JPS59100366A - 極低温冷凍装置及びその運転方法 - Google Patents
極低温冷凍装置及びその運転方法Info
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- JPS59100366A JPS59100366A JP20940482A JP20940482A JPS59100366A JP S59100366 A JPS59100366 A JP S59100366A JP 20940482 A JP20940482 A JP 20940482A JP 20940482 A JP20940482 A JP 20940482A JP S59100366 A JPS59100366 A JP S59100366A
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- gas
- liquefaction
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、ヘリウム液化冷凍装置に係り、特にヘリウム
液化冷凍機に供給されるヘリウムガス中の不純物濃度を
低濃度に保持して、安定した運転な行なうのに好適なヘ
リウム液化冷凍装置の不純物検出方法に関するものであ
る。
液化冷凍機に供給されるヘリウムガス中の不純物濃度を
低濃度に保持して、安定した運転な行なうのに好適なヘ
リウム液化冷凍装置の不純物検出方法に関するものであ
る。
従来のヘリウム中の微量の不純物の検出は、ガスクロマ
トグラフで参照ガスとの熱伝導率の差を利用する検出器
により、窒素、酸素、炭酸ガスを、壕だ、水素炎イオン
化検出器により炭化水素を、回分的に分析して検出して
おり、不純物の濃度変化には対処できなかった。不純物
の窒素について放電により窒素分子を励起し、発生する
固有のスペクトルで濃度を検出する方法が公表されてい
るが、濃度が１００ ｐｐｍ を越えると安定な放電が
持続しないため、検出ができなかった。オだ、窒素以外
の不純物の検出もできなかった。
トグラフで参照ガスとの熱伝導率の差を利用する検出器
により、窒素、酸素、炭酸ガスを、壕だ、水素炎イオン
化検出器により炭化水素を、回分的に分析して検出して
おり、不純物の濃度変化には対処できなかった。不純物
の窒素について放電により窒素分子を励起し、発生する
固有のスペクトルで濃度を検出する方法が公表されてい
るが、濃度が１００ ｐｐｍ を越えると安定な放電が
持続しないため、検出ができなかった。オだ、窒素以外
の不純物の検出もできなかった。
ヘリウム中の最少１．ｐｐｍの窒素、酸素、炭化水素な
どの分析には、光ｉｔ電離出器を設けたガスクロマトグ
ラフが使用されており、これを第１図によって説明する
。キャリヤーガスとして高純度のヘリウムガス奢圧力調
整器ｌ、流量制御器２′ｆ！：通して圧力および流量を
調整して、試料注入部３で不純物濃度な求めようとする
試料ガスを供給し、分離カラム５を通して不純物を各単
一成分に分離し、光電離検出器７の検出部１１に送る。
どの分析には、光ｉｔ電離出器を設けたガスクロマトグ
ラフが使用されており、これを第１図によって説明する
。キャリヤーガスとして高純度のヘリウムガス奢圧力調
整器ｌ、流量制御器２′ｆ！：通して圧力および流量を
調整して、試料注入部３で不純物濃度な求めようとする
試料ガスを供給し、分離カラム５を通して不純物を各単
一成分に分離し、光電離検出器７の検出部１１に送る。
一方、放電ガスとして同じく高純度のヘリウムガスを圧
力調整器９．流量制御器１０を通し、圧力および流量’
ｋｉＪ４！！シて光電離検出器７の光源部１２に送る。
力調整器９．流量制御器１０を通し、圧力および流量’
ｋｉＪ４！！シて光電離検出器７の光源部１２に送る。
光源部丘では円板状の放電対極１３と放電陰極１４の間
に５００〜１００ＯＶの直流電圧を印加して、ヘリウム
気流中で放電させる。検出部１１で不純物は放電によっ
て生尼だ紫外−により電離され、コレクタ電極１５で検
出される。検出された不純物は、エレクＦメータ１７で
電位を求め、記録計１８に記録い各成分のピークより濃
度含求める。検出部１１テ測定を終ったガスは、ガス出
口１６より放出される。
に５００〜１００ＯＶの直流電圧を印加して、ヘリウム
気流中で放電させる。検出部１１で不純物は放電によっ
て生尼だ紫外−により電離され、コレクタ電極１５で検
出される。検出された不純物は、エレクＦメータ１７で
電位を求め、記録計１８に記録い各成分のピークより濃
度含求める。検出部１１テ測定を終ったガスは、ガス出
口１６より放出される。
不純物の、検出着度含上げるため、試料注入部３゜分離
カラム５．光電離検出器７にはそれぞれ恒温槽４，６，
８’ｌ設け、最適温度に保持されている。
カラム５．光電離検出器７にはそれぞれ恒温槽４，６，
８’ｌ設け、最適温度に保持されている。
なお、キャリヤーガスおよび放電ガスとして使用するヘ
リウムガスは、高純度が必要であるが、市販のガスを液
体窒素で冷却したモレキュラーシーブ５Ａの吸着層を通
して、不純物を除去したものな使用することができる。
リウムガスは、高純度が必要であるが、市販のガスを液
体窒素で冷却したモレキュラーシーブ５Ａの吸着層を通
して、不純物を除去したものな使用することができる。
このガスクロマトグラフによる分析をヘリウム液化冷凍
機のヘリウム中の不純物の分析に適用した従来の方法は
、ヘリウム冷凍機の入口ガスの所定量を試料注入部３に
注入して分析を行なうもので、第２図に分析例を示す。
機のヘリウム中の不純物の分析に適用した従来の方法は
、ヘリウム冷凍機の入口ガスの所定量を試料注入部３に
注入して分析を行なうもので、第２図に分析例を示す。
したがって、従来のガスクロマトグラフによる分析では
、不純物の各成分の濃度は回分的に求められるが、連続
して検出できないという欠点があった。
、不純物の各成分の濃度は回分的に求められるが、連続
して検出できないという欠点があった。
拷
本発明の目的は、ヘリウム液化冷凍撃゛に供給されるヘ
リウムガス中の微量の不純物濃度を連続的に自動検出し
て、不純物の混入による膨張機の損傷、弁、配管の閉塞
や熱交換器の効ホ低下などを防止し、安定した運転を行
なうことができるヘリウム液化冷凍装置の不純物検出方
法を提供することにある。
リウムガス中の微量の不純物濃度を連続的に自動検出し
て、不純物の混入による膨張機の損傷、弁、配管の閉塞
や熱交換器の効ホ低下などを防止し、安定した運転を行
なうことができるヘリウム液化冷凍装置の不純物検出方
法を提供することにある。
本発明は、圧縮機で昇圧された高圧ヘリウムガスをヘリ
ウム液化冷凍機に供給して液化させ□るとともに、ガス
化した低圧ヘリウムガスを圧縮機に戻して循環させるヘ
リウム液化冷凍装置におご１で、ヘリウム液化冷凍機に
供給される高圧ヘリウムガスの一部を高純度のヘリウム
ガスよりなるキャリヤーガスとともに光電離検出器に連
続的に供給してヘリウムガス中の不純物濃度を連続して
検出するようにしたものであろう 〔発明の実施例〕 以下、本発明の一実施例を第３図により説明する。ヘリ
ウム液化冷凍装置は圧縮機２１．ヘリウム液化冷凍機ｎ
、液体ヘリウム貯槽３６．光電離検出器７．エレクトロ
メータ１７．記録計１８．圧力！ＩＩ’！！器１，９．
流量制御器２，１０．試料注入器３１分離カラム５．制
御弁必、 ４６．４９．５０．５１．５２．５３および
ごれら１結ぶ流路より構成されている。
ウム液化冷凍機に供給して液化させ□るとともに、ガス
化した低圧ヘリウムガスを圧縮機に戻して循環させるヘ
リウム液化冷凍装置におご１で、ヘリウム液化冷凍機に
供給される高圧ヘリウムガスの一部を高純度のヘリウム
ガスよりなるキャリヤーガスとともに光電離検出器に連
続的に供給してヘリウムガス中の不純物濃度を連続して
検出するようにしたものであろう 〔発明の実施例〕 以下、本発明の一実施例を第３図により説明する。ヘリ
ウム液化冷凍装置は圧縮機２１．ヘリウム液化冷凍機ｎ
、液体ヘリウム貯槽３６．光電離検出器７．エレクトロ
メータ１７．記録計１８．圧力！ＩＩ’！！器１，９．
流量制御器２，１０．試料注入器３１分離カラム５．制
御弁必、 ４６．４９．５０．５１．５２．５３および
ごれら１結ぶ流路より構成されている。
ヘリウム冷凍機ｎは、保冷槽あ内に熱交換器部。
２４１２５．２６，２７．２８、膨張機３１９羽、ジュ
ールトムソン弁あ、精製器３０．３２．吸着器４等を収
納して構成されている。
ールトムソン弁あ、精製器３０．３２．吸着器４等を収
納して構成されている。
圧縮機２１からの高圧ヘリウムガスは熱交換器ｎ。
冴で圧ｔａ、Ｒ２ｘへ戻る低圧ヘリウムガスや液体窒素
３９で冷却され、一部を制御弁四、精製器（資）を経て
膨張機３１で膨張させ、低温にして熱交換器部で低圧ヘ
リウムで冷却後、精製器ηを通し、膨張ａ３３で低圧ヘ
リウムガスと同じ圧力寸で膨張させ、温度を低下させて
低圧ヘリウムと合流させる。熱交換器部からの残りの高
圧ヘリウムガスは熱交換器２５、２６．２′７．２８で
低圧ヘリウムガスで冷却され、ジュールトムソン弁Ｍで
断熱膨張させて温度を降下させて、一部を液化させる。
３９で冷却され、一部を制御弁四、精製器（資）を経て
膨張機３１で膨張させ、低温にして熱交換器部で低圧ヘ
リウムで冷却後、精製器ηを通し、膨張ａ３３で低圧ヘ
リウムガスと同じ圧力寸で膨張させ、温度を低下させて
低圧ヘリウムと合流させる。熱交換器部からの残りの高
圧ヘリウムガスは熱交換器２５、２６．２′７．２８で
低圧ヘリウムガスで冷却され、ジュールトムソン弁Ｍで
断熱膨張させて温度を降下させて、一部を液化させる。
断熱配管３７を通して液体ヘリウム貯槽３６に送り、低
温のヘリウムガスは断熱配管間で液化冷凍機乙に戻し、
熱交換器部、 ２７．２６．２５．２４．乙と順次、高
圧ヘリウムを冷却して圧縮機２１の吸込側き戻す。吸着
器４３は外套を設は液体窒素４０を流して冷却する。内
部にはモレキュラーシープ５Ａのようにヘリウム中の不
純物を吸着する吸着剤を充填する。
温のヘリウムガスは断熱配管間で液化冷凍機乙に戻し、
熱交換器部、 ２７．２６．２５．２４．乙と順次、高
圧ヘリウムを冷却して圧縮機２１の吸込側き戻す。吸着
器４３は外套を設は液体窒素４０を流して冷却する。内
部にはモレキュラーシープ５Ａのようにヘリウム中の不
純物を吸着する吸着剤を充填する。
ヘリウム液化冷凍装置の運転開始時には、制御弁４５．
４９． ５１．５２を開、制御弁柘、５０を閉とし、
吸着器招で不純物を吸着除去された高純度のヘリウムガ
ス所定量を制御弁５１，５２、配管４７．４４を経て圧
力調整器１．９．流量制御器２．ｌＯで調整して流す。
４９． ５１．５２を開、制御弁柘、５０を閉とし、
吸着器招で不純物を吸着除去された高純度のヘリウムガ
ス所定量を制御弁５１，５２、配管４７．４４を経て圧
力調整器１．９．流量制御器２．ｌＯで調整して流す。
光電離検出器７の放電対極１３と放電陰極１４には電源
１９より８００ｖの直流電圧を印加する。
１９より８００ｖの直流電圧を印加する。
一方、ヘリウム液化冷凍機ｎへの供給ヘリウムガスを配
管４１より制御弁４５を経て試料注入器３より１ ｍｌ
を導入する。なお、この試料注入器３はガス□ クロマトグラフに使用されている公知のガス試料の１
ｍｌ計量管と流路切替え弁を組み合せたものを使用する
。試料ガス１！高純度ヘリウムガスとともに制御弁４９
を通り、分離カラム５を通過する間に各成分に分離され
、光電離検出管７の検出部１１に流入し、コレクター電
極１５で検知され、ガス出口 □１６よ
り放出される。組成に対応した電位はエレクトロメータ
１７で測定され記録計１８で記録する。
管４１より制御弁４５を経て試料注入器３より１ ｍｌ
を導入する。なお、この試料注入器３はガス□ クロマトグラフに使用されている公知のガス試料の１
ｍｌ計量管と流路切替え弁を組み合せたものを使用する
。試料ガス１！高純度ヘリウムガスとともに制御弁４９
を通り、分離カラム５を通過する間に各成分に分離され
、光電離検出管７の検出部１１に流入し、コレクター電
極１５で検知され、ガス出口 □１６よ
り放出される。組成に対応した電位はエレクトロメータ
１７で測定され記録計１８で記録する。
次に、制御弁４５．４９．５１を閉とし、制御弁４６゜
父を開とし、ヘリウム液化冷凍機ηへの供給ヘリウムガ
スを配管４１より制御弁４６．配管４７を経て圧力調整
器ｌ、流量制御器２で所定流儀に調整し、制御弁５０を
経て光Ｔ＠離検出器７の検出部１１に供給し、不純物全
量の濃度を検出する。各不純物の濃度とこの全量の濃度
との関係を確認しておく。運転続行中はこの不純物全＠
濃度検出の状態を持続し、監視を行う。なお、運転１月
こ不純物の各成分濃度を検出する場合は、上述した運転
開始時の状態に各制御弁を戻して検出する。
父を開とし、ヘリウム液化冷凍機ηへの供給ヘリウムガ
スを配管４１より制御弁４６．配管４７を経て圧力調整
器ｌ、流量制御器２で所定流儀に調整し、制御弁５０を
経て光Ｔ＠離検出器７の検出部１１に供給し、不純物全
量の濃度を検出する。各不純物の濃度とこの全量の濃度
との関係を確認しておく。運転続行中はこの不純物全＠
濃度検出の状態を持続し、監視を行う。なお、運転１月
こ不純物の各成分濃度を検出する場合は、上述した運転
開始時の状態に各制御弁を戻して検出する。
本実施例による記録計の結果￥第４図および第５図に示
す。第４図は不純物の窒素および酸素の濃度を分離して
求め、第５図は不純物全量として求めた結果である。な
お、ヘリウム液化冷凍機の運転条件および検出器の操作
条件は次のとおりである。
す。第４図は不純物の窒素および酸素の濃度を分離して
求め、第５図は不純物全量として求めた結果である。な
お、ヘリウム液化冷凍機の運転条件および検出器の操作
条件は次のとおりである。
（１） ヘリウム液化冷凍機運転条件ヘリウムガス供
給ｆｐＬ１２５０ Ｎｍ’／ｈ圧縮機吐出圧力
１６にり／−圧縮機吸込圧力 １．
１に９／へ膨張機流Ｍ ８０ＯＮｍ’
／ｈ液体窒素供給Ｗ： ５６ Ｎ ｍ’
／ ｈ液体ヘリウム生成量 １００ Ｊ／ｈ（２
）検出器操作条件 放電部ガス供給量 ４０１１！／／亀ヘリ
ウムガス流量 ３ｏ−／亀検出器温度
５０’Ｃ放電部印加電圧 直流５ｏ
ｏｖ 分離カラム モレキュラーシープ５Ａ６０／８０
メツシユ、内径３ ＊ｍ Ｘ ２ ｍ本実施例によれば
、運転中は常時ヘリウムガス中の不純物濃度を最小ｌｐ
ｐｍの濃度で検出でき、必要に応じて各成分の濃度も検
出でき、濃度増加時には迅速に運転停止等の処置を講じ
られるという効果がある。
給ｆｐＬ１２５０ Ｎｍ’／ｈ圧縮機吐出圧力
１６にり／−圧縮機吸込圧力 １．
１に９／へ膨張機流Ｍ ８０ＯＮｍ’
／ｈ液体窒素供給Ｗ： ５６ Ｎ ｍ’
／ ｈ液体ヘリウム生成量 １００ Ｊ／ｈ（２
）検出器操作条件 放電部ガス供給量 ４０１１！／／亀ヘリ
ウムガス流量 ３ｏ−／亀検出器温度
５０’Ｃ放電部印加電圧 直流５ｏ
ｏｖ 分離カラム モレキュラーシープ５Ａ６０／８０
メツシユ、内径３ ＊ｍ Ｘ ２ ｍ本実施例によれば
、運転中は常時ヘリウムガス中の不純物濃度を最小ｌｐ
ｐｍの濃度で検出でき、必要に応じて各成分の濃度も検
出でき、濃度増加時には迅速に運転停止等の処置を講じ
られるという効果がある。
試料注入器３および分離カラム５は検出条件を良好にす
るため恒温槽４および６に収納し、室温以上の温度に保
持し操作する場合も有る。なお、第１図に示したガスク
ロマトグラフのキャリヤーガス流路の圧力調整器１およ
び流量制御器２．試料注入部３および分離カラム５とに
バイパス回路および切替え弁を設けても同じ効果を得る
ことができる。
るため恒温槽４および６に収納し、室温以上の温度に保
持し操作する場合も有る。なお、第１図に示したガスク
ロマトグラフのキャリヤーガス流路の圧力調整器１およ
び流量制御器２．試料注入部３および分離カラム５とに
バイパス回路および切替え弁を設けても同じ効果を得る
ことができる。
第３図の実施例では、ヘリウム液化冷凍機内は液化機と
して機能するが、液体ヘリウム貯槽を被冷却体な内蔵す
るクライオスタットと置き換えれば冷凍機となし得るこ
とは周知である。
して機能するが、液体ヘリウム貯槽を被冷却体な内蔵す
るクライオスタットと置き換えれば冷凍機となし得るこ
とは周知である。
高圧ヘリウムガスの冷却に液体窒素を使用しない場合に
は、吸着器荀は保冷槽あの外部に出し液体窒素金満たし
たデユワ−に浸漬することでもよい。
は、吸着器荀は保冷槽あの外部に出し液体窒素金満たし
たデユワ−に浸漬することでもよい。
不純物濃度に異常が発生した場合、これを検知するとと
もにヘリウム液化冷凍機の運転な停止することも可能で
ある。第６図にその実施例を示す。
もにヘリウム液化冷凍機の運転な停止することも可能で
ある。第６図にその実施例を示す。
記録計１８と並列に制御回路ωおよび警報発生装置６１
′ｆ：設け、不純物濃度が設定値１越えた場合、制御回
路０でこれ含検知し、警報を発生すると同時に操作信号
な制御弁四、５３に送り、弁を閉鎖して運転を停止する
。
′ｆ：設け、不純物濃度が設定値１越えた場合、制御回
路０でこれ含検知し、警報を発生すると同時に操作信号
な制御弁四、５３に送り、弁を閉鎖して運転を停止する
。
以上述べたように本発明によれば、ヘリウム液化冷凍装
置のヘリウムガス中の最少１ ｐｐｍの不純物濃度を連
続的に検出できるので液化冷凍機内への不純物の混入を
防止することができ、二のため、不純物の固化による膨
張機の損傷、液化付着あるいは固化析出による熱交換器
の伝熱性能の低下。
置のヘリウムガス中の最少１ ｐｐｍの不純物濃度を連
続的に検出できるので液化冷凍機内への不純物の混入を
防止することができ、二のため、不純物の固化による膨
張機の損傷、液化付着あるいは固化析出による熱交換器
の伝熱性能の低下。
弁あるいは配管の閉塞を防止して液化冷凍機の効率低下
を招くことなく、安定した性能を維持することができる
。また、膨張機の前段に設ける精製器は小型化するか、
高純度のヘリウムガスを得られる場合には省略して、構
成および運転操作を簡単化できるなどの効果がある
を招くことなく、安定した性能を維持することができる
。また、膨張機の前段に設ける精製器は小型化するか、
高純度のヘリウムガスを得られる場合には省略して、構
成および運転操作を簡単化できるなどの効果がある
第１図は光電離検出器を設けたガスクロマトグラフの系
統図、第２図はガスクロマトグラフによる分析例を示す
線図、第３図は本発明の一実施例？示す系統図、第４図
および第５図はヘリウムガス中の不純物の分析結果を示
す線図、第６図は本発明の他の実施例を示す系統図であ
る。 １．９・・・・・・圧力調整器、２．】０・・・・・・
流量制御器。 ３・・・・・・試料注入器、５・・・・・・分離カラム
、７・・・・・・光電離検出器、ｎ・・・・・・ヘリウ
ム液化冷凍機、２９．４５゜４６、４９．５０．５１．
５２．５３・・・・・・制御弁、０・・・・・・吸着３
Ｉ−１図 千２ｍ ｎｔｉ ｎ 来■ １′−ｓ図 Ｅｆｔ Ｆ＆’ｊ ３０ｎｔｉｘ ３
統図、第２図はガスクロマトグラフによる分析例を示す
線図、第３図は本発明の一実施例？示す系統図、第４図
および第５図はヘリウムガス中の不純物の分析結果を示
す線図、第６図は本発明の他の実施例を示す系統図であ
る。 １．９・・・・・・圧力調整器、２．】０・・・・・・
流量制御器。 ３・・・・・・試料注入器、５・・・・・・分離カラム
、７・・・・・・光電離検出器、ｎ・・・・・・ヘリウ
ム液化冷凍機、２９．４５゜４６、４９．５０．５１．
５２．５３・・・・・・制御弁、０・・・・・・吸着３
Ｉ−１図 千２ｍ ｎｔｉ ｎ 来■ １′−ｓ図 Ｅｆｔ Ｆ＆’ｊ ３０ｎｔｉｘ ３
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 圧縮機で昇圧された高圧ヘリウムガスをヘリウム液
化冷凍機に供給して液化させるとともに、ガス化した低
圧ヘリウムガスを圧縮機に戻して循環させるヘリウム液
化冷凍装置において、ヘリウム液化冷凍機に供給される
高圧ヘリウムガスの一部を高純度のヘリウムガスよりな
るキャリヤーガスとともに光電離検出器に連続的に供給
してヘリウムガス中の不純物濃度を検出することを特徴
とするヘリウム液化冷凍装置の不純物検出方法。 ２、ヘリウム液化冷凍機内の高圧ヘリウムガスを吸着器
に通し不純物金除去してキャリヤーガスとした特許請求
の範囲第１項記載のヘリウム冷凍装置の不純物検出方法
。 ３、 ヘリウム液化冷凍機内の高圧ヘリウムガスを吸着
器に通し不純物を除去して光電分離器の放電ガスとした
特許請求の範囲第１項又は第２項記載のヘリウム液化冷
凍装置の不純物検出方法。 ４、ヘリウム液化冷凍機に供給される高圧ヘリウムガス
の一部とキャリヤーガスとを分離カラムを通して光電離
検出器に供給する特許請求の範囲第１項又は第２項又は
第３項記載のヘリウム液化冷凍装置の不純物検出方法。 ５ 光電離検出器で検出された不純物濃度が所定濃度を
超えると警報１？生させる特許請求の範囲第１項又１！
第２項又は第３項又は第４項記載のヘリウム液化冷凍装
置の不純物検出方法。 ６ 光ｉ熱検出器で検出された不純物濃度が所定濃度を
超えるとヘリウム液化冷凍機の運転を停止させる特許請
求の範囲第１項又は第２項又は第３項又は第４項又は第
５項記載のヘリウム液化冷凍装置の不純物検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20940482A JPH0248826B2 (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | Gokuteionreitosochioyobisonontenhoho |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20940482A JPH0248826B2 (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | Gokuteionreitosochioyobisonontenhoho |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59100366A true JPS59100366A (ja) | 1984-06-09 |
| JPH0248826B2 JPH0248826B2 (ja) | 1990-10-26 |
Family
ID=16572324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20940482A Expired - Lifetime JPH0248826B2 (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | Gokuteionreitosochioyobisonontenhoho |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0248826B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023073624A1 (en) * | 2021-11-01 | 2023-05-04 | Edwards Vacuum Llc | Detecting contamination of a cryogenic refrigerant in a cryogenic refrigeration system |
-
1982
- 1982-12-01 JP JP20940482A patent/JPH0248826B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023073624A1 (en) * | 2021-11-01 | 2023-05-04 | Edwards Vacuum Llc | Detecting contamination of a cryogenic refrigerant in a cryogenic refrigeration system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0248826B2 (ja) | 1990-10-26 |
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