JPS5910834A - レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ - Google Patents
レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブInfo
- Publication number
- JPS5910834A JPS5910834A JP11851482A JP11851482A JPS5910834A JP S5910834 A JPS5910834 A JP S5910834A JP 11851482 A JP11851482 A JP 11851482A JP 11851482 A JP11851482 A JP 11851482A JP S5910834 A JPS5910834 A JP S5910834A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- laser
- raman
- sample
- scattered light
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
- G01N2021/653—Coherent methods [CARS]
- G01N2021/656—Raman microprobe
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- Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レーザ光源と、該レーザ光源を出たレーザ光
の進路を半透鏡によって９０°曲げ、対物レンズを経て
試料に照射し、かつレーザ光照射によって前記試料から
発生したラマン散乱光を前記対物レンズで集光し、さら
に前記半透鏡を経て試料と対物レンズのなす光軸方向に
取り出す光学顕微鏡と、該光学顕微鏡から取り出された
ラマン散乱光を分光、検出するためのうマン分光光度計
とよりなるレーザ・ラマン・マイクロプローブに関する
。
の進路を半透鏡によって９０°曲げ、対物レンズを経て
試料に照射し、かつレーザ光照射によって前記試料から
発生したラマン散乱光を前記対物レンズで集光し、さら
に前記半透鏡を経て試料と対物レンズのなす光軸方向に
取り出す光学顕微鏡と、該光学顕微鏡から取り出された
ラマン散乱光を分光、検出するためのうマン分光光度計
とよりなるレーザ・ラマン・マイクロプローブに関する
。
従来の光学顕微鏡をレーザ照射、ラマン散乱光集光に用
いるレーザ・ラマン・マイクロプローブにおいては、レ
ーザ光を半透鏡で９０°方向に曲げ、対物レンズを経て
試料に照射［７、同じ対物レンズでラマン散乱光を集光
し、半透鏡を経てラマン散乱光を取り出す構造のため、
試料からのレーザ反射光とラマン散乱光は同一光路を通
る。このため試料の状態変化やレーザ照射点のずれをモ
ニタするには、半透鏡を経て取り出したレーザ反射光お
よびラマン散乱光の一部をビーム・スプリッタ等で分割
して取出し、プロジェクタ、テレビカメラなどで顕微鏡
像を観察するが、ラマン分光光度計へ導入するラマン散
乱光量がモニタ用に分割した分だけ減少するため、検出
感度が低下する欠点があった。またラマン分光光度計へ
はレーザ反射光もラマン散乱光と同一光路を通って同時
に導入されるため分光光度計内で迷光となり、特にレー
ザ波長に近い低波数領域でのラマン散乱光測定の妨害が
著しい欠点があった。
いるレーザ・ラマン・マイクロプローブにおいては、レ
ーザ光を半透鏡で９０°方向に曲げ、対物レンズを経て
試料に照射［７、同じ対物レンズでラマン散乱光を集光
し、半透鏡を経てラマン散乱光を取り出す構造のため、
試料からのレーザ反射光とラマン散乱光は同一光路を通
る。このため試料の状態変化やレーザ照射点のずれをモ
ニタするには、半透鏡を経て取り出したレーザ反射光お
よびラマン散乱光の一部をビーム・スプリッタ等で分割
して取出し、プロジェクタ、テレビカメラなどで顕微鏡
像を観察するが、ラマン分光光度計へ導入するラマン散
乱光量がモニタ用に分割した分だけ減少するため、検出
感度が低下する欠点があった。またラマン分光光度計へ
はレーザ反射光もラマン散乱光と同一光路を通って同時
に導入されるため分光光度計内で迷光となり、特にレー
ザ波長に近い低波数領域でのラマン散乱光測定の妨害が
著しい欠点があった。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくし、ラ
マン散乱光測定時、ラマン散乱光の損失が少い状態で常
時試料状態のモニタができかつレーザ反射光に基づく分
光光度計内での迷光を減少できるレーザ・ラマン・マイ
クロプローブを提供することである。
マン散乱光測定時、ラマン散乱光の損失が少い状態で常
時試料状態のモニタができかつレーザ反射光に基づく分
光光度計内での迷光を減少できるレーザ・ラマン・マイ
クロプローブを提供することである。
上記目的を達成するために、冒頭に述べた棹類のレーザ
・ラマン・マイクログローブハ、試料と対物レンズのな
す光軸上の半透鏡後方に、前記光軸に対し所定の角度を
なすように設けられたレーザ発振波長光のみ透過し、レ
ーザ発振波長と異な乙波長の光を反射する干渉フィルタ
と、該干渉フィルタ後方に設けられたレーザ波長での顕
微鏡像モニタとからなる試料モニタを備えることを要旨
とする。すなわち、本発明では、対物レンズで集光され
、半透鏡を経て取り出したレーザ反射光とラマン散乱光
を、レーザ反射光のみを透過し、ｔ／−ザ反射光と波長
の異なるラマン散乱光を反射する干渉フィルタによって
ラマン散乱光の進路を変えることにより分割して、別々
に取り出し、レーザ反射光光路上に配置されたレーザ波
長での顕微鏡像モニタによりラマン散乱光測定中試料状
態を観察するとともに、レーザ反射光の混入しないラマ
ン散乱光を効率良く分光光度計に導入できる。
・ラマン・マイクログローブハ、試料と対物レンズのな
す光軸上の半透鏡後方に、前記光軸に対し所定の角度を
なすように設けられたレーザ発振波長光のみ透過し、レ
ーザ発振波長と異な乙波長の光を反射する干渉フィルタ
と、該干渉フィルタ後方に設けられたレーザ波長での顕
微鏡像モニタとからなる試料モニタを備えることを要旨
とする。すなわち、本発明では、対物レンズで集光され
、半透鏡を経て取り出したレーザ反射光とラマン散乱光
を、レーザ反射光のみを透過し、ｔ／−ザ反射光と波長
の異なるラマン散乱光を反射する干渉フィルタによって
ラマン散乱光の進路を変えることにより分割して、別々
に取り出し、レーザ反射光光路上に配置されたレーザ波
長での顕微鏡像モニタによりラマン散乱光測定中試料状
態を観察するとともに、レーザ反射光の混入しないラマ
ン散乱光を効率良く分光光度計に導入できる。
以下、附図を参照しながら、実施例を用いて本発明を一
層詳しく説明するが、それらは例示に過ぎず、本発明の
枠を越えることなしにいろいろな変形や改良を加え得る
ことは勿論である。
層詳しく説明するが、それらは例示に過ぎず、本発明の
枠を越えることなしにいろいろな変形や改良を加え得る
ことは勿論である。
箒４図においてラマン散乱光励起用レーザ光１は、集光
レンズ２を経て顕微鏡の半透鏡３に入射する。半透鏡３
で入射方向に対し９０’曲げられたレーザ光は対物レン
ズ４により試料５の上に焦点を結ぶ。試料５がら発生し
たレーザ反射光６およびラマン散乱光７は対物レンズ４
にヨッて集光され、半透鏡６を紅て対物レンズ４と半透
鏡６のなず光軸に対し４５°の角をなすように配置され
た干渉フィルタ８に入射する。干渉フィルタ８の特性に
よって透過した１／−ザ反射光は集光レンズ９．減光フ
ィルタ１ｏを経てレーザ反射光による顕微鏡像モニタ１
１に入射し、試料状態をモニタする。また干渉フィルタ
８の特性によって対物レンズ４と半透鏡６のなす光軸に
対し９１〕０方向に曲げられたラマン散乱光は集光レン
ズ１２を経て、分光光度計入射スリット１３上に結像す
る。
レンズ２を経て顕微鏡の半透鏡３に入射する。半透鏡３
で入射方向に対し９０’曲げられたレーザ光は対物レン
ズ４により試料５の上に焦点を結ぶ。試料５がら発生し
たレーザ反射光６およびラマン散乱光７は対物レンズ４
にヨッて集光され、半透鏡６を紅て対物レンズ４と半透
鏡６のなず光軸に対し４５°の角をなすように配置され
た干渉フィルタ８に入射する。干渉フィルタ８の特性に
よって透過した１／−ザ反射光は集光レンズ９．減光フ
ィルタ１ｏを経てレーザ反射光による顕微鏡像モニタ１
１に入射し、試料状態をモニタする。また干渉フィルタ
８の特性によって対物レンズ４と半透鏡６のなす光軸に
対し９１〕０方向に曲げられたラマン散乱光は集光レン
ズ１２を経て、分光光度計入射スリット１３上に結像す
る。
このように構成することによって、従来の顕微鏡を用い
たレーザ・ラマン・マイクロフロ−プにおいて、ラマン
散乱光測定時の試料状態の同時モニタをする場合でも、
ラマン散乱光の損失を少なくでき、壕だ同時に分光光度
側内で迷光の原因となるレーザ反射光を除去できる効果
がある。
たレーザ・ラマン・マイクロフロ−プにおいて、ラマン
散乱光測定時の試料状態の同時モニタをする場合でも、
ラマン散乱光の損失を少なくでき、壕だ同時に分光光度
側内で迷光の原因となるレーザ反射光を除去できる効果
がある。
以上説明し２だ通り本発明によれば、試料の検出感度を
損うことなく測定中の試別状態のモニタが可能となり、
試料の状態変化、照射点のずれなどを迅速に知ることが
でき、また特にレーザ波長に近い低波数領域でのラマン
散乱光の測定が感度良く、容易に行なえるという利点が
得られる。
損うことなく測定中の試別状態のモニタが可能となり、
試料の状態変化、照射点のずれなどを迅速に知ることが
でき、また特にレーザ波長に近い低波数領域でのラマン
散乱光の測定が感度良く、容易に行なえるという利点が
得られる。
牛斗図は本発明によるレーザ・ラマン・マイクログロー
ブを模式的に示す構成図である０１・・・ラマン散乱光
励起用レーザ光 ２・・・集光レンズ ６・・・半透鏡
４・・・対物レンズ ５・・：試料 ６・・・レーザ
反射光 ７・・・ラマン散乱光８・・・干渉フィルタ
９・・・集光レンズ １ｏ・・・減光フィルタ １１・
・・顕微鋭像モニタ１２・・・集光レンズ １３・分光光度計入射スリット
ブを模式的に示す構成図である０１・・・ラマン散乱光
励起用レーザ光 ２・・・集光レンズ ６・・・半透鏡
４・・・対物レンズ ５・・：試料 ６・・・レーザ
反射光 ７・・・ラマン散乱光８・・・干渉フィルタ
９・・・集光レンズ １ｏ・・・減光フィルタ １１・
・・顕微鋭像モニタ１２・・・集光レンズ １３・分光光度計入射スリット
Claims (1)
- レーザ光源と、該レーザ光源を出たレーザ光の進路を半
透鏡によって９０°曲げ、対物レンズを経て試料に照射
し、かつレーザ光照射によって前記試料から発生したラ
マン散乱光を前記対物レンズで集光し、さらに前記半透
鏡を経て試料と対物レンズのなす光軸方向に取り出す光
学顕微鏡と、該光学顕微鏡から取り出されたラマン散乱
光を分光、検出するためのラマン分光光度計とよりなる
レーザ・ラマン・マイクロプローブにおいて、試料と対
物レンズのなす光軸上の半透鏡後方に、前記光軸に対し
所足の角度をなすように設けられ、レーザ発振波長光の
みを透過し、レーザ発振波長と異なる波長の光を反射す
る干渉フィルタと、該干渉フィルタ後方に設けられたレ
ーザ波長での顕微鏡像モニタとからなる試料モニタを備
えることを特徴とするレーザ・ラマン・マイクロプロー
ブ
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11851482A JPS5910834A (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ |
| US06/510,912 US4586819A (en) | 1982-07-09 | 1983-07-05 | Laser Raman microprobe |
| FR8311469A FR2530024B1 (fr) | 1982-07-09 | 1983-07-08 | Microsonde a effet raman a laser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11851482A JPS5910834A (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5910834A true JPS5910834A (ja) | 1984-01-20 |
| JPH0465335B2 JPH0465335B2 (ja) | 1992-10-19 |
Family
ID=14738510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11851482A Granted JPS5910834A (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5910834A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0373198A (ja) * | 1990-07-23 | 1991-03-28 | Toshiba Corp | 脱水兼用洗濯機 |
| JPH0745110A (ja) * | 1993-07-31 | 1995-02-14 | Morimura Kosan Kk | 照明カバー及びその製造方法 |
| US5424825A (en) * | 1991-10-01 | 1995-06-13 | Dilor | Spectral-band filtration spectrometry apparatus |
| EP0751382A2 (en) * | 1995-06-28 | 1997-01-02 | Kyoto Dai-ichi Kagaku Co., Ltd. | Method and apparatus for measuring spectra |
| US7245426B2 (en) | 2001-11-06 | 2007-07-17 | Olympus Optical Co., Ltd. | Total internal reflection illumination apparatus and microscope using this total internal reflection illumination apparatus |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8077309B2 (en) * | 2007-01-29 | 2011-12-13 | Applied Instrument Technologies, Inc. | Chemical analyzer for industrial process control |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4030827A (en) * | 1973-12-03 | 1977-06-21 | Institut National De La Sante Et De La Recherche Medicale (Inserm) | Apparatus for the non-destructive examination of heterogeneous samples |
| JPS52152780A (en) * | 1976-05-18 | 1977-12-19 | Gen Electric | Method of and spectrometer for measuring light intensity |
-
1982
- 1982-07-09 JP JP11851482A patent/JPS5910834A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4030827A (en) * | 1973-12-03 | 1977-06-21 | Institut National De La Sante Et De La Recherche Medicale (Inserm) | Apparatus for the non-destructive examination of heterogeneous samples |
| JPS52152780A (en) * | 1976-05-18 | 1977-12-19 | Gen Electric | Method of and spectrometer for measuring light intensity |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0373198A (ja) * | 1990-07-23 | 1991-03-28 | Toshiba Corp | 脱水兼用洗濯機 |
| US5424825A (en) * | 1991-10-01 | 1995-06-13 | Dilor | Spectral-band filtration spectrometry apparatus |
| JPH0745110A (ja) * | 1993-07-31 | 1995-02-14 | Morimura Kosan Kk | 照明カバー及びその製造方法 |
| EP0751382A2 (en) * | 1995-06-28 | 1997-01-02 | Kyoto Dai-ichi Kagaku Co., Ltd. | Method and apparatus for measuring spectra |
| EP0751382A3 (en) * | 1995-06-28 | 1997-05-07 | Kyoto Daiichi Kagaku Kk | Method and device for measuring spectra |
| US7245426B2 (en) | 2001-11-06 | 2007-07-17 | Olympus Optical Co., Ltd. | Total internal reflection illumination apparatus and microscope using this total internal reflection illumination apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0465335B2 (ja) | 1992-10-19 |
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