JPS62102812A - 吸着器切替え方法 - Google Patents

吸着器切替え方法

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JPS62102812A
JPS62102812A JP60241404A JP24140485A JPS62102812A JP S62102812 A JPS62102812 A JP S62102812A JP 60241404 A JP60241404 A JP 60241404A JP 24140485 A JP24140485 A JP 24140485A JP S62102812 A JPS62102812 A JP S62102812A
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河村　成人
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松本　孝三
Hirotake Kajiwara
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、吸着器切替え方法に係り、特にヘリウム液化
冷凍装置のプロセスラインに設けられた吸着器の切替え
方法に関するものである。
〔発明の背景〕
ヘリウム液化冷凍装Ｊにおいては、系内に極低温になる
部位を有し不純物が存在すれば固化し、装置の性能低下
１機器の損傷を生じるため、不純物の排除が重要である
。不純物の排除には、活性炭を吸着剤として吸着器Ｉこ
充填し液体窒素湯度レベルに吸着器を保持することによ
り吸着を促進する「活性炭低温吸着法」が一般に採用さ
れている。
この方法によれば、ヘリウムガス中の不純物の主成分の
突気（窒素、酸素など）は、活性炭に吸着され、高純度
のヘリウムガスが得られる。不純物を吸着した吸着器は
、加温、減圧することにより不純物を解放し再生さｎる
。再び、低温に保持することにより、不純物の吸着が可
能となる。
吸着器をプロセスガスラインに設ける方式は。
内部吸着式と呼ばれ、閉サイクルで用いられるヘリウム
液化冷凍装置においては有効な方式である。
液化冷凍運転中に、吸着器の再生を行なう必要があろ場
合には、吸着器とバイパスするプロセスラインまたは他
の吸着器を設け、切替えて運転する。
典型的なフローの一例を１１！２図に示す。
ｆＥ２図において、圧縮機１によって圧縮されたヘリウ
ムガスは、熱交換器２において、液体窒素及び低温のヘ
リウムガスと熱交換することによりおよそ液体窒素温度
まで冷却される。冷却されたヘリウムガスは、弁７を介
して吸着器３に導かれ、不純物を吸着除去した後、膨張
機５．６及びＪＴＴｉＯ２被冷却体りに流れ、臥交換器
４．２を経て圧縮機１の吸入仰１に戻る。
ヘリウムガスの純度が十分良く、運転中に吸着器３を再
生する場合は、弁７．弁８を閉じ弁９を開はバイパスラ
インを利用する。一方、弁１３を開は常温のヘリウムガ
スを加湿ライン１４に流し、弁１６を開き真空ポンプ１
７を運転することにより、吸着器３を加温、減圧するこ
とができ吸着剤は再生される。
吸着器３を再びプロセスラインに組み込むには。
弁１３．弁１６を閉じ弁２１を開けることにより、液体
窒素を冷却ライン１５に流し、吸着器３を冷却する必要
がある。吸着器３を十分に冷却した後に、弁７、弁８を
開け、弁９を閉じることにより、吸着器を再びプロセス
ラインに組み込むことができる。
このような装置においては、吸着器をプロセスラインか
ら切り離し、液体窒素により冷却ラインを用いて冷却す
るため、液体窒素温度まで冷却するのに長時間を要し、
再生時間が長くなっていた。
また、冷却時間を縮め吸着器の温度が十分に下がらない
間に切り替えると、一時的にプロセスガスの温度が上昇
してプロセスのバランスをくずすことになり、タービン
人口弁、ＪＴ弁を調整する必要が生じる。
吸着器の容量が小さい場合は、このような問題は顕著で
ないが、容量が大きい場合は、顕著となる。
なお、この種の装Ｗとして関連するものには、例えば、
特開昭５４−１４７１７４号公報がある。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、ヘリウム液化冷凍’ＪＲのプロセスラ
インに設けられた吸着器の再生時間を短縮できると共に
、プロセスのバランスを乱さないで吸着器の切替えを行
うことができる吸着器切替え方法を提供することにある
。
〔発明のＲ要〕
本発明は、ヘリウム液化冷凍装置のプロセスラインに設
けらｎた吸着器の切替え方法において、前記吸着器より
下流の前記プロセスラインの温度を検出し、該検出され
た温度が一定の許容値を越えないように吸着器切替え用
の弁の開度な調節することを特徴とするもので、プロセ
スのバランスを乱さないようにすると共に、吸着器に液
体窒素だけでなくプロセスガスな徐々に増量しながら流
せるようにすることで吸着器の冷却時間を短縮しようと
するものである。
〔発明の実施例〕
ヒートバラノスの本質的諸元の一つである温度な吸着器
より下流のプロセスラインで測定し、その温度が、ある
一定の許容値よりも上昇しないように、吸着器廻りの弁
作動を調節することにより、プロセスのバランスを乱さ
ないで、吸着器の切替えが可能となる。一方、吸着器に
は、液体窒素の冷却ラインだけでなく、プロセスガスも
徐々に増量しながら流せるので、冷却時ａｉｔを縮める
ことが可能である。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
ｆＥ１図において、プロセスガスの流れ及び吸着器３と
バイパスラインを切替えて使用する点は第１図と同様で
ある。即ち、ヘリウムガスの純度が十分良や、運転中に
吸着器３を再生する場合は。
バイパスラインを使用し吸着器３を加温、減圧し再生す
る。その後、液体窒素を冷却ライン１５に流し吸着器３
を冷却し必要に応じてバイパスラインから吸着器３への
切替えを行なう。
本実施例においては、吸着器３出口とバイパスラインと
の合流点よりわずかφこ下流側の点に温度測定点りを設
け、この温度が一定の許容値を越えないように切替え時
に弁７，８．９の開厘を調節する。具体的には、弁７ま
たは弁８の一方の開度を全開にし、他方を測定点乙の温
度が許容値を越えないように、徐々に開けていく。弁７
．弁８が全開になった後、弁９を測定点乙の温度が許容
値を越えないように徐々に閉めていく。弁９が完全に閉
まった時点で切替えが完了する。
弁７．弁８の開操作と、弁９の閉操作を同時に行なって
も良いし、測定点囚の圧力を検知することにより、吸着
器及びパイパスラインのどちらか少なくとも一方が、十
分に開いていることを確認することにより、より確実な
切替えが可能となる。
パイパスラインのかわりに、他の吸着器を設コしたシス
テムにおいても、同様の切替方法は有効である。
また、制御撮器として、マイクロフンビューター等の計
算機、制御器を用いることは、より精密な制御を行なう
ことができる点で有効である。
本実施例によれば、吸着器の再生時間を短縮しプロセス
のバランスを乱さないで、吸着器の切替えを行なうこと
ができる効果がある。
〔発明の効果〕
本発明によｎば１以上説明したよ５＋こ、ｅＲ器の再生
時間を短縮し、プロセスのバランスを乱さないで吸着器
の切替えが行なうことができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明を実施したヘリウム液化冷凍装δの一
例を示すフロー図、第２図は、従来のへリウム液化冷凍
装ｙの一例を示すフロー図である。 ３・・・・・・吸着器、７・・・・・・吸着盤入口弁、
８・・・・・吸ｑ−−−−１Ｘ″イｒ（ス４を 牙２図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １　ヘリウム液化冷凍装置のプロセスラインに設けられ
    た吸着器の切替え方法において、前記吸着器より下流の
    前記プロセスラインの温度を検出し、該検出された温度
    が一定の許容値を越えないように吸着器切替え用の弁の
    開度を調節することを特徴とする吸着器切替え方法。
JP60241404A 1985-10-30 1985-10-30 吸着器切替え方法 Granted JPS62102812A (ja)

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JPS62102812A true JPS62102812A (ja) 1987-05-13
JPS6410252B2 JPS6410252B2 (ja) 1989-02-21

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