JPS59107934A - 光フアイバの製造方法 - Google Patents
光フアイバの製造方法Info
- Publication number
- JPS59107934A JPS59107934A JP21325882A JP21325882A JPS59107934A JP S59107934 A JPS59107934 A JP S59107934A JP 21325882 A JP21325882 A JP 21325882A JP 21325882 A JP21325882 A JP 21325882A JP S59107934 A JPS59107934 A JP S59107934A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- feeding
- gaseous
- starting material
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/06—Concentric circular ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/36—Fuel or oxidant details, e.g. flow rate, flow rate ratio, fuel additives
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）技術分野
本発明は、光フアイバ用プリフォーム製造の際の気相軸
付は法（ＶＡＤ法）において、多重管バーナに送り込ま
れる多量のカラス原料ガスな効率よく反応させ、軸方向
に積層するガラス微粒子の堆積速度を増加させ、安定に
、かつ経済的に光ファイバ用プリフォームケ製造する方
法を提供するものである。
付は法（ＶＡＤ法）において、多重管バーナに送り込ま
れる多量のカラス原料ガスな効率よく反応させ、軸方向
に積層するガラス微粒子の堆積速度を増加させ、安定に
、かつ経済的に光ファイバ用プリフォームケ製造する方
法を提供するものである。
（ロ）背景技術
１本の同心円状多重管バーナーな用いてＶＡＤ法により
光ファイバ用プリフォームヲ製造する際、通常、第１図
に示すようにバーナーＨの中心ノズルｎＩＱにガラス原
料である５ｉｃｋ４、ＧｅＣ４等を、その外側のノズル
ｎｌに燃焼カスとしてＨ２％更に最外周ノズルｎ。
光ファイバ用プリフォームヲ製造する際、通常、第１図
に示すようにバーナーＨの中心ノズルｎＩＱにガラス原
料である５ｉｃｋ４、ＧｅＣ４等を、その外側のノズル
ｎｌに燃焼カスとしてＨ２％更に最外周ノズルｎ。
に助燃カスとしてＯ，ケ供給する５重管構造のバーナー
が用いらｎる。
が用いらｎる。
しかしながら、このような方法では、ガラス合成速度を
増加させるために、５ｉｃ１４、ＧｅＣ７４の原料カス
供給量を増加させたり、あるいはＨｌ、０．ガス量を増
加させると、流速の増加に伴い燃焼により生ずるＨ、Ｏ
の拡散時間が減少するため、原料ガスである５ｉＣ４、
ＧｅＣ４の一部が未反応となり、カラス微粒子の成長が
不安定となる。また原料ガスが排気ガスと共に排出され
るため、原料ガスの反応付着効率が非常に劣化する。
増加させるために、５ｉｃ１４、ＧｅＣ７４の原料カス
供給量を増加させたり、あるいはＨｌ、０．ガス量を増
加させると、流速の増加に伴い燃焼により生ずるＨ、Ｏ
の拡散時間が減少するため、原料ガスである５ｉＣ４、
ＧｅＣ４の一部が未反応となり、カラス微粒子の成長が
不安定となる。また原料ガスが排気ガスと共に排出され
るため、原料ガスの反応付着効率が非常に劣化する。
また第１図の５重管構造のバーナーの他の多重管バーナ
ー構造として、本発明者等は先に、コアとクラッドの境
界でドーパント濃度がなだらかに変化し、放物線形にド
ーパント濃度が分布するグレーテッドインデックス型の
プリフォームを得るために第２図、第３図に示すように
原料ガス供給ノズルｎｍｌ’複数にして濃度を漸次変え
て原料ガス乞供給すると共に原料ガスノズルの周りに水
素ガス供給ノズルｎＨおよび酸素ガス゛供給ノズルｎｏ
馨設けたものや、第４図に示すようにコアとクラッドを
分散するために２つの原料ガス供給ノズルｎ、の間に酸
素カス供給ノズルｎ。ケ設けたものな提案している（特
開昭５４−５０８５５号公報）。しかしながらこｎらの
配置のバーナーを用いても第１図の場合と同様の欠点が
あった。
ー構造として、本発明者等は先に、コアとクラッドの境
界でドーパント濃度がなだらかに変化し、放物線形にド
ーパント濃度が分布するグレーテッドインデックス型の
プリフォームを得るために第２図、第３図に示すように
原料ガス供給ノズルｎｍｌ’複数にして濃度を漸次変え
て原料ガス乞供給すると共に原料ガスノズルの周りに水
素ガス供給ノズルｎＨおよび酸素ガス゛供給ノズルｎｏ
馨設けたものや、第４図に示すようにコアとクラッドを
分散するために２つの原料ガス供給ノズルｎ、の間に酸
素カス供給ノズルｎ。ケ設けたものな提案している（特
開昭５４−５０８５５号公報）。しかしながらこｎらの
配置のバーナーを用いても第１図の場合と同様の欠点が
あった。
（ハ）発明の開示
本発明では従来法における欠陥、すなわちたとき反応付
着効率が劣化するという問題？解決するために、第５図
に示すように原料ガス供給ノズルｎ、の周シに、０．ガ
ス供給ノズルｎｏ％ Ｈ，ガス供給ノズルｎＢ ％
０２ ガス供給ノズルｎｏ ’ｌ順次配置するもので
ある。
着効率が劣化するという問題？解決するために、第５図
に示すように原料ガス供給ノズルｎ、の周シに、０．ガ
ス供給ノズルｎｏ％ Ｈ，ガス供給ノズルｎＢ ％
０２ ガス供給ノズルｎｏ ’ｌ順次配置するもので
ある。
このＨ，ガスの内側にＯ，ガスを供給するという配置に
より、発生する高温Ｈ，Ｏが中心ノズルより噴出する原
料ガスと反応するに要する拡散距離が減少し、原料ガス
がターゲットに付着する前に反応して効率よく積層する
。
より、発生する高温Ｈ，Ｏが中心ノズルより噴出する原
料ガスと反応するに要する拡散距離が減少し、原料ガス
がターゲットに付着する前に反応して効率よく積層する
。
また外側のＯ，ガスは更にＨ，ガスと反応し、発生ガラ
ス微粒子及び成長する多孔質カラス母材表面の加熱源と
して働く。Ｈ，ガスの内側、外側の０．ガスは両者共、
Ｓ ｉ Ｃｌ１４ 、 Ｇ８ａｌ１４等の原料ガスを含
まないことが必要で、第６図に５ｉ（Ｊ’４、ＧｅＣ１
３４等の原料カスと０．ガス’ｌ ｆ”ｌ ／ ス／
’ ｎ、 ＋ ｏから噴出させるようにした例を示した
が、このような配置では０．カスの添加によりカラス原
料の噴出流速か増加するため反応効率の改＠ｔｉ＋：達
成されない。またバーナーのノズル先端を保護する目的
で、Ｈ，ガスとＯ，ガスの噴出ノズル間にシールカスと
してＡｒ等の不活性カス噴出ノズルを設げることができ
る。
ス微粒子及び成長する多孔質カラス母材表面の加熱源と
して働く。Ｈ，ガスの内側、外側の０．ガスは両者共、
Ｓ ｉ Ｃｌ１４ 、 Ｇ８ａｌ１４等の原料ガスを含
まないことが必要で、第６図に５ｉ（Ｊ’４、ＧｅＣ１
３４等の原料カスと０．ガス’ｌ ｆ”ｌ ／ ス／
’ ｎ、 ＋ ｏから噴出させるようにした例を示した
が、このような配置では０．カスの添加によりカラス原
料の噴出流速か増加するため反応効率の改＠ｔｉ＋：達
成されない。またバーナーのノズル先端を保護する目的
で、Ｈ，ガスとＯ，ガスの噴出ノズル間にシールカスと
してＡｒ等の不活性カス噴出ノズルを設げることができ
る。
本発明では、第５図のように原料供給ノズル論が一層の
ものの外、第７図、第８図に示すように多層のものも勿
論用いることができ、いずれにしても原料供給ノズルの
周シに０２−Ｈｚ−Ｏｘ供給ノズルが配激さｎれば、同
様の効果が奏される。
ものの外、第７図、第８図に示すように多層のものも勿
論用いることができ、いずれにしても原料供給ノズルの
周シに０２−Ｈｚ−Ｏｘ供給ノズルが配激さｎれば、同
様の効果が奏される。
に）発明？実施するための最良の形態
実施例
ガス６００ω／分、第５層目に只、カス４．２１１１分
、更に最外周層に０．ガス１ｏ１／分’２供Ｍ Ｌ、多
孔質ガラス母材を作製した。得ら扛た多孔質母材の径は
７２１１ｊ１１であり、引上げ成長速度は８１關／時で
あった＠原料カスの付着効率は７５チであり、従来法で
創造したときの値５１チと比較して大幅に改善されてい
る。
、更に最外周層に０．ガス１ｏ１／分’２供Ｍ Ｌ、多
孔質ガラス母材を作製した。得ら扛た多孔質母材の径は
７２１１ｊ１１であり、引上げ成長速度は８１關／時で
あった＠原料カスの付着効率は７５チであり、従来法で
創造したときの値５１チと比較して大幅に改善されてい
る。
この多孔質母材を抵抗炉ヒーターで約１５ＤＯ”Ｑに加
熱し透明化した。得られた透明カラスロッドを外径２６
ダの石英管に入れ、外径／コア径比ヲ２．５にしてカー
ボン抵抗炉で加熱し１２５μｍ径の７アイバに線引した
。このファイバの伝送損失は２．５ｄβ／Ｋｍ以下（λ
＝α８５μｍ ）と極めて低損失であシ、また伝送帯域
も６５０ＭＨｚ＊Ｋｍと広帯域で、すぐれた特性を有し
ている。
熱し透明化した。得られた透明カラスロッドを外径２６
ダの石英管に入れ、外径／コア径比ヲ２．５にしてカー
ボン抵抗炉で加熱し１２５μｍ径の７アイバに線引した
。このファイバの伝送損失は２．５ｄβ／Ｋｍ以下（λ
＝α８５μｍ ）と極めて低損失であシ、また伝送帯域
も６５０ＭＨｚ＊Ｋｍと広帯域で、すぐれた特性を有し
ている。
添付の図面はＶＡＤ法に用いる多重管バーナーの横断面
図で、第１図、第２図、第３図、第４図が従来用いられ
ていたもの、第５図、第７図−第８図が本発明で用いら
れるもの、第６図が比較例のものである。 代理人 内 １） 明 代理人 萩 原 亮 − 第°Ｗ図 第３図 第５図 第７図 第２図 第４図 第６図 第８図
図で、第１図、第２図、第３図、第４図が従来用いられ
ていたもの、第５図、第７図−第８図が本発明で用いら
れるもの、第６図が比較例のものである。 代理人 内 １） 明 代理人 萩 原 亮 − 第°Ｗ図 第３図 第５図 第７図 第２図 第４図 第６図 第８図
Claims (1)
- 同心円状の複数のノズルよりなる多重管ノクーナーな用
いてガラス原料ガスおよび燃焼ガスを混合燃焼せしめて
出発母材の軸方向にガラス微粒子な積層させ、後に焼結
して光７アイノく用プリフォームを製造するＶＡＤ法に
おいて、上記多重管バーナーの原料ガス供給ノズルの周
囲に酸素ガス供給ノズル−水素ガス供給ノズル−酸素ガ
ス供給ノズルを順次配置すること馨特徴とスル、光フア
イバ用プリフォームの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21325882A JPS59107934A (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | 光フアイバの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21325882A JPS59107934A (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | 光フアイバの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59107934A true JPS59107934A (ja) | 1984-06-22 |
| JPH0324417B2 JPH0324417B2 (ja) | 1991-04-03 |
Family
ID=16636114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21325882A Granted JPS59107934A (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | 光フアイバの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59107934A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6131325A (ja) * | 1984-07-23 | 1986-02-13 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光学ガラス微粒子生成用多重管バ−ナにおけるガス供給方法 |
| JPS6173627U (ja) * | 1984-10-23 | 1986-05-19 | ||
| JPH02124737A (ja) * | 1988-11-04 | 1990-05-14 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 高ｎａステップインデックス型光ファイバー母材の製造方法 |
| US5203897A (en) * | 1989-11-13 | 1993-04-20 | Corning Incorporated | Method for making a preform doped with a metal oxide |
| US5683547A (en) * | 1990-11-21 | 1997-11-04 | Hitachi, Ltd. | Processing method and apparatus using focused energy beam |
| US6951200B2 (en) | 2001-07-16 | 2005-10-04 | Yanmar Co., Ltd. | Fuel injection rate control device |
-
1982
- 1982-12-07 JP JP21325882A patent/JPS59107934A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6131325A (ja) * | 1984-07-23 | 1986-02-13 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光学ガラス微粒子生成用多重管バ−ナにおけるガス供給方法 |
| JPS6173627U (ja) * | 1984-10-23 | 1986-05-19 | ||
| JPH02124737A (ja) * | 1988-11-04 | 1990-05-14 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 高ｎａステップインデックス型光ファイバー母材の製造方法 |
| US5203897A (en) * | 1989-11-13 | 1993-04-20 | Corning Incorporated | Method for making a preform doped with a metal oxide |
| US5683547A (en) * | 1990-11-21 | 1997-11-04 | Hitachi, Ltd. | Processing method and apparatus using focused energy beam |
| US6951200B2 (en) | 2001-07-16 | 2005-10-04 | Yanmar Co., Ltd. | Fuel injection rate control device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0324417B2 (ja) | 1991-04-03 |
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