JPS5911674A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPS5911674A JPS5911674A JP57120901A JP12090182A JPS5911674A JP S5911674 A JPS5911674 A JP S5911674A JP 57120901 A JP57120901 A JP 57120901A JP 12090182 A JP12090182 A JP 12090182A JP S5911674 A JPS5911674 A JP S5911674A
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- JP
- Japan
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- transfer
- horizontal shift
- shift registers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 abstract 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
Landscapes
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- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電荷結合素子を用いた固体撮像装置に廣１する
。
。
電荷結合素子は１９７０年にベルを話研究所で発明され
て以来撮像デバイス、遅延線等に応用され目ざましく発
展して来た。近年家庭用ビデオテープレコーダ（ＶＴＲ
）の普及とともに家庭用ビデオカメラの撮像装置として
２次元電荷転送装置に大きな期待が寄せられている。
て以来撮像デバイス、遅延線等に応用され目ざましく発
展して来た。近年家庭用ビデオテープレコーダ（ＶＴＲ
）の普及とともに家庭用ビデオカメラの撮像装置として
２次元電荷転送装置に大きな期待が寄せられている。
第１図は従来のインターライン方式の２次元固体撮像装
置の構成図である。第１図において、１は半導体基板の
一主面にマトリックス状に形成された多数の感光部例え
ばフォトダイオードであり、２はフォトダイオード１で
発生した信号電荷を垂直シフトレジスタ３への読出しを
制御する転送ゲートであり垂直に並んだ垂直シフトレジ
スタ３の終端には信号電荷を並列に読み出す水平シフト
レジスタ４が設けられており、水平シフトレジスタ４の
終端には信号電荷検出回路５が設けられている。この２
次元電荷転送装置の動作は次の様に行なわれる。各フォ
トダイオード１は照射パターンに応じて発生した信号電
荷を蓄積し１フイ一ルド期間後の垂直ブランキングの期
間中に転送ゲート２が開き対応する垂直シフトレジスタ
３に信号電荷を転送する。信号電荷が垂直シフトレジス
タ３に転送された後転送ゲート２は閉じ、フォトダイオ
ード１は次のフィールドの信号電荷を蓄積する。
置の構成図である。第１図において、１は半導体基板の
一主面にマトリックス状に形成された多数の感光部例え
ばフォトダイオードであり、２はフォトダイオード１で
発生した信号電荷を垂直シフトレジスタ３への読出しを
制御する転送ゲートであり垂直に並んだ垂直シフトレジ
スタ３の終端には信号電荷を並列に読み出す水平シフト
レジスタ４が設けられており、水平シフトレジスタ４の
終端には信号電荷検出回路５が設けられている。この２
次元電荷転送装置の動作は次の様に行なわれる。各フォ
トダイオード１は照射パターンに応じて発生した信号電
荷を蓄積し１フイ一ルド期間後の垂直ブランキングの期
間中に転送ゲート２が開き対応する垂直シフトレジスタ
３に信号電荷を転送する。信号電荷が垂直シフトレジス
タ３に転送された後転送ゲート２は閉じ、フォトダイオ
ード１は次のフィールドの信号電荷を蓄積する。
垂直シフトレジスタ３に転送された信号電荷は水平ライ
ン毎に水平シフトレジスタ４に転送され次のラインの信
号が来るまでに水平シフトレジスタ４から信号電荷検出
回路５に転送され直列化された信号出力として、信号電
荷検出回路５から取出される。画伯シフトレジスタ３へ
転送された信号電荷が読み出された稜転送ゲート２が開
き同様な動作が繰返される。
ン毎に水平シフトレジスタ４に転送され次のラインの信
号が来るまでに水平シフトレジスタ４から信号電荷検出
回路５に転送され直列化された信号出力として、信号電
荷検出回路５から取出される。画伯シフトレジスタ３へ
転送された信号電荷が読み出された稜転送ゲート２が開
き同様な動作が繰返される。
電荷結合素子を用いた固体撮像装置の重要な特性の１つ
に転送効率がある。これは電荷がある電極下から隣の電
極下へどれたけ移動しているかを表わしだものである。
に転送効率がある。これは電荷がある電極下から隣の電
極下へどれたけ移動しているかを表わしだものである。
ある電極下から隣のｔ極上への電荷の転送は瞬間には起
こらないし又完全でもない。この転送による劣化は転送
を行なうための動作速度や転送回数に何らかの制限をあ
たえる。
こらないし又完全でもない。この転送による劣化は転送
を行なうための動作速度や転送回数に何らかの制限をあ
たえる。
全体の転送効率は１回の転送する効率に転送回数をかけ
たものとして表わされる。１回の転送する効率が一定で
あるならば全体の転送効率は転送回数が増加するととも
に線形的に増加する。撮像装置としては出力から一番遠
い位置にある電荷が転送されて来た時どの程度であるか
が問題になる。
たものとして表わされる。１回の転送する効率が一定で
あるならば全体の転送効率は転送回数が増加するととも
に線形的に増加する。撮像装置としては出力から一番遠
い位置にある電荷が転送されて来た時どの程度であるか
が問題になる。
従って固体撮像装置の解像度を上げるために絵素数を上
げた様な場合には転送回数が増える事になり転送効率の
劣化につながる。転送効率が悪いと撮像した画面は水平
が悪い場合には左右に垂直が悪い場合には上下に流れ撮
像画質は著しく悪くなる。垂直転送と水平転送を比べる
と水平に転送する動作速度は垂直に転送する動作速度よ
り数百倍以上速く又転送回数も家庭用ビデオカメラの撮
像装置として満足する解像度を得るための絵素数の時に
は、多くなる。従って転送効率については垂直よりも水
平の方が厳しい。
げた様な場合には転送回数が増える事になり転送効率の
劣化につながる。転送効率が悪いと撮像した画面は水平
が悪い場合には左右に垂直が悪い場合には上下に流れ撮
像画質は著しく悪くなる。垂直転送と水平転送を比べる
と水平に転送する動作速度は垂直に転送する動作速度よ
り数百倍以上速く又転送回数も家庭用ビデオカメラの撮
像装置として満足する解像度を得るための絵素数の時に
は、多くなる。従って転送効率については垂直よりも水
平の方が厳しい。
本発明は従来より水平転送効率の劣化を少なくし、絵素
数が増えた場合でも撮像の画質を向上させる様な構成に
した固体撮像装置を提供するものである。
数が増えた場合でも撮像の画質を向上させる様な構成に
した固体撮像装置を提供するものである。
本発明の％徴は、半導体基板の一生面に多数の感光部か
マ） ＩＪワックス状形成されこの個々の感光部で発生
した信号電荷を垂直方向に並んだ垂直シフトレジスタと
、この垂直シフトレジスタの終端でこの垂直シフトレジ
スタの信号電荷を並列に読み出す水平シフトレジスタと
がこの半導体基板に設けられ、さらにこの水平シフトレ
ジスタの終端に信号電荷検出回路が設けられてなる固体
撮像装置において、水平方向の絵素数の複数に対して各
々水平シフトレジスタが設けられた固体撮像装置にある
。
マ） ＩＪワックス状形成されこの個々の感光部で発生
した信号電荷を垂直方向に並んだ垂直シフトレジスタと
、この垂直シフトレジスタの終端でこの垂直シフトレジ
スタの信号電荷を並列に読み出す水平シフトレジスタと
がこの半導体基板に設けられ、さらにこの水平シフトレ
ジスタの終端に信号電荷検出回路が設けられてなる固体
撮像装置において、水平方向の絵素数の複数に対して各
々水平シフトレジスタが設けられた固体撮像装置にある
。
本発明による一実施例を第２図に示す。第２図において
、１は感光部例えばフォトダイオード、２は感光部から
垂直シフトレジスタへの転送ゲート、３は垂直シフトレ
ジスタ、４は水平シフトレジスタ、５は信号電荷検出回
路、６は水平シフトレジスタである。構成は第２図に示
す様に水平方向の絵素数の中心を軸にして感光部ｌ、転
送ゲート２．垂直シフトレジスタ３．水平シフトレジス
タ４．６を対称に配置し水平シフトレジスタ間に信号電
荷検出回路５を設けている。この２次元電荷転送装置の
動作については水平シフトレジスタ４に転送されるまで
は従来と同じである。水平シフトレジスタに転送された
後は水平転送駆動回路より出るクロックによってこの場
合は水平シフトレジスタ４から出れば次は水平シフトレ
ジスタ６が出ると言う様に信号電荷検出回路５より直列
化された信号として取り出される。水平７７トレジ
・スタから交互に取り出すには信号電荷検出回路５
に最も近い電極を例えば２相駆動の場合であれば逆低相
になる様にすれば交互に取り出せる。
、１は感光部例えばフォトダイオード、２は感光部から
垂直シフトレジスタへの転送ゲート、３は垂直シフトレ
ジスタ、４は水平シフトレジスタ、５は信号電荷検出回
路、６は水平シフトレジスタである。構成は第２図に示
す様に水平方向の絵素数の中心を軸にして感光部ｌ、転
送ゲート２．垂直シフトレジスタ３．水平シフトレジス
タ４．６を対称に配置し水平シフトレジスタ間に信号電
荷検出回路５を設けている。この２次元電荷転送装置の
動作については水平シフトレジスタ４に転送されるまで
は従来と同じである。水平シフトレジスタに転送された
後は水平転送駆動回路より出るクロックによってこの場
合は水平シフトレジスタ４から出れば次は水平シフトレ
ジスタ６が出ると言う様に信号電荷検出回路５より直列
化された信号として取り出される。水平７７トレジ
・スタから交互に取り出すには信号電荷検出回路５
に最も近い電極を例えば２相駆動の場合であれば逆低相
になる様にすれば交互に取り出せる。
この様に水平シフトレジスタを水平方向の絵素数の半分
で分割すれば水平における転送回数は半分で済む事にな
る。又転送速度も分割する事によって半分になる。
で分割すれば水平における転送回数は半分で済む事にな
る。又転送速度も分割する事によって半分になる。
従って本発明によれば転送効率の劣化を少なくする事が
出来撮像した画質の向上が得られるとともに歩留りの向
上にもつながる。
出来撮像した画質の向上が得られるとともに歩留りの向
上にもつながる。
Claims (1)
- 半導体基板の一主面に多数の感光部がマトリックス状に
形成されこの個々の感光部で発生し７た信号電荷を垂直
方向に並んだ垂直シフトレジスタと該垂面シフトレジス
タの終端で該垂直シフトレジスタの信号電荷を並列に読
み出す水平シフトレジスタとが該半導体基板に設けられ
、さらに該水平シフトレジスタの終端に信号電荷検出回
路が設けられてなる固体撮像装置において、水平方向の
絵累数の複数に対して各々水平シフトレジスタが設けら
れたことを％徴とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57120901A JPS5911674A (ja) | 1982-07-12 | 1982-07-12 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57120901A JPS5911674A (ja) | 1982-07-12 | 1982-07-12 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5911674A true JPS5911674A (ja) | 1984-01-21 |
Family
ID=14797798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57120901A Pending JPS5911674A (ja) | 1982-07-12 | 1982-07-12 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5911674A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0262880U (ja) * | 1988-10-31 | 1990-05-10 | ||
| US7277128B2 (en) | 2002-04-10 | 2007-10-02 | Victor Company Of Japan, Ltd. | Image-sensing device having a plurality of output channels |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5379311A (en) * | 1976-12-23 | 1978-07-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Solid image pickup unit |
-
1982
- 1982-07-12 JP JP57120901A patent/JPS5911674A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5379311A (en) * | 1976-12-23 | 1978-07-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Solid image pickup unit |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0262880U (ja) * | 1988-10-31 | 1990-05-10 | ||
| US7277128B2 (en) | 2002-04-10 | 2007-10-02 | Victor Company Of Japan, Ltd. | Image-sensing device having a plurality of output channels |
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