JPS5910871A - 多チヤンネル検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は多チャンネル検出器に係り、特に真空容器内
に設置して用いる、荷電粒子の運動量の検出器やエネル
ギ分析器等の多チャンネル検出器に関する。

〔従来技術〕

第１図は多チャンネル検出器の概略構成を示［７た図で
ある。

真空容器１内にＤｌ、　Ｄ、、・・・・・・ＤＮのＮ個
の検出器が設置され、この検出器によってたとえば荷電
粒子の検出をおこなう。Ｒ１，Ｒ２，ＲＮはＮ個の抵抗
を示し、それぞれその一端が検出器Ｄ１．Ｄ２゜・・・
・・・ＤＮに接続され、その他端が導入端子２に共通接
続されている。導入端子２は真空を保つうえでなるべく
数を少くする方が有利なため第１図に示した例ではただ
１つの導入端子２が使用されている。また導入端子２自
体が高価なためその個数も削減するのが望ましい。導入
端子２を通して真空容器１の外側からたとえば電源３等
を供給して真空容器１内で検出器り、、　Ｄ、、・・・
・・・ＤＮにより必要な検出動作をおこなう。

抵抗Ｒ１，Ｒ２・・・・・・ＲＮは保霞用として用いら
れている。すなわち検出器Ｄ１．・・・・・・・・・Ｄ
Ｎのいずれかが故障してその回路か短絡した場合に、も
し抵抗′Ｒ１，・・・・・・ＲＮが無かった場合には他
の検出器に電圧がかからなくなってしまうからである。

抵抗が存在すれば、たとえいずれかの検出器が故障した
場合でも他の検出器には電圧が供給されるため他の検出
器の動作は保証される。

このように複数の検出器のおのおのに保護用の抵抗を接
続して多チャンネルの検出器を構成することが多い。

〔従来技術の問題点〕

しかしこのような従来の多チャンネル検出器では、保護
用に用いられる抵抗体は独立した単体の抵抗であるため
これを収納する場所が必要となり必然的に検屈器の形状
が大きくなるという欠点があった。

また通常の抵抗器を真空容器内に入れると抵抗器自Ｕか
ら不用なガスが真空容器内に出てぐるので好ましくない
。

〔発明の目的〕

この発明の目的は検出器を小型化するために抵抗体の占
める空間を小さくし、しかも不用のアウトガスか発生し
ないような構造をもった多チャンネル検出器を提供する
にある。

〔発明の概要〕

この発明では複数の検出台のそれぞれに抵抗体を接続し
、真空容器内に設置して用いる多チャンネル検出器にお
いて、絶縁体からなる取付板に前記検出体を保持し、Ａ
ｆｔ紀抵抗体を前記取付板上に被着形成することにより
上記目的を連成した。

以下この発明の実施例を詳細に説明する。

〔発明の実施例〕

多チャンネル検出器の一例として真空容器内で荷電粒子
の検出をおこなう例えば２次電子増倍看のマイクロチャ
ンネルプレートを対象にしてこの発明の詳細な説明する
。

第２図はこの発明の一実施例に係るマイクロチャンネル
検出器の１チャンネル分の検出器の概要を示す図であり
、（Ａ）はその正面図、（Ｂ）はその断面図、（０）は
その背面図をそれぞれ示したものである。

４は荷電粒子を通過させるための孔９を有し荷電粒子の
入射する面の反対側となる面にマイクロチャンネルプレ
ート５を取付ける取付は板で、絶縁体で構成される。絶
縁体としてはセラミックまたはガラス等を使用する。

マイクロチャンネルプレート５は枠体５′内に収納はれ
、表面イ（（１が取付板に固定され、表面と裏面との間
で電気的に絶縁を保ちつつ電極が形成され、両′４極間
の電位差により入力した荷電粒子を２次電子増倍するも
ので、増倍した電子を後方の電極６に出力する。すなわ
ち、１比極６とアース間に信号を得るっ ６．７はそれぞれ電極を示し、電極７はマイクロチャン
ネルプレート５の表面と裏面との間に電圧を供給する電
源に接続する。電極６はマイクロチャンネルプレートを
取付けるための押え部材１３に取付けられる、押え部材
にて真空容器内を気密状態に保つ。

なお、電極７のそれぞれは、マイクロチャンネルプレー
トの枠体の表面に形成した抵抗および取付は板の表面に
形成した抵抗をそれぞれ介してマイクロチャンネルプレ
ートの両面それぞれに力↑応して接続される。

８は抵抗体で、枠体５′、取付板４の表面に被着形成す
る。この各抵抗体８の被着形成に光っては金属や半導体
を蒸着−スパッタリングまたは還元焼付等によって行な
うようにする。

このようにして形成した各抵抗体８の一端は検出体５に
接続され、他の一端は対応した電極７に接続される。マ
イクロチャンネルプレート５と抵抗体８との接続に当っ
ては従来のようにハンダ付は等の方法によって接続する
必要はなく本実施例に示すようにマイクロチャンネルプ
レート５の端部を抵抗体８の端部ではさみこむような形
で接続すればよい。このように抵抗体８をあらかじめ取
付板上に被着形成しておいて、マイクロチャンネルプレ
ートとの接続はその取付板４に検出体を取付けるはいに
自動的におこなわれるような構成にしておけば、抵抗体
か不用な場所を占有することはなぐなる。取付板４の背
面にはマイクロチャンネルプレート５に荷電粒子を導入
するための穴９が設けられており、この穴９を通して荷
電粒子１０がマイクロチャンネルプレート５に導入され
る。

マイクロチャンネルプレート５は長さが２動程度で太さ
が１５μｍ程度のガラスの細管をたばねた２次電子倍＃
ｌ管である。

第３図は第２図に示した検出器の回路図ならびに給電方
法を示した図である。

電極７の一端にはそれぞれ低圧電源１１および高圧電理
工２が接続され電極６から出力１３が取出される。

このよう々検出器が複数個集って多チャンネル検出器を
構成するのであるが、各検出器に増付けられた抵抗体８
は絶縁体のベースである取付板４に金属または半導体の
被膜として形成されているため、従来のような抵抗を外
付けする場合に比較して余分な空間を必要とせずコンパ
クトな検出器を実現することはできる。

なお以上の実施例の説明ではマイクロプレート検出器を
一例としてあげたが、マイクロチャンネルプレート以外
の検出器でも真空中で使用する多チャンネルの検出器で
あればこの発明は使用できることはいうまでもない。

〔発明の効果〕

以１夾施例Ｖこ基づいて絆細に説明したようにこの発明
では絶縁体からなる卓付板に直接抵抗体を被着形成して
検出体と結合するように構成したので、抵抗体からのア
ウトガスが著しく減少し、しかも抵抗体の配置空間が狭
くなり、しかも不安定な結線部分がなくなるため回路の
信順性が改嵜されるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の多チャンネル検出器の構成を示した図、
第２図はこの発明の一実施例に係る検出器の構成を示し
た図、第３図はその電気的結線図である。 ｌ・・・真空容器、４・・・取付板、５・・・マイクロ
チャンネルプレート、６．７・・・電極、８・・・抵抗
体。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数の検出体のそれぞれに抵抗体を接続し、真空
   器内に設置して用いる多チャンネル検出器において、絶
   縁体からなる取付板に前記検出体を保持し、前記抵抗体
   を前記取付板上に被着形成したことを特徴とする多チャ
   ンネル検出器。
2. （２）前記抵抗体が金属皮膜または半導体皮膜からなり
   、前記取付板がセラミック板またはガラス板からなるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の多チャ
   ンネル検出器。