エータ１３１の作動停止と同時にオンになシ棒３、従っ
て可動軸受装置の動きをロックする。尚、アクチュエー
タ５にはエンコーダを設ける代ｐにタコジェネレータを
設けてもよくあるいは周波数制御の場合はこれらエンコ
ーダやタコジェネレータを設けることなくその周波数信
号全直接検出してそれに応じてアクチーエータ５を制御
し送！ｌｌ量を決足するようにしてもよい。

以上に記載した如く不発明によれば信頼性の高い高寿命
の一すル回転式全自動超音波穿孔機が得られるものであ
り、その適用範囲が大幅に拡大されるのみならず大きな
穿孔力を用いることにより切粉がまくれることなく微細
化され加工孔はほとんどリーマ加工等の後加工が不要な
程ピカピカになる。また切粉が微細化することによりド
リルの送シ速度も従来に比し大きくすることもできるの
で工作時間はそれだけ短縮される。

尚、不発明において用いる超音波発振子は磁わい型でも
電わい型でもいずれでもよいが振動波形ノフラントバン
ド領域が大きくなるので磁わい型の方が好ましい。

【図面の簡単な説明】

第１図は不発明に係る深孔穿孔機の要部の正面図、第２
図は第１図の平面図（基台は省略しである）、第３図は
第１図の右側面図、第４図は第６図のＭ−１ｎ断面図、
第５図は第１図のＶ線矢視図、第６図は第１図の要部縦
断面図、第７図ｉ’ｊ：第６図の■−■線断面図、第８
図はドリルチップの端面図、第９図は振動波形と穿孔機
各部との配置関係を示す図。 １・・・基台、３・・・スライダ、１１・〒・ハウジン
グ、２１・・・発振子、’２３・・・コーン、２５・・
・ホーン、７３・・・固定軸受装置、９１・・・可動軸
受装置、１０１・・・ドリル、１１１・・・げリルチッ
ゾ。 特許出願人 株式会社　山口機械研究所 特許出願代理人 弁理士　青　木　　　朗 弁理士　西　舘　和　之 弁理士　中　山　恭　介 弁理士　　山　口　昭　之 第３図 手続補正書　（自発） 昭和５８年２月２ｊ日 特許庁長官　若杉和夫　殿 １、事件の表示 昭和５７年　特許願　　第２’２７１１５号２、発明の
名称 超音波式深孔穿孔機 ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 名　称　株式会社山口機械研究所 ４、代理人 （外３　名） ５、補正の対象 明細書の１発明の詳細な説明」の欄 ６　補正の内容 明細書第２２頁第１３行目〜同第１６行目［尚、本発明
において・・・・・・好ましい。］を「尚、本発明にお
いて用いる超音波発振子は電わい型が好ましいが磁わい
型でもよい。」と補正する。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基台上に往復動自在に取付けられるスライダと、回
   転駆動源を有し上記スライダ上に固設される中空ハウジ
   ングと、該ハウジング内に回転自在に支承され上記回転
   駆動源に連結されるコーンと、上記ハウジング内におい
   てコーンの一姑に固着されコーンと共に回転する超音波
   発振子と、コーンの他端に着脱自在に固着され発振子の
   振幅を増大せしめるべく先端に同って断面積が小さくな
   るホーンと、該ホーンの先端に取付けられる細長ドリル
   と、ホーン近傍にて上記ト”リルを回転自在に支承する
   固定軸受と、上記固定軸受に対して接近離反可能に基台
   に取付けられ１．−　ＩＪルの先端側を回転自在に支承
   する可動軸受とを有し、上記コーンの支承点は超音波発
   振子の振動波形のノーｒに対応する位置に配置され、か
   つ上記ホーンの先端及びドリルの先端チップは上記振動
   波形のループに対応する位置に配置されることを特徴と
   する超音波式深孔穿孔機。 ２、基台上に往復動自在に取付けられるスライダと、回
   転駆動源を有し上記スライダ上に固設される中空ハウジ
   ングと、該ハウジング内に回転自在に支承され上記回転
   駆動源に連結されるコーンと、上記ハウジング内におい
   てコーンの一端に固着されるコーンと共に回転する超音
   波発振子と、コーンの他端に着脱自在に固着され発振子
   の振幅を増大せしめるべく先端に同って断面積が小さく
   なるホーンと、該ホーンの先端に数句けられ略円筒形の
   細長シャンクを有するト“リルと、ホーン近傍にて上記
   ドリルを回転自在に支承する固定軸受と、上記固定軸受
   に対して接近離反可能に基台に取付けられドリルの先端
   側を回転自在に支承する可動軸受と、該可動軸受に連結
   されこれをドリル長手軸線方向に駆動せしめるアクチュ
   エータと、穿孔すべき被加工物とドリルとの相対位置の
   変化を検出するセンサとを有し、上記アクチュエータは
   該センサρ１らの信号に応じて作動して可動軸受全固定
   軸受に向って所定ピッチだけ後退せしめて常に発振子の
   振動波形のノードに対応する位置にもたらし、上記コー
   ンの支承点は超音波発振子の振動波形のノードに対応す
   る位置に配置され、かつ上記ホーンの先端及びドリルの
   先端チップは上記振動波形のループに対応する位置に配
   置されること全特徴とする超音波式深孔穿孔、機。