JPS5887527A - 光ミキシング機構 - Google Patents

光ミキシング機構

Info

Publication number
JPS5887527A
JPS5887527A JP18616681A JP18616681A JPS5887527A JP S5887527 A JPS5887527 A JP S5887527A JP 18616681 A JP18616681 A JP 18616681A JP 18616681 A JP18616681 A JP 18616681A JP S5887527 A JPS5887527 A JP S5887527A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mirror
light
point
reflecting mirror
mixing mechanism
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18616681A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiichiro Shinokura
毅一郎 篠倉
Kunio Sekine
関根 国夫
Yasuhiro Suenaga
末永 徳博
Nobunori Suenaga
末永 信紀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NIPPON SEKIGAISEN KOGYO KK
Original Assignee
NIPPON SEKIGAISEN KOGYO KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NIPPON SEKIGAISEN KOGYO KK filed Critical NIPPON SEKIGAISEN KOGYO KK
Priority to JP18616681A priority Critical patent/JPS5887527A/ja
Publication of JPS5887527A publication Critical patent/JPS5887527A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/14Beam splitting or combining systems operating by reflection only
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/1006Beam splitting or combining systems for splitting or combining different wavelengths
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/14Beam splitting or combining systems operating by reflection only
    • G02B27/141Beam splitting or combining systems operating by reflection only using dichroic mirrors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、S、淡の異なる2本の光束金量−の光軸に重
畳する光ミキシング機構に関する。
周知のように、波長の異なる2本の光束を、特に2本の
レーザ光を重畳することが種々の産業分野で行なわれて
いる。例えは、医用レーザの分野テハ、CO:レーザな
いしはYAGレーザ等の赤外線レーザ光にルー歯レーザ
等の可視レーザ光を重畳し、前記レーザ光の可視化をは
かることが行なわれている。同様に、C02レーザ光K
 YAGレーザ光を重畳し、生体患部に照射することも
提案されている。
@1図は従来より一般に用いられている光ミキシング機
構の説明図である。図示されるように1赤外レーザ光#
1より発生されるレーザ光6はダイクロイックきラ−3
の表側へ入射され、該ミラー3を透過する。
一方、可視レーザ光1112より発生されるレーザ光7
は、ミ?−4,5よって折り曲げられ、ダイクロイック
きラー3の裏側へ入射される。
ここで、レーザ光7がグイクロイックミツ−3に反射さ
れる際、反射光が前記レーザ光6に1畳するようにミラ
ー4.5の位置および角度が調整されている。
言うまでもなく、光ミキシングを行なうためには、原理
的には4個の自由度を有するミラーII4整機構が必要
である。そこで、この4個の自由度を得るためK11l
整用ミラーを2個用意し、該ミツ−各々に2方向の角嵐
倣調機構とミラーの平行移動機構とを具備させ光ミキシ
ングを達成するものである。
尚ここで、グイクロイックミツ−3はレーザ光6に対し
一定の角度を保持するように予がしめ設定されている。
なせならば、ダイクロイックミラー3は角度が変わると
レーザ光6の透4損失が大きくなるので、該ミラー3に
は一般に微調機構が設けられてなかった。
ところが、前記したように従来のものでは、2方向の角
度倣、iMJ機構と平行移動機構という2個の自由度を
具備したミラーを2枚必要とし、更にダイクロイックミ
ラーが加わるため、構造が複雑になシ、ミキシングmm
全体が大型化するという欠点があった。そのため、レー
ザヘッドに塔載した場合、該ヘッドが著しく大型化し望
ましいものではなかった。
本発明は前記した従来機病の欠点に鑑みなされたもので
、その目的とするところは、ミラーの構成枚数を削減し
小型化できかつミラー調整機構が簡略化された新規な光
ミキシング機構を提供することである。
そこで、本発明ではダイクロイックミラーは入射光軸に
対して回転させても、また平行移動を行なっても入射光
の透過損失が不変であることに着目して該ミラーに自由
度を与え、史に反射ミラーを1枚付加することにより、
光ミキシングを達成するものである。
すなわち、前記ダイクロイックミラーに対し入射光束と
同一で該ミラーを回転させる回転手段を具備させ、前記
反射ミラーには回転手段ならびに角度調節手段を具備さ
せ、艷にダイクロイックミラーと反射ミラーの少なくと
も一方にミ2−を千行く移動させる手段を具備したもの
でらる◇以下では本発明について、添付の図面を参照し
て詳細に脱明する。
#!2図は本発明の光ミキシング機構をレーザヘッドに
塔載した際の一実施例を示す断1fil!略図である。
図示されるように、複数本のインバー欅14によって赤
外レーザ光源l、可視レーザ光源2が支持されている。
該レーザ光#1.2からはレーザ光6,7がほぼ平行に
出射きれ、る。
一方、前記インバー#14の端部にはホルダベース10
が固定される。そして、該ホルダペースIOK本発明の
光ミキシング機構が装備される。
前記ホルダベース10には開口15が穿設されており、
該開口にシリンダ状の第1ミラーホルダ8が回動自在に
挿嵌固定される。該ホルダ8の他端は斜めに切削されて
おり、レーザ光6に対して45゜を成すようにダイクロ
イックミラー3が固定される0 すなわち、PI11記ミラー3はレーザ光6に対して4
5°の角度を保ったまま回転することができる。
ここで、前記ミラー3の回転軸は、レーザ光6の入射光
光軸と正確に一111Lするよう予がしめ設定されてい
る。また所望により、咳ミラー3をレーザ光6の光軸上
で前後に平行移動させることができる。尚、前記ミラー
3へ入射するレーザ光6は、該ミラーを透過し前記開口
15より出射する。
前記ホルダベース10にはl!に開口16が穿設されて
おり、シリンダ状の第2ミラーホルダ9が回動自在に挿
嵌固定される。また、ホルダ9の他端には反射ミラー4
が斜めに一定されている。従って、反射ミラー4は回転
することができる。ここで該ミラー4の回転軸は、入射
レーザ光7の光軸に概略一致している。
可視レーザ光#2より出射されたレーザ光7は、反射ミ
ラー4に反射されダイクロイックミ2−3へと指向され
る。尚、ミラー3へ入射する際、入射角が概略4b0を
なすように設定されている。そしてレーザ光7は該ミラ
ー3の裏面で反射され、開口15より出射する。
調整ネジ13はホルダペース10を真通し、前記第2ミ
ラーホルダ9の底面へねじ込まれている。すなわち、該
調整ネジ13を回転さることにより反射ミラー4を光軸
方向に前後に平行移動させる。
また、第2ミラーホルダ9の側壁上には押ネジ11、引
きネジ12が設けられており、反射ミラー4の角度を調
節する。すなわち、押ネジ11を締め込むことにより、
ミラー4は矢印Aの方向に角IILを変える。また、引
きネジ12t−締め込むことにより、ミラー4は矢印B
の方向く角度を変えることができる。
尚、図示はしてないが、前記ホルダペース10の側面に
は2本の同だネジがねじ込まれており、各々が第1およ
び第2ミラーホルダ8,9の回転と前後移動を禁止する
以下では本発明のミキシングの原理を、第3図に示す説
明図に基づ含説明する。
図示されるように、ダイクロイックミラー3の回転軸を
ml +反射ミラー4の回転軸をm2とする。
言うまでもなく、回転軸m1はレーザ光6と同軸である
。また、赤外レーザ光源1より出射されたレーザ光6が
ダイクロイックミラ−3を通過した後の通過点をZl+
該21点より十分遠方での通過点を21とする。尚、2
1点はダイクロイックミラー3の近傍とする。さらに、
前6己Z、ならびに22点でレーザ光6に垂直な平面を
各々XY及びX’Y’面で表示する。ここで、前記可視
レーザ光源2より出射されたレーザ光7がXY平面、X
’Y’平面を4遇する点を各々a点及びb点とすると、
該レーザ光は以下のように操作される。
まず、反射ミラー4をrJを軸とし7て回転させること
により、xY開面上a点をX軸上のa′点へ移動さぜる
。これに対応して y:IY1面上のbaはb′点へ移
動する。
次に、ダイクロイックミラー3を町を軸として回転させ
ることKより、X’Y’面上のb′点を′)c軸上のb
″点へ移動させ−る。
しかる擾、反射ミラ−40角度調整によりa21とb”
Zlの距離が等しくなるように設定する。
そして峻後に、反射ミラー4の前後移動によつ(a’ 
zl= b”z、= oとなるように調節すればよい。
ここで、前記反射ミラー40代わりにダイクロイックミ
ラー3を前後移動させて調節してもよい0このようにし
て、レーザ光6とレーザ光7を重畳することができる。
尚、前記の操作の際、ダイクロイックミラー3の回転に
よって、XY画面上a′点が(x=o、y=0)点より
ずれていることがおる。このような場合でも、前記2.
点がダイクロイックミラー3に十分近く、また@紀z1
点が該ミラー3の十分遠方であれは、このすれはIIk
視し得る。このずれが無視し得ない場合には、前記した
操作を繰り返すことにより、ずれを無限に小さくするこ
とができる。
すなわち、レーザ光6.7のミキシングが達成されるこ
とになる。
以上詳述したように本発明は、ダイクロイックミラーに
も自由度を与えることに工9、ダイクロイックミラー1
枚と反射ミラー1枚との計2枚で波長の異なる2光束を
重畳できるものである。従って、ミラーの構成枚数が削
減され、ミキシング機構を非虜に小型化できるものであ
る。
また、前記反射ミラーの角度調整機構は一方向のみの角
度調整機構でよく、回転機構、ミラーの平行移動機構も
構造が簡単であり、ミラーのpJ4整機構が簡略化され
るものである。
尚、前記した実施例では、ミラーの平行移aSatグイ
クロイックミラーと反射ミラーとの双方に設けたものを
示したが、これはイρ」れか一方にのみ設けることでも
代替される。しかしながら、双方に前記DI4I4溝機
構け、一方で祖調を行ない、他方で微調を行なうように
構成した方が望ましい。
本発明は医用レーザのみならず、レーザ加工を始めとす
石積々の産業分野で利用され得るものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の光ミキシング機構を示す説明図、第2図
は本発明の一実施例を示す概略的斜視図、113図は本
発明のミキシングの原理を示す説明図である0図中に付
した記号は、 ′1・・・赤外レーザ光源、2・・・可視レーザ光源、
3・・・ダイクロイツクミ?−14,5・・・反射ミラ
ー、6.7・・・レーザ光、 を示す。 特許出願人 日本赤外線工業株式会社 代表者 末 永 傳 博

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (す互いに波長の異なる2本の光束を同一の光軸に重畳
    する光ミキシング機構において、#Ilの光源からの光
    束を透過しかつ第2の光源からの光束を反射するダイク
    ロイックミラーと、第2の光源からの光束を反射し前記
    ダイクロイックミラーへ指向する反射ミラーとを有し、
    前記ダイクロイックミラーにFi第1の光源からの光束
    を軸として咳ミラーを回転する手段が具備され、前記反
    射ミラーには該ミラーを回転する手段と、咳ミラーの角
    度を変える手段が具備され、さらに前記ダイクロイック
    ミラーと反射ミラーの少なくとも一方に該ミラーを平行
    移動させる手段を具備したことを特徴とする光ミキシン
    グ機構0(2)前記glfJ4記載の光ミキシング機構
    において、前記反射ミラーの角度を変える手段は一方向
    にのみ角度を変える手段であることを特徴とする光ミキ
    シング機構。 (3)前記第1ないし第2項記載の光ミキシング機構に
    おいて、前記ミラーを平行移動させる十設は入射光の光
    軸方向にミラーを平行移動させる手段であること4を%
    徴とする光ミキ/ング機嘴。
JP18616681A 1981-11-19 1981-11-19 光ミキシング機構 Pending JPS5887527A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18616681A JPS5887527A (ja) 1981-11-19 1981-11-19 光ミキシング機構

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18616681A JPS5887527A (ja) 1981-11-19 1981-11-19 光ミキシング機構

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5887527A true JPS5887527A (ja) 1983-05-25

Family

ID=16183539

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18616681A Pending JPS5887527A (ja) 1981-11-19 1981-11-19 光ミキシング機構

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5887527A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4892371A (en) * 1986-12-04 1990-01-09 Fuji Xerox Co., Ltd. Semiconductor laser array light source and scanner

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4892371A (en) * 1986-12-04 1990-01-09 Fuji Xerox Co., Ltd. Semiconductor laser array light source and scanner

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4174154A (en) Laser manipulator apparatus with double pivotal mirrors
US4982166A (en) Method and apparatus for combining two lower power laser beams to produce a combined higher power beam
TW200518867A (en) Laser processing apparatus
JPS5887527A (ja) 光ミキシング機構
US5422758A (en) Adjustable beam splitter
JP7410121B2 (ja) 2つのオフセットレーザビームを提供するための光学装置及び方法
JP4539652B2 (ja) レーザ加工装置
JPH10115784A (ja) 鏡筒を有する光学機器
JP2651264B2 (ja) 直線偏光レーザ発振器
JP2006334616A (ja) レーザ加工装置
JP5178557B2 (ja) 分光ユニット及びそれを用いたレーザ加工装置
JPH02104488A (ja) レーザ加工機の回転ヘッド
CN112192021A (zh) 激光扫描装置
JPH01317696A (ja) レーザ加工装置
JPS6297788A (ja) レ−ザ加工装置
JPH0444372A (ja) レーザ発振装置
JPS5879782A (ja) レ−ザ照射装置
JPH04270091A (ja) レーザ加工装置
JP2002001565A (ja) レーザ加工装置
JPS6324215A (ja) 基準形状投影装置
JP3327638B2 (ja) 回転型干渉計
WO1992005912A1 (en) Laser processing machine
JPH0298347A (ja) レーザ導光装置
JPH0961722A (ja) 傾斜角可変鏡筒装置
JPS61293694A (ja) レ−ザ加工機