JPS5888144A - 金属又は金属酸化物被膜付着ガラス及びその製造方法 - Google Patents
金属又は金属酸化物被膜付着ガラス及びその製造方法Info
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- JPS5888144A JPS5888144A JP18659781A JP18659781A JPS5888144A JP S5888144 A JPS5888144 A JP S5888144A JP 18659781 A JP18659781 A JP 18659781A JP 18659781 A JP18659781 A JP 18659781A JP S5888144 A JPS5888144 A JP S5888144A
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- Japan
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- metal
- glass
- metal oxide
- silica
- film
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- Pending
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- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は金属又は金属酸化物被膜付着ガラス、及びその
製造方法に関する。
製造方法に関する。
従来、金属又は金属酸化物被膜付着ガラスはガラス板の
表面に真空蒸着法、スパッタリング法、焼付は法等によ
り、金属、又は金属酸化物被膜を付着して製造していた
。
表面に真空蒸着法、スパッタリング法、焼付は法等によ
り、金属、又は金属酸化物被膜を付着して製造していた
。
このようにして製造された金属、又は金属酸化物被膜付
着ガラスは長年月の間にガラス中のアルカリが金属又は
金属酸化物被膜中に移動し、該被膜を犯す欠点があった
。
着ガラスは長年月の間にガラス中のアルカリが金属又は
金属酸化物被膜中に移動し、該被膜を犯す欠点があった
。
特に液晶等の表示素子に用いられる酸化錫を含む酸化イ
ンジウムの透明電導被膜付着ガラスはガラスから移動し
たアルカリが表示要素の液晶等に溶出したり、液晶等を
劣化させたり、透明電導被膜を犯したりして、表示素子
の寿命を短くする欠点があった。
ンジウムの透明電導被膜付着ガラスはガラスから移動し
たアルカリが表示要素の液晶等に溶出したり、液晶等を
劣化させたり、透明電導被膜を犯したりして、表示素子
の寿命を短くする欠点があった。
この欠点を除去するには、ガラス基板に表面が化学的に
安定な石英ガラスを用いるのが好ましいが、透明な石英
ガラス板を製造するのが困難なため、その価格が高くな
るので、アルカリを含むシリケートガラスの表面に、真
空蒸着法や焼付法によってシリカ膜をコーティングして
、該シリケートガラス中のアルカリが被膜又は液晶等に
悪影響を及ぼさないようにしていた。しかしながら、ア
ルカリを含むシリケートガラス板の表面にシリカをコー
ティングしたガラス基板を用いた金属又は金属酸化物被
膜付着ガラスであっても、使用条件によっては該シリケ
ートガラスのアルカリが表示賞素の液晶等の劣化を早め
たり、電極の金属、又は金属酸化物被膜を犯したりする
ため、さらに優れた金属又は金属酸化物被膜付着ガラス
の開発が望まれている。
安定な石英ガラスを用いるのが好ましいが、透明な石英
ガラス板を製造するのが困難なため、その価格が高くな
るので、アルカリを含むシリケートガラスの表面に、真
空蒸着法や焼付法によってシリカ膜をコーティングして
、該シリケートガラス中のアルカリが被膜又は液晶等に
悪影響を及ぼさないようにしていた。しかしながら、ア
ルカリを含むシリケートガラス板の表面にシリカをコー
ティングしたガラス基板を用いた金属又は金属酸化物被
膜付着ガラスであっても、使用条件によっては該シリケ
ートガラスのアルカリが表示賞素の液晶等の劣化を早め
たり、電極の金属、又は金属酸化物被膜を犯したりする
ため、さらに優れた金属又は金属酸化物被膜付着ガラス
の開発が望まれている。
本発明者は鋭意研究した結果、前記欠点を除去した金属
、又は金属酸化物被膜付層ガラスを製造することに成功
した。すなわち、本発明者は珪弗化水素酸にシリカを溶
かした水溶液に、ホウ酸を添加するとともに、アルカリ
を含むシリケートガラス基板を浸漬せしめることにより
、該シリケートガラス基板表面にシリカ膜を形成するこ
とができることに層目し、本発明を成し遂げたものであ
る。
、又は金属酸化物被膜付層ガラスを製造することに成功
した。すなわち、本発明者は珪弗化水素酸にシリカを溶
かした水溶液に、ホウ酸を添加するとともに、アルカリ
を含むシリケートガラス基板を浸漬せしめることにより
、該シリケートガラス基板表面にシリカ膜を形成するこ
とができることに層目し、本発明を成し遂げたものであ
る。
本発明の第1の発明はアルカリを含むシリケートガラス
基板に金属又は金属酸化物被膜を付着した被膜付着ガラ
スにおいて、金属又は金属酸化物被膜を付着する該シリ
ケートガラス基板の表面に、析出させたシリカ膜を形成
したことを特徴とする金属又は金属酸化物被膜付着ガラ
スであり、本発明の第一の発明は珪弗化水素酸にシリカ
を溶かした水溶液にホウ酸を添加した処理溶液にアルカ
リを含むシリケートガラス基板を浸漬し、該シリケート
ガラス基板の表面にシリカ膜を形成させた後、該シリカ
膜上に金属又は金属酸化物被膜を付着する金属、又は金
属酸化物被膜付着ガラスの製造方法である。
基板に金属又は金属酸化物被膜を付着した被膜付着ガラ
スにおいて、金属又は金属酸化物被膜を付着する該シリ
ケートガラス基板の表面に、析出させたシリカ膜を形成
したことを特徴とする金属又は金属酸化物被膜付着ガラ
スであり、本発明の第一の発明は珪弗化水素酸にシリカ
を溶かした水溶液にホウ酸を添加した処理溶液にアルカ
リを含むシリケートガラス基板を浸漬し、該シリケート
ガラス基板の表面にシリカ膜を形成させた後、該シリカ
膜上に金属又は金属酸化物被膜を付着する金属、又は金
属酸化物被膜付着ガラスの製造方法である。
を
本発明において、アルカリ金倉むシリケートガラス基板
として通常の板ガラス組成のソーダ・ライム・シリケー
トガラスが用いられる。
として通常の板ガラス組成のソーダ・ライム・シリケー
トガラスが用いられる。
また、本発明においてシリケートガラス基板に付着され
る金属又は金属酸化物被膜は、通常金、銀。
る金属又は金属酸化物被膜は、通常金、銀。
ニッケル、銅、アルミニューム、その他の金属。
又は酸化スズ、酸化インジウム、酸化カドミウム。
その他の金属酸化物の被膜である。
更にまた、本発明においてシリケートガラス基板に析出
されるシリカ膜の厚みは300 A 乃至、230O
A程度であることが好ましい。
されるシリカ膜の厚みは300 A 乃至、230O
A程度であることが好ましい。
更にまた、本発明において、シリケートガラス基板にシ
リカ膜を析出させるには、シリカ飽和珪弗化水素酸の水
溶液にホウ酸を添加した溶液内にシリケートガラス基板
を浸漬することによって成し遂げるのが好ましく、特に
へ〇モル/l乃至3.0モル/lの濃度のシリカ飽和珪
弗化水素酸水溶液に/、! X / 0−2モル/l乃
至3.0モル/lのホウ酸を添加した溶液にシリケート
ガラス基板を浸漬することが特に好ましい。
リカ膜を析出させるには、シリカ飽和珪弗化水素酸の水
溶液にホウ酸を添加した溶液内にシリケートガラス基板
を浸漬することによって成し遂げるのが好ましく、特に
へ〇モル/l乃至3.0モル/lの濃度のシリカ飽和珪
弗化水素酸水溶液に/、! X / 0−2モル/l乃
至3.0モル/lのホウ酸を添加した溶液にシリケート
ガラス基板を浸漬することが特に好ましい。
本発明はアルカリを含むシリケートガラス基板の金属、
又は金属酸化物被膜を付着させる表面にシリカ膜を析出
するものであるから、従来の金属又は金属酸化物被膜付
着ガラスに比べて、該被膜が長年月の間に該シリケート
ガラス中のアルカリに犯され難く、耐久性のある金属又
は金属酸化物被膜付着ガラスを得ることができる。
又は金属酸化物被膜を付着させる表面にシリカ膜を析出
するものであるから、従来の金属又は金属酸化物被膜付
着ガラスに比べて、該被膜が長年月の間に該シリケート
ガラス中のアルカリに犯され難く、耐久性のある金属又
は金属酸化物被膜付着ガラスを得ることができる。
また本発明はシリケートガラス基板に析出させすること
により、シリカ膜にクラックが生じることを防ぎ、且つ
該シリケートガラス基板のアルカリによる悪影響を充分
に除去できる。
により、シリカ膜にクラックが生じることを防ぎ、且つ
該シリケートガラス基板のアルカリによる悪影響を充分
に除去できる。
更にまた、本発明はへ〇モル/l乃至3.0モル/jの
濃度のシリカ飽和珪弗化水素酸水溶液に7.5X10−
2モル/l乃至3.0モル/lのホウ酸を添加した溶液
にシリケートガラス基板を浸漬することにより、特に安
定してシリケートガラス基板上にシリカ膜を析出できる
。
濃度のシリカ飽和珪弗化水素酸水溶液に7.5X10−
2モル/l乃至3.0モル/lのホウ酸を添加した溶液
にシリケートガラス基板を浸漬することにより、特に安
定してシリケートガラス基板上にシリカ膜を析出できる
。
以下に本発明の実施例について詳述する。
015重量%の弗化水素酸水溶液に板ガラス組成のソー
ダ・ライム・シリケートガラスの板を10分間浸漬して
水洗して、表面を清浄にした2枚のガラス板lを用意し
た。
ダ・ライム・シリケートガラスの板を10分間浸漬して
水洗して、表面を清浄にした2枚のガラス板lを用意し
た。
一方、/、jモル/lのシリカ飽和珪弗化水素酸水溶液
に/l当り一、J X / 0−2mailのホウ酸を
添加した処理液を用意した。前記処理液を3j″Cに加
熱し、前記2枚のガラス基板/を夫々j時間及び70時
間浸漬し、ガラス基板lの表面に厚さシリカ膜コを形成
した前記2枚のガラス基板を夫々jOO℃30分間焼成
した後、ス・バッタリング法によってシリカ膜コの上に
錫をドーピングした酸化インジウム被膜を形成し、該被
膜をフォトリソグラフィー法により、第1図に示す櫛型
電極3を形成した後、4Ioo″C30分間焼成して夫
々本発明に係る試料A及び試料Bを得た。
に/l当り一、J X / 0−2mailのホウ酸を
添加した処理液を用意した。前記処理液を3j″Cに加
熱し、前記2枚のガラス基板/を夫々j時間及び70時
間浸漬し、ガラス基板lの表面に厚さシリカ膜コを形成
した前記2枚のガラス基板を夫々jOO℃30分間焼成
した後、ス・バッタリング法によってシリカ膜コの上に
錫をドーピングした酸化インジウム被膜を形成し、該被
膜をフォトリソグラフィー法により、第1図に示す櫛型
電極3を形成した後、4Ioo″C30分間焼成して夫
々本発明に係る試料A及び試料Bを得た。
次に前記ガラス基板/を有機カルボン酸とテトラハロゲ
ノシランとの反応生成物のアルコールに溶液を塗付した
後、加熱してガラス基板の表面に厚さ/200にのシリ
カ膜を形成し、前述の試料A。
ノシランとの反応生成物のアルコールに溶液を塗付した
後、加熱してガラス基板の表面に厚さ/200にのシリ
カ膜を形成し、前述の試料A。
Bと同様にしてシリカ膜上に錫をドーピングした酸化イ
ンジウム被膜からなる櫛型電極を形成した比較試料Cを
得た。
ンジウム被膜からなる櫛型電極を形成した比較試料Cを
得た。
本発明の試料A及びBと比較試料Cのガラス基板のアル
カリ、特にナトリウムの移動の難易をみるため、両記料
を相対湿度90%の雰囲気中で、櫛型電極間に−KH2
,jVの正弦波を印加し、イオン電導による漏洩抵抗を
測定したところ、試料A及びBは夫々/jMΩ及び30
MΩであり、試料Cは&MΩであった。すなわち、試料
A及びBは試料Cよりも、ガラス基板/のアルカリの移
動を防げる作用が大であることがわかる。
カリ、特にナトリウムの移動の難易をみるため、両記料
を相対湿度90%の雰囲気中で、櫛型電極間に−KH2
,jVの正弦波を印加し、イオン電導による漏洩抵抗を
測定したところ、試料A及びBは夫々/jMΩ及び30
MΩであり、試料Cは&MΩであった。すなわち、試料
A及びBは試料Cよりも、ガラス基板/のアルカリの移
動を防げる作用が大であることがわかる。
以上は本発明の典型的な一実施例を示したものであって
、本発明は前述の実施例に限定されることはない。例え
ば、本実施例においてはガラスの表面の汚れを除去する
のに弗化水素着水溶液を用いたが、これは洗浄側を限定
するものではなく、塩酸1g4酸、その他の酸の水溶液
により、ガラス表面を洗浄できる。また本実施例ではガ
ラス基板l上にシリカ膜を析出させた後、SOO℃で3
0分間熱処理しているが、この熱処理は必ずしも必要で
はない。更にまた本実施例では透明電導被膜付着ガラス
について述べたが、被膜は必ずしも電導性のあるものに
限らず、金属又は金属重化物の被膜であればよく、また
被膜の形成法もスパッタリング法に限らず、真空点着法
、又は焼付法によってもよい。
、本発明は前述の実施例に限定されることはない。例え
ば、本実施例においてはガラスの表面の汚れを除去する
のに弗化水素着水溶液を用いたが、これは洗浄側を限定
するものではなく、塩酸1g4酸、その他の酸の水溶液
により、ガラス表面を洗浄できる。また本実施例ではガ
ラス基板l上にシリカ膜を析出させた後、SOO℃で3
0分間熱処理しているが、この熱処理は必ずしも必要で
はない。更にまた本実施例では透明電導被膜付着ガラス
について述べたが、被膜は必ずしも電導性のあるものに
限らず、金属又は金属重化物の被膜であればよく、また
被膜の形成法もスパッタリング法に限らず、真空点着法
、又は焼付法によってもよい。
また、実施例では述べなかったが、ガラス基板にシリカ
膜を析出する際、珪弗化水素酸水溶液中にガラス中のア
ルカリイオンが溶出しないようにあらかじめガラス基板
をzn+十又はSn十十を含む塩の水溶液に浸漬しても
よい。更にまた本発明は珪弗化水素酸の濃度添加するほ
う酸の量、処理温度、処理時間等を変えることも可能で
あり、それによって種々の厚みのシリカ膜を形成するこ
とは述べるまでもない0
膜を析出する際、珪弗化水素酸水溶液中にガラス中のア
ルカリイオンが溶出しないようにあらかじめガラス基板
をzn+十又はSn十十を含む塩の水溶液に浸漬しても
よい。更にまた本発明は珪弗化水素酸の濃度添加するほ
う酸の量、処理温度、処理時間等を変えることも可能で
あり、それによって種々の厚みのシリカ膜を形成するこ
とは述べるまでもない0
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の一実施例を示すものであって、聴
第1図は櫛歯電極付層ガラスの平面図と結縁図を示し、
第2図は櫛歯電極付着ガラスの断面図であるO / : ガラス板 、 λ : シリカ膜3 :
櫛歯電極 手 続 補 iE Im和57年7月26El昭快年
j 月29日 特許庁長官 殿 l、 事件の表示 特原昭34− /16!;97号 2 発明の名称 金属又は金属酸化物被膜付着ガラス及びその製造方法3
補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 大阪府大阪市東区道修町ダ丁目を番地名 称
<ttoo> 日本板硝子株式会社代表者 菅 沼
俊 彦 ≠代理人 住所 東京都港区新橋!丁目//番3号新橋住友ビル 7 補正の内容 0)願書を別紙の通り補正する。(願書牙1頁オざ行目
Q「大阪府川西市」を「兵庫県用西市」K訂正する。) (2)明細書オ6頁オを行目の「3.0モル/A’Jを
「30×10−2モル/IJに訂正する。 (3)明細書オフ頁オ19行目の「両記料」を「両試料
」に訂正する。 以 上
第2図は櫛歯電極付着ガラスの断面図であるO / : ガラス板 、 λ : シリカ膜3 :
櫛歯電極 手 続 補 iE Im和57年7月26El昭快年
j 月29日 特許庁長官 殿 l、 事件の表示 特原昭34− /16!;97号 2 発明の名称 金属又は金属酸化物被膜付着ガラス及びその製造方法3
補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 大阪府大阪市東区道修町ダ丁目を番地名 称
<ttoo> 日本板硝子株式会社代表者 菅 沼
俊 彦 ≠代理人 住所 東京都港区新橋!丁目//番3号新橋住友ビル 7 補正の内容 0)願書を別紙の通り補正する。(願書牙1頁オざ行目
Q「大阪府川西市」を「兵庫県用西市」K訂正する。) (2)明細書オ6頁オを行目の「3.0モル/A’Jを
「30×10−2モル/IJに訂正する。 (3)明細書オフ頁オ19行目の「両記料」を「両試料
」に訂正する。 以 上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (11アルカリを含むシリケートガラス基板に金属又は
金属酸化物被膜を付着した被膜付層ガラスにおいて、金
属又は金属酸化物被膜を付着する該シリケートガラス基
板の表面に、析出させたシリカ膜を形成したことを特徴
とする金属又は金属酸化物被膜付着ガラス。 (2)珪弗化水素酸にシリカを溶かした水溶液にホウ陵
を添加した処理溶液にアルカリを含むシリケートガラス
基板を浸漬し、該シリケートガラス基板の表面にシリカ
膜を形成させた後、該シリカ膜上に金属又は金属酸化物
被膜を付着する金属又は、金属酸化物被膜付着ガラスの
製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18659781A JPS5888144A (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 金属又は金属酸化物被膜付着ガラス及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18659781A JPS5888144A (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 金属又は金属酸化物被膜付着ガラス及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5888144A true JPS5888144A (ja) | 1983-05-26 |
Family
ID=16191333
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18659781A Pending JPS5888144A (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 金属又は金属酸化物被膜付着ガラス及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5888144A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63100043A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-05-02 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 熱線反射ガラス |
US10822268B2 (en) | 2015-04-29 | 2020-11-03 | Pilkington Group Limited | Splash screen |
-
1981
- 1981-11-20 JP JP18659781A patent/JPS5888144A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63100043A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-05-02 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 熱線反射ガラス |
US10822268B2 (en) | 2015-04-29 | 2020-11-03 | Pilkington Group Limited | Splash screen |
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