JPS5896426A - Mos形論理回路 - Google Patents

Mos形論理回路

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JPS5896426A
JPS5896426A JP56194766A JP19476681A JPS5896426A JP S5896426 A JPS5896426 A JP S5896426A JP 56194766 A JP56194766 A JP 56194766A JP 19476681 A JP19476681 A JP 19476681A JP S5896426 A JPS5896426 A JP S5896426A
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JP
Japan
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transistor
circuit
potential
gate
mos
Prior art date
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JP56194766A
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English (en)
Inventor
Satoshi Konishi
頴 小西
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS5896426A publication Critical patent/JPS5896426A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K19/00Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits
    • H03K19/02Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components
    • H03K19/08Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components using semiconductor devices
    • H03K19/094Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components using semiconductor devices using field-effect transistors
    • H03K19/0944Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components using semiconductor devices using field-effect transistors using MOSFET or insulated gate field-effect transistors, i.e. IGFET
    • H03K19/0948Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components using semiconductor devices using field-effect transistors using MOSFET or insulated gate field-effect transistors, i.e. IGFET using CMOS or complementary insulated gate field-effect transistors

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はMOS )ランジスタ(:よって構成された
MOa形論理回路(二係り、%C二二定位生手段≦二お
ける出力電位な不揮発的(二f史することく;よって論
理の変更な町にととし冗長性を持たせるよう(ニジたM
O8形hj4理卸路C:関する。
従来のMO8形@理回路では、複数信号間の信号伝搬時
間の速度差の設計値と実際C二この回路を41A積圓略
化した場合C二おける値とか異なる時にはその論理関係
を変更する必費が生じることがある。しかしながら従来
ではその一!1lal路を東机する業績回路をいったん
製作し工しまうと、その−[関係な変更するには再び論
理設酊をやり直して新たな集Oi口路を製作しなければ
ならない。このだめさらC二従来ではこのような余分な
手間を1くため(:、回路8計の段階で予め−at史が
必嶽と予想される回路部については論理変更のない1g
l路パターンと論理変更した回路パターンとの2樵類を
用意しておく方法tl′取ったり、論理変更の必要性が
生じる原因となる複数信号間の信号伝搬速度の速曳差(
二対しては論理変更が生じないようC二過剰な信号伝搬
速度余裕を持たせた設計をしたり、あるいは信号伝搬時
間(二過剰な余裕を持たせた設計をしたりしていた。し
かしながら−路が大規模化、?X軸化しさらには回路動
作が為連化する(:伴ない肴、これらの方法ではパター
ン設計が山崩となったり回路の性能を低下させたりする
という不都合が生じる。
この発明は上記のような事情を考慮してなされたもので
、その目的とするところは、電位弗生十設を持ちこの手
段からの出力電位を変更すること(=よって&ti理変
史変更なうという冗長機能を持たせて、騒理f史の1無
に伴なう設計変更あるいは過剰な僅号体搬速曳の余裕や
信号伝搬時間の余裕な付つ過9sJ余裕設計を避けて設
計の簡素化あるいは過剰余裕を除去した適正な設計を行
なうことができるMOa形論場1g1wIを提供するこ
と響二ある。
以下1図面を参照してこの発明の詳細な説明する。この
発H1二係るMO8形wi珈(ロ)路は。
MOS)ランジスタ(=よって構成された通常の論理回
路と、このII#理(ロ)路に追加さ些るM08トラン
ジスタと、この追加されたMOS )ランジスタのゲー
ト(=与えられ、そ、の電位を一曳変災すると、電源を
いったん切っても書び111源を入れると一曳変失した
電位が8境される、舊いかえると、電体な切る前と切っ
たvk再び電源を入れた後とな比較しても電位が変わら
ないという性質を持つ不揮発的な電位を発生する電位発
生手段とがら構成されていて、II1図(II)ないし
くC)および第2図はそれぞれこの電位発生手段の回路
構成図である。このうち第1IM(a)すLr’ L(
C)(: 示f モ(1)ki イftL モ相補形M
O8(C−MO8)構成のものであり、また第21に示
すものはnチャネルのエンハンスメントモードのMO8
)ランジスタおよびディグレンジョンモードのMO8)
ランジスタ からなるkA/D @成のものである。
第111(a)の(ロ)路は、pチャネルのMO8)ラ
ンジスタ1〜7.nチャネルのMO8)ランジスタ8〜
10および不揮発性記憶素子であるpチャネルのMNU
S  )ランジスタ11を備えている。
すなわち、一方電源電位vDD(正極性電位)印加点と
他方電位VSS (アース電位)印加点との間にpチャ
ネルのMO8)ランジメタ1.pチヤネルのMNUS 
 トランジスタ11.pチャ杢ルのMO8)ランジスタ
2およびnチャネルのMO8)ランジスタ8をこの順(
−直列挿入し、MO8)ランジスタ1のゲートをVB8
印加点(二接続して常 。
時オンさせ、またMO8)ランジスタ8のゲートをVD
D印加点に接続して常時オンさせ、 MNO8トランジ
スタ11とMO8)ランジスタ2の両ゲートは共通接続
する。さら1m VDD印加点とVss印加点との間に
pチャネルのMO8)ランジスタ3とnチャネルのMO
8)ランジスタ9とを直列押入するとともに内ゲートを
共通接続してC−MO8インバータノ2を@戚し、この
C−M08インバータJ2の入力端を畳き込み電圧vw
が与えられる入力端子134二接続するとともC二、出
力端を上記MNO8)ランジスタ11とMO8)ランジ
スタ2のゲート共通接続点に接続する。同様C二、VD
D印加点とV8B印加点との間にpチャネルのMO8)
ランジスタ4とnチャネルのMO8トランジスタ10と
を直列挿入するとともC二両ゲートを共通接続してC−
MO8インバータ14を構成し−このC−MO8インバ
ータ140入力端を上記両MO8)う/ジメタ2.8の
直列接続点に接続するととも(二、出力5Ill!を出
力電位v。
を侮るための出力端子15(=接続する。また、VDD
印加点と上記C−MOSインバータ120入力趨との間
(:pチャネルのMO8)ランジスタロを押入し、この
MO8トランジスタ5のゲートをV8H印加点+:@続
して常時オンさせる。そして上記MO8)ランジスタ1
とMNUS  )フンジスタ11との直列接続点と上記
式・力趨子13との間C:pニルチャネル08トランジ
スタ6を押入し、このM08トランジスタ6のゲートは
入力端子ISに接続する。さらに上記MNO8)ランジ
スタ11とMO8)ランジスタ2との直列接続点と上記
入力端子13との間(:pチャネルのMO8トランジス
タ1を挿入し、このMO8)ランジスタrのゲートは入
力端子13に接続する。
上記不揮発性記憶素子であるpチャネルのMNUS )
 ? ンジスタ11は、たとえば!1l−(a)の−r
面図に示すような構成となつ工いる。このMNUS  
)ランジスタ11は、Nmのシリコン半導体基体100
0表面領域C:互いに離間し℃、ソース、ドレインとな
る一対のPgの拡散領域101.1011な形成し、さ
ら(二この一対の拡散領域101,102の関の基体1
00表面上(二Vリコン緻化膜(810,)1osおよ
びVジョン窒化膜(8i3N4) J 04  を積層
形成し、この積層した上C:ボリVリコン膜105tt
形成してゲート電極106を作ることにより構成される
紬1図(alにホす回路において、初期の状−態では、
入力−子is<二は外部からの蕾き込み電圧Vwは与え
られず、MO8)ランジスタ5がオンしているため、こ
の入力端子13の電位AはVDD i;なっている。し
たかつ玉、このとき、C−MU8インバータ12の出力
電位BはVSSである。また、初期の状態ではMN(J
S  トランジスタ11(=は書き込みが行なわれてい
す、しきい値電圧は−VDD  より負の方向(二大き
くなっているため、上記電位BがVSSであるとこのM
N08トランジスタ11はオフしている。また、MO8
)ランジスタ8は常時オンしているため、このとき、M
O8)ランジスタ2.8の直列接続点の電位CはV8g
、したがって出力電位voはVDDとなる。
一万、入力重子13(:絶対値がVDDよりも大きな負
の書き込み電圧Vw を与えると、MO8)ランジスタ
5がオンしていても入力1子13の電位Aは負の大きな
電位となり、MO8)クンジスタロ、7を遍してMNO
S  )ランジスタ11のソース、ドレインに負の大き
な電位が印加される。このとき、C−MO8インバータ
12の出力電位BはVDDであり、MへO8)ランジメ
タ1ノのゲートもVDDとなる。この結末、 MNOS
 )ランジスタIJのソース、ドレインではアバランシ
ニブレークダウンが起って電子、正孔対が発生する。M
NOS トランジスタ11のゲート電位か正であるため
、このとき発生した電子力〕トンネル効果によってIn
J記シリコン敏化膜103とVリコン窒化躾104との
界面にトラップされ、MN(J!  トランジスタ11
のしきい値電圧は正の値となる。そして書き込み電圧v
wを4えなくすると、 MO8)ランジスタ5を通し【
電位AはVDD トナ4J 、す6(me−MO8イン
バー9 JI F)lti力電位BはV88となる。こ
のとき、MNOS  )フンジスタ11のしさいw電圧
は正の臘に後行しているため、電位BかVBB s=な
るとこのMNUSトランジスタ11はオンする。また、
MO8)う/ジメタ2もオンするためベニ電位CはVl
)Dとなり、さらに出力電位■oはVSSとなる・たた
し、このとき、直列接続されたpチャネル側の2個のM
O8)ランジスタ1.2およびMNOS )ランジスタ
11の直列コンダクタンスと11チヤネル側のMO8)
ランジスタ8のコンダクタンスとの比を、次段のC−M
O8インバータ14を反転させることができるように設
定しておく必簀がある・そして書き込みが行なわれない
場合および簀き込みが行なわれた場合(二、電位VDD
をいったん切って再び印加しても、MhO8)ランジス
タ11のしきい値電圧は変化しないので、vwを切る前
の出力電位Vo が保持される。すなわち、VoはVD
Dの遮断動作の前後で不弾発的な変化であるといえる◎
まだ、VoをVBBからVDD(=戻すには、MNOS
 )うyジメタ11 (=紫外縁を照射することによっ
て行なう。すなわち、紫外線を照射することζ2上って
、前−己Vリコン咳化膜103とVリフン窒化膜104
との界面亀;トラップされていた電子は紫外線によって
エネルギーを得て、その界面からトンネル効果1;よっ
て抜は出し基体100の方へ逃けてい(。
この結末、MNOS  )ランジスタ11のしきい値電
圧は再び−Vl)Dよりも負の方間C二人きな初期の値
(:戻るりそしてこの場合、MNOS  )ランジスタ
11は常時オフとなり、Voは再びVDD(”−復帰す
る。
謝1図(b)のU路は、pチャネルのMO8)クンジメ
タ21〜26.nチヤネルのtvos )ランジスタ2
6〜28および不揮発注記tm累子であるpチャネルの
浮遊ゲート形不揮発性素子(FAMO8=浮遊ゲートな
だれ注入fiMO8)ランジスタ)29を備えている。
すなわち、VDD印加点とYes E’E加点との間C
二pチャネルの浮遊ゲートなだれ江大型MO8トランジ
スタ(以F FAMO8と略称する)29.pチャネル
のMO8)ランジスタ21およびnチャネルのMO8)
ランジスタ26 をこのy/1IL(=直列挿入し、M
O8)ランジスタ26のゲートなVDD印加点に接続し
て常時オンさせる・またS vDD印加点とVJ3B印
加点との間にpチャネルのMO8)ランジスタ22とn
チャネルのMO8)ランジスタ27とを直列挿入すると
とも(ニーゲートな共通接続してC−ML)Sインバー
タ30を構成し、このC−MOF3インバータ30の入
力端を誉き込み電圧vWが与えられる入力端子316二
接続するととも1二出力端を上記MO! )ランジスタ
21のゲートC:接続する。同様(二= VDD印加点
とVSS 印加点との関≦二pチャネルのMO8)ラン
ジスタ23とnチャネルのMO8)ランジスタ28とを
直列挿入するとともに両ゲートを共通接続してC−MU
Sインバータ32を構成し、このC−MO8インバータ
32の入力端を上記両MO8)ランジスタ21,26の
直列接続点(二接続するとともに、出力熾を出力電位V
oを得るための出力端子33に接続する。
また、VDD印加点と上記(、’−MOSインバータ3
00Å力熾との関(:pチャネルのMO8)ランジスタ
24を挿入し、このMO8)ランジスタ24のゲートな
■8s印加点に接続して常時オンさせる。
そして上記FAMO8j 9とMOSトランジスタ21
との直列接続点と入力端子31との間C:pニルチャネ
ル(JSトランジスタ25を押入し、このMO8)ラン
ジスタ26のゲートは入力端子31に=接続する・ 上記不揮発性紀憶木子であるFAM08 j 9は、た
とえば第3図(b)の断面−にホすような構成となって
いる。このFAMO829は、flitのVリコ/牛尋
体基体100の表面領域(=互い(=離間して、ソース
、ドレインとなる一対のPgの拡散領域101,102
を形成し、さらC二この一対の拡散領域101,102
の間の基体100表面上ζニゲート絶縁膜を介してポリ
シリコンからなる導電体層107を形成し、この導電体
層107をいずれの電位(二も接続せず(二浮遊状態と
することによって浮遊ゲート電極JOBを作ること6二
より構成される。
第1図(1))に不す回路においτ、初期の状態では、
入力端子31(:は誉き込み電圧vwは与えられず、M
OSトランジスタ24.Ojイオンているため、この入
力端子31の電位AはVIK) (二なっ℃いる口した
がって、このとき、C−MO8インバータ300)出力
電位BはVB2であり、MO8)ランジスタ21はオン
する。ところが初期の状態ではk”AMO8291:は
齋き込みが付なわれていすしきい値電圧が負の大きな値
であるためにオフし、M(JS?ランジスタ21.26
の直列接続点の電位CはVB8、シたがって出力電位v
oはVDDとなる。
一方、入力端子31に杷対稙がVDDよりも大きな負の
書き込み電圧Vwを与えると、MO8)ランジスタ24
がオンしていても入力端子s1の電位人は負の大きな電
位となり、MO8)ランジスタ26を通してi+’AM
O829のドレイン(もしくはソース)1:負の大きな
電位が印加される。
このとき、FAMO8J 9のドレイン(もしくはソー
ス)ではアバランシニブレークタウン(なだれ降伏)が
起って電子、正孔均が発生し、このうちの電子が−■紀
ゲート杷縁換を通って導電体層101にトラップされ、
FAMOaJ#のしきい値電圧が正の値となって常時オ
ン状態となる。
そして書き込み電圧Vwを与えなくすると。
MOSトランジスタ24を通して電位A#1VDDとな
り、さら(二C−M(J8  インバータ30の出力電
位BはVB8となる。このため、M(J8)ランジスタ
21がオンして電位CはVIM)となり、さらに出力電
位VoFiV811となる。たたし、このとき。
直列接続されたpチャネル憫のFAMO8J 9と−M
O8)ランジメタ210直タリコンダクタンスとnチャ
ネル−のMOSトランジスタ26のコンダクタンスとの
比を1次段のC−MO8インバータ32を反転させるこ
とができるように設定しておく必要がある。そして書き
込みが行なわれない場合および書き込みが行なわれた場
合に、電位VIM)をいったん切って再び印加し℃も、
1・、・1(FI7vv108 J 9のしきい値電圧
は変化しないので。
VDDを切る前の出力電位vo が保持される・すなわ
ち、IIp11図(a)の(ロ)路と同様(二、Voは
VDDのの遮断動作の1IJu挾で不揮発的な変化であ
るといえる。
また、VoをV8BからVDDに戻す(=は、1831
@(a) (”−示すMNOS  )ランジスタの場合
と1WJil(二、k’AMJ8 J 9 g’:、 
絡外細を照射すること(二よって行なう・ 第1−(C)の回路は、pチャネルのMO8)ランジメ
タ41.nチヤネルのMO8) 5ンジスタ42−44
およびnチャネルの1+’AMU8 a sを備えてい
る。すなわち、VDD印加率とVss印加点との間にn
チャネルのMO8)フンジスタ42とnチャ4ルのi+
’AMO8d 5とを直列挿入し、MO&トランジスタ
42のゲートをVDD印加点に接続し【常時オンさせる
ととも(=、i”AM08 a 5の制御:ゲートをこ
のlI’AMO845とMO8)ランジスタ42との直
列接続点に接続する。また、書き込み電圧VWが与えら
れる入力端子46と上記FAMO84jの制御ゲートと
の関1:nチャネルのMO8)ランジスタ43を挿入し
、このMO8)ランジスタ4Sのゲートを入力端子46
にm続する・さらにVDD印加点とV88印加点との関
(二pチャネルのMO8)ランジスタ41とnチャネル
f) MO8)ランジスタ44とを直列挿入するととも
に自ゲートを共通接続してC−MOS  インバータ4
1を構成し、このC上値OSインバータ41の入力熾を
上記MO8)ランジスタ42とFAMO845の直列接
続点に接続するととも(−s出力端を出力電位Vo  
を得るための出力端子48嘔二接続する。
上記FAMO845は、たとえば#I3図(C)のl#
m図C二示すような構成となっている。このFAMO8
45は、P型のシリコン半尋体基体200の表面鎖酸に
互いC:離間して、ソース、ドレインとなる6刈のN+
mの拡散領域201.201を形成し、さら(二この一
対の拡散領域20 J 、 2020間の基体200表
面上ζニゲート絶縁膜を介してポリシリコンからなる浮
遊ゲート電極203を形成し、またさら(二この上Cニ
ゲート杷縁換を介してポリシリコンからなる制御ゲート
電極204を形成することにより構成される。
第1図(C) (二不す回路5二おいて、初期の状態で
は、入力1子46ζ二は膏き込み電圧V隻・′は与えら
れない。このとき、MOSトランジスタ42はオンして
い(、MOSトランジスタ42とFAM)845との直
列接続点(k”AM)S  45のゲート接続点でもあ
る)の電位AはvDD4mへ引き上げられる。ところが
初期の状態ではFAMO84sのしきい値電圧は負の値
となり、このll’AMO845もオンして、電位人は
結局V88 It電位となるoしたがってこのとき、出
力電位Vo はVDDとなる。
ただしnチャネルのFAMO84sは、次段のC−MO
Sインバータ47を反転させることかできるよう(:n
チャネルのMO8)ランジスタ42とのコンダクタンス
比を設定しておく必要がある。
一方、入力亀子461:1. Vppよりも大きな正の
書き込み電圧■w′を与えると、MO8)ランジ不り4
3を通して電位AはVDDよりも大きな正の電位となり
、’ k’M&)845のゲートとドレイン(あるいは
ソース)に正の電位が□印加される。
すると前記浮遊ゲート電極203(=電子が注入されそ
してトラップされて、そのしきい値電圧はV圓以上にな
る。次(=書き込み電圧vw′を与えなくすると、k″
AM084 sはオフ状態となって、電位AはVDDs
出力亀位■電位■8sとなる。そしてこの回路の場合に
も5ll)き込みが行なわれない場合および書き込みが
付なわれた場合1:、電位VDDをいったん切って再び
印加しても、IllAML)845のしきい値電圧は変
化しないので、VLIDを切る前の出力電位Vo が保
持される。すなわち、第11w (m) 、 (b)の
回路と同様鴫;、VoはV卯の遮断動作の前後で不揮発
的な変化であるといえる。
またVoをviaからVDD(”−戻すには、1131
1?J(Jl)C:示すMNOS  )ランジスタある
いはjis図(b)に示すFAlv108の場合と同様
(=、紫外線を照射すること(=よって行なう。
#IJ2図の回路は、エンハンスメントモードのMUD
)ランジスタ51〜53、ディプレッションモードのM
O8トランジスタ54およびFAMO856を備えてい
る。すなわち、 VDD印加点とVB8印加点との関に
エンハンスメントモードのMOSトランジスタ51とに
’AMD85 jとを直夕1j神入し、MO8)ランジ
スタ51のゲートをVDD印加点幅=接続して常時オン
させるとともに、FAMO8J J (1)劃−ケ−)
 ヲ、: f) FAMO855トMU8)ランジスタ
51との直列接続点に機銃する。また、書き込み電圧V
W/が与えられる入力亀子56と上記)1A1〜)08
55の制御ゲートとの関ぺ=エンハンスメントモードの
MO8)ランジスタ52を挿入し、このMO8)ランジ
スタロ2のゲートを入力亀子56に接続する。さらにV
m印加点とV88印加点との関CニデイクレVヨンモー
トノMOSトランジスタ54とエンへンスメントモード
のMO8)ランジスタ53とを直列挿入し、MOSトラ
ンジスタ64のゲートをこのMO8)ランジスタロ4と
上記MO8)ランジスタ55の直列接続点(=接続して
W/Dインバータ5rを構成し、このW/Dインバータ
510入力熾であるMO8)ランジスタロ3のゲートは
上記MO8)ランジスタ51とi’AMO86jとの直
夕1j接続点(二接続するとともに、出力端であるMO
8)ランジスタ54.515の直列接続点は出力電位V
oを得るための出方端子58(:接続する。
このように、この回路は前記第1m(C)に示す回路と
比らべて、C−MO8インバータ41がW/D  イン
バータ57に変っただけであり、その動作は第1図(C
)のものと同じである。すなわち、入力端子s e t
: VnDよりも大きな正の書き込み電圧Vwtを与え
ること(:よってVo は不揮発的にVnol#電位と
なり、 )’AMO855に紫外縁な照射することC二
よってVoは不揮発的C二V88貴電位となる@ このようC:第184(a)ないしくC)および躯2図
C:示す電位発生手段では、出力電位■o  の変更は
いずれも不揮発性記憶素子をオン、オフさせることによ
って行なっているため(二、その変更は不揮発性記憶素
子の状態が変わらない限り不揮発的(二保持される。
第4図はソースがVDD印加点に、ドレインがVout
  にそれぞれ接続され信号Vinをゲート、入力とす
る負荷トランジスタであるpチャネルMO8)ランジス
タQ91と、ソースがVlilg  印加点(二〜ドレ
インがVout  4:それぞれ接続され上記信号Vi
nをゲート入力とする駆動トランジスタであるnチャネ
ル間08トランジスタQnlとがら構成されている通常
のC−MO8インバータの構成を示すものであり、その
入力信号Vinζ二町する出力信号Vout  の−理
関係は下記の表1(=示す通りである。
表   1 上記表1(:示すM埋関係を持っC−MO8インバータ
(二この発明を実施したものが第5図ないし第8図(:
示す構成図である。まず@51Nt=、示す実施例のM
O8形論理囲路はMO8)ランジスタQpt、Qn*か
らなる本来のC−MO8インバータにもう1個のnチャ
ネル間08トランジスタQntを追加し、このMO8)
ランジスタのドレインをMO8)ランジスタQn、のソ
ース(=、ソースをV8a印加点にそれぞれ接続するこ
と(=よってMO8)クンジスタQntをQnl  と
直列接続し。
MOSトランジスタQn宜のゲートC:繭記第11m(
a)ないしくC)のうちいずれか、一つの1g回路の出
力電位vo  を与えるよう(=シたものである。
この(ロ)路でハV01J5 VDD Ill t 位
VHノWt t: MO8トランジスタQnl  が常
Cニオン状態となり、したがってこの時の論S!圓保は
下記の* 2 E示すようC二通常のC−MO8インバ
ータと同様(二なる。一方、VoがVuall電位vL
の時C:はMO8)ランジスタQn雪は常にオフ状態と
なり、入力信号VinがLレベルでMO8)ランジスタ
Qptがオンする場合纏:だけ出力信号Vout  は
Hレベルとなり、VinがHレベルの時C:はVout
は高インピーダンス状態となって表2(=示すようにV
outは不足となる。
表      2 #46図は上記実施例の変形例を示すものである。上記
実施例ではC−MUSインバータの・nチャネルMO8
)ランジスタQnt t=直列にVo  をゲート入力
とするnチャネルMO8)ランジスタを接続したが、こ
こではpチャネルMO8)クンジスタQptのソースと
VDD印加点との関C:pチャネルMO8)ランジスタ
Qptのドレイン、ソース間を追加挿入し、このMO8
)ランジスタQptのゲート(:前記第1図(a)ない
しくC)のうちいずれか一つの(9)路の出力電位■o
 を与えるよう≦ニしたものである。
この回路ではVoがVLの時にMO8)ランジスタQl
)tが常1:オン状態となり、したがってこの時の論理
関係は下記の表3に示すように通常のC−MO8インバ
ータと同様になる。一方、V。
がVHの時(二はMO8トランジスタQp2は常にオフ
状態となり、入力信号VinがHレベルでMOBトラン
ジスタQnt  かオンする場合1二たけ出力信号Vo
utはLレベルとなり、 VinがLレベルの時(:は
Vout  は篇インピーダンス状態となって表3(二
示”rようにVoutは不定となる0表   3 第7図および第8図はそれぞれ上記夾施例の他の変形例
を示すものであり、上記表2、表3中の不足状態をなく
すようにしたものである。
すなわち、第7図に示すものは[5図の実施例と同II
(二nチャネルMO8)ランジスタQnmを追加すると
共1−sVno印加点とVoutとの間にpチャネル間
08トランジスタQpsのソース、ドレイン間を挿入し
、上記MO8)クンジスタQnt eQpsのゲート(
二前記第1凶(a)ないしくC)のうちいずれか一つの
回路の出力電位■oを並列的(=与えるようにしたもの
であるやそしてこの回路じおいて■oがVHの時(=は
へ10SトランジスタQnvはオン、 Nir? )ラ
ンジスタQpaはオフとなって通常のC−MOS イン
バータと同様の論理動作を行なう。一方、■oが■Lの
時、MOS)クンジスタQn!がオフとなるためVou
tから■8Bへの11[経路は常に遮断され、またMO
S )ランジスタQpjがオンとなるためVDDからV
out  への・−流経路は常に導通状態1:ある。こ
の給米、この回路の論理は上記の表4のよう(二なる。
表   4 また第8図Cニホすものは第6図の実施例と同様(二p
チャネルMO8)ランジスタQptを追加すると共に、
VoutとV811印加点との間(二nチャネルM08
トランジスタQnsのドレイン、ソース間を挿入し、上
記MO8)クンジスタQl)t e Qns のゲート
に前記wJ1図(a)ないしくC)のうちいずれか一つ
の回路の出力電位Vo  を並列的(:与えるようC二
したものであり、この回路の論理は下記のtjc5のよ
うになる。
表   5 次に二つ以上の入力を持つ論理回j13にこの発明を実
施した例を1明する。第9図はVDD印加点とVout
  との間蚤:入力伽号Vin、 、 Vinlを各ゲ
ート入力とする2個のpチャネルMU8)ランジスタQ
pa * Ql’s  それぞれのソース、ドレイン間
を並列挿入し、かつVoutとV811印加点との間(
二上記信号Vin、 、 V inkを各ゲート入力と
する2個のnチャネルMO8)ランジスタQ”4 e 
Q”sのドレイン、ソース間を直列挿入すること(=よ
って構成した通常の2人力C−MOS NAND 回路
であり。
その論理を下記の表6(=示す。
表   6 上記2人力C−MO8NAND(ロ)路(二この発明を
実施したものが第10図C:示す構成図のものである。
この実施例回路はMOS)ランジメタ99審のソースと
VDD印加点との間にもう1個のpチャネルMO8)ラ
ンジスタQp・のドレイン、ソース間を直列挿入し、こ
の直列挿入されたMOS)ランジスタQp−のゲートC
二前記第1図(a)ないしくC)のうちいずれか一つの
(ロ)路の出力電位Vo を与えるようC二したもので
ある。
この回路ではVoがVLの時+: M(J8 )ランジ
スタQpaは常にオンしているため’ VDDからMO
Sトラ/ジスタQp・eQI)sを経由してVout 
 (二至る電流経路はMOS )ランジスタQpsのオ
ン、オフによって決定され、この時の論理関係は上記の
表7(:不すように通常の2人力C−MO8NANI)
回路と同様−二なる。一方、■ob1VHIy)時(=
はMO8トランジスタQpsは冨6ニオフしているため
、M08トランジスタQ94がオフしてSりかつMO8
トランジスタQpsがオンしている場合、すなわち、V
sn、=Hv ベル、Vinl= L L/ ベルの場
合(:はVDDからVout  への電流経路は遮断さ
れ、しかもV811からVoutへの1!1訛鮭路も運
耐状態≦二ありVoutは^インピーダンス状態となっ
てs Voutは表7(:表すように不定状態となる。
表   7 第11図は上記第10図に示す実施例の変形例を示すも
のであり、上記*m例回路の論理の不定状la1になく
すようにしたものである。すなわち、上記MO8)クン
ジスタQp、を挿入すると共にざらl:MOS)ランジ
スタQn4のソースと■88印加点との間ζ=nチャネ
ルMO8)ランジスタQn・のドレイン、ソース間を挿
入し、このMOS )ランジスタQn・のゲート(−も
Voを与えるよう(ニしたものである。
この−路ではvoD3VLの時(二はMOS )ランジ
スタQn−は゛常Cニオフし、 MOS )う/ジスタ
Qp・は常にオンしているため、この時の鯖、fj!関
係は下記の表8(=不すよう(−通常の2人力C−MO
8NANI) 祠路と同様になる。一方、VoがVHの
時(=はMOS )ランジスタQn@は常(ニオンして
いるため、 Vin、がHレベルとなりMOS)クンジ
スタQn+がオンすればVoutからVSSの電流経路
が生じ、またMOS )ランジスタQpsは常にオフに
なるため、 Vin、がLレベルとなりMOS)ランジ
スタQpwb’オンしてもVDDからVouiへの電流
経路が生じることはない。したがって、この時の論理は
表8のようになる。
表   8 第12図はこの発明を2人力C−yh08 NOR園路
1実施した場合の構成−である。この実施例回路はpチ
ャネルMU8 )ランジスタQpq * Qpmおよび
nチャネルMOS )ランジスタQ”? I Q”・か
らなる通常のNOI’L(ロ)路の、MOS)ランジス
タQn・のソースとVs8印加点との関t: V□  
をゲート入力するnチャネルMOS )ランジスタQn
sのドレイン、ソース間を挿入するようζ二したもので
あり、この回路ではVoがVHの時にはM08トランジ
スタQneは常(ニオンし、V”t * V”* C灼
’f 6Vout  cD@珊−係は下記の轡9番;示
すように通常の2人力C−MUS NOR1g回路と同
様であるー−方勤VoがvLQ時にはM(J8 )ラン
ジスタQn・が常にオフとなるため、 MOB )クン
ジスタQnyがオフしておりかつMU8 )ランジスタ
Qnsかオンしている場合、すなわち、Vin、=Lレ
ベル、Vin、= )lレベルの場合でにVoutから
VBgへの電流経路は連断され、しかもvDDからVo
utへの電流経路も連断状態にありVout  は^イ
ンピーダンス状態となって、 Vout  はml二示
すよう1:不定状態となる。
表   9 51113図は上記#!12図の実施例の変形例を示す
ものであり、上記実施例回路の一塊の不定状態をなくす
ようcニジたものである。すなわち、上記MO8)ラン
ジスタQn・を押入すると共ζ二さらにM08トランジ
スタQpsのソースとVDD印加点との間(二pチャ率
ルMO8)ランジスタQp・のドレイン、ソース間を挿
入し、このMU8 )ランジスタQl)sのゲートにも
Voを与えるようにシたものであり、VoがVL17)
#fl二はMU8 )クンジスタQp・が常(ニオンす
るため、 Vin、がLレベルとなりMU8 )ランジ
スタQpaがオンすれはVwからVout  への11
流経路が導通状態C二なり、またMU8 )ランジスタ
Qn@は常にオフし、Vin宜がHレベルとなりMU8
 )ランジスタQnsがオンしてもVoutからVaS
への電流経路は都連状態(=なることはない。したかっ
て、この回路しおける論理は下記の表1Oのようになる
#114因はこの発明なC−MO8O)t  型遅延回
路C:夾施した場合の構成図である。この実施例回路は
、負荷トランジスタとなり、ンース、ドレイン間がVD
D印加点とノードN、との関(;挿入されかつゲートが
VJlBに接続されたpチャネルMoSトランジスタQ
p1゜および1IIA動トランジスタとなリドレイン、
ソース間が上記ノードN1とvsg印加点との間(=並
列挿入されゲートi二人力信号Vin1. Viny 
、 V in、それぞれが与えられる3個のnチャネル
MOSトランジスタQnto @Qrlll IQnt
t、上記ノードN、の信号な反転して出力信qVout
を優るC −MU 8インバータ11とからなる通常の
C−MO80R戯遅延回路の、MU8  )ランジスタ
QnxtのソースとVss印加点との闇t:V。
をゲート入力とするnチャネルM08トランジスタQn
tm  のドレイン、ソース間を押入するよう区;した
ものである。
この(ロ)路ではVoが■Hの時には、 MU8 )ラ
ンジスタQnti  は當(:オンしているため(:V
inl。
Vine 、 Vin、のいずれか一つでもHレベル6
二なれば、出力信gVout  は所定時間遅れてHレ
ベルになり、3人力のOR型遅延回路として動作する。
ただし3個のnチャネルMO8トランジスタQnto 
* Q”tt e Q’ 1tのうちのいずれかがオン
し℃も、インバータllン反転させる駆動能力を持つよ
うC二31−の各nチャネルM(J8 )ランジスタQ
”IOI Q”■/)、−:J ンタク9 ンスオヨヒ
MO8) ランジスタQ’lxtとQn、、の直列コン
ダクタンスとpチャネルMO8)クンジスタQl)1・
 のコンダクタンスとの比を予め設尾しておく必要があ
る。一方、vOカvL(F)時1=tkMO8) ラフ
9ス9 Qnls  カtフし、このMU8)う/ジス
タQnss (:[判接続されているMU8)ランジス
タQn11  のゲート人力Vine  4:はどのよ
うな信号が入力し℃もノードN、(=は何ら影響を与え
ないため、この場合にはVin、とVin、 の2人力
00)1型遅延回路、として動作する。この上う(:こ
の東施例回路は、vo の電位ζ二よつ″′c3人力あ
るいは2人力の01(、fi遅−回路という二擁類の論
理を持つ回路となる。
第15図はこの発明をC−MO8ANDffi遅延回路
(=実施した場合の構成図である・このl!施例1&!
INは、負荷トランジスタとなリドレイン、ソース間が
ノードN、とvia印加点との聞(:挿入されかつゲー
トかVDDに接続されたnチャネルM08 ?ランジス
タQ”sa  および駆動トランジスタとなりソース、
ドレイン間がVDD印加点と上記ノードN!との間(二
並タリ挿入されゲート(二人力信号Vin、 、 Vi
nl、Vln、それぞれが与えられる31幽のpチャネ
ルMO8)ランジスタQp It e Qp 11 e
Qp 1い上記ノードN、の信号を反転し1出力信号V
outを得るC−MO8インバータ11とからなる通常
のC−M2S AND型遅延回路の、MOB)ランジス
タQl)+jのソースとVDD印加点との関t: V□
をゲート入力とするpチャネルMO8)ランジスタQp
I4  のドレイン、ソース間を押入するようC二した
ものである。
この(2)路ではvoがvLの時i二は、MOB)ラン
ジスタQP14  は常iニオンしているため6:Vi
n、 。
Vtn1. Vin3のいずれか一つでもLレベル4:
なれば出力信号Vout  はLレベルとなる。たたし
3個のpチャネルMO8)クンジスタQpt+ −Qp
t雪。
Qp*sのうちのいずれかがオンしても、インバータl
!を反転さセる駆IIJJ能力な袴つよう(二3個の6
pチャネルMUS )ランジスタQpt+ * Qp1
!のコンダクタンスおよびM08トランジスタQl)n
とQpt+  の直タリコンダクタンスとnチャネルM
O8トランジスタQ”xa  のコンダクタンスとの比
を予め設定しておく必要がある。一方、■o2!11V
Hの時にはMob )ランジスタQl)ta  がオフ
し、このMUD トランジスタQp14  に直列接続
されているM(J8 )ランジスタQptmのゲート人
力Vin3 にはどのような信号が入力してもノードN
、cは何らV/11を与えないため、この場合C二はV
in。
とVine  の2人力のAND a!I )II! 
m回路として動作する。このようにこの冥抛例回路は、
vo  の電位嘔:よって3人力あるいは2人力のAN
Dffl遅延回路という二樵類の@理を持つ回路と、な
る。
第16図はこの発明なC−MOB 排他的一層相(hx
clusive U R)  回路(二要冷した場合の
構成図である。このl!施例1路は、負荷トランジスタ
となりソース、ドレイン間がVLID印加点とノードN
、との間に挿入されかつゲートかVUiに接続されたp
チャネルMO8)ランジスタQp1い駆動トランジスタ
となり上記ノードN、とVsB印加点との間(二谷ドレ
イン、ソース間が直列挿入されゲート(=入力01号V
in、 、 Vin2. Vinsそれ埴れが与えられ
る3輌のnチャネルM(JSトランジスタQnu * 
Q’ >・5Qnt]1同様≦二駆動トランジスタとな
り上記ノードN、とM8S  印加点との間に各トレイ
ン、ソース間が直列挿入されゲートに3個の各C−M0
8インバータ1.〜l、を介して上記入力信号Vin、
 @ Vine e Villmそれぞれが与えられる
31161のnチャネルMO8)ランジスタQnH+Q
’te+Qntoおよび上記ノードNsの信号を反転し
て出力信%1Voutを得るC−MOB イ:y バー
 y I。
からなる通常のC−MOB 排他的m層相Igl路の。
縞〕8トランジスタQn18のソースとVJ1S印加点
とf)ftJにvo  をゲート人力とするnチャ羊ル
MO8トランジスタQntt  のドレイン、ソース間
ヲ挿入すると共にMUS )ランジスタQnl のソー
スとVBB印加点との間(二Vo  をゲート入力とす
るもう1個のnチャネルMO8)ランジスタQnoのド
レイン、ソース間を押入するよう(ニしたものである。
そしてこの回路は、voがVLの##fl二MO8)ラ
ンジスタQn11.Qn□は冨(ニオブとなるため3人
力の排他的@層相■路として動作し、−万、V。
bs Vn )時(:)t M2S ) ランジスタQ
n !l @ Qn 1!は常(ニオンとなるために入
力信号Vine  は動作と無関係C二なり、この場合
にt12人力の排他的論理和回路として動作する。
817図はC−MOB NOR回路とC−M2S NA
Ni)回路間の変更をaJ能とする回路C:この発明な
要冷した場合の構成図である◎ この実施回路は= VDD印加点とVoutとの関1;
入カイに号Vjn、 、 Vin、を谷ゲート入力とす
る2個のpチャネルMO8)ランジスタQp>a e 
Qpsvそれぞれのソース、ドレイン間および入力信号
Vin、。
前記第fi1m(a)ないしくC)のうちいずれか一つ
の刷路の出力電位Vo 1に谷ゲート入力とする2gA
のpチャネルMO8)ランジスタQpu @ (Jl)
意・それぞれのソース、ドレイン間を直列挿入し、pチ
ャネルN10SトランジスタQpt・のソースとVDD
印加点との間(ユpチャネルMO8)ランジスタQp+
sのドレイン、ソース間を挿入しかつこのMOS )ラ
ンジスタQpuのゲーH:V04を与え、さらC:V8
a印加点とVoutとの間区二人カー′@号Vin、。
Vine  を谷ゲート入力とする2個のnチャネルh
M)8 )ランジスタQn ts * Qn 2番それ
ぞれのソース、ドレイン間および入力信号■tn * 
VOを各ゲート入力とする2個のnチャネル間08トラ
ンジスタ中、・、中1それぞれのソース、ドレイン間を
直列押入し、nチャネルMO8)ランジスタ中宜3のソ
ースとVDD印加点との閲(=nチャネルMO8トラン
ジスタQntgのドレイン、ソース間を挿入しかつこの
MOI トランジスタQnu  のゲート≦;Voを与
えるようC二したものである。
この回路ではVoがvLの時C二はnチャンネルMO8
)ランジスタQn*iとQntテはvjにオフしている
ため%VoutからVO5への亀a経路は入力信号Vi
n1. Vin!  を各ゲート入力とする21−のn
チャ/隼ルMO8)ランジスタQn□eQnt4の直列
回路により形成され、一方、pチャンネルMOB トラ
ンジスタQptaとQpt。は常にオンしているため、
 voutからV[X)  への電流経路は入力11!
゛号Vjn1. Vin鵞を各ゲート入力とする2個の
pチャンネル間08トランジスタQprs e Qp 
1Gを介して並列的(:形成され、通常の(、ニーMO
8NANI)回路と同様砿:動作する。一方、voがV
klの時にはnチャンネルMO8)ランジスタQnzs
とQnlマは常にオンしているため、Voutからvs
B  への電流経路は入力信号Vin、 、 Vinl
を各ゲート入力とする2個のnチャンネルMO8)ラン
ジスタQn*5eQn t−を介して並列的C二形成さ
れ、−力、pチャンネルMO8)フンジスタQp1.と
Qpto は常C二オフしているためs Voutから
VDD  への電流経路は入力信号Vムn1.看n!を
各ゲート入力とする21幽のpチャンネル間08トクン
ジスタ(J)+asQp 1丁の直列U路≦二より形成
され、通常のC−MO8NO)I(9)路と同様に動作
する・したかつてこの回路ハVoの電位(二上って下記
の表11(=示すよう3ニニ樵類の論1関係を持つこと
になる。
表  11 以上説明した各実施例およびその変形例はいずれもC−
MO8419造のものであるか、久ζ二この発明をディ
プレッションモードのM08トランジスタな[4)ラン
ジスタに用いかつ工ンノ1ンスモードのMOS)ランジ
スタを駆動トランジスター二剤いたいわゆるW/D  
構造のMOS形−理回路に実施した場合の例を説明する
第18図ないし第23図はそれぞれこの発明をE/D榊
造の1li108 形−理薗路に実施した場合の構成図
である。
第18図の実施例回路は、貴信トランジスタとなりソー
ス1ドレイン間がVDD印加点とVoutとの間(=押
入されかつゲートがVout  i:接続されたデイグ
レクンヨンモード(以上り形と略称する)のMOS )
ランジスタQpuと、駆動トランジスタとなりソース、
ドレイン間がVSS印加点とVoutとの関(=押入さ
れかつゲートニ入力信号Vinが4えられるエンへンス
メントモード(以下E形と略称する)のMOS)ランジ
スタQllとからなる通常のhi/D形インバータの、
MOS)ランジスタQ”1のソースと■88印加点との
間にもう1個のE形のMOS)ランジスタQltのドレ
イン、ソース間を挿入し、かつこのMOS)ランジスタ
QKmのゲートに前記第2図1gl路の出力電位Vo 
 を与えるようにしたものである。
この回路ではVoがvHの時(二はMO8トランジスタ
Q−は常(:オンとなり、ここでVinがHレベル(:
なるとMOS )ランジスタQE、がオンするため、V
outはMO8トランジスタQicteQI!tの直列
コンダクタンスとM08トランジスタQDIのコンダク
タンスとの比で決定される低電圧レベルすなわちLレベ
ルとなり、他力、 VinがLレベル(:なるとvO8
)ランジスタQE1はオフとなってVoutはhレベル
となる。一方、voがvLの時にはvO8)ランジスタ
Q1mは當にオフとなるた(:はM(J8 トランジス
タQltは常にオフとなるため(二VoutはVinに
よらず常(二Hレベルとなる。
したがってこの回路はVo の電位によって下記の表1
2(:不すように二櫨−の論理関係を持つこと(=なる
表  12 第19−は上記実施例の変形例であり、上記M08トラ
ンジスタQrtをVoutとVss印加点との間ζ二挿
入するようイニしたものである。
この回路ではvOがVHの時ζ;はM08トランジスタ
QIE冨は常(;オンとなり、VoutはVinl二か
かわらずLレベルとなり、また■0がVLの#ζ二はv
O8)ランジスタQKxはオフとなるため(二Vout
はVin(二よって医められる・したがってこの回路は
■0の電位によって下記の表13響;示すように二種類
の論理関係を持つことになる・表  13 第20−は上記#I、17図の実施例回路の他の変形例
であり、上記MOB )ランジスタQNtをQg14=
刈して直列区=挿入すると共にD形のMOSトランジス
タQDIのソースとVDD印加点との間口り形のM(J
S )クンジスタQDtのドレイ/、ソース間を仲人し
、両MUS )ランジスタQh。
QD2のゲートC二電位Vo’を与えるようにしたもの
である。なおこの電位Vo’の憾はE形のMO8トラン
ジスタ(JJtのしきい値よりも大きな値VH’かD形
のM(l )クンジスタQD鵞のしきい値よりも小さな
[L VL’のいずれか一方6;設定されるOこの回路
(=おいてVo’がVn’の時I:はvO8)ランジス
タQ”* e QDt  が共にオンするため、通常の
W/D形インバータと同様(=動作する。一方、Vo’
 t)’ V L ’ f) 時i二ハMO8) ラフ
 t’ ス9 Q”* eQD tが共Cニオフするた
め、VoutとvDDおよびVssそれぞれの電流経路
は遮断されてVoutは高インピーダンス状態となり、
Vout  のレベルは不定となる。したがって、この
(ロ)路はVo’の電位によって下記の表14に示すよ
うC;二III類め論理関係を持つことC二なる。
表   14 第21−はこの発明なhi/l)形へAND回路に実施
した場合の構成図である。このvI!施−回路は、負荷
トランジスタとなりソース、ドレイン間がVDD印加点
とVoutとの間に仲人されかつゲートがVout (
二接続されたD形のM08トランジスタQDjと、駆動
トランジスタとなり谷ドレイン、ソース間がVoutと
VaS印加点との間(−11列挿入されかつゲートC二
人力信号Vin、 、 Vineそれぞれが与えられる
2個のE形のvO8)ランジスタQ”s * Q”4と
からなる通常のblD形へANIM路の。
MIJ8 )ランジスタQlsのソースと’/asf:
4J加点と゛の間にE形のvO8トランジスタQEsの
ドレイン、ソース間を押入しかつこのMUS)ランジス
タQiwのゲートC二前記第2図(9)路の出力電位■
を与えるようにしたものである。
このような回路において、voがvLの時にはbADs
 )ランジスタQisは常にオフとなり、VinlとV
in、が同時にl(レベルとなる時にのみVoutがL
レベル(二なるという通常のNANL) 1lla回路
として動作する。−力、voかVHの#f≦=はM(J
8 )ランジスタQlsは常にオンとなり、この場合、
VoutはVineとは無関係となり、Vin、  (
:対して単なるインバータとして動作する◎したがって
、この回路はvoの電位によって下記の表15に示すよ
う!二二樵類の@理関係を持つことになる。
表  15 #I22図はこの発明をに/i)形NO凡回路に実施し
た場合の構成図である。この実施例(ロ)路は、負荷ト
ランジスタとなりソース、ドレイン間がVDD印加点と
Voutとの間に挿入されかつゲートがVout (:
接続されたD形のMOS  )ランジスタQD4と、動
態トランジスタとなり各ドレイン、ソース間がVout
とV8S  印加点との間C二並列挿入されかつゲート
C二人力伯gVtn、 、Vin、それぞれが与えられ
る2個のE形のMtJ8)ランジスタQj1.−IQ”
Tとからなる通常のE/l)形へOR回路の、MOS 
トランジスタQivのソースとV88印加点とノ間−二
E形のMOS )ランジスタQj8.のドレイン、ソー
ス間を押入し、かつこのMOS)クンジスタQEIのゲ
ート(二前記石2図回路の出力電位v。
を与えるようにしたものである。
このような回路において、VoがVH’GF)すMO8
トランジスタQlsがオンしている時には、この回路は
通常のNo)1回路として動作する。ただし2個のM0
8トランジスタQic、 e Qls が直列接続され
ているのでs VlnlがhレベルでMOS ) ラン
ジスタQivマがオンしている時にVoutをVss1
411電圧レベルまで引き洛すことができるようにMO
8トランジスタQ”? * QEs  の直列コンダク
タンスとMOS )クンジスタQD4のコンダクタンス
との比を設足する必要がある。一方、voがVLであり
MOB )クンジスタQ1mがオフしている時には、V
outはV inlとは無関係にVinl(=よって定
まりしかモVin、がhレベル、Lレベルの時t: ハ
VoutはLレベル、Hレベルとなり、この回路は単な
るインバータとして動作する・したがって、この回路は
voの電位(二よって下記の表16に示すように二1a
類σ、)l!1iii理関係を待つこと(:なる。
表  16 第23図はこの発fJAをmlD形併他的一層相回路C
:賽施した場合の構成図である。この実施り回路は、負
荷トランジスタとなりソース、ドレイン間がVDD印加
点とノードへ、との関ベニ挿入されかつゲートかノード
N4<=接続されたD形のMOS )ランジスタQDs
s駆動トランジスタとなり上記ノードN4とV88印加
点との間(二谷ドレイン、ソース間が直列押入されゲー
トに入力偵号V inl、 Vine 、 Vineそ
れぞれが与えられる3個のE形のMOS )ランジスタ
QE・5QjcxosQEtt、同様(=駆動トランジ
スタとなり上記ノードN4とV88印加点との間C:谷
ドレイン、ソース間が直列挿入されゲート(=311の
谷hi/L)形インノ(−タli〜l・を介して上記人
力信号Vin1. Vinl 。
Vineそれぞれが与えられる3情のE形のMOS )
ランジスタQ” 1t * QE、s * Q” 14
および上記ノードN、の悟号を反転して出力信号Vou
t  な帰るに、lD 形(ンバータ110からなる通
常−03人力hi/L)形排他的論理和回路の、MOS
)ランジスタQi 1゜のソースとV88印加点との関
C二E形のMO8トランジスタQ”nのドレイン、ソー
ス間を挿入すると共にMOS トランジスタQE+s 
 のソースとV88印加点との関(二もう1個のE形の
MOS トランジスタQNt・のドレイン、ソース間な
挿入しかつ両MO8トランジスタQKu * Q”l’
taのゲートC:前記第2図(ロ)路の出力電位■o 
 を与えるよう(=シたものである。
この回路(二゛おいて、VoかVLでありMOS)ラン
ジスタQiCss e Ql +sが共にオフしている
時には、Vanl、 Viny 、 Vin、がすべて
HvレベルるいはLレベルの時にVoutはHレベルと
なり、この場合C二は通常の3人力排他的Fa堆和回路
として動作する。ただしそれぞれ3個直タリ接続された
MO8トランジスタQgs〜QE1番あるいはQgt宜
〜Q114 のうち一方のすべ℃がオンする場合には、
インバータ110を反転させるζ二十分な駆動能加持つ
ように3個のE形のMOS )ランジスタの直列コンダ
クタンスとD形のMOS)ランジスタQDsのコンダク
タンスとの比を予め設定し℃おく必要がある。一方、V
oがVHでありMO8トランジスタQICts s Q
jCl−が共にオンしている時には信号V inkは動
作とは無関係になり、この場合(:はVjn、とVin
l  の2人力の排他的@均相回路として動作する。
第24図はEZD形N0Ru路とhi/D形NANL)
1&ilj!の間の変更を可能とする回路C二この発明
を実施した場合の構成図である。
この1llli例回路は、負値トランジスタとなりソー
ス、ドレイン間がVDD印加点とVoutどの間に挿入
されかつゲートがVout  C:接続されたD形のM
OS )ランジスタQDsと、駆動トランジスタとなり
谷ドレイン、ソース間がVoutとVgS印加点との間
に直夕1j挿入され、かつゲートに入力信号Vin、 
、 Vineそれぞれが与えられる2個のE形のMOS
 )ランジスタQ”tマ*QEisならび響:ゲートに
入力信号Vine、前記wJ2図(9)路の出力電位v
oそれぞれが与えられる2個のE形MO8)ランジスタ
QE!。*Qzt+とからなる1lllil路の、MO
S )ランジスタQlsyのソースとVSa印加点との
間(二E形のMOS )ランジスタQ”t。のドレイン
、ソース問え押入しかつこのM08トランジスタQE*
sのゲー) VOを与えるようにした゛ものである。
このようなL121w1において、■0がvLの時(:
はMOS トランジスタQWl・とQhl とは常にオ
フとなり、Vin、とVin、が同時にhレベルとなる
時のみMOS ?ランジスタQ”uと見Ill の直列
回路を介し′(VoutがLレベル(二なるという通常
のNANI) IEJ路と同Ikに動作する〇一方tV
oがVHの時にはMOS )ランジスタQE1・ は常
(=オンとなりQJxaのオン、オフはVout  に
は無関係となり、VinlもしくはVin2  のどち
らか一方がHレベルであれは、MOS )ランジスタQ
’stとQE■の直列1回路もしくはMOS トランジ
スタQE、。とQEtsの直列回路を介して〜out 
 がLレベルになるという通常のN0I(回路と同様【
二動作する。したがってこの回wlIはVoの電位(:
よって下記の表12にホ1ように二種類の論理関係を持
つこと(二なるO 表    12 このようC:上記%実施例およびその変形例のMUS形
論filla1M)t、vOアルイハVO′の電位(=
応じて二種類の論理囲体を狩りことになる。したがって
、まず過剰余裕をつけずかつS!理変変更ない(ロ)路
を予め構成しておき、この(9)路(二よって全体tg
Jw1がうまく動作すれは過剰余裕のない適正な(ロ)
路が構成されたこと(二なり、またもしこの1g1j!
!では十分な回路動作が慢られない場合≦;は前記謝1
図(a)ないしくC)あるいは第2−回路の各入力端子
13.31.46.56に書き込み電圧Vw 、 VW
’を与えて■0あるいはVO2の電位を変更し、この電
位がゲートc:与えられているMOS トランジスタを
オフあるいはオンさせること6;よって論理を変更させ
て回路全体をうまく動作させるようにすることができる
。すなわち。
二樵類の#a理量関係遺べるようC二すること(二上っ
て、−理変良に伴なう回路パターン81′を変更が回避
できしかも過剰余裕を除去した適止な設計を行なうこと
かできる◎ しかもこの発明のMOa形論理回路の電位発生手段では
、フユーズ素子等を溶断して出方電位Vo  k変更す
るわけではないので、一度変更した電位を再び元区二復
帰させることができ、したかって、IP!l路動作のi
Ik過条件を試行錯糾して深すことができ、フェーズ素
子等を溶断して出方電位vo を決める方法にくらべて
はるか嘔:容易6二最遍条件を陳すことが可能となる◎
なお、この発明は上記した実施例に限定されるものでは
なく、たとえば第3図(a)に示すMNOSトランジス
タ11のシリコン窒化膜1040代りにアルミナ膜(A
jtOsンを用いてもよく、さらζ;はチタン絨ビスマ
ス農(Bt、 TtlOH)のようなInIvj電停躾
を用いてもよい、またさらi二はシリコン誠化膜103
とVリコン麓化膜104との界面4ニタングステン(W
)等の金jll!l原子からなる金鵜反膜を形成して、
電子のトラップ密度な増加させ、書き込み効率な尚める
ようにしてもよい。さらに第1図(a)ないしくC)お
よび第2−の回路C二おいて、°不揮発性記憶重子とし
てMへOi9 )う/ジスタ、FAMO8の他に8AM
O8を用いてもよい・またこれらの不弾発性素子(=お
けるf1去は電気的f二行なうよう(ニしてもよい。セ
してさら(=論理のf′*を行なう論理回路は、インバ
ータ、NOR,NANI)回路以外のものでもよく、入
力が三つ以上であってもよい。
以上説明したようにこの発明(二よれば、電位発生手段
からの出方電位を不揮発的に変更すること(二よって論
理変更な何なうという冗長機能を持たせたので、−理変
更の肩無(=伴なう設計変更あるいは過剰な4Mg伝搬
伝搬中信号伝搬時間の余裕を持つ過剰余裕設計な避けて
設訂の簡単化あるいは過剰余裕を除去した適正な#&計
を行なうことができるMO8形wi理崗路を提供するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
wJ1図(a)ないしくC)および細2−はそれぞれこ
の発明のMO8形論理回路(:用いられる電位発生手段
の一例を示す回路構成図、第3図(1)ないしくC)は
上記電位発生手段(=設けられる不揮発性記憶素子の構
成を示す断面図、緬4図は通常のC−MO8インバータ
の回路構成図、第5区ないしwJ、8−はそれぞれこの
発明なU−MOS  インバータ(=実施した場合の実
施例およびその変形例の構成−1第9図は通常の2人力
C−MO8NANDN路の構成図、第10図および11
11図はそれぞれこの発明をC−MOS NANi)回
路に実施した場合の夷−例とその変形例の構成図、第1
2図およびtpJ13図はそれぞれこの発明をC−MO
S NOR回路(−実施した場合の実施例とその変形例
の構成図、#14−はこの発明を’C−M080R型遅
延−路(二実施した場合の構成−1第15図はこの発明
なC−MOS ANLI 型:M延回路(二実施した場
合の楕成凶、#116図はこの発明なC−MOS 排他
的論坦利回路に実施した場合の構成図、給17図はこの
発明を(、ニーMO8NO肌回路とC−ん1.sNAN
DNwI間の変更を可能とする回路(二実施した場合の
構成図、第18図ないし#424凶はそれぞれこの発明
なE/i)形−理回路に実施した場合の夷り例およびそ
の変形例の構成1である。 1〜1.21〜25.41・・・pチャネルのMll)
うy9x夕、8〜10.26〜2g。 42〜44・・・nチャネルのMOS )ランジスタ、
11・・・MNOS )う/ジスタ、29,46.55
・・・浮遊ゲートなたれ注入型M(J8 トランジスタ
(FAMO8)、51〜53・・・エンハンスメントモ
ードのMOS )ランジスタ、54・・・ディ7゛レン
VヨンモードのMOS トランジスタ、100・・・N
型シリコン半尋体基体、10’J 、 102−P  
、m不+ 純物拡#!L領域、10B・・・Vリコン赦化換、10
4・・・シリコン窒化膜、105・・・ポリシリコン族
、106・・・ゲート電極、101・・・導電体層、1
08浮遊ゲート電極、200・・・Pfiシリコン半導
体基体、201.20;l・・・N+ m不純物拡散領
域、203・・・浮遊ゲート電極、204・・・制御電
極、Qpt〜Qp鵞◎・・・pチャネルMO8)ランジ
スタ。 Qnl〜Qntt−ItチャネルMOSトランジスタ、
Qn+〜QDs・・・デイグレツVヨンモードのMO8
′)フンジスタ%Qz+〜Qh1・・・エンハンスメン
トモードのM(J8 トランジスタ、1l−Ill・・
・C−MOBインバータ、1丁〜110・・・BlD形
インバータ0出願人代理人 弁理士  鈴 江 武 彦
第2F!A 第4図 ぃ7図      第8図 第9rlJjifO図 第■図 第13図 1812図 第14図 第16図 1f8WA 8191 第20図 第21図      第22図 [23薗 第24図 OO 手続補正書 昭和 ψ7・IJ・18日 特許庁長’mi杉和夫殿 1、事件の表示 特許11856−194766号 2 発明の名称 MOB形論通回路 3、捕市をする者 水性との関係 特許出願人 (307)  III!京芝四電気株式会社4、代理人 5.1発補正 (1) 1111 m1ll書全文を別紙I:12〜沸
夛訂正沸石訂正) 図−の第11Ωを別紙の通り訂正す
る。 (3)別社脂面謝25融及び第26図をそれぞれ追兎す
る。 1tt1s書 1、発明の名称 MO8形論m回路 2、特許請求の範囲 (1)  一つ以上のMOS)ランジス−タのゲートを
信号入力端とし二つ以上のMOSトランジスタの各ドレ
インもしくはソースが共通接続されたノードを信号出力
端とし一対の電位間で動作する論理回路と、出力電位が
不揮発的に変更できる電位発生手段と、上記論理回路の
信号出力端に直接もしくは一つ以上のMOS)ランジス
タを介してそのコが結合され曳惠が直接もしくは一つ以
上のMOSトランジスタを介して上記一対のいずれか一
方の電位に結合されかつゲートに上記電位発生手段から
の出力電位が与えられる一つ以上のMOSトランジスタ
とをJL備し、上記電位発生手段の出力電−位を変更す
ることによって上記論理回路の論理を変更するようにし
たことを特徴とするMOB形論理回路。 (2)前記#1理(ロ)路は駆動トランジスタが一方チ
ャネルのMOS)ランジスタであり負荷トランジスタが
他方チャネルのMO8t−ランジスタによって構成され
た特許請求の範fl絽(1)積に1叡のMO8形論理回
絡0 (3)前記−瑞回路は駆動トランジスタがエンハンスメ
ントタイプのMOS)ランジスタであり負荷トランジス
タがディプレッションL不プのMOS)ランジスタによ
って構成された特許請求の範8縞(1)項に記載のMO
8形論層回路0 (4)前記論理回路の信号出力端が次段の一つ以上のM
OS)ランジスタのゲー)Kil絖されている特許請求
の範囲第(1)項に記載のMO8形論理回路。 (5)前記電位発生手段が不揮発性記憶素子を備えてす
る特許請求の範囲II (1)項に記載のMO8形論理
回路。 (6)前記不揮発性記憶素子は、半導体基体、この基体
の表面像域に存在し基体とは反対導電&の互いに離間し
た少なくとも一対の高濃度不純物拡散領域、この一対の
高濃度不純物拡散領域の間の基体表面上に二撫以上の絶
縁膜″f:棟層して形成したゲート%1.砺を備えた絶
縁ゲート形不m発性記憶素子である峙許訪求の範囲第(
5)項に記載のMO8形論理回路。 (7)  m起工種以上の絶縁膜のうちの一つが強誘電
体からなる絶縁膜である特許請求の範8第(6)項に記
載のMO8形論理回路。 (8)  前配二柚以上の絶縁膜のうち少なくと奄一対
の絶縁膜の界面に金属皮膜を形成した特許請求の範囲細
(6)積に記載のMOB形論理回路。 (9)前配不挿発性記憶素子は、半導体基体、この着体
の赤面領域に存在し基体とは反対導電層の互いに紐間し
た少なくとも一対の高濃度酸したいずれの電位にも接続
されず浮遊状態にある第1のゲート、電極を備え、かつ
上記ゲート電極上に絶縁膜を介して#12のゲートを伽
えよ記IR2のゲートは不揮発性記憶素子畳重込み用電
圧目j加点に直接もしくは一つ以上のMOS)ランジス
タを介して接続された浮遊ゲート形不揮晃性記憶累子で
ある時許餉求の範囲第(5)項に記載のMO8形論理回
路〇α0 前記浮遊ゲート形不揮発性紀憶嵩子が浮遊ゲ
ートなだれ注入層MO8)ランジスタである特許1ll
11求の範囲第(9)項に記載のMO8形論理回路。 <11)  km記浮遊ゲート形不#発性記憶素子が積
層ゲートなだれ注入fflMOSトランジスタである%
奸諸求の範囲第(9)項に記載のMOS形−珈回路。 3、発明の詳細な説明 もれたMO8形m塩(ロ)路(係り、特に電位発性手段
にお叶る出力電位を不揮発的に変更することによって論
理の変更を可能とし冗長性を持たせるようにしたMO8
形論理回路に関する。 従来のMO8形論理回路では、複数信号間の傭号伝搬速
屓の速度差の設計値と実際にこの回路t−集積回路化し
た場合における°値とが異なる時にはその線通関係を変
更する必要が生じることがある。しかしながら従来では
その論理回路を実構する集積回路をいったん製作してし
まうと、その論1jAg係を変更するには再び論理設計
をヤシ直して新たな集積回路を製作しなければならない
。このためさらに従来ではこのような余分な手間を省く
ために、回路設計の段階で予め−m変更が必要と予想さ
れる回路部につφては論m変爽のなり回路パターンと論
理変更した回路パターンとの211#を用意しておく方
法を取ったヤ、論理変更の必要性が生じる原因となる複
数信号間の信号伝搬速度の速度差に対しては論理変更が
生じ彦いように過剰な信号伝搬速If金裕を持たせた設
計をしたり、あるいは信号伝搬時間に過剰な余裕を持た
せた設計をしたりしていた。しかしながら回路が大規模
化、複雑化し、ざらには回路動作が高速化するに伴ない
これらの方法ではパターン設計が因緬となった夛回路の
性能を低下させたりという不都合が生じる。 この発明は上記のような事情を考慮して表されたもので
、その目的とするところは、1IIL位究性手段を持ち
この手段からの出力電位を変更することによって1!!
理変更を行なうという冗長機能金持たせて、論理変更の
有無に伴なう設オ[K更あるいは過剰な信号伝搬中腹の
余裕や46 M伝搬時間の余裕を持つ過剰余裕設計を避
けて設計の簡素化あるいは過剰余裕を除去した適正な設
計を行なうことができるMO8形鹸塩回路を提供するこ
とにある。 以下、図面を参照してこの発明の詳細な説明する。この
発明に係るMOS形−m回路は、MOSトランジスタに
よって構成賂れた通常の論理回路と、この論理回路に追
加されるMOSトランジスタと、この追加されたMO8
I−ランジスタのゲートに与えら1、その電位を一度変
更すると、電源をいったん切っても再び電源を入れると
一鼠変更した電位が再現される、言いかえると、電源を
切る前と切った後再び電源を入れた後とを比較しても電
位が変わらないという性質を持つ不es@的な電位t−
尭生する電位発生手板とから構成されていて、謔1図(
a)ないしく0)および1112図はそれぞれこの電位
発生手設の回路構成図である。このうちwL1図(1)
ないしくc)に示すもの−はいずれも相補形MO8(C
−MOB)構成のものであり、また112図に示すもの
はnチャネルのエンハンス4メントモード(エンハンス
メントタイプとt#I義)のMOSトランジスタおよび
ディプレッションモード(ディプレッジリンタイプと同
義)のMOSトランジスタからなるE/D形構成のもの
である。 第1図(1)の回路は、pチャネルのMO8)ランラス
タ1〜フ、11チヤネルのMOSトランジスタ8〜10
および不揮発性記憶素子であるpチャネルのMNOSト
ランジスタ11を備えている。すなわち、一方電源電位
vDD征極性電位)印加点と他方電位Vs8(アース電
位)印加点との関KPチャネルのMo5t−ランラスタ
1.pチヤネルのMNOSトランジスタ11.pチャネ
ルのMO8)ランジスタ2およびnナヤネルのMOSト
ランジスタ8をこの躯に直夕1」挿入し、MO8)ラン
ジスタ1のゲーItVss印加点に接続して常時オンさ
せ、またMOSトランジスタ8のゲートをVDD印加点
に接続して常時オンさせ、MNOSトランジスタ11と
MO8トランジスタ20両ゲートは共通接続する。さら
にVDD印加点とVaa印加点との関KPチャネルのM
O8)ランジスタ3とnチャネルのMO8)ランジスタ
9とを直列挿入するとともに両ゲートを共通接続してC
−MOSインバータ12を構成し、このC−MO8イン
バータ1zの入力端を畳鰺込み電圧Vwが与えられる入
力端子11に接続するとともに、出力端を上記MNOS
トランジスタ11とMO8)ランジスタ2のゲート共通
接続点に接続する。1IiI4i1[に%VDDIEl
]加点とVss印加点との間にpチャネルのMO8)ラ
ンジスタ4とnチャネルのMOSトランジスタ10とを
直列挿入するとともに両ゲートを共通1liI統してC
−MOSインバータ14を構成し、このC−MO,Sイ
ンバータ14K)入力端を上記両MO8I−ランジスタ
2,8の直列接続点に接続するとともに、出力端を出力
電位Vot−得るための出力端子15に**する。また
、vDD印加点ト上記c−MOSインバータ1zの入力
端と(D 関VCp−fヤネルのMO8)ランジスタ5
を挿入し、このMOSトランジスタ5のゲートをV 印
加点に接続して常時オンさせる。そして■ 上記MOSトランジスタ1とMNOS)ランジスタ11
との直夕IJm続点と上記入力端子1sとの間にpチャ
ネルのMO8)ランジスタロを挿入し、このMO8I−
ランジスタロのゲートは入力端子xEVC接続する0さ
らに上記MNO8)ランジスタ11とMO8l−ランジ
スタ2との直列接続点と上記入力端子13との間にpチ
ャネルのMO8)ランジスタフを挿入し、このMOSト
ランジスタ7のゲートは入力端子13に接続する0 上記不揮発性記憶素子であるpチャネルのMNOS)ラ
ンジスタ11は、たとえは第3図(a)の断面図に示す
ような構成となっている。このMNOS)ランジスタ1
1は、NMのシリコン半導体基体xoooh面愉域に互
いに離間して、ソース、ドレインとなる一対のP[の拡
散領域JOJ、101を形成し、さらにこの一対の拡散
領域J#J、J9!O1’klの基体5ooiN面上に
シリコン酸化膜(810,)  J o sおよびシリ
コン窒化MA (SimN+)  J 04を積層形成
し、この積層した上にポリシリコン膜105を形成して
ゲート電極10Gを作ることによシ構成される〇 第1図(&)に示す回路において、初期の状態では、入
力端子JJK、は外憔からの簀呑込み電圧V は与えら
れず、MO8トランジスタ5力ぶオンしてφるため、こ
の入力端子13の電位AはVKなってφるOしたがって
、このと唇、CD −MO8MOSインバータ14電位BはV81Bである
。また、初期の状態ではMNOS)ランジスタJ1には
wき込みが行なわれていす、シ色い値電圧は−vDDよ
シ負の方向に大匙くなっているため、上記電位Bがv8
.であるとこのMNO8トランジスタ11はオフしてい
る。また、MOSトランジスタ8は常時オンしているた
め、このとl MO8)ランジスタ2.8の直列接続点
の電位CはVBB Jしたがって出力電位■。はvDD
となる。 一方、入力湖子13に絶対値がvDDよシも大匙な負の
賽救込みt圧vWtl−与えると、MOSトランジスタ
6がオンしていて一入力端子11の電位人は負の大匙な
電位となり、MOSトランジスタ6.1を通してMNO
S)ランジスタ11のソース、ドレインに負の大きな電
位が印加される。このとき、C−MOSインバータ12
の出力電位BはvDDであり、MNOSトランジスタI
ノのゲートもVDDとな、る。この結果、MNOSトラ
ンジスタIJのソース、ドレインではアバランシェブレ
ークダウンが起って電子、正孔対が発生する。MNOS
)ランジスタJ1のゲート電位が正であるため、このと
き°発生した電子はトンネル効果によって前記半導体基
体100とII記シリコン酸化膜103との界面のポテ
ンシャル障壁を越えてシリコン酸化g103に入夛、最
約的に電子は前記シリコン酸化膜103とシリコン窒化
膜104との界面にトラップされ、MNO8トランジス
タ11のし龜い値電圧は正の値となる◇そして蕾き込み
電圧vwを与えなくすると、MOSトランジスタ5を通
して電位AはvDDとなり、さらにC−MOSインバー
タ12の出力電位BFiV88となる。このとき、MN
O8トランジスタ11のしきい値電圧は正の値K11行
して−るため、電位もがv88になるとこのMNOS)
ランジスタ11はオンする。また、MO8?ランジスタ
2もオンするために電位CはVDDに近い電位となり、
さらに出力電位V。 はVBBとなる0ただし、このとき、直列接続されたp
チャネル側の2iAのMO8トランジスタJ、ffおよ
びMNOS)ランジスタ11の直列コンダクタンスとn
チャネル側のMO8)ランジスタ1のコンダクタンスと
の比を、次段のC−MOSインバータ14を反転させる
。ことができるようvc’tn定しておく必要がある。 モして蓄龜込みが行嫌われない場合および4I込みが行
なわれた場合に、電線電位VDDをいったん切って再び
印加しても、MNOS1−ランジスタIJのしきい値電
圧は軟化しないので、vDDを切る前の出力電位V。が
保持される。すなわち、v。はは、MNOS)ランジス
タIIK索外扉を照射することによって行なう。すなわ
ち、紫外線を照射することによって、前記シリコン酸化
膜103とシリコン窒化膜104との界面にトラップさ
れていた電子は紫外軸によってエネルギーを得て、その
界面からトンネル効果によって抜は出し基体100の方
へ逃けていく。 この結果、MNOS)ランジスタ11のし会い値電圧は
再び−vDDよ)も負の方向に大匙な初期の籠に戻る。 そしてこの場合、MNOS)ランジスタ11は常時オフ
となり、vo は再ひvDDに復帰する。 m1図(b) O[gljlflは、pチャネル0M0
8)ランジスタ11〜25.nチャネルのMOSトラン
ジスタ26〜28および不揮発性記憶素子であるpチャ
ネルの′#遊ゲート形不揮発性素子(FAMO8=浮遊
ゲートをだれ注入型MOSトランジスタ)29を備えて
いる。すなわち、vDD印加点とvBB印加点との間に
pチャネルの浮遊ゲートなfen注入ai!MOSトラ
ンジスタ(以下FAMO8と略称する)Z5’*Pチャ
ネルのMO8)ランジスタ21およびnチャネルのMO
8)ランジスタ26をこの虜に直列挿入し、MOSトラ
ンジスタ26のゲートをvDD印加点に接続して常時オ
ンさせる。また、vl)D印加点とv0印加点との間に
pチャネルのMO8)ランジスタ22とnチャネルのM
O8)ランジスタ21とを直りU挿入するとともに両ゲ
ートを共通接続してC’−MOSインバータ30を構成
し、とのC−MO8インバ一タ300Å力漏を書色込み
電圧V、が与えられる入力端子31に接続するとともに
出力端を上記MOB)ランジスタ21のゲートに接続す
る。Pl様に、vDD印加点とv8s印加点との間にp
チャネルのMOS1−ランジスタz3とnチャネルのM
OS)ランジスタ28とを直列挿入するとともに両ゲー
トを共通11Mt、てC−MOSインバータ3zt構成
し、このC−MOSインバータ3zの入力端を上記両M
OSトランジスタ21.zgの直列接続点(C接続する
とともに、出力端を出力電位V。を得るための出力端子
33に接続する。 また、Vゆ印加点と上記C−MOSインバータ300Å
力端との間にpチャネルのMOSトランジスタ24を挿
入し、このMOSトランジスタ24のゲートをVss印
加点に接続して常時オンさせる。そして上記FAMO8
zjとMOSトランジスタ2)との直列接続点と入力端
子3ノとの間にpチャネルのMOS)ランジスタ25を
挿入し、このMOSトランジスタz5のゲートは入力端
子31に接続する。 上記不揮発性記憶素子でめるFAMO82mは、たとえ
は第3m(b)の断面図に示すような構成となっている
。CのFAMO8z51は、Nal!シリコン半導体基
体1.00の!!!面領域に互いに離間して、ソース、
ドレインとなる一対のPMの拡散領域101,102を
形成し、さらにこの一対の拡散ik域101.102の
間の基体100表向上にゲート絶縁膜をブrしてポリシ
リコンからなる導電体層1orを形成し、この導電体層
10’/を−ずれの電位にも接続せずに浮遊状態とする
ことによって浮遊ゲート11L極108を作ることによ
〕構成、される。 jll 1m (b)に示す回路において、初期の状態
では、入力端子31には書き込み電圧vwは与えられず
、MOS)ランジスタ24がオンして−るため、この入
力端子J1の電位AはvDDになっている。したがって
、このとき、C−MOSインバータ10の出力電位B3
はVSSであp″、MOS)、ラジジスタ21はオンす
る。ところが初期の状態で紘FAMO5j#には書き込
みが行なわれていす、しきい値電圧が負の太番な値であ
るためにオフし、MOS)ランジスタ21゜z6の直列
接続点の電位Cはv  したがって8S 出力電位V。はvDDとなる。 一方、入力端子11に絶対値がvDDよりも大色な負の
11キ込み電圧vWt与えると、MOSトランジスタ2
4がオンしていて4入力端子j1の電位Aは負の大きな
電位となり、MOSトランジスタ25を通してFAMO
8z eのドレイン(もしくはソース)に負の大きな電
位が印加される。なぜなら、C−MOSインバータ30
の出力電位BはvDDとなり、MOBトランジスタz1
はオフし、FAMO829のドレイン(もしくはソース
)にはMO8?ランジスタ25を通じて入力端子31の
書き込み電圧vwが与えらnるからである。このと鰺、
FAMO8z sのドレイン (もしくはソース)付近
ではアバランシェブレークダウン (なだれ降伏)が起
って電子、正孔対が発生し、このうちの電子が前記ゲー
ト絶縁膜會通って導電体層1otにトラップされ、FA
MO8zpのしきい値電圧が正の値となって常時オン状
態となる。そして書き込み電圧VWを与えなくすると、
MOB)ランジスタ24を−して電位AはvDDとなシ
、さらにC−MOSインバータSOの出力電位Bはv8
Bとなる。このため、MOSトランジスター1がオンし
て電位CIfivDDに近9電位とfk#)、さらに出
力電位V。Fivssとなる。ただし、このとき、直列
接続されたpチャネル側のFAMO8z yとMOS)
ランジスタ21の直列コンダクタンスとnチャネル側の
MOSトランジスタ26のコンダクタンスとの比を、次
段のC−MOSインバータB2を反転させることができ
るように設定しておく必豐がある。そしてIIt込みが
行なわれなφ場合および’ft込みが行なわれた場合に
、電源電位vDDをいったん切って再び印加しても、F
AMO81mのし色い値電圧は変化しないので、vDD
を切る前の出力電位voが保持される。すなわち、第1
図(亀)の回路と同様に1V はvDDf)遮断動作の
前後で不揮発的な変化であるといえる。 また、voをv88からvDDK戻すには、第3図(a
)に示すMNOS)ランジスタの場合と同様に、FAM
O8f 9に紫外細を照射することによって行なう。 IIIIIN(e)の(9)路は、pチャネルのMO8
)う゛ンジスタ41、nチャネルのMOSトランジスタ
41〜44およびnチャネルのFAMO845を備えて
いる。すなわち、VDD印加点と■88印加点との間に
nチャネルのMOB)ランジスタ4zとnチャネルのF
AMO846とを直列挿入し、MO8)ランジスタ42
のゲートをVDD印加点に接続して常時オンさせるとと
もに、11MO845の制御ゲートをこのFAMO84
sとMO8)ランジスタ42との直列接続点に接続する
。また、書龜込み電圧vwが与えられる入力端子46と
上記FAMO84sの制御ゲートとの間にnチャネルの
MO8)ランジスタ43を挿入し、このMOB)ランジ
スタ43のゲートを入力端子46に接続する0さらにV
DD印加点とv88印加点との間にpチャネルのMOS
トランジスタ41とnチャネルのMOSトランジスタ4
4とを直夕IJ挿入するとともに内ゲートを共通W!続
してC−MOSインバータ41を構成し、このC−MO
Sインバータ410入力端を上記MOSトランジスタ4
zとFAMO8J 5 (7)直列級針点に級綬すると
ともに、出力端を出力電位vo を得るための出力端子
48に接続する。 上記FAMO8t sは、たとえ#1m311N(c)
の断面図に示すような執膚ゲート型構造となっている。 この11MO845は、P鮎のシリコン半導体基体20
0の嵌置領域に互いに一関して、ソース、ドレインとな
る一対のNuの拡散領域201.2051を形成し、さ
らにこの一対の拡散領域201,102の間の基体20
0表面上にゲート絶縁膜を介してポリシリコンからなる
浮遊ゲート11執203t−形成し、またさらにこの上
にゲート絶縁膜を介してポリシリコンからなる制御ゲー
ト電極204を形成すること罠より構成され、る。 #!1図(c)に示す回路において、初期の状態では、
入力端子46には書き込み電圧vWIは与えられない。 このとき、MOSトランジスタ4zはオンしていて、M
OSトランジスタ4zとFAMO84Nとの直列接続点
(FAMO84t;f)ゲー)1続点でもある)の電位
AはVDDIIllへ引色上けられる。ところが初期の
状態では11MO845のし色い値電圧は負のイ1とな
り、この11MO845もオンして、電位Aは結局v8
8 ”電位となる。したがってこのと麹、出力電位V。 はVDDとなる。ただしnチャネルのFAMO84sは
、次段のC−MO8インバータ47を反転させることが
できるようKnチャネルのMO8)ランジスタ42との
コンダクタンス比を設定しておく必要がある。 一方、入力端子46にvDDjニジも大きな正の畳き込
み電圧Vyを与えると、MOS)ランジスタ43を通し
て電位AはvDDよりも大色な正の電位となり、FAM
O845のゲートとドレイン (Toるいはソース)に
正の電位が印加される。 すると、FAMO845のドレイン (あるいはソース
)付近でアバランシェブレークダウンが起って前記浮遊
ゲート電極203に電子が注入されそしてトラップされ
て、そのし舞い値電圧はvDD以上になる。次Klき込
み電圧vw/を与えなくすると、FAMO845はオフ
状態となって、電位AはvDD%出力電位V。は■88
となる。そしてこの回路の場合にも、III!込みが行
なわれない場合およびt!込みが行なわれた場合に、電
位■DDt−いったん切、って再び印加しても、FAM
O8a sのしきい値電圧は変化しないので、■ を切
る前の出力電位■。が保持される。すD なわち、M 1 tW(a) 、 (b)の回路と同様
に、vo  はvDDの連断動作の前後で不揮発的な変
化であるといえる。 またV を■sBからvDDK戻すには、第3図(a)
に示すMNOSトランジスタあるいは第3図伽)に示す
FAMO817)場合と同様に、紮外線を照射すること
によって行なう。 謝2図の回路は、エンハンスメントモードのMOSトラ
ンジスタ51〜5s、ディプレッションモードのMO8
)ランジスタ54およびFAMO8s sを備えている
。すなわち、vDD印加点とv68印加点との間にエン
ハンスメントモードのMOSトランジスタ51とFAM
O8s sとを直列挿入し、MOB)ランジスタ51の
ゲートをVDD印加点に接続して常時オンさせるととも
に、FAMO855の制御ゲートをこのFAMD855
とMO8)ランジスタ51との直列接続点に接続する。 また、書き込み電圧V、/が与えられる入力端子56と
上記FAMO8s iの制御ゲートとの間にエンハンス
メントモードのMOSトランジスタ6zを挿入し、この
MOSトランジスタ52のゲートを入力端子56に接続
する。 さらにvDD印加点と■88印加点との間にディプWヨ
ンセドのMOB)ランジスタロ4とエンハンスメントモ
ードのMOB)ランジスタ51とを直列挿入し、MOS
トランジスタ54のゲートをこのMO8)ランジスタ5
4と上記MO8)ランジスタロ3の直列接続点に接続し
てE/D形インバータ51を構成し、このE/D形イン
バータ51の入力端であるMO8?ランジスタロBのゲ
ートは上記MOSトランジスタ61とFAMO8s s
との直列接続AK接続するとと4に、出力端であるMO
8)ランジスタ53゜54の直列接続潰は出力電位V。 を得るための出力電子58にf&統する。 このように、この回路は前記絽1図(e)に示す回路と
比らべて、C−MOSインバータ41がE/D形インバ
ータ57に変っただけであり、その動作はm1図(e)
のものと同じである0すなわち、入力端子56に■DD
よりも大きな正の豊艶込み1!11圧V、−を与えるこ
とによってV。は不1111IJ#、的にVDD111
1t位となり、F’AMO855に紫外!li1を照射
することによってV。は不揮発的にVBB倶111を位
となる。 このように第1図i (a)なりシ(C)および組2図
に示す電位発生手段では、出力電位■。の変費はりずれ
も不揮発性記憶素子をオン、オフさせることによって行
なっているために、その質更は不揮発性記憶素子の状態
が変わらな%fh@り不揮発的に保持される0 絶4猶はソースがvDD印加点に、ドレインがvOut
Kそれぞれ*iされ信号■inをゲート入力とする駆動
トランジスタであるpナヤネjしMOBトランジスタQ
 と、ソースがv8s印加点に、1 ドレインが■  にそれぞれ接続され上記信号ut V、nt−ゲート入力とする駆動トランジスタで6るn
チャネルMO8)ランジスタQn、とから構成されて埴
る通常のC−MOSインノく一夕の構成を示す本のであ
り、その入力個号■1nに対する出力信号■。、の論理
関係は下記の鰍1に示す通りである。 表 1 上記表1に示す論理関係を持つC−MOSインバータに
この尭明を実施したものがm5図ないし第8因に示す構
成図である。まず第5図に示す実施例のMO8形論理回
路はMO8)ランジスタQP1”nlからなる本来のC
−MOSインバータにもう1@のnチャネルMO8)ラ
ンジスタQ を追加し、このMO8)ランジスタのドn
曽 レインをMOSトランジスタQnlのソースに、ソース
をV8a印加点にそれぞれ接続することによってMOS
トランジスタQ をQn、と山列接l 続し、MOSトランジスタQn、のゲートに前記第1図
(1)な−シ(C)のうちいずれか一つの回路の出力電
位V。を与えるようにしたものである0この回路では■
。がvDDlkIIIIL位V□の時にMO8)ランジ
スタQn、が富にオン状態となり、したがってこの時の
論理関係は下記の表2に示すように通常のC−MOSイ
ンバータと同様になル。一方、VoカV8.ll111
1V1ノ時IC&−jMOsMOSトランジスタQにオ
フ状態と攻り、入力n! lN4V1nがLレベルでMOS1−ランジスタQp1
がオンする場合にだけ出力信号■。、はHレベルとなシ
、v がHレベルの時には■。、は高n インピーダンス状態となってj!2に示すように■。、
は不定となる。 #!2 第6#4杜上記寮施例の変形例を示すものである。上記
lI!麹例ではC−MOSインバータのnチャネルMO
8)ランジスタQ11.K1列にV。をゲート入力とす
るnチャネルMosトランジスタを接続したが、ここで
はpチャネルMOSトランジスタQ のソースとvDD
印加点との間に1 pチャネルMO8)ランジスタQp、のドレイン、ソー
ス間を追加挿入し、このMOSトランジスタQ のゲー
)IMr記#11図(a)ないしくC)のうちp嘗 −ずれか一つの回路の出方電位V。を与えるようKした
ものである。 この回路ではV が■1の時にMO8トランジスタQp
、が富にオフ状態とな9、したがってこの時の*m関係
は下記の辰3に示すように通常のC−MOSインバータ
と同様になる。一方、vo が■□の時にはMO8)ラ
ンジスタ。 は常にオフ状態とな夛、人力信号v1nが
HレベルでMOg)ランジスタQn1がオフする場合に
だけ出4力信号■。、はLレベルとなり、■InがLレ
ベルの時に11v   は高インピーダンス状態ut となって懺3に示すように■。、は不定となる。 衣       3 #17図シよびj1B図はそれぞれ上記実施例の他の変
形例を示すものであり、上記表2、懺3中の不定状mt
−なくすようにしたものである。 すなわち、1137図に示すものは第5図の実施例と同
様にhチャネルMO8)ランジスタQ□を追加すると共
に、V 印加点とV  との関にDD        
  out pチャネルMO8)−ランジスタQPaのソース、ドレ
イン間を挿入し、上記MO8トランジスタQ  、Q 
 のゲートに前配鯖1図(1)ないしくc)のl   
  Pg うちいずれか−りの回路の出力電位■。を並列的に与え
るようにしたものである。そしてこの剛結においてvo
 が■□の時にはMOSトランジスタQtf、オン、M
O8)−ランジスタQp、はut オフとなって通常のC−MOSインバータと同様の輪環
動作を行なう〇一方、vo  が■、の時、MOB)ラ
ンジスタQ がオフとなるためV。utn寥 から■ssへの電R経路は1當に迦断され、またMO8
)ランジスタQ がオンとなるためvDDp婁 からV。utへの電流経路は常に導通状11に#する。 この結果、この回路の論Mu下記の費4のようになる。 吹   4 筐た胞8図に示すものは第6図の実施例と同様にpチャ
ネルMOSトランジスタQ糎を追加すると共に” ou
tとVas印加点との間にnチャネルMO8)ランジス
タQn、のドレイン、ソース間を挿入し、上記Mosト
ランジスタQPmtQ1.のゲートに前記第1図(a)
ないしくe)のうちいずれか一つの回路の出方電位V。 を並列的に与えるようKしたものであり、この回路の論
理は下記の表5のようKなる。 表     6 次に二つ以上の入力を持つ論理−路にこの発明を実施し
た例を貌明する。第9ν1はvDD印加点とv、utと
の関に入力信号vin1.■   を各In! ゲート入力とする2個のpチャネルMO8)ランジスタ
Q ψQ  それぞれのソース、ドレP4    PI イン間を並列挿入し、かっ■。ut  とvss印加点
、との間に上記4N号v 1n1 、 y jnl を
各ゲート入力とする2個のnチャネルMosトランジス
タ。n4、Q のドレイン、ソース間を直りll挿入す
るこn蓼 とによって構成した通常の2人カC−MO8Na回路で
あり、その論理を下記の表6に示す。 懺     6 上記2人力C−MO8NAND回路にこの発明を実施し
たものが第10図に示す構成図のものである。この実施
例回路はMOSトランジスタQPgのソースとvDD印
加点との間にもう1個のpチャネルMO8トランジスタ
Qp、のドレインソース関を直列挿入し、この直列挿入
きれたMo8?ランジスタQ、。のゲートに前記第1図
(a)な―シ(e)のうちいずれか一つの回路の出力電
位■。を与えるようにした4のである。 この回路ではV。がV、の時にMOSトランジスタQ1
.は常にオンしているため、vDDからMo8)ランジ
スタQ  、Q  t−経由してV。utp拳    
Ps に至る電R経路はMo8)ランジスタQPgのオン、オ
フによって決定され、この時の論場関係は下記の弐7に
示すように通常の2人カC−MO8NAND回路と同様
になる。一方、Moが■□の時にはMOB?ランジスタ
。1.は常にオフしているため、Mosトランジスタ。 p4がオフして>biつMo8I−ランジスタ。p、が
オンしている場合、すなわち、vinl=Hレヘル、■
ln!==Lレベルの場合にはvDDからV。utへの
電流経路は趣断され、しかもV からvoutへの電流
8 経路も鐘断状111にあ夛V0J高インピーダンス状論
となって、■。utは表7に表すように不定状態となる
。 表   7 1!11図は上記m10図に示す実施例の変形例を示す
ものであり、上記実施例回路の論理の不定状態をなくす
ようにしたものであるリナなわら、上記MO8)ランジ
スタQpaを挿入すると共にさらにMo8)ランジスタ
Q のソー78番 と■88印加点との間にnチャネルMOSトランジスタ
Q のドレイン、ソース間を挿入し、こn・ のMo8I−ランジスタQ のゲートにもV。t6 与えるよりにしたものである。 この回路ではV がvLのa)にはMo8)うンジスタ
Qn、は常にオフし、MosトランジスタQ は常にオ
ンしてiるため、この時の論理p・ 関係は下記の弐8に示すように通常の2人カC−MO8
NAND 回路と同様になる。一方、v。 がvHの時にはMo8)ランジスタQ は常にI オンしているため、■ln1がHレベルとなりMo8)
ランジスタQ がオンすれdvout  がn番 らvsaの電流経路が生じ、またMo8)ランジスタQ
9.は常にオフになるため、■0、がLレベルとなrM
OsトランジスタQp、がオンしても■ から■  へ
の電流経路が生じることはDD       out ない。したがって、この時の論理は表8のようになる。 表    8 第12図はこの発明を2人力C−MO8NOR回路に実
施した場合の構成図である。この実施例回路はpチャネ
ルMO8)ランジスタQpv’Qp、およびnチャネル
MO8)ランジスタ礼。 tQn、からなる通常のNOR回路の、MO8トランジ
スタQn、のソースと■8.印加点との間にV□tゲー
ト入力するnチャネルMO8トランジスタQユ、のドレ
イン、ソース間を挿入するようにした本のであり、この
回路ではV。が■8の時にはMOsトランジスタQn、
は常にオンし、vinl” inkに対するV out
のam関係は下記の懺9に示すように通覚の2人力C−
MO8NOR回路と同様である。一方、V がvLの時
にはMO8)ランジスタQn、が猟にオフとなるため、
MOSトランジスタQn9fオフしておりかつMOSト
ランジスタQn、がオンしてiる場合、すなわち、v1
n1!Lレベル、v、、、=nレベルの場合ではv、u
tから■ssへの亀R経路は1!断され、しかもV か
ら■  への電流経路も蓮断状態DD      ou
t にあすV  は為インピーダンス状態となって、out Voutは嶽9に示すように不定伏膳となる。 表   9 第13図は上記#!12図の実施例の変形例を示すもの
であシ、上記実施例回路の論理の不定状1′”をなくす
ようにしたものである。すなわち、上ffi”M Q 
S トランジス1輸、を挿入すると共にさら、にMOS
トランジスタQPiのソースとvDD印加点との間にp
チャネルMOSトランジスタQ1.のドレイン、ソース
間を挿入し、このMOSトうツジスタQPsのゲートに
も■。を与えるようにしたものであ’)、V□がvLの
時にはMO8トランジスタQ が常にオンするため、v
1□p― ILレベルとなりMO8)ランジスタQp、がオンすれ
ば■DDからV。utへの電流経路が導通状−に、な夛
、またMO8トランジスタQn、は常にオフし、vin
k  がHレベルとな夛MO8)ランジスタQ がオン
しても” out からVB2への電電 障紗路は導通−癒にカることLないoしたがって、どの
回路における論理は下記の表10のように康る0 表     lO 禰 第14図はこの発明t−C−MO8ORW遅砥回路に実
権した場合の構成図である。この実施例回路は、負荷ト
ランジスタとなりソース、ドレイン間がVDD印加点と
ノードN、との関に挿入されかつゲートが■ssに接続
されたpチャネルMOBトランジスタQp1.および駆
動トランジスタとなりドレイン、ソース間が上記ノード
N。 とvaa印加嵩との間に並列挿入され、ゲートに入力信
号V inn e V inn I V inkそれぞ
れが与えられる3個の鳳チャネルMOSトランジスタ9
n1゜。 Q  、Q  、上記ノードN1の信号を反転【−てn
il     nl鵞 出力信号Voutを得るC −MOSインバータl。 とからなる通常のC−MO8ORm遅延回路の、MO8
)ランジスタQ のソースとV88印加点ll との間に■。をゲート入力とする亀チャネルMO8)ラ
ンジスタQ  のドレイン、ソースfs 間を挿入するようにしたものである。 この回路ではV。がvHの時には、MO8)ランジスタ
Q  は常にオンしているために1j Vinl ’ V inl 、 V inkのいずれか
一つでもHレベルになれは、出力信号■  はただちK
Hレベut ルになり、さらにvlnl、Vinl、vln、のすべ
てがLレベルとなれば、出力信号■。uth所定時間遅
れてLレベルになり、3人力のORm遅延回路として動
作する。ただし3個のnチャネルMOSトランジスタQ
nt e l Q Bt t f Q□、のうちのいず
れかがオンしても、インバータl、を反転させる駆動能
力を持つように3個の各nチャネルMOSトランジスタ
Q nt、 t Q nttのコンダクタンスおよびM
OSトランジスタQ□とQn、、の直列コンダクタンス
とpチャネルMOSトランジスタQPI6のコンダクタ
ンスとの比を予め設定しておく必要がある◎一方、Vo
がvLの時にはMOSトランジスタQn  がオフし、
このMO8)ラン1 ジスタQK直列接続されているMO8)う1− ンジスタQn、、のゲート入力V in、  にはどの
ような信号が入力してもノードN1には何ら影響を与え
ないため、この場合にu Vi n tとVinyの入
力のORm遅延回路として動作する。このようにこの実
施例回路は、v。#)電位によって3人力あるいは2人
力の0Rffi遅延回路という二種類の論理を持つ回路
となる。 第15図はこの発明をC−MO8AND型遅嬌回路に実
施した場合の構成図である。このli!總例回路は、負
荷トランジスタとなりドレイン、ソース間がノードN、
とV88印加点との関に挿入されかつゲートがvDDK
wk続されたnチャネルMOSトランジスタQnsa 
および駆動トランジスタとなシソース、ドレイン間がv
DD印加点と上記ノードN、との関に並列挿入されシー
トに入力信号Vint * v inl * Vlmm
それぞれが与えられる3個のpチャネルMO8)ランジ
スタQPtt*QPt鵞*QPts、上記ノードN、の
信号を反転して出力信号Vou t  を得るC −M
OSインバータI!とからなる通常のC−MO8AND
ffi遅嬌回路の、MOSトラン、ジスタQPlのソー
スとVDD印加点との間にV。t−ゲート人力とするP
チャネルMOSトランジスタQPI4のドレイン、ソー
ス間を挿入するようにしたも゛のである。 この回路では■。が■1の時には、Mosトランジスタ
QP14は常にオンしているためにVinl、 Vin
鵞t Vinsの−ずれか一つでもLレベルになれば出
力信号V outはLレベルとなる。ただし3伽のpチ
ャネルMO8)ランジスタQPsz −QP□# QP
ssのうちの−ずれかがオンしても、インバーター重金
反転させる駆動能力を持つように3伽の各pチャネルM
O8トランジスタQPtt QPttのコンダクタンス
およびMOSトランジスタQPssとQPt番の1夕1
jコンダクタンスとhチャネルMOS)ランジスタQn
14のコンダクタンスとの比を予め設定しておく必要が
ある。一方、V がvH−の時にはMO8I−ランジス
タQP14がオフし、このMO8)ランジスタQP14
に直列接続されされてiるMO8I−ランジスタQ P
+aのゲート人力Vineにはどのような信号が入力し
てもノードN、には何ら影智を与えないため、この場合
にはVinI  とV inlの2人力のAND m遅
延回路として動作する0このようにこの実施例回路は、
Voの電位によって3人力あるいは2人力のANDm遅
延回路という二種類の論理を持つ回路となる。 謝16図はこの発明をC−MOS排他的論理和(Exc
lusive OR)回路Kll施した場合の構成−で
おる。この実施例回路は、負荷トランジスタとなタソー
ス、ドレイン間がVDD印加点とノードN、との間に挿
入されかつゲートがv88に接続されたpチャネルMO
8)ランジスタQPts、駆動トランジスタとなり上記
ノードN、と■88印加点との間に各ドレイン、ソース
間が直列挿入されゲートに入力恒号V lnl 、 V
 ink 、 Vinmそれぞれが与えられる3個のn
チャネJしMO8)ランジスタQllt@t Qnt*
 y Qn+y、同様ニIK動トランジスタと碌)上記
ノードN、と■s8印加点との関に各ドレイン、ソース
間が直列挿入されゲートに34J!Aの各C−MOSイ
ンバータエ、〜11を介して上記入力信号Vinl 、
 Vine 、 V ink  それぞれが与えられる
3gAのnチャネルMO8)ランジスタQ nss *
 Q n 1・eQnt。および上記ノードN、の備考
を反転して出力信号Voutを得るC−MO8インバー
タI・からなる通常のC−MOS排他的w1通和回路の
、MO8)ランジスタQ ntsのソースとV 印加点
との間にV。をゲート人8 力とするnチャネルMO8)ランジスタQntsのドレ
イン、ソース間を挿入すると共にMO8トランジスタQ
n*oのソースとvs8印加点との関Kvoをゲート入
力とするもう1個のnチャネルMOSトランジスタQn
□のドレイン、ソース間を挿入するようにしたものであ
る0 そしてこの回路は、vo  がvL の時にMOSトラ
ンジスタQntt*Qn□は常にオフとなるため3人ン
1の排他的論理和回路として動作し、一方、voν(■
□の時にはMOSトランジスタQn□。 Qn□は常にオンとなるために入力信号Vineは動作
と無関係にな9、この場合には2人力の排他的1g!理
′和回路として動作する0細17−はC−MO8N0R
I!1lil路とC−MO5NANDiPO路関の変k
を可能とする回路にこの発に入力信号Vin1 、 V
ineを各ゲート入力とする2IiiのpチャネルMO
SトランジスタQPts。 QPtyそれぞれのソース、ドレイン間および入力信号
Winい前記篇1図(a)ないしくe)のうちいずれか
一つの回路の出力電位■。を各ゲート入力とする2個の
pチャネルMO8)ランジスタQ P we=QP*。 それぞれのソース、ドレイン間を直列挿入し、pチャネ
ルMOSトランジスタQPuのソースとvDD印加点と
の間にpチャネルMOSトランジスタQPta のドレ
イン、ソース間を挿入しかつこのMO8)ランジスタQ
PtsのケートにV。を与え、さらにv0印加点とVo
utとの間に入力信号V inl * V in鵞 を
各ゲート入力とする2個のnチャネルMOSトランジス
タ。n■。 Qn□ それぞれのソース、ドレイン間および入力m号
Vin* t vo  を各ゲート入力とする2個のn
チャネルMO8)ランジスタQnt・5Qnzvそれぞ
れのソース、ドレイン関f:icタll挿入し、nチャ
ネルMO8)ランジスタQn*s  のソースとVSS
印加照との闇にnナヤネルhiosトランジスタQnm
s  のドレイン、ソース間を挿入しかっこのMO8)
ランジスタQn□ のゲートにV。 を4入るようにしたものである。 この@艶ではV。が■1の時KFi、nチャネルMOS
トランジスタQn工とQnty u常にオフしているた
め、Voutからvoへの電流経路は入力信号V i 
n 1 e V i ntを各ゲート入力とする2個の
nチャネルMO’S)ランジスタQ nys e Qn
t4の直列回路によシ形成され、−力、pチャネルMO
SトランジスタQPIIとQPtoは常にオンして釣る
ため、Vout  からvDDへの電流経路は入力信号
Vint 、  V lnlを各ゲート入力とする2個
のpチャネルMO8)ランジヌタQpt・−Qpt・を
介して並列的に形成され、通常のC−MO8NAND回
路と同様に動作する。一方、vo がV□の時にはnチ
ャネルMO8)ランジスタQn□とQnmyti常にオ
ンしているため、Voutからvs8への電流kk路は
入力01号V inn 、 V in鵞を各ゲート入力
とする2@のnチャンネルMOSトランジスタQnts
 I Qnts  を介して並列的に形成され、一方、
pチャンネルMOSトランジスタQ i’ 1 @とQ
Ptoは常にオフして−るため、VoutからVDDへ
の電流−経路社入力信号Vinl 、 Vineを各ゲ
ート入力とする21MのpチャンネルMOBトランジス
タQPts * QPtv  の直列1g1jlによ)
形成され、通常のC−MO8NOR[gIMと同様(動
作する。したがってこの回路はV。の電位によって下記
の嵌11に示すように二種−の論理関係を持つことにな
る。 表     11 以上説明した各実施例およびその変形例はいずれ4C−
MOS構造のものであるが、次にこの発fIAをディプ
レッションモードのMOS)ランジスタを負荷トランジ
スタに用いかつエンハンスメントモードのMOSトラン
ジスタを駆動トランジスタに用いたいわゆるE/D形構
造のMO8形論理回路に実施した場合の例を説明する0 謝18図ないし第23図はそれぞれこの発明をE/D形
構造のMO8形論理回路に実施した場合の構成図である
0 j11g図の集施例回路は、負荷トランジスタとなりソ
ース、ドレイン間がVDD印加点とVoutとの間に挿
入されかつゲートがVout  KlmMされたディプ
レッションモード(以下り形と略称する)のMO8I−
ランジスタQ9tと、駆動トランジスタとなりソース、
ドレイン間がvss印加点とVoutとの間に押入され
かつゲートに入力信号Vin  が与えられるエンハン
スメントモード(以下E形と略称する)のMOSトラン
ジスタQ4とからなる通常のE / D i?インバー
タの、MOS)ランジスタQlclのソースと”8B印
加点との闇にもう11mのE形のMOSトランジスタQ
8tのドレイン、ソース間を神人踵かつこのM0Bトラ
ンジスタQ1i1のゲートに前h上第221J回路の出
力電位V。を与えるようにしたものである。 この回路ではV″0が■□の時にはMOS)ランジスタ
Q M、 #′i常にオンとな隻、ここでvinがHレ
ベルになるとMOS)ランジスタQ81がオンするため
、VoutはMOS)ランジスタQ81゜Ql の直列
コンダクタンスとMOS)ランジスタQD1のコンダク
タンスとの比で抜足される低電圧レベルすなわちLレベ
ルとなり、他方、WinがLレベルになるとMOSトラ
ンジスタQ1!1はオフとなってVoutはHしlくル
となる。一方、voが■1の時にはMOS)ランジスタ
QB、は常にオフとなるために橿考→−4し上弓←y4
1大揮□は■ の電位によって下記の表12に示すよう
に二mmの論理関係を持つことになる0表   12 第19図は上記実施例の変形例であり、上記MOSトラ
ンジスタQgtをVout  とvss印加点との間に
挿入するようにしたものである。 この回路では■。がV□の時にはMOSトランジスタQ
2.は稚にオンとなり、VouLはVinにかかわらず
←レベルとなり、またV。妙IvLの時にはMOS)ラ
ンジスタQ、、riオフとなるためにVoutはvin
によって決められる。したがってこの回路は■。の電位
によって下記の表光    13 第20−線上1第17図の実織例回路の他の変形例であ
り、上記MO8)ランジスタQBtをQltに対して直
列に挿入すると共にD形のMOSトランジスタQD1 
 のソースとVpD印加点との関KD形のMOSトラン
ジスタQDtのドレイン、ソー、crM41に挿入1.
、両MO8+−ラ7ジスタQEt* QDtのゲートに
電位V。fを与えるようにしたものである。なおこの電
位V。lの値はE形のMOS)ランジスタQEIのし無
いイ1電圧よりも大きな電位V7かD形のMOS)ラン
ジスタQD宜のし睡い籠電圧よ)も負に大きな電位V 
L/のいずnか一方に設定される。 この(ロ)路においてV。lがV H/の時にはMOS
トランジスタQN**QD*が共にオンするため、通常
のg/D形インバータと同様に動作する。 一方、V atがV L/の時にはMOS)ランジスタ
Qlim I QDtが共にオフするため、Voutと
vDDおよびVB2それぞれの電流経路は辿断されてV
 outは高インピーダンス状態となり、Voutのレ
ベルは不定となる0したがって、この回路は■。lの電
位によって下記の表14に示すように二?1llJIj
lの論理間係を持つことになる。なお、上記電位V。l
t’sするには、第2図に示す電位発生回路のV 電位
−を他の回路のvss電位か8 ら分離し、これを上記V L/よシも低い電位に設定す
ればよい。 嚢   14 謝21図はこの発明をE/D形NAND回路に実施した
場合の構成図である0この実施例(9)路は、負荷トラ
ンジスタとなりソース、ドレイン間がVDD印加点とV
out  との間に挿入されかつゲートがvOutK接
続されたD形のMO8トランジスタQDIと、駆動トラ
ンジスタとzb各ドレイン、ソース間がVoutとV8
8印加点との間に直列挿入さnかつゲートに入力信号V
ine。 V’ i n=  それぞれが与えられる2個のE形の
MOSトランジスタQIssQB4とからなる通常のE
/I)形NAND回路の、MO8t−ランジスタQEs
のソースと■5stJ加点との間にE形のMOSトラン
ジスタQjCsのドレイン、ソース間を挿入しかつこの
MO!hランジスタQffsのゲートに前記第2−(ロ
)略の出力電位y。を与えるようにしたもである。 このような回路に2いて、vo  がvL  0時には
MOSトランジスタQlsは?’lSにオフとなり、V
inlと Vine が同時にHレベルとなる時にのみ
Vout b5 L L/ ヘル(C9るというjJf
l’pf、 tD NAND回路として動fμする0−
力、Vo  が■8  の時にHMO8I−ランジスタ
QlsU%にオンとかり、この場合、VoutはVin
e  とtよ無関係となり、Vinl に対して率なる
インバータとして動作する。したがって、この回路はV
。の電位によって下記のt!15に示すように二に=n
の電層関係を持つことになる0 表      15 11422図はこの発明をE/D形N Ok<回路に実
施した場合の構成図である。この実施例回路は、負荷ト
ランジスタとなりソース、ドレイン間がVDD印加点と
Vout  との間に挿入されかつゲートがVout 
K接続されたD形のMOSトランジスタQD番と、駆動
トランジスタとなり各ドレイン、ソース間がVoutと
■s8印趣点との間に並列挿入されかつゲートに入力信
号Vin1゜Vinyそれぞれが与えられる2個のE形
のMOSトランジスタQls、QEテ とからなる通常
のE/D形NOR回路のMOS)ランジスタQgvのソ
ースと■88印加点との間にE形のMOSトランジスタ
Ql−のドレイン、ソース間を挿入し、かつこのMOB
)ランジスタQ1mのゲートに前記録21W[i?j路
の出力電位V。を与えるようにしたものである。 このような回路において、■ が■□であシMOSトラ
ンジスタ91mがオンしている時には、この回路は通常
のNOR回路として動作する。ただし2@のMOB)ラ
ンジスタQlマ*Q”s が直列接続されているので、
Vinl  がHレベルでMOB)ランジスタQKyが
オンしている時にVout をv ss 1111!圧
レベルまで引き浩すことがで睡ろようにMOB)ランジ
スタQlマ、Q1.  の直夕1jコンダクタンスとI
VIO8)ランジスタQD4のコンダクタンスとの比を
設定する必要がある〇−力、Vo がvLであシMO8
)ランジスタQlsがオフしている時には、Voutは
Vin、  トとは無関係にVinl  によって定f
多しかもVinlがHレベル、Lレベルの時にはVou
t  はLレベル、Hレベルとなり、この回路は単なる
インバータと17で動作する。したがって、この回路は
Vo の電位によって下記の表16VC示すように二拘
−の−fIAlkl係を持つことになる。 表   16 823図はこの発明をE/D形排他的論理和回路に実施
した場合の構成図である。この実施例回路は、負荷トラ
ンジスタとなりソース、ドレイン間がVJ’)D印加点
とノードN4との間に挿入されかつゲートがノードN4
に接続さ1.たD形のMOB)ランジスタQD6、駆動
トランジスタとなり上記ノードN4とvss印加点との
間に各ドレイン、ソース間が直列挿入されゲートに入力
信号V1nt 、 Vine 、 Vin3  それぞ
れが与えられる3伽のE形のMOB)ランジスタQ K
o * Q Et。。 Q”ll、同様に駆動トランジスタとなり上記ノードN
番とv、3印加点との間に各ドレイン、ソース間が直列
挿入されゲートに3個の各E/D形インバ〜りI!〜工
、を介して上記入力信号V inl @ V ink 
l V ln@  それぞ1が与えられる3個のE形の
MOSトランジスタQl+t + QEts + Q1
14および上記ノードN番の信号を反転して田力信%V
out  を得るE/D形イフィンバーター1らなる通
常の3人力E/D形排他的bm和回路の、MOSトラン
ジスタQE+oのソースとvss印加点との間にE形の
MOSトランジスタQ B + s  のドレイン、ソ
ース−1&挿入すると共にMOSトランジスタQltm
  のソースと■8B印加点との間にもう1個のE形の
MOSトランジスタQ ie tsのドレイン、ソース
間を挿入しかつ両MOSトランジスタQ11謬eQ”i
sのゲートに前記第2図回路の出力電位V。を与えるよ
うにしたものである。 この囲路において、V がvL  でありMO8トラン
ジスタQLg t Qltsが共にオフしている時には
、Vinl、 Vin、 、 VineがすべてHレベ
ルあるいはLレベルの時にVout #inレベルとな
り、この場合には通常の3人力排他的論理和回路として
動作する◇たたしそれぞれ3個直列接続されたMOSト
ランジスタQち〜Qも、あるいはQL鵞〜Q 114 
のうち一方のすべてがオンする場合には、インバータ■
、・を反転させるに十分なj[tl能力を持つように3
個のE形のMOSトランジスタの直列コンダクタンスと
D形のMOSトランジスタQDsのコンダクタンスとの
比を予め設定しておく必要がある。一方、vo がvH
でありMOB)ランジスタQ 11 m e Q 1e
tsが共にオンしている時には信号V i n Bは動
作とは無関係になり、この場合にはVinlとVi的 
の2人力の排他的論理和回路として動作する。 第24図はE/D杉(支)8回路とE/D形NA冊回路
の間の変更を可能とする回路にこの発明を実施した場合
の構成図である。 この実施例回路は、負荷トランジスタとなりソース、ド
レイン間がvDD印加点とVout  との間に挿入さ
れかつゲートがVout K接続されたD形のMOB)
ランジスタQDsと、駆動トランジスタとなり各ドレイ
ン、ソースr&tl tri Vout  トとv81
1印加点との間に直列挿入されかつゲートに入力08号
V i n3 e V iWNm  それぞれが与えら
れる211のE形のMOB)ランジスタQMty * 
QRtaならびにゲートに入方伯号■jn!、lIO記
第2図回路の出力電位V。それぞれが与えらnる2伽の
E形MOSトランジスタQRto + QExtとから
なる回路の、MOB)ランジスタQletyのソースと
vss印加点との藺にE形のMosトランジスタQit
eを のドレイン、ソース〜Um入シカっこのMOS妙・ トランジスタQも・のゲートv。分与えるようにしたも
のである。 このような回路において、voがvLf)時に祉MO8
)ランジスタQletoとQEHとは常にオフlなり、
VinlとVin2が同時にHレベルとなる時のみMO
SトランジスタQltマとQltta の直りji1g
l鮎を介してVout がLレベルになるという通常の
NANDtgl路と同様に動作する。一方、■。 2>EVH(7)時にはMOB)ランジス’) Q I
J* v Q 111は常にオンとな’) QE+sの
オン、オフはVoutには無関係となり、Vinl も
しくはVineのどちらか一方がHレベルであれは、M
OSトランジスタQ ”1?とQlt・の1列回路もし
くはMO8トランジスタQEto  とQExtの直列
回路ケ介してVout  がLレベルになるという通常
のNOR回路とNoにvJ1下する。したがってこの回
路はvoの電位によって下に゛の表17に示すように二
棟−の一埴関係を持つことになる。 表   17 このように上四己咎実施例およびその変形例のMO8杉
@塩回路は、v。 あるいは■。lの電位に工6じて二
千創学の論理関係f持つことになる。 したがって、まず過剰余裕をつけずかつ論理変処のない
回路を予め徊成しておき、この回路によって全体回路が
う1く動作すf’Ll/f:i!!I剰余裕のない適正
な回路が術数されたことになり、またもしこの回路では
十分なlo回路動作が得られない場合には削配第1(v
J(a)ないしくC)あるいけ第2図回路の各入力端子
13.JZ、46.J6に書き込み電圧vw、■Vvl
を与えてV。あるいはV。lの電位を変更し、この電位
がゲートに与えられているMOB)ランジスタをオフあ
るしはオンさせることによって論理を変莢させて回路全
体をうまく製作させるようにすることがで會る。 すなわち、二種類の論塩関係を過べるようにすることに
よって、−理変更に件なうロ略パターン設計灸史が回避
できしかも過剰余裕を除去したミー正な設計を行なうこ
とかできる。 しかもこの発明のMO8Me!!理回路の電、位発生手
段では、フユーズ素子等を溶断して出力電位V。を変更
するわけではないので、一度変更した電位を再び元に復
帰させることができ、したがって、回路動作の敢過条件
tl−臥行−糾して殊すコー ことがで鰺、フユーズ素子*を浴vtrして出力電位V
。を決める方法にくらべてはるかに容易に最適条件を探
すことが可能となる。 なお、この発明は上記した実施例に限定されるものでは
なく、たとえば絽3図(a)に示−f MNO8トラン
ジスタ11のシリコン窒化膜104の代りにアルミナ膜
< Ait o s >を用いてもよく、さらにはチタ
ン酸ビスマス膜(Bi4Tin Olりのような@誘電
体膜を用いてもよい0筐たさらにはシリコン酸化膜10
3とシリコン窒化膜104との界面にタングステン(W
)等の金MU子からなる金属皮膜を形成して、電子のト
ラップ密度を増加させ、11趣込み効率を^めるように
してもよい。さらに1iFL1図(a)ないしくc)お
よび第2図の回路において、不揮発性m1tan子とし
てMNOSトランジスタ、FAMO8の他にS AMO
S全相いてもよい。またこれらの不揮発1!!E素子に
おける消去は電気的に行なうようにしてもよい。 そしてさらに−理の変更全行なう酬埋回路は、インバー
タ、N0RSNANDu路以外のものでもよく、入力が
三つ以上であってもよい。 また、前記第5図及び第6図の実施例回路では、それそ
n2つのnチャネルMO8)ランジスタQnt t Q
nt 及びpチャネルMOSトランジスタQp+ −Q
Pm  のうち、それぞ;n−Vout に近い方のト
ランジスタQnx e Qpt  のゲートに入力信号
Vin  を、Voutから遠い方のトランジスタQn
* * QPt  のゲートに電位V。を与える場合に
ついて−、明したが、これはこj、とは逆に、第25図
及び第26図にだすように、vOut に近い方のトラ
ンジスタQnt s QpI  それぞれのゲートに電
位vo  を、Voutから遠い刀のトランジスタQn
t * QPt  それぞれのゲートに入力信号Vin
  を与えるようにしてもよい0そしてこのことは他の
実施例回路についても同様の変形を施こすことが可能で
ある。 以上説明したようKこの発明によれば、電位発生手段か
らの出力電位を不揮発的に電文することによって&f[
波史を行なうという冗長機能を持たせたので、aii鳩
&吏の有無に伴なう設計変更あるいは過剰な偵号伝厳速
1や信号伝搬時間の余裕を持′)過刺舘裕叡計を避けて
設計の簡単化あるいは過剰余裕を除去した適正な設計を
行なうことμで舞るMOS形−理回路を提供することが
で性る。 4、図面の簡単な説明 lI&1図(a)ないしくe)および第2図はそれぞれ
この発明のMOS形−埴回路に用いられる電位発生手段
の一例を示す回路栴&函、給3図(a)ないしくe)は
上記電位発生手段に設けられる不揮発性記憶素子の構成
を示すIr面図1、第4図は通常のC−MOBインバー
タの回路構成図、lR5図ないし1118図はそれぞれ
この発明をC−MOSインバータに実施した場合の実t
MA例およびその変形例ノIl成1fi、* 9 図ハ
通常+7) 2 人力C−MO8NAND回路の構成図
、[1017および[11図はそれぞれこの発明をC−
MO8NAND 回路に実施した場合の実施例とその変
形例の構成図、第12函および11118図はそれぞれ
このJjl明をC−MO8NOR回路に1!織した場合
の実施例とその変形例の構成図、第14図はこの発明を
C−MOSOR製遅延回路に実施した場合の構成図、第
15図はこの発明をC−MO8AND型遅延回路に実施
した場合の構成図、第16図はこの発明をC−MOB 
排他的論理和回路に実施した場合の構成図、第17@は
この発明をC−MO8NOR回路とC−MO8NAND
回路間の電文を可能とする回路に実施した場合の構成図
、亀18図ないし#424図はそれぞれこの発明をE/
D形論理回路に1!總した場合の実施例およびその変形
例の構成図、第25図及び第26図はそれぞれ第5図及
び島6図回路の変形例の構成図である。 1〜1.21〜f15.41・°・pチャネルのR08
)ランジスタ、8〜10.26へ28゜42〜44・・
・nチャネルのMOSトランジスタ、11・・・MNO
S)ランジスタ、29・・・浮遊ゲートなだれ注入型M
O8)ランジスタ(FAMO8)、45.55・・・積
層ゲートなだれ注入量MOSトランジスタ (FAMO
8)、s 1〜53・・・エンハンスメントモードのM
O8)ランジスタ、54・・・ディプレッションモード
のMOSトランジスタ、100・・・N型シリコン牛尋
体基体、101゜102・・・P 截不純物拡散領域、
103・・・シリコン酸化層、1−04・・・シリ迦ン
窒化膜、106・・・ポリシリコン膜、106・・・ゲ
ート電極、JOY・・・導電体層、108・・・浮遊ゲ
・−計電極、200・・・PMシリコン半堺体基体、2
01.2zl、・・・Nff1不純物拡散領域、203
・・・浮遊ゲート電極、204−・・制御電極、Qpt
  〜Qlh・・・・pチャネルMO8)ランジスタ、
(n1〜Qlltt  ・・・nチャネルMOSトラン
ジスタ、QDt〜QD・・・・ディプレッションモード
のMO8)ランジスタ、Q”t〜Qlzt・・・エンハ
ンスメントモードのMO8)ランジスタ、■1〜1.・
・・C−MO8インバータ、Iv〜11o・・・E/D
形インノく −夕 。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)  一つ以上のMOa)ランジスタのゲートを信
    号入力熾とし二つ以上のMOa)ランジスタの各ドレイ
    ンが共通接続されたノードな信号出力端とし−、幻の電
    位間で動作する論理回路と、出力電位が不挿発的c:f
    史できる電位発生手段と、上記論理回路の信号出力端(
    :直接もしくは一つ以上のMO8トランジスタを介して
    ドレインが結合されソースが直接もしくは一つ以上のM
    O8トランジスタを介して上記一対のいずれか一方の電
    位C二結合されかつゲートに上記電位発生手段からの出
    力電位が与えられる一つ以上のM08トランジスタとを
    具備し、上記電位発生手段の出力電位を変更すること篭
    二よって上記−gA(ロ)路の論理を変更するようにし
    たことを特徴とする MOa  形論理回路。 (2)前記論理回路は駆動トランジスタが一方チャネル
    のMOa)ランジスタであり負荷トランジスタか他力チ
    ャネルのMOa)ランジスタによって構成された特許1
    1!氷の軛vB第1狽(二記載のMO8形1i/ajj
    ll路。 (3)前記−理H路は駆動トランジスタかエンハンスメ
    ントモードのMOa )ランジスタであり負荷トランジ
    スタかディ7レンVヨンモードのM08トランジスタ(
    =よって構成された特許請求の範囲第1項C二記載のM
    O8形論理(9)路。 (4)  前記−fM(9)路の信号出力端が次段の一
    つ以上のMOa )ランジスタのゲート(=接続されて
    いる特許請求の範囲第1積6二紀載のMUS形論fjj
    A(ロ)路。 (5)前記電位発生手段が不弾発性記憶本子を備えてい
    る特許請求の範囲第1項(二記載のMO8形論理回路′
    。 (6)  1紀不揮発性記憶素子は、牛専体基体、この
    基体の表面領域に存在し基体とは反幻導亀童の互い鴫二
    階関した少なくとも一対の^濃反不純物拡歓慎域、この
    一対の高凝度不純物拡散領域の間の基体表面上に二他以
    上の絶縁膜を積場して形成したゲート電極を備えた絶縁
    ゲート形不揮発性記憶本子である特許請求の範囲第5項
    じ記載のMO8形論塩−路。 (7)前記二種以上の絶縁膜のうちの一つが強誘電体か
    らなる絶縁膜である特許請求の範囲第6項C二記載のM
    Oa形論理回路。 (8)  前記二楕以上の絶縁膜のうち少なくとも一対
    の杷IIkMI!4の界1k(二金輌皮展を形成したへ
    軒請氷の範囲第6項(=記載のM(J8形−理回路・(
    9)  1紀不揮発性記憶素子は、半尋体基体、この基
    体の表向領域C二存在し基体とは反対導電型の互い4=
    lIi11関した少なくとも一対の高礒曳不純物拡散領
    域、この一対の高鎖度不純物拡散領域の閣の基体赤面に
    絶縁膜を担棟して形成したいずれの電位(二も接続され
    ず浮遊状態にある第1のゲート電極を備え、かつ上記ゲ
    ート電極上に絶縁膜を介してm2のゲートを備え上記縞
    2リゲートは不弾発性記tm素子誉き込み用電圧印加点
    C:直接もしくは一つ以上のMOS)クンジスタを介し
    て接続された浮遊ゲート形不揮発性記憶系子である籍#
    ’Firll氷の範囲第5項!:紀献のMOS形−理口
    路。 (10)   前記n遊ゲート形不弾発性記憶木子が浮
    遊ゲートなだれ注入gMO8)ランジスタである特許i
    !′11I氷の1kil第9項礁二記載のMOS形−理
    (9)路。 (11)   Ill記浮遊ゲート形不弾発性記・憶凧
    子が槓鳩ゲートなたれ注入WMO8)ランジスタである
    特許請求の範囲第9項C二記載のMO8形論理回路。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60128717A (ja) * 1983-12-16 1985-07-09 Toshiba Corp 集積回路装置
JP2020187459A (ja) * 2019-05-13 2020-11-19 ローム株式会社 定電圧回路及びその動作方法、及び半導体装置

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JPS60128717A (ja) * 1983-12-16 1985-07-09 Toshiba Corp 集積回路装置
JP2020187459A (ja) * 2019-05-13 2020-11-19 ローム株式会社 定電圧回路及びその動作方法、及び半導体装置

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