JPS59101645A - 増感剤の存在下で光架橋可能な混合物とそれから得られる製品および中間生成物 - Google Patents

増感剤の存在下で光架橋可能な混合物とそれから得られる製品および中間生成物

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JPS59101645A
JPS59101645A JP58206075A JP20607583A JPS59101645A JP S59101645 A JPS59101645 A JP S59101645A JP 58206075 A JP58206075 A JP 58206075A JP 20607583 A JP20607583 A JP 20607583A JP S59101645 A JPS59101645 A JP S59101645A
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methyl
represent
hydrogen
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JP58206075A
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ヨセフ・バ−ガ−
フリ−ドリツヒ・ロ−ゼ
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Novartis AG
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Ciba Geigy AG
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Publication date
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    • C08F299/00Macromolecular compounds obtained by interreacting polymers involving only carbon-to-carbon unsaturated bond reactions, in the absence of non-macromolecular monomers
    • C08F299/02Macromolecular compounds obtained by interreacting polymers involving only carbon-to-carbon unsaturated bond reactions, in the absence of non-macromolecular monomers from unsaturated polycondensates
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、増感剤の存在下で光により架橋化する新規
な混合物とそれから得られる架橋化した製品および新規
な中間体に関するものである。
ドイツ公開公報第2626769号およびヨーロッパ特
許出願公開番号第3552号によって、側鎖にイミジル
基特にジメチルマレインイミノル基および特定の五環性
イミジル基を有する光架橋性ポリマーが知られている。
しかしその感光性にはまだ要望される部分が残されてい
る。
この発明の対象は、 A)場合により式■ 1 1 R′ で示される構成要素を有する脂肪族不飽和重縮合生成物
と、 B)式11 て示されるヒスイミド〔式中、R(!: R’は互に独
立したものであってC1−4−アルキル基を表わすか、
またはRとR′とが一緒になって場合によってはメチル
基によって置換されたテトラメチレン基若しくは式m て示される基を表わす。式I、式11及び式■に於いて
R,は水素またはメチル基を表わし、R2とR3は互い
に独立したものであって、水素、ハロケン、C1−4−
アルキル基またはメトキシ基を表わし、Aは−CH2−
1−CH,、C1(2−または芳香族環に酸素側が結合
している一0CH2−を表わす時にはEは水素を表わす
、またはAが一〇−を表わす時にEは−CH3を表わす
。R4は、−CmH2m−(m= 1−20 )、−(
CH2)X Q(CH2)X’−1−(CH2)2NH
(CH2) 2NH(CH2)2−1−cH2−Z−C
H2−、フェニレン基(該フェニレン基41個または2
個の塩素原子によって、または1個′たは特に−NH−
を表わし、XとX′は互に独立したものであって2〜4
の数、特に、それぞれが2の数を表わし、Zはフェニレ
ン基たはC4−6−シクロアルキレン基を表わし、Xは
単結合、−0−1−S−1−so2−1−CH2−また
は−C(CH3)2−を表わし、YとY′はそれぞれ−
OHを表わすか、−緒になって一〇−を表わす。〕とを
含有し、ポリマーA)に対して弐〇のビスイミドの割合
が0.1〜75重量%好しくは1〜25重量%である、
増感剤の存在下で光によって架橋化する新規な混合物で
ある。
R,R′、R,およびR3が表わすアルキル基は直鎖状
でも分岐状でもよい。そのような基の例としては、メチ
ル、エチル、n−プロピル、イソプロピル、n−ブチル
および5ec−ブチル基が挙げられる。好ましいのはC
−原子数が1または2のアルキル基、特にメチル基であ
る。
RとR′か一緒になって式1■の基を表わす場合には、
E、几、およびR3かそれそ゛れ水素であり、かつAが
−CH2−を表わすものか好ましい。RとR′は一緒に
なってテトラメチレン、3−または4−メチルテトラメ
チレン基を表わすものが好ましく、それぞれがメチル基
を表わすものか特に好ましい。
R4が−CmH2m−を表わす場合には、直鎖状または
分岐状の基、例えばメチレン、エチレン、■。
2−または1,3−プロピレン、テトラメチI/ン、1
.1,3.3−テトラメチルブチレン、ペンタメチレン
、ヘプタメチレン、ヘプタメチレン、オククメチレン、
ノナメチレン、デカメチレン、ウンデカメチレン、トリ
デカメチレン、テI・ラテカノチレン、ヘキザデカメチ
レン、ヘプタデカメチレン、オククデカメチレンおよび
アルキレン基等が挙けられる。好ましいのは直鎖状の−
cm+(2m−基(m−2−10)である。I(,4か
−CH2−Z −CD2−を表わす場合には、例えば1
,3−または1,41.4−シクロヘキシレン基を表わ
すものである。
場合により1個あるいは2個の塩素原子または1個また
は2個のメチル基で置換されているフェニレン基を瓜が
表わす場合には、例えは1,3−および1,4−フェニ
レン−10−またはm−トルイレン−14,5−ジメチ
ル−1,2−フェニ特に4,4′−ンアミノソフェニル
メクノ、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル、4,
4′−ジアミノンフェニルスルファイトまたは4,4′
−ノアミンジンクロヘキシルメタン等からなる基か挙げ
られるOR,は、直鎖状の−CmH,nl−(m = 
2−10 )、(CH2)2Q(CH2)2−  (Q
 =−8−1−〇−1および特に−NH−)、−CH2
−Z−CH,、−(Z = 1 、3−若しくは1゜4
−フェニレン、■、3−若しくは1,4−シクロ・\キ
シレン基);あるいは4,4′−ジアミノンフェニルメ
タン、4,4′−ジアミノジフェニルエーテルまたは4
,4′−ソアミノノフェニルスルフィト、1,3−また
は1.4−フェニレン等の基を表わすものが好ましい。
特に好ましいのは、RとR′がそれぞれメチル基を表わ
し、R1が水素を表4つじ、YとY′が一緒になって一
〇−を表わし、R4が−(CH2) 2 NH(CH2
) 2−および詩に直鎖状の−Cm H2m −、(m
 = 2〜10 )を表わす組成物である。
本発明に於いて使用されるポリマーは平均分子量が10
00−1000000および特に1000〜35000
を有するものが好ましい。ポリマーの平均分子量は公知
の方法、例えば光散乱法、蒸気圧浸透法または超遠心分
離法によって測定さ九る。
好適な不飽和重縮合生成物は、例えば不飽和のポリアミ
ド、ポリエステル、ポリエステルアミ]・およびポリウ
レタンである。
R。
−0−Co−R1−C=CH−Ra −Co 0−Rl
l−(■)−Co−0−CH2−CH=CH−CH2−
0−Co−R8−(Vll)−Co−0−CH−CH2
−0−Co−R8−(■)CH 1 C1(2 −NH−Co−0−CH2−CH=CH−CH2−0−
Co−NH−几、、−(IX)−O−Co−NH−11
,,2−CH=CH−Rl3−NH−CO−0−R1□
−(X)で示される繰り返し構成要素の内の1種を含み
、更にその選ばれた1、種の繰り返し構成要素を有する
原料ポリマーのC−C−二重結合に弐ぶで示される無水
物を部分的に付加して得られる繰り返し構成要素と、こ
のようにして生成された構成要素の付加された無水物基
の可能な場合の加水分解によって得られる繰り返し構成
要素との両方若しくはどちらか1種からなる飽和繰り返
し構成要素を必要に応じて含む重縮合生成物が好ましい
0上記式IV −XIに於いて、几、R′およびR7は
前述の式Iの場合と同じ意味を表わし、R6と島は互に
独立したものであって、単結合(この場合几、またはR
6の両側の部分は基等を介することなく直接に単結合す
る。)または=CH2−を表わすか、または隅とR6の
一方が単結合で他方が−CH=CH−または十CH2+
を表わし、R7は芳香族ジアミン、特に1゜3−または
1.4−フェニレンの残基、4.4’−ジアミノジフェ
ニルメタンまたは4,4′−ジアミノジフェニルエーテ
ルの残基またはC−原子数1−16の脂肪族、特に−C
OH20(o = 2−7 )の脂肪族ジアミノの残基
を表わし、R8は芳香族ジカルボン酸特にテレフタル酸
またはイソフタル酸の残基、または少なくともC−原子
数が6であり場合によりC=C−二重結合を有する脂肪
族ジカルボン酸、特に÷CH2t(p=4〜12、特に
4〜8)の脂肪族ジカルボン酸の残基を表わし、lt9
と”10は互いに独立したものであって、場合により置
換されかつ/またはC−C−二重結合を有する主鎖のC
−原子総数が4〜12の脂肪族基を表わし、−CqH2
’q −(q’ = 2−10 、特に2〜4)を表わ
し、R□2とRI3  は互に独立したものであって一
+C[(2ey(r−1〜5)を表わす。
上記のものの中では式IVおよび■中のR6およびR6
はそれぞれが単結合を表オ)してR□はメチル基および
特に水素を表わすか、またはR,は水素を表わして几、
および馬はそれぞれ=CH2−を表わすものが好ましい
。特に好ましいのは弐■およびVl中のR1が水素を表
わして、R5およびR6がそれぞれ単結合を表わすもの
である。
前記のポリマーとしてはホモポリマーまたはコポリマー
、例えばジオールHC)−R,、−OHと不飽和および
飽和ジカルボン酸の混合物(例えば無水マレイン酸とテ
レフタル酸または・Cの誘導体の混合物)とからのコポ
リエステルか挙げられる。
ポリエステルとしては、式IVa −O−Co−CH=CH−Co−0−RH−(■a)て
示される繰り返し構成要素および所望により弐〜11b
および/またはIa で示される繰り返し構成要素〔式中、RとR′は一緒に
なってテトラメチレン基を表わすか、または特にそれぞ
れがメチル基を表わし、亀lは+CH2%−(s = 
2−12 、特に2〜4)を表わす0〕からなるものが
誉げられる。式1a  の構成要素の割合としては、ポ
リエステルの繰り返し構成要素の総数に対し、て95%
まで、特に30〜85%の範囲から選ぶことができる。
ポリエステルとして好ましいのは式VIa  の繰り返
し構成要素を含み、更に所望に応じてv+b  の繰り
返し構成要素を含むものである。
ポリアミドとしては式Va Qs               Q 11 C4C2(Va) で示される繰り返し構成要素、および所望により式■b
、式1c及び/または式■d; 00\。/CO(Ib) 3Q1 1 て示される繰り返し構成要素〔式中、RとR′は一緒に
なってテトラメチレン基を表わすか、または特にそれぞ
れがメチル基を表わし、QlはC1−1□−アルキル基
を表;1つし、C2は水1累1またはC”I−’12−
アルキル基を表わし、C3はc、−12−アルキル基、
環のC−原子数が4〜12のシクロアルキル基、c、i
子数7または8のアルアルキル基またはフェニル基を表
わし、qは水素、Cl−12−アルキル、環のC−原子
数が4〜12のシクロアルキル基、c−i子数7オたは
8のアルアルキル基才たはフェニル基を表わし、または
QlとC2および/またはC3とC4は一緒になってC
−原子数3〜11のアルキレン基を表わし、R8はテレ
フタル酸、イソフタル酸および/またはC−原子数6〜
12の飽和脂肪族ジカルボン酸の残基を表わす。〕から
なるポリアミドを使用することが特に好ましい。式1b
、lcおよび/またはld の構成要素の割合は、ポリ
アミドの構成要素の総数に対して95%まで、特に20
〜90%の範囲から選択することができる。
QlはC1−5−アルキル基を表わし、C2は水素また
はC1−6−アルキル基を表わすか、またはQlとC2
が一緒になってC−原子数4〜7のアルキレン基を表わ
し、C3はC1−7−アルキル基、C5−8−シクロア
ルキル基またはフェニル基、特にc、−5−アルキル基
またはフェニル基を表わし、C4は水素またはC1−6
−アルキル基、特に水素またはメチル基を表わすものが
好ましい。
Q+はメチル基才たはエチル基を表わし、C2は水素、
メチル基またはエチル基を表わし、C3はC1−6−ア
ルキルまたはフェニル基を表わし、C4は水素またはメ
チル基を表わし、R8はテレフタル酸、イソフタル酸お
よび/またはC−原子数6〜10の飽和脂肪族ジカルボ
ン酸の残基を表わすものがより好ましい。
その上特に好ましいものは、几とR′が一緒になってテ
I・ラメチレン基を表わすか若しくはそれぞれがメチル
基を表わし、Q+とC2がメチル基を表わし、C3がイ
ングロビル基を表わし、C4が水素を表わし、R8がテ
レフタル酸、インフタル酸および/またはアジピン酸の
残基を表わすものである場合での、式Va  で示され
る繰り返し構成要素と所望により式1b、lcおよび/
またはld  で示される繰り返し構成要素とからなる
ポリマー、特にQlとC2がメチル基を表わし、C3が
イングロビル基を表わし、C4が水素を表わし、I′t
8がテレフタル酸、インフタル酸および/またはアジピ
ン酸の残基を表わす前記のポリマーであり、式1b、l
cおよび/またはld  の構成要素の合計割合がポリ
アミドのジアミノ成分に対して40〜85%までのもの
である。最も好ましいのは、Q、〜Q4およびR8が上
記に示したものから成る式Va  の繰り返し構成要素
のみからなるポリアミドである。
弐Iの繰り返し構成要素を有する脂肪族不飽和重縮合生
成物は新規であり、これも本発明の対象である。この場
合、R,、R、R’、YおよびY′が示すものとして、
かつ場合により −C−Co−Y  基で−C−Co−
Y’ 一部か修飾された好ましい不飽5i′11重縮合生成物
としては、前記のものが挙げられる0式Iの繰返し構成
要素を有するポリマーは、脂肪族不飽和重縮合生成物を
ラジカル的にあるいは光を作用させて式Xの化合物と反
応させ、場合によっては無水物基を加水分解することに
よって得ることができる。
この反応は、不活性雰囲気中、例えば窒素雰囲気中で、
しかも以下に記載するような不活性有機溶媒と増感剤の
存在下で行われる。該溶媒としては、例えば脂肪族、脂
環族または芳香族のノ’soゲン化されていてもよい炭
化水素(例えばペンクン、ヘキサン、ヘプタン、シクロ
ヘキサン、ベンゼン、トルエン、クロルベンセン、ジク
ロルベンゼン等またはこれらのハロゲン化物);環状ま
たは脂肪族アミド(例えはN−メチルピロリドン、N−
エチル−2−ピロリドン、N−メチル−ε−カブロラク
クム、N、N−ジメチルホルムアミド、N。
N−ジメチルアセトアミド、N、N−ジエチルアセトア
ミド等);脂肪族および環状ケトン(アセトン、メチル
エチルケトン、シクロ・\キサノンおよO・シクロペン
タノン等);アルコール(メタノール、エタノールおよ
び2−7トキシエクノール等)を挙けることかできる。
上記のこれらの溶媒の混合物も使用することができる。
好ましい溶媒はN,N−ジメチルホルムアミドである。
弐Xの化合物および式1■〜Xの繰り返し構成要素を持
つポリマーは公知であるかまたは公知の方法によって製
造することができる。式■の化合物は公知の方法で、弐
Xの化合物とジアミンH2N−R, −NH2  との
反応および生成中間体のアミド酸の環化によって得るこ
とができる。R(!:R′が一緒になって場合によりメ
チル基により置換されたテトラメチレン基を表わし、R
4が前記のものを表わす式■の化合物は新規であり、こ
れもまた本発明の対象である。この場合、R4の示すも
のとしては、上記のものが適用され、几とR′は一緒に
なってテトラメチレン基を表わすものか好ましい。弐■
の繰り返し構成要素を持つポリマーの製造に必要なジア
ミ/は、例えは弐刈; 3Q1 1 H,、N−C−CH−CH=CH−(CH2)2−CH
=CH2−C−CH=CH21 4Q2 で示されるオキシムを直接還元してこれ(て対応するジ
アミンとするか、またはオキシムをます脱水してこれに
対応するニトリルとし、この二I・リルを還元してシア
ミンとすることによって得ることができる。弐■のオキ
シムは公知であり、またヨーロッパ特許出願公開第11
599号に記載されている方法によって製造することが
できる。
本発明の混合物は、増感剤のほかに通常の添加剤、例え
ば他の架橋剤を含有してもよい。添加する架橋剤として
は、具体的にはドイツ公開公報第2657104号に記
載されているようなジアミン等が挙げられる。増感剤と
して具体的には、それを使用するときに、三重項励起状
態にある増感剤の三重項エネルキーが励起していない式
■の化合物へ移動することによって反応が起る三重項増
感剤( Triplettsensibilisato
ren)が適しており、例えはアセトフェノン、ベンゾ
フェノン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイン
ブチルケトン、ミヒラーのケトン、1,2−ジ・\ンジ
ルベンゼン・1、4−ンアセヂルベンセン、4−ンアノ
ヘンゾフエノン、チオキサンl−ン、アントラキノン、
1。
2−および1,4−ナフトキノン、2−メチルアントラ
キノン、ヘンズアントロン、ヒオールアンIーロン、p
 、 p’−テ1−ラメチルンアミノヘンンフエノン、
クロルアニル等のケ1ーン類;アントラセン、クリセン
;ニトロベ゛ンゼン、p−ジニトロベンゼン、l−また
は2−二トロナフタリン、2−ニトロフルオレン、5−
ニトロアセナフテン、ニトロアニリン、2−クロル−4
−ニトロアニリン、2、6−ジクロル−4−ニトロアニ
リン等のニトロ化合物が挙げられる2,;l増感剤とし
ては、アゾイソブチロニトリルまたは過酸化物(例えば
、ジベンソイルパーオキサイド)のようなラジカル開始
剤を使用することもできる。増感剤としては、ドイツ公
開公報第3018891号、同第3117568号およ
びヨーロッパ特許出願公開W33720号に記載されて
いるような置換されていないチオキサントンまたは置換
されているチオキサントンを使用することが好ましい。
先に定義した混合物を増感剤の存在下および所望により
他の架橋剤の存在下で光を作用させて架橋化させること
によって得られる架橋化した製品もまた本発明の対象で
ある。増感剤としては例えば前記したものが挙げられる
架橋反応時に露光および必要に応じて前取って行われる
式Xの無水物とポリマーとの反応時の露光にはTJV−
光線を使用して行うことが好ましい。
光源としては、例えばキセノンランプ、炭素アーク光、
水銀ランプおよびハロケン化金属−水銀ランプが適して
いる。
本発明による混合物は、例えば種々の基材、特に金属(
アルミニウム、銅およびスチール)またはまたは合成樹
脂(ポリエステル、酢酸セルロース等)からなる基材上
の耐1G剤性被覆物およびコーティングの製造、または
オフセツ!〜印刷法用の印刷版の製造、非銀塩写真用の
フオI・オフセット塗料の製造、例えはカチオン性染料
により染色された写真像の光架橋による作成等に適して
いる。本発明の混合物は公知の方法による、印刷版の製
造のために、または印刷回路作成のためのいわゆるフォ
トレジスト材料古して使用することができる。
後者の応用においては、導電板上の感光層を備えた面が
回路パターンの像を有するフォトマスクを介して露光さ
れ、次いで現像され、感光層の露光していない部分が現
像UPこよって流しおとされる。
式Iの構成要素を有するポリマーを含む混合物は水若し
くはアルカリ水溶液によって現像のできるシステムであ
り、有機溶剤をベースとする現像浴に比べて操作が安全
であり、公害を出さない等の生態学上の見地から有利な
ものである。このようなシステムは、またカチオン性染
料によって染めることもできる。支持体にはそれ自体慣
用されている方法、例えば浸漬法、スプレー法、フイー
シーコーティング法(whirler−cooting
 ) sカスケードコーチインク法、ナイフコーティン
グ法、カーテンコーチインク法またはいわゆるロールコ
ーチインク法等によって感光性混合物を塗布することが
できる。
本発明による混合物は特に高い感光性がある点に特徴が
ある。これによって得られる架橋製品は、耐溶剤性(イ
ンプロパツール中等で)が良好であり、耐摩耗性が高く
、かつ種々の支持体材料、特に金属に対する接着性が良
好である。
例1−5: アジピン酸と2,2−ツメチル−11−イソプロピル−
1,11−ジアミノウンデカ−4,8−ジエン(DUD
)とからの原料ポリアミド5.0gをN+N−ジメチル
ポルムアミド(DMF)70d中に溶かした溶液をUV
−反応器(125Wl(PKフィリップス製浸漬ランプ
を取付けたフラスコ)に入れ、これにそれぞれ下記の表
1に示した量のジメチル無水マレイン酸と、チオキサン
トン0.259とをDMF80−に溶かした溶液を窒素
雰囲気下で20℃に2時間照射しながら滴下する。次に
、更に20時間照射し、容量が3分の1になるまで濃縮
する。
2tのジエチルエーテル中に注いでポリマーを沈澱させ
る。得られたポリマーの分析データを表Iに総括して示
す。
本例に於いて使用した原料ポリアミドは以下のようにし
て製造することができる: 2.2−ジメチル−11−イソプロピル−1゜11−ジ
アミノ−ウンデカ−4,8−ジエン(DLID )’ 
62.8グ、アジピン酸36.4 f、10%NH4H
,,PO,、水溶液0.25+mおよびジーtert−
フチルーp−クレンール0.59をオートクレーブ中で
窒素雰囲気下に4時間前縮合させ、次いで窒素ガスを流
しながら開放系のポリ縮合容器中で縮合を続け、更に1
時間高真空下て後縮合させる。ポリ縮合はすべて250
℃で行う。得られたポリアミドの元素分析: 計算値 C72,]88%Hlo、57% N7.73
%実測値 C70,20% i(10,47% N7.
45%末端基含量ニーC0OH%o、 16 rn /
 当量/ r : −Nl2.0.04m/当量、/′
?。
カラス転移温度、Tg(微分走査熱量計により測定)−
45℃:還元粘度ηred = 0.70 d4/f 
(m−クレゾール中に0.5%の濃度で溶かした溶液で
25℃にて測定)0 使用したンアミンは以下のようにして製造することがで
きる: 2.2−ジメチル−11−インプロビル−11−アミノ
−ウンデカ−4,8ジエナールオキシム80 ? (0
,3mot)を、かきませながら酢酸10〇−に加える
。次にこれにHCt−カスを飽和するまで導入し、15
分以内に無水酢酸30,6 r (0,3mob )を
滴下する。反応混合液を更に4時間還流下に加熱し、酢
酸を留去し、残留物を水に溶かす。
溶液を苛性ソーダ溶液で塩基性にした後、分離した有機
相をトルエンで抽出して蒸留して、1,1−ジメチル−
10−イソプロピル−1O−アミノ−デカ−3,7−ジ
ニンニトリル68.5 f(0,276moL)を得た
。収率は理論量の92%。a Pa下での沸点94℃0 ナトリウム23グ(l mol )をトルエン15〇−
に加え、混合物をすl−IJウムが溶融するまで加熱す
る。次に加熱をやめ、ナトリウムが灰色の微分来状に分
散するまでかきませる。この混合液に先に得られた1、
1−ジメチル−10−イソプロピル−1O−アミノ−デ
カ−3,7−ジニンーニトリル53 t (0,214
mot)をイングロパノール100m1に溶かした溶液
を加える。更に3時間還流煮沸し、水200m7!を加
え、有機相を分離する。
溶媒を留去後2,2−ジメチル−11−イソプロピル−
1,11−ジアミノ−ウンデカ−4,8−ジエン44 
S’ (0−175mot)を得た。収率は理論量の8
1.5%。沸点86℃(圧力I Pa )n ’。=1
.4810゜ 例6: 磁気攪拌器、音素導入口および窒素排出口および125
 W HPKフィリップス製浸漬ランプを備えたフラス
コ中で、例1で使用したのと同様の原料ポリアミド5.
02をDMF 70−に溶がし、この溶液に窒素を流し
ながら20℃でラングのスイッチを入れた後無水3,4
,5,6−チトラヒドロフタ/L/酸4.20 f ト
(−、t−1−サンl−:/ 0.25 fヲDMF8
0ゴに溶かした溶液を2.5時間かけて滴下する。
次いでこの溶液に窒素雰囲気下で更に15.5時間光を
照射する。溶媒の半分が除去される。残留溶液に水10
−を加え、5分間80℃に加熱した後冷却する。生成物
を2tのジエチルエーテル中で沈澱させる。沈澱した生
成物をP別し、20℃で真空乾燥する。ポリアミドの収
量ニア、94S’(変換率70.0%);ηred =
 0,29 dL/? (m−クレゾール中の濃度0.
5%、25℃);Tg−55℃。
元素分析: C65,90%  H8,709o  N
 5.86 %。
ポリマー中の酸の総含量: 3.98 m当量/lo従
って、ポリマー中のc−c−二重結合の66.3%が無
水3,4,5.6−チトラヒドロフタル酸と反応したこ
とになる。
例7−9: (ジメチル無水マレイン酸で修飾されている)例2で得
られたポリアミド0.3f、チオキサントン171n9
および下記の表■にそれぞれ示した量のN 、 N’−
エチレン−ビス−ジメチルマレインイミドをDMF7.
0グに溶かす。この溶液を75μm−ドクターで銅−導
電板上に塗布し、100℃で4分間乾燥する。次に被覆
層を段階的光学楔(ステップウェッジ) (gtouf
fer社の21段階感度指標)を有するフォトマスクを
介して70tynの距離から5000 W高圧燈により
露光し、次いで30秒間5%NaOH溶液に浸し、脱イ
オン水で短時間洗浄し、5%HCtに30秒間浸し、F
eC15溶級中で腐刻する。露光時間と段階的光学楔中
の各段階中で像が形成された段階を表Hに示す。
例1O: 例1と同様の原料ポリアミド0.52、N、N’−オク
タメチレン−ビス−ジメチルマレインイミド0.25f
およびチオキサントン40■を、メチルセルソルブ4.
5S’、メチルエチルケトン2.25g″オヨヒクロロ
ホルムlf(混合割合6:3:1)の混合液に俗かす。
この溶液を50μ【n−ドクタを用いて銅−導電板に塗
布し、100℃で3分間乾燥する。次いで積層体を例7
−9に記載した段階的光学楔を介してsooow高圧燈
により露光し、上述の溶媒混合液中で30秒間現像する
。下記の結果が得られた。
300        10 420         12 例11: 1.3−プロピレングリコ−9100重量部、無水マレ
イン酸72重量部および無水フタル酸54重量部からな
り、20℃における粘度が1000mPa5であるポリ
エステル0.5fと、N 、 N’−オクタメチレン−
ビス−ジメチルマレインイミド0,25 ftと、チオ
キサントン377ngをクロロホルム6.752に溶か
す。この溶液を50μm−ドクターにより銅−導電板に
塗布し、100℃で3分間乾燥する。
得られたコーティングは透明で光沢がある。この被覆層
を次に前記の段階的光学楔を介して70ctnの距離か
ら5000W高圧燈により露光し、1分間クロロホルム
/エタノール(1:1)の溶媒混合液中で現像する。下
記の結果が得られる。
露光時間   像が形成された最終段階90     
   4 180        6 原料ポリマー中の二重結合のビスイミドに対する比は0
.6である。
例12: 例2に於いて製造された、ジメチル無水マレイン酸で修
飾されたポリアミド1.0?、N 、 N’−オクタメ
チレンービスージメチルマレインイミド0.20fおよ
びチオキサントン60■をクロロホルム241に溶かす
。この溶液を50μlη−ドクターで銅−導電板上に塗
布し、100℃で4分間乾燥する。この被覆層を前記の
段階的光学楔を介して70cmの距離から5000W高
圧燈により30秒間露光し・次いで5%NaOH溶液中
に30℃にて30秒間浸し、脱イオン水で短時間洗い、
5%Hctに30秒間浸し、FeCt3溶液中で腐刻す
る。
像が形成された最終段階二6、像は腐刻性が良好である
例13: 例1に於いて調製された、ジメチル無水マレイン酸で修
飾されたポリアミド0.5グ、次式で示されるビスイミ
ド50乃至i o o m’iおよびチオキサントン3
0〜をDMF 9.5 Fに溶かす。この溶液を24μ
m−ドクターにより銅−導電板に塗布し、125℃で4
分間乾燥する。この被覆層を前記の段階的光学楔を介し
て5ooow4圧燈により70cmの距離から30秒間
露光し、次いで5%Na OH溶液に1分間浸し、洗浄
した後次に5%HCA中に30秒間浸し、かつpec7
3  m F’2L中で腐刻する。
ビスアミド50■を使用したときの像が形成された最終
段階=2 ビス°rミドtooyvを使用したときの像が形成され
た最終段階=1 2.2−ジメチル−11−イノプロピル−1゜11−ジ
アミンウンデカ−4,8−ジエンとアジピン酸とからの
ポリアミl’c例1〜5に記載したのと同様にして調製
: ’Ig= 58℃、η、。d=0.65d1./f
 1、(m−フレソール溶液に5%濃度で溶解し25℃
で測定))O,sy、下記A)、B)およびC)のヒス
イミI・それぞれ50 mg: A)N、N’−へキサメチレン−ヒス−(3−メチル−
3,4,5,6−チトラヒトロフタルイミ1−’ )と
N 、 N’−ヘキサメチレン−ビス−(4−メチ、ル
ー3,4,5.6−チトラヒドロフタルイミド)(混合
割合約15:85重量%)との混合物、 B)  、N 、 N’−へキサメチレン−ヒス−3、
4、5゜6−チトラヒドロフタルイミド、 C)N、N’−9キサメチレン−ビス−ジメチルマレイ
ンイミド、 およびチオキサントン−7−メチル−3−カルボン酸エ
チルエステル27.57vをクロロホルム111に溶か
ず。得られた溶液を50μm−hククーにより銅−導′
成板に塗布し、80℃で3分間乾燥する。被覆層を5t
ouffer社の段階的光学楔(21段階感度指標)を
介して70cmの距離から5000W高圧燈により露光
する。露光されていない部分をクロロホルム中で洗う(
30秒間)ことにより溶出させる。結果を下記の表■に
示す。
表   In 上記の例14および15で使用した新規なビスイミドA
)およびB)は以下のようにして製造することができる
a)1.6−ジアミツヘキサン23.2 r (0,2
モル)と、3−メチル−1−シクロヘキサン−1゜2−
ジカルボン酸無水物約15重量%と4−メチル−1−シ
クロヘキサン−1,2−ジカルボン酸無水物約85重量
%との混合物66.4 r(0,4モル)をトルエン3
50 nt中に溶かす。
還流しながら生成した水を24時間分離除去する。次い
でトルエン300 tnlを留去し、生成した結晶を濾
過し、シクロヘキサンで洗浄し、粗生成物をメタノール
から再結晶する。約15重量%ノN、N’−へキサメチ
レン−ビス−(3−メチル−3,4,5,6−チトラヒ
ドロフタルイミト)と約85重量%のN 、 N’−へ
キサメチレン−ヒス−(4−メチル−3,4,5,6−
チトラヒドロフタルイミト)からなる混合物35′?(
対理論量の42.5%)を得る。融点93−−95℃。
元素分析: 計算値 C69,88% H7,82%N 6.79%
実部1イ直  C70,0% H7,8%  N 6.
7 %薄層クロマトクラム:溶剤トルエン/エタノール
(80: 20容量比):l主要スポソ)・0b)1.
6−ジアミツヘキサン23.2 ?(0,2モル)と1
−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物60.
82(0,4mot)をトルエン350−に溶かし、還
流下に生成した水を20時間分離除去する。次いでトル
エン3007を留去し、沈澱生成物をr過し、トルエン
/シクロヘキサンで洗浄し、メタノール600づから再
結晶する。得られた白色結晶を60℃で24時間真空乾
燥する。N 、 N’−へキサメチレン−ヒス−3、4
、5、6−チトラヒトロフタルイミド502(対理論量
の64.1%)0融点123−124℃。
元素分析: 計算値 C68,73% H7,34% N7.4%実
測値 C68,9% H7,4% N7.4%薄層クロ
マトグラム:溶剤トルエン/エタノール(80: 20
容量比):1スポツト〇a)  ffl素導入口および
シト出口、冷却器および攪拌器を備えたフラスコに、ア
シピノ酸ノフェニルエステル722、ジス−2−ブテン
ーII4−ンオール21.26 fおよびチタンテ、ト
ライ゛ノプロピラート200 ppmを入れる。次に窒
素ガスで数回パージし、フラスコを150から250℃
へ30時間にわたり加熱する。次いて更に3時間幅度を
250℃に保つ。冷却後生成した溶融物を150 ml
のDMFに加え、生成物をジエチルエーテル3.5を中
で沈澱させ、沈澱生成物を戸別し、ジエチルエーテルで
洗浄し、35℃で真空乾燥する。収量: 36 y(対
理論量の97.74%) ’rg = 4.0℃。
元素分析: 計算値 C60,6% H7,12%、実測値 C61
,0% H7,05% ηrod0.32 d4/f (m−クレゾールに0.
5%の濃度で溶かした溶液、25℃)O b)  a)により得られたポリマー5.07およびD
MF60〃fを、125W HPKフィリンプス製水製
水正高圧ランプ素導入口および排出口、還流冷却器、滴
下E斗および磁気攪拌器を備えた反応容器に入れる。ジ
メチル無水マレイン酸2.38fとチオキサントン−7
−メチル−3−カルホン酸エチルエステル250 mf
をDMF80−に溶かした溶液を、窒素雰囲気下で25
℃にて3時間で滴下する。次に、この溶液を更に18時
間照射する。水25ゴを加え、濃度を90℃に3時間保
つ。次いでポリマーをジエチルエーテル3を中に沈澱さ
せ、25℃で真空乾燥する。収量7.2 flo Tg
=  29℃。
元素分析: 実測値 C56,8% H7,06% ηred= 0.22 dt/? (m−クレゾールに
0.5%の濃度で溶かした溶液、25℃)0酸の総含量
=2.77ma量/r(C=C−二重結合の約80%が
占有されたことになる。)O c)  b)により得られたポリマー0.52、N 、
 N′−ヘキサメチレン−ビス−ジメチルマレインイミ
ド50m2およびチオキサントン−7−メチル−3−カ
ルホン酸エチルエステル27.5 mg ヲクOロホル
ム11艷に溶かし、50μm−ドクターにより銅−導電
板上に塗布する。被覆層を80℃  。
で3分間乾燥し、次に前記の例に記載した段階的光学棟
を介して70crnの距離から10分間5000W高圧
燈により露光する。露光されていない部分を5%Na2
CO3−溶液て30秒間洗浄する。像の形成された最終
段階:3゜ 例18: a)無水マレイン酸20.Of、1.4−ヒス−(ヒド
ロキシメチル)−シクロへ−I−サ:、’ 29,42
9J6よ?Jp−トルエンスルホン酸1.24 S”i
ベンゼン225rnl中に懸濁し、水を分離除去しなが
ら6.5時間還流加熱する。溶液を冷却後、沈澱生成物
を戸別し、ベンゼンで洗浄して20℃で真空乾燥する。
ポリエステルの収量:422(対理論量の92%)。T
g=40℃。
元素分析: 計算値 C64,27% H7,19%実測値 C63
,60% H7,07%η、、d= 0,40 d7/
r (m−クレゾール溶液に0.5%の濃度で溶した溶
液、25℃)。
b)  a)により調製したポリエステル5.02をD
MF3302に溶かし、例17b)に記載した反応容器
に入れる0窒素雰囲気下25℃で3時間力きけて、ジメ
チル無水マレイン酸2.112とチオキサントン−7−
メチル−3−カルボン酸エチルエステル250 mgを
DMF l 47 fに溶かした溶液を滴下する。溶1
夜を100艷に濃縮した後、ポリマーをジエチルエーテ
ル2を中で沈澱さ一仕、25℃で真空乾燥する。収量’
−6,84o Tg=57℃O 元素分析: 実測値 C59,0% H7,67% ηred =0.22 dl−/l (m−クレゾール
溶液に0.5%濃度で溶かした溶液、25℃)0酸の総
含量二0.98mP量/f(ポリマーのC=C−二重結
合の22%が占有されたことになる0 )。
a)またはb)で得られたポリエステル0.51、チオ
キサントン−7−メチル−3−カルボン酸エチルエステ
ル27.5■およびN 、 N’−ヘキサノチレンービ
スージメチルマレインイミド50TngをDMF[a)
によるポリエステルについて)11f。
またはクロロホルムrb)によるポリエステルについて
)llrvc溶かす。この溶液を′50μm−ドクター
により銅−導電板に塗布し、90℃で3分間乾燥する。
露光は5000W高圧燈により前記の段階的光学楔を介
して70cmの距離から行う。結果および現像に関する
詳細を下記に示す。
特許出願人 0発 明 者 フリードリツヒ・ローゼスイス連邦国4
104オウバヴイル ・ビュツケンシュトラーセ23

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、A)J4合により式I 1 R′ で示される構成要素を有する脂肪族不飽和重縮合生成物
    と、 B)式■ で示されるビスイミド〔式中、RとR′は互に独立した
    ものであってC1−4−アルキル基であるか、またはR
    とR′が一緒になって場合によってはメチル基によって
    置換されたテ)−ラノチレン基若しくは弐■ で示される基を表わし;式I2式1及び式IIIに於い
    てR1は水素またはメチル基を表わし、R2と几3は互
    に独立したものであって、それぞれ水素、ハロゲン、C
    1−4−アルキル基またはメトキシ基を表オつし、Aは
    −CH2−l−CH2C[(2−または芳香族環に酸素
    側が結合している一0CH2−を表わしてEが水素を若
    しくはAか−0−てかつEが−CH3を表わし、R4は
    一〇mHzm −(m = 1 w 20 )、より、
    才たは場合により1個才たは2個のノチ基を表わし、Q
    は−8−1−〇−または−NH−を表わし、又とX′は
    互に独立したものであって2〜4の数を表4つじ、Zは
    フェニレン基またはC4−6−シクロアルキレン基を表
    わし、Xは単結合、−0−1−S−1−SO2−5−C
    H2−または−C(CH3)2−を表わし、YとY′は
    それぞれ−0)1を表オつすか、−緒になって一〇−を
    表わす。〕とを含有し・ポリマーA)に対して式Uのビ
    スイミドの割合が0.1〜75重量%である、増感剤の
    存在下で光により架橋化する混合物0 2、 式■のビスイミドの割合が、ポIJ −7−A)
    に対して1〜25重量%である特許請求の範囲第1項に
    記載の混合物。 3、  Rと■が一緒になって弐■の基を表わし、その
    際E、R2およびR3が水素で、Aか−CH2−である
    特許請求の範囲第1項に記載の混合物。 4 RとR′が一緒になってテトラメチレン基若しくは
    3−または4−メチルテトラメチレン基、または特にそ
    れぞれがメチル基を表わす特許請求の範囲第1項に記載
    の混合物。 5 電が直鎖状の−Cm■(2m−(m−2〜lO)、
    −(CH2)2Q(CH2)2− (Qは−5−1−〇
    −または特Vζシクロヘキシレン基)、4.4’−ジア
    ミノジフェニルメタン基、4 、4’−ジアミノジフェ
    ニルエーテル若しくは4,4′−ジアミノフェニルスル
    ファイド基または1,3若しくは1,4−フェニレン基
    を表わす特許請求の範囲第1項に記載の混合物。 6、  RとR′がそれぞれメチル基を°表わし、R1
    が水素を表わし、YとY′が一緒になって一〇−を表わ
    し、R4が−(CH2) 2 NH(CH2) 2− 
    若しくは特に直鎖状の−CmH2m −(m ”’ 2
    〜10 )を表わす特許請求の範囲第1項に記載の混合
    物。 7 増感剤が置換されていない、または置換されている
    チオキサントンである特許請求の範囲第6項に記載の混
    合物。 8、ポリマーが式Via −O−CO−CH=CH−CO−0−R11−(Via
    )で示される繰り返し構成要素と所望により加・えられ
    た式■b および/またはIa で示される繰り返し構成要素とがらなり〔式中、RとR
    ′は一緒になってテトラメチレン基を表わすか、または
    特にそれぞれがメチル基を表わし、基、または−(CH
    2)8−基(基中、3=2−12)を表わす。〕式1a
      の構成要素の割合がポリエステルの繰り返し構成要
    素の総数に対して95%までである特許請求の範囲第1
    項に記載の混合物。 9、 ポリマーが式Vla  の構成要素と所望により
    加えられた式Vlb  の構成要素からなる特許請求の
    範囲第8項に記載の混合物。 10、ポリマーが式Va Q3(h で示される繰り返し構成要素と、所望により加えられた
    式Ib 、 Icおよび/またはIdoc    c。 \o/(より) oc     co      oc     c。 \ /     \ /      (Id)0   
            0 で示される繰り返し構成要素とからなり〔式中、RとR
    ′は一緒になってテトラメチレン基を表わすか若しくは
    特にそれぞれがメチル基を表わし、qはC1−1゜−ア
    ルキル基を表わし、C2は水素またはCI 12−アル
    キル基を表わし、C3はc、  !2−アル(以下余白
    ) キル、環のC−原子数が4〜12のシクロアルキル基、
    フェニル基またはC−原子数7または8のアルアルキル
    基を表わし、あるいはまたQlとC2および/またはC
    3とC4は一緒になってC−原子数3〜11のアルキレ
    ン基を表イっす。更に馬はテレフタル酸、インフタル酸
    および/またはC−原子数6〜12の飽和脂肪族ジカル
    ボン酸の残基を表わす。〕、式)b 、 lcおよび/
    またはld  の構成要素の総割合がポリアミドの繰り
    返し構成要素の総数に対して95%までである特許請求
    の範囲第1項に記載の混合物。 11、  Q、がメチル基またはエチル基を表わし、C
    2が水素、メチル基またはエチル基を表わし、C3がC
    1−6−アルキル基またはフェニル基を表わし、C4が
    水素またはメチル基を表わし、R8がテレフタル酸、イ
    ソフタル酸および/またはC−原子数6−10の飽和脂
    肪族ジカルボン酸の残基を表わす特許請求の範囲第10
    項に記載の混合物。 12、ポリマーが、QIとC2がそれぞれメチル基を表
    わし、C3がイソプロピル基を表わし、C4が水素を表
    わし、R8がテレフタル酸および/またはアジピン酸の
    残基を表わす式Va  の繰り返し構成要素のみからな
    る特許請求の範囲第9項に記載の混合物。 13、  A)  場合により式■ 几 1 R′ で示される構成要素を有する脂肪族不飽和重縮合生成物
    と、 B)式11 で示されるビスイミド〔式中、几とR/は互に独ル基に
    よって置換されたテトラメチレン基若しくは式III C−A で示される基を表わし;式11式■及び式■に於いて几
    1は水素またはメチル基を表わし、R2とR3は互に独
    立したものであって、水素、ハロゲン、C1−4−アル
    キル基またはメトキシ基を表わし、Aは−CH2−1−
    〇H2cH2−または芳香族環に酸素側が結合している
    一ocH2−を表わしてEが水素を表わすか若しくはA
    が−0−でEが−cH3を表わし、R4は−CmF(H
    ,−(m=1−20 )、により、または場合により1
    個または2個のメ表わし、Qは−5−1−〇−1または
    −NH−を表わし、Xと7は互に独立したものであって
    2〜4の数を表わし、2はフェニレン基またはC,−a
     +シクロアルキレン基を表わし、Xは単結合、−〇−
    1−S−1−SO2−1−C)I2−または−〇(CH
    3)2−を表わし、YとY′はそれぞれ−OHを表わす
    か、−緒になって一〇−を表わす。〕とを含有し、ポリ
    マーA)に対して式■のビスイミドの割合が0.1〜7
    5重量%である、増感剤の存在下で光により架橋化する
    混合物からなる感光用被覆物。 14 式I 1 1 R′ 〔式中、RとR′は互に独立したものであってC3−4
    −アルキル基を表わすか、または−緒になって場合によ
    りメチル基により置換されたテトラメチレン基若しくは
    式■で示さnる基を表わし・     E 式1および式■に於いて、R1は水素またはメチル基を
    表わし、R2とR3は互に独立したものであって、それ
    そ゛れ水素、ハロゲン、C1−4−アルキル基またはメ
    トキシ基を表わし、Aは−C1(2−1−CH2CH2
    −または芳香族環に酸素側が結合している一0CH2−
    を表わしてEは水素を表イつすか、あるいはまたAは一
    〇−を表わしかつEは−CH3を表わす。]で示される
    繰り返し構成要素を有する重縮合生成物。 15、  RとR′が一緒になってテトラメチレン基を
    表わすか、または特にそれぞれかメチル基を表わし、R
    1が水素を表イつす特許請求の範囲第14項に記載の重
    縮合生成物。 16 式■ 〔式中、几とR′は一緒になって場合によりメチル基に
    よって置換されたテトラメチレン基ヲ表わし、R4は−
    CmH2m−(m−1〜20)、−(CH2) x Q
    (CH2) x’−1(CH2) 2 NH(CH2)
     2 NH(CH2) 2−1−CH,Z−CH2−、
    場合により1個または2個の塩素原子にあるいは1個ま
    たは2個のメチル基にし、Qは−8−1−〇−または−
    NH−を表わし、XとX′は互に独立したものであって
    2〜4の数を表わし、ZはフェニレンまたはC4−6−
    シクロアルキレン基を表わし、Xは単結合、−0−1−
    S−1−802−1−C[−12−または−C(CH3
    )2−を表わす。〕で示される化合物。
JP58206075A 1982-11-04 1983-11-04 増感剤の存在下で光架橋可能な混合物とそれから得られる製品および中間生成物 Pending JPS59101645A (ja)

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