JPS5886447A - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
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- JPS5886447A JPS5886447A JP18599981A JP18599981A JPS5886447A JP S5886447 A JPS5886447 A JP S5886447A JP 18599981 A JP18599981 A JP 18599981A JP 18599981 A JP18599981 A JP 18599981A JP S5886447 A JPS5886447 A JP S5886447A
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- porous resin
- humidity sensor
- resin film
- sensor according
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は濃度に応じて変化する電気的性質を検出する
ととによ）湿度を検出する湿度センナに関し、４！に経
済的に発生し、かつ増大するセンサ素子の湿度検知機能
の劣化を防止するようＫしたものである。
ととによ）湿度を検出する湿度センナに関し、４！に経
済的に発生し、かつ増大するセンサ素子の湿度検知機能
の劣化を防止するようＫしたものである。
湿度を検出する湿度センナは工業製品の品質管理中積境
管ｍｏｗで重要な役割を果しており、序導体、鉄鋼、繊
細、食品、製紙、電子部品などの製造１根や、ビル、病
院、研究所、温室、ノ１ウス栽培、居住環境などにおい
て湿度の制御に広く使用されている。
管ｍｏｗで重要な役割を果しており、序導体、鉄鋼、繊
細、食品、製紙、電子部品などの製造１根や、ビル、病
院、研究所、温室、ノ１ウス栽培、居住環境などにおい
て湿度の制御に広く使用されている。
湿度センナには湿度によって電気的ま九は機械的性質の
変化を利用するものがよく知られているが、現在は金属
、半導体、ｌＮ！３縁体、親水性樹脂材料のごとく、湿
度変化によシミ気的性質が変化する材料を湿度検知素子
に用いたセンサの研究開発が盛んである。しかし、現在
までに開発されている材料で、電気的性質の変化を利用
した湿度センナは長期間の使用に対して信頼性の点で問
題が多く、使用雰囲気中の塵埃に含まれる固形汚損物質
中、液状の水分が湿度検知素子（以下素子と称す）の湿
度検知部に付着することによシ、経時的に湿度検知機能
の劣化が生じ、かつその劣化が増大し、特に液状の水分
が付着すれば、センサの機能劣化が急激に促進される。
変化を利用するものがよく知られているが、現在は金属
、半導体、ｌＮ！３縁体、親水性樹脂材料のごとく、湿
度変化によシミ気的性質が変化する材料を湿度検知素子
に用いたセンサの研究開発が盛んである。しかし、現在
までに開発されている材料で、電気的性質の変化を利用
した湿度センナは長期間の使用に対して信頼性の点で問
題が多く、使用雰囲気中の塵埃に含まれる固形汚損物質
中、液状の水分が湿度検知素子（以下素子と称す）の湿
度検知部に付着することによシ、経時的に湿度検知機能
の劣化が生じ、かつその劣化が増大し、特に液状の水分
が付着すれば、センサの機能劣化が急激に促進される。
このような原因に基〈劣化を防止するために、従来にお
いては素子を間歇的に高温度に昇温させて付着汚損物質
を焼却除去する加熱方式や素子を容器内に収納しながら
も湿度変化に対する手筈性を鈍化させないような配置か
ら、雰囲気の出入を纏げない程度に収納容器Ｋｔｌｉ粗
目のスリットや粗い網目構造の窓を設けて、触手中粗い
塵埃からもたらされる汚損を防ぐ構造が考案され、また
実用に供されている。
いては素子を間歇的に高温度に昇温させて付着汚損物質
を焼却除去する加熱方式や素子を容器内に収納しながら
も湿度変化に対する手筈性を鈍化させないような配置か
ら、雰囲気の出入を纏げない程度に収納容器Ｋｔｌｉ粗
目のスリットや粗い網目構造の窓を設けて、触手中粗い
塵埃からもたらされる汚損を防ぐ構造が考案され、また
実用に供されている。
しかし、前記加熱方式は、加熱に必要な加熱回路を要し
、その゛回路構造が高価であるばかシでなく、素子・０
寸法に比べて加熱機構が大きくなるため温度センナを小
製にできない欠点がある。また素子を容器に収納する方
式ではスリットや網状の窓を設けて４黴細な塵埃の付着
汚損に対しては無防備である丸め、初期の湿度検知機能
が経時的に変化することは避けられない。また倒れの方
式で４水分が湿度検知部に凝結した場合や水の飛沫が付
着すると急激に湿度検知機能が劣化する欠点を肪ぐこと
はできない。し九がって現在のところ、湿度センナの経
時劣化を防止する適切な手段は得られていない。
、その゛回路構造が高価であるばかシでなく、素子・０
寸法に比べて加熱機構が大きくなるため温度センナを小
製にできない欠点がある。また素子を容器に収納する方
式ではスリットや網状の窓を設けて４黴細な塵埃の付着
汚損に対しては無防備である丸め、初期の湿度検知機能
が経時的に変化することは避けられない。また倒れの方
式で４水分が湿度検知部に凝結した場合や水の飛沫が付
着すると急激に湿度検知機能が劣化する欠点を肪ぐこと
はできない。し九がって現在のところ、湿度センナの経
時劣化を防止する適切な手段は得られていない。
この発明は雰囲気湿度の変化によって電気的性質に変化
を生じる特性を利用した湿度センサにおいて長期間使用
して本湿度センサの湿度検知機能の劣化を防止でき、か
つ安価にして簡単にその防止機能を構成できる湿度セン
ナを提供することを目的とする。
を生じる特性を利用した湿度センサにおいて長期間使用
して本湿度センサの湿度検知機能の劣化を防止でき、か
つ安価にして簡単にその防止機能を構成できる湿度セン
ナを提供することを目的とする。
この発明によれば、少くとも湿度検知部を外部と線断１
１によシ遮断ル、その鐘断壁の少くとも一部は、水蒸気
は透過するが液状の水の透過を遮断する性質を有する多
孔質樹脂膜で構成する。このようＫして湿度検知部は雰
囲気湿度は検知するがその雰囲気からも九らされる検知
部の汚損や液状の水による経時的劣化は全く発生しない
。
１によシ遮断ル、その鐘断壁の少くとも一部は、水蒸気
は透過するが液状の水の透過を遮断する性質を有する多
孔質樹脂膜で構成する。このようＫして湿度検知部は雰
囲気湿度は検知するがその雰囲気からも九らされる検知
部の汚損や液状の水による経時的劣化は全く発生しない
。
以下この発明の湿度センサを図面を参照しながら説明す
る。第１図−はこの発明が適用される湿度センサの本体
を示し、アルミナなどの絶縁基板１の一面に、ルテニウ
ム酸化物系のペーストで、互に平行した電極よシ互に接
近するように分岐した砿数の分岐電極が互に交互に配列
されるように印刷焼成して一対の互に噛み合った櫛形電
極２，３が設けられる。この櫛形電極２，３を覆って湿
度検知部４が基板１上に印刷焼成される。櫛形電極２，
３の各一端に端子５．５が銀ペーストの焼付けＫよ多形
成され、これら端子５，５にリード線６．６がはんだ付
けされて外部の測定回路（この図では省略）に接続され
る。
る。第１図−はこの発明が適用される湿度センサの本体
を示し、アルミナなどの絶縁基板１の一面に、ルテニウ
ム酸化物系のペーストで、互に平行した電極よシ互に接
近するように分岐した砿数の分岐電極が互に交互に配列
されるように印刷焼成して一対の互に噛み合った櫛形電
極２，３が設けられる。この櫛形電極２，３を覆って湿
度検知部４が基板１上に印刷焼成される。櫛形電極２，
３の各一端に端子５．５が銀ペーストの焼付けＫよ多形
成され、これら端子５，５にリード線６．６がはんだ付
けされて外部の測定回路（この図では省略）に接続され
る。
第２図はこの発明の実施例を示し、水蒸気は透過するが
液状の水の透過を遮断する性質を有する多孔質樹脂Ｈ（
以下樹脂膜と称する）７を用いて第１図に示した本体が
被覆される。図に示すように本体の両面は樹脂膜７で被
覆され、基板１０周辺部で樹脂膜７は例えば溶着にょシ
接着部８として示すように接着されて樹脂膜７で本体は
密封被覆される。
液状の水の透過を遮断する性質を有する多孔質樹脂Ｈ（
以下樹脂膜と称する）７を用いて第１図に示した本体が
被覆される。図に示すように本体の両面は樹脂膜７で被
覆され、基板１０周辺部で樹脂膜７は例えば溶着にょシ
接着部８として示すように接着されて樹脂膜７で本体は
密封被覆される。
ζノヨうに樹脂ＪＩ７によ）本体が密封されているため
、とのセンサに水をかけた直後でもセンナの電気的性質
に異状がなく、雰囲気の湿度に応じた電気的性質の変化
を検出することができる。第２Ｅは湿度検知部４と樹脂
膜７とが接触させて樹脂膜を被覆してあシ、雰囲気湿度
変化に対して敏感な電気的性質の対応を示す。
、とのセンサに水をかけた直後でもセンナの電気的性質
に異状がなく、雰囲気の湿度に応じた電気的性質の変化
を検出することができる。第２Ｅは湿度検知部４と樹脂
膜７とが接触させて樹脂膜を被覆してあシ、雰囲気湿度
変化に対して敏感な電気的性質の対応を示す。
従来においては、湿度センサの湿度検知部４のように雰
囲気の湿度変化に敏感に対応して電気的性質が質化しな
ければならない素子においては、その表面に被覆を施せ
ば、その被ａＪＩ［の外側の雰囲気の湿度変化に湿度検
知部の湿度変化が追随できないため、素子は性情の雰囲
気湿度を正確に嵌示できないものとされ、加湿と除湿と
が駕期的に繰返されるとき、雰囲気の湿度変化と素子の
電気的性質の関係を示す曲線にはヒステリシスが表われ
ると考えられ、湿度センサの本体は前述したように雰囲
気中に直接露出して配置するか、または雰囲気の流通を
阻害しないようにくふうをした容器に収納されていた。
囲気の湿度変化に敏感に対応して電気的性質が質化しな
ければならない素子においては、その表面に被覆を施せ
ば、その被ａＪＩ［の外側の雰囲気の湿度変化に湿度検
知部の湿度変化が追随できないため、素子は性情の雰囲
気湿度を正確に嵌示できないものとされ、加湿と除湿と
が駕期的に繰返されるとき、雰囲気の湿度変化と素子の
電気的性質の関係を示す曲線にはヒステリシスが表われ
ると考えられ、湿度センサの本体は前述したように雰囲
気中に直接露出して配置するか、または雰囲気の流通を
阻害しないようにくふうをした容器に収納されていた。
この発明の実施例によれば、センサ本体は樹脂膜７にて
被覆され、その理由は明らかでないが、微細孔が多数分
布した樹脂Ｍ７を被覆しても、雰囲気の湿度変化に対す
る湿度検知部４の電気的応答性は、湿度検知部４を露出
した状態と同様に敏感である。このため加湿と除湿が周
期的に繰返されても、加湿時と除湿時の同一相対湿度に
対する電気的性質社一致し、湿度変化と検知部４の電気
的性質との関係にヒステリシスを生じない。
被覆され、その理由は明らかでないが、微細孔が多数分
布した樹脂Ｍ７を被覆しても、雰囲気の湿度変化に対す
る湿度検知部４の電気的応答性は、湿度検知部４を露出
した状態と同様に敏感である。このため加湿と除湿が周
期的に繰返されても、加湿時と除湿時の同一相対湿度に
対する電気的性質社一致し、湿度変化と検知部４の電気
的性質との関係にヒステリシスを生じない。
このような特性は経時的にも変化しないため、センサの
劣化を防止するすぐれた手段であシ、また樹脂Ｍ７を被
覆するだけでよいため構造が簡単でかつ安価に構成する
ことができる。
劣化を防止するすぐれた手段であシ、また樹脂Ｍ７を被
覆するだけでよいため構造が簡単でかつ安価に構成する
ことができる。
仁のような性質を有する樹脂Ｍ７としては、フッ素系樹
脂膜、ポリエチレン樹脂膜、ポリプロピレン樹脂膜及び
シリコーン樹脂膜などが挙げられる。特にフッ素系樹脂
膜に属する４７）化エチレン樹脂膜、及びポリプロピレ
ン樹脂層は撥水性とともＫＪ［表面の滑性が大きいため
、塵埃が付着しないので、微細孔の目づまシを生じるこ
とがなく被覆膜７として最もすぐれた樹脂膜である。
脂膜、ポリエチレン樹脂膜、ポリプロピレン樹脂膜及び
シリコーン樹脂膜などが挙げられる。特にフッ素系樹脂
膜に属する４７）化エチレン樹脂膜、及びポリプロピレ
ン樹脂層は撥水性とともＫＪ［表面の滑性が大きいため
、塵埃が付着しないので、微細孔の目づまシを生じるこ
とがなく被覆膜７として最もすぐれた樹脂膜である。
樹脂Ｊ［７の気孔率は２ｏチ以上が望ましい。その理由
は第１表に示したように気孔率が２０％以下の場合には
、湿度変化と電気的性質の変化との関係においてヒステ
リシスが生じるようになシ、同一湿度でも加湿時と除湿
時とではセンサの示す電気的性質に喰い違いが生じてく
る。
は第１表に示したように気孔率が２０％以下の場合には
、湿度変化と電気的性質の変化との関係においてヒステ
リシスが生じるようになシ、同一湿度でも加湿時と除湿
時とではセンサの示す電気的性質に喰い違いが生じてく
る。
第１表はポリエチレン樹脂膜を用い、第３図で説明した
密封−ｌ〃を行なったセンサについて、被覆膜７の厚さ
４０μ鵠、雰囲気温度２４℃、抵抗側定電流周波数ＩＫ
Ｈｓとし九ときの相対湿度４０〜９０９６の範囲におけ
る湿度と湿度センサの電気抵抗に及ぼす樹脂１ＩＩ７の
気孔率の影響を示している。
密封−ｌ〃を行なったセンサについて、被覆膜７の厚さ
４０μ鵠、雰囲気温度２４℃、抵抗側定電流周波数ＩＫ
Ｈｓとし九ときの相対湿度４０〜９０９６の範囲におけ
る湿度と湿度センサの電気抵抗に及ぼす樹脂１ＩＩ７の
気孔率の影響を示している。
気孔率３５１！では加温時、除湿時において、同一相対
湿度で示される電気抵抗値は完全に一致した値を示す。
湿度で示される電気抵抗値は完全に一致した値を示す。
しかし気孔率２１％になれば、実用的には差しつかえな
いけれども、加湿時と除湿時とでは僅かながら抵抗値に
差が見られる。気孔率１９チの場合には、加湿時、除湿
時において同一温度で示される抵抗値の差は一層増大し
、湿度センナとして用いるには大きすぎるヒステリシス
を示している。気孔率の上限には特に制限はないが８５
−以上の気孔率になると樹脂膜７の強度がしだいに低下
するために傷つき易くなシ、熱溶着などの被覆作業で樹
脂膜７が破れるようなことが起り、取り扱いに慎重な注
意を必要とする。したがつて気孔率３５〜８５％の範囲
が取扱いも容易で加湿、除湿の繰返しにおいて湿度と電
気抵抗との間にヒステリシスも現われず、長期間安定し
た湿度検知機能が保持される。
いけれども、加湿時と除湿時とでは僅かながら抵抗値に
差が見られる。気孔率１９チの場合には、加湿時、除湿
時において同一温度で示される抵抗値の差は一層増大し
、湿度センナとして用いるには大きすぎるヒステリシス
を示している。気孔率の上限には特に制限はないが８５
−以上の気孔率になると樹脂膜７の強度がしだいに低下
するために傷つき易くなシ、熱溶着などの被覆作業で樹
脂膜７が破れるようなことが起り、取り扱いに慎重な注
意を必要とする。したがつて気孔率３５〜８５％の範囲
が取扱いも容易で加湿、除湿の繰返しにおいて湿度と電
気抵抗との間にヒステリシスも現われず、長期間安定し
た湿度検知機能が保持される。
樹脂膜７の気孔の大きさは水蒸気は透過するが液状の水
の透過を遮断する範囲の寸法であれば特に制限はなく、
また気孔の形状にも制限はない。
の透過を遮断する範囲の寸法であれば特に制限はなく、
また気孔の形状にも制限はない。
しかし望ましくは気孔寸法の分布が０．５ Ａ ｍ以下
であシ、最小０．０１μ愼であることが望ましい。
であシ、最小０．０１μ愼であることが望ましい。
そのｊＩ虫＃ｆ０．０１μ需以下の気孔寸法の分布を持
つ樹脂膜７を本体に被覆すると、樹脂膜７に生じた皺を
のばすために行なうローラー掛けや平板で樹脂１！Ｉ７
を押えるときに、気孔が基がり易い。また０、５μ鴇以
上の気孔寸法の分布が増大すれば、湿度センナを微粉塵
の多い雰囲気中で使用する場合、目づまシによる気孔率
の低下が起る傾向が認められる。
つ樹脂膜７を本体に被覆すると、樹脂膜７に生じた皺を
のばすために行なうローラー掛けや平板で樹脂１！Ｉ７
を押えるときに、気孔が基がり易い。また０、５μ鴇以
上の気孔寸法の分布が増大すれば、湿度センナを微粉塵
の多い雰囲気中で使用する場合、目づまシによる気孔率
の低下が起る傾向が認められる。
樹脂Ｍ７の厚さは２０μ惰〜３００μ悟が適尚である。
２０μ惰以下の厚さになると被接を行なうとき破れ易く
、取り扱いに極めて慎重な注意が必１’になる。ま九３
００μ淋以上の厚さになれば浴着が難しくなるほか、第
３図に示す方法で重ね折り曲げをして枠で押える被覆方
法においても、樹脂膜を折シまげ難くなシ、枠で押えて
本体に樹脂膜７を被覆する作業が困難になる。
、取り扱いに極めて慎重な注意が必１’になる。ま九３
００μ淋以上の厚さになれば浴着が難しくなるほか、第
３図に示す方法で重ね折り曲げをして枠で押える被覆方
法においても、樹脂膜を折シまげ難くなシ、枠で押えて
本体に樹脂膜７を被覆する作業が困難になる。
第３図はセンナ本体の両面を樹脂膜７でそれぞれ覆い、
その°両側縁部を折り返しく図では左側縁部は省略）、
その上を押え枠９で挾み押えて被覆を行なう。仁のよう
に２個の押え枠９で樹脂［７の折ルまげ部分を押えるだ
けで被覆を行なえ、頗る簡単である。第３図ではセンサ
本体の両面を樹脂膜７で被覆し九が、湿度検知部４を設
けた面のみを同様にして被覆してもよい。
その°両側縁部を折り返しく図では左側縁部は省略）、
その上を押え枠９で挾み押えて被覆を行なう。仁のよう
に２個の押え枠９で樹脂［７の折ルまげ部分を押えるだ
けで被覆を行なえ、頗る簡単である。第３図ではセンサ
本体の両面を樹脂膜７で被覆し九が、湿度検知部４を設
けた面のみを同様にして被覆してもよい。
第４図に示すように接着部８によって樹脂膜７を装状に
成形したものを矢印に示すようにセンサ本体にかぶせる
と云う非常に簡単に被覆することもでき、この被覆も取
シ外しも容易なう゛え機構効果は第２図、第３図にそれ
ぞれ示した場合とくらべて遜色がない。
成形したものを矢印に示すようにセンサ本体にかぶせる
と云う非常に簡単に被覆することもでき、この被覆も取
シ外しも容易なう゛え機構効果は第２図、第３図にそれ
ぞれ示した場合とくらべて遜色がない。
第５図は湿度検知部４の表面と樹脂膜７とが直談Ｋｍ触
しないように湿度検知部４を外部に対し鍾断した例を示
す。基板ＩＦｉ薄型のケース１２の底面に押し付けられ
、ＩＩＩｇ脂躾７は湿度検知部４とはスペーサ１０によ
って間隔を保って配され、その樹脂膜７は固定枠１１に
よってスペーサ１０に押しつけられる同定枠１１はケー
ス１２に溶着１３されてケース１２に固定されている。
しないように湿度検知部４を外部に対し鍾断した例を示
す。基板ＩＦｉ薄型のケース１２の底面に押し付けられ
、ＩＩＩｇ脂躾７は湿度検知部４とはスペーサ１０によ
って間隔を保って配され、その樹脂膜７は固定枠１１に
よってスペーサ１０に押しつけられる同定枠１１はケー
ス１２に溶着１３されてケース１２に固定されている。
湿度検知部４から樹脂膜７を離して設けているので、湿
度検知部４が脆弱であって本、触手などの弱い外力が作
用し死場合に、湿度検知部４が脱博した！り、ａｉ１度
検知機能に変化を与えるようなおそれがない。つまシこ
の発明は印刷焼成された湿度検知素子のみならず、金属
や半導体、絶縁体、高分子材料を使用する湿度センサに
も適用できる。
度検知部４が脆弱であって本、触手などの弱い外力が作
用し死場合に、湿度検知部４が脱博した！り、ａｉ１度
検知機能に変化を与えるようなおそれがない。つまシこ
の発明は印刷焼成された湿度検知素子のみならず、金属
や半導体、絶縁体、高分子材料を使用する湿度センサに
も適用できる。
実施例−１
樹脂膜７に４７ツ化工チレンＭ（商品名、ボアテックス
、株式会社濶工社製、気孔率８３％、気孔の大きさの分
布０．２μ惰以下、膜の厚さ２０５μＩＫ）を用いて、
第１図に示した構造のセ／すの外周を、第２図に示した
ように樹脂膜７を熱溶着により接着し、密封被覆して湿
度センサとした。
、株式会社濶工社製、気孔率８３％、気孔の大きさの分
布０．２μ惰以下、膜の厚さ２０５μＩＫ）を用いて、
第１図に示した構造のセ／すの外周を、第２図に示した
ように樹脂膜７を熱溶着により接着し、密封被覆して湿
度センサとした。
その相対湿度とセンナの電気抵抗値との関係を樹脂膜７
を施さないセンサの場合と比較した結果を第６図に示す
。それぞれのセンナは同一製造ロットから選ばれたもの
であシ、樹脂膜７による密封はそれぞれの初期の感湿特
性を測定した直後に行なわれた。初期の相対湿度−電気
抵抗の関係は両者とも第６図人と一致する曲線であった
。初期値測定後、室内の雰囲気中に放置し、２１日稜に
測定した結果では樹脂［１７を被覆を施したセンサにお
いては湿度と抵抗値との関係は第６図人に示し九初期の
特性と全く変わらなかった。しかし樹脂Ｉｘ７を被覆し
ないセンサでは第６図Ｂに示すように加湿時と除温時と
で相対湿度−電気抵抗曲縁にヒステリシスが生じ劣化の
傾向が認められた。
を施さないセンサの場合と比較した結果を第６図に示す
。それぞれのセンナは同一製造ロットから選ばれたもの
であシ、樹脂膜７による密封はそれぞれの初期の感湿特
性を測定した直後に行なわれた。初期の相対湿度−電気
抵抗の関係は両者とも第６図人と一致する曲線であった
。初期値測定後、室内の雰囲気中に放置し、２１日稜に
測定した結果では樹脂［１７を被覆を施したセンサにお
いては湿度と抵抗値との関係は第６図人に示し九初期の
特性と全く変わらなかった。しかし樹脂Ｉｘ７を被覆し
ないセンサでは第６図Ｂに示すように加湿時と除温時と
で相対湿度−電気抵抗曲縁にヒステリシスが生じ劣化の
傾向が認められた。
実施例−２
本体を被覆するのに樹脂膜７を第３図に示したように枠
１０で押えた。樹脂膜７にポリプロピレンＭ（商品名、
デエラガード２５００、ポリプラスチック株式命社製。
１０で押えた。樹脂膜７にポリプロピレンＭ（商品名、
デエラガード２５００、ポリプラスチック株式命社製。
気孔率３７チ、気孔の太きさの分布０．０２μ講×０，
２μ惰以下、膜厚２５μ、、）を用いて、第１図に示し
たセンサを被覆した場合と、被覆しないセンサとを共に
大気中に放置して両センサの湿度変化に対応する電気抵
抗値の関係を比較した。その結果を第７図に示す。セン
サの湿度検知部４の組成は実施例−１とは別種のもので
、放置期間は４０日である。巣７μは被覆を施したセン
サ、第７図Ｂは被覆をしないセンサの相対湿度とセンサ
の電気抵抗値の関係を示す。樹脂被覆を行なったセンサ
では初期の抵抗値と４０日経過後の値がよく一致してい
るのに対し、被覆を行なわないセンサでは初期抵抗値よ
り抵抗が増大しヒステリシスの発生も認められる。
２μ惰以下、膜厚２５μ、、）を用いて、第１図に示し
たセンサを被覆した場合と、被覆しないセンサとを共に
大気中に放置して両センサの湿度変化に対応する電気抵
抗値の関係を比較した。その結果を第７図に示す。セン
サの湿度検知部４の組成は実施例−１とは別種のもので
、放置期間は４０日である。巣７μは被覆を施したセン
サ、第７図Ｂは被覆をしないセンサの相対湿度とセンサ
の電気抵抗値の関係を示す。樹脂被覆を行なったセンサ
では初期の抵抗値と４０日経過後の値がよく一致してい
るのに対し、被覆を行なわないセンサでは初期抵抗値よ
り抵抗が増大しヒステリシスの発生も認められる。
実施例−３
４７ツ化エチレン樹脂展（気孔率５２％、気孔の大きさ
の分布０．４μ惰以下、膜厚２９５μ惰）を用いて第４
図で説明した袋状成形体を作り、実施例−１で被覆を施
して使用したセンサの被覆をはぎとった後に袋状成形体
を再び被覆し、被覆をしない新しいセンサと並置して湿
度検知部４に噴霧器で水滴噴霧な１０秒間行ない、大気
中に２０分間保持した後で、両センナについて雰囲気湿
度変化に対する電気抵抗の変化を測定した結果を第８図
に示す。同図Ａは被覆を施し九センサの場合で水滴噴霧
前と全く同じ電気的性質を示しているが被覆を施さない
素子では同図Ｂに示すように低湿度でも低い抵抗値を示
し、湿度センサとしての機能を失なっている。
の分布０．４μ惰以下、膜厚２９５μ惰）を用いて第４
図で説明した袋状成形体を作り、実施例−１で被覆を施
して使用したセンサの被覆をはぎとった後に袋状成形体
を再び被覆し、被覆をしない新しいセンサと並置して湿
度検知部４に噴霧器で水滴噴霧な１０秒間行ない、大気
中に２０分間保持した後で、両センナについて雰囲気湿
度変化に対する電気抵抗の変化を測定した結果を第８図
に示す。同図Ａは被覆を施し九センサの場合で水滴噴霧
前と全く同じ電気的性質を示しているが被覆を施さない
素子では同図Ｂに示すように低湿度でも低い抵抗値を示
し、湿度センサとしての機能を失なっている。
第１図は従来の湿度センサを示す斜視図、第２図はこの
発明による湿度センサの一例を示す樹脂膜の一部を破断
した斜視図、第３図人はこの発明の湿度センナの他の例
の樹脂膜の一部を破断した状態を示す斜視図、第３図Ｂ
は第３図人のＡＡｍ断面の一部を示す図、第４図はこの
発明の湿度センサの更に他Ｏ例を示し、多孔性樹脂膜を
外した状態の斜視図、第５図Ａｔ１この発明の湿度セン
サの更に他の例を示す樹脂膜の一部を切りとった正面図
、第５図Ｂは第５図人の側面断面図、ｔｊｇＧ図、第７
図及び第８図はそれぞれ湿度センサの相対湿度−電気抵
抗曲縁を示し、各図のＡＦｉこの発明の湿度セ／すに対
するもの、各図のＢは従来の湿度センサに対する４のを
それぞれ示す回である。 １：アルミナ基板、２：櫛形電極、４：湿度検知部、５
：端子、６：リード−，７：多孔性樹脂膜、８：接着、
９：押え枠、１０ニスペーサ、１１：固定枠、１２：ケ
ース、１３：溶着。 特許出願人 東京コスモス！磯株式会社代理人 草野
卓 、？ＩＦ″ 第２図 オ ３ｒＸＪ 第６図 Ａ Ｂ 相対湿度（”／、１ 才目対湿度（
０４−７７図 相対５２度（〃） 相対１度（％）
オ ８１￥Ｉ Ａ Ｂ
発明による湿度センサの一例を示す樹脂膜の一部を破断
した斜視図、第３図人はこの発明の湿度センナの他の例
の樹脂膜の一部を破断した状態を示す斜視図、第３図Ｂ
は第３図人のＡＡｍ断面の一部を示す図、第４図はこの
発明の湿度センサの更に他Ｏ例を示し、多孔性樹脂膜を
外した状態の斜視図、第５図Ａｔ１この発明の湿度セン
サの更に他の例を示す樹脂膜の一部を切りとった正面図
、第５図Ｂは第５図人の側面断面図、ｔｊｇＧ図、第７
図及び第８図はそれぞれ湿度センサの相対湿度−電気抵
抗曲縁を示し、各図のＡＦｉこの発明の湿度セ／すに対
するもの、各図のＢは従来の湿度センサに対する４のを
それぞれ示す回である。 １：アルミナ基板、２：櫛形電極、４：湿度検知部、５
：端子、６：リード−，７：多孔性樹脂膜、８：接着、
９：押え枠、１０ニスペーサ、１１：固定枠、１２：ケ
ース、１３：溶着。 特許出願人 東京コスモス！磯株式会社代理人 草野
卓 、？ＩＦ″ 第２図 オ ３ｒＸＪ 第６図 Ａ Ｂ 相対湿度（”／、１ 才目対湿度（
０４−７７図 相対５２度（〃） 相対１度（％）
オ ８１￥Ｉ Ａ Ｂ
Claims (14)
- （１）少くとも湿度検知部は遮断壁にょシ外部と遮断さ
れ、その遮断壁の少くとも一部は水蒸気は透過するが液
状の水の透過を遮断する性質を有する多孔質樹脂膜で構
成されていることを特徴とする湿度センサ。 - （２）前記多孔質樹脂膜はフッ素系樹脂膜、ポリエチレ
ン樹脂膜、ポリプロピレン樹脂膜、シリコーン樹脂膜の
中から選ばれた何れかの膜である特許請求の範囲第１項
記載の湿度センナ。 - （３） 前記多孔質樹脂膜は７ツ累系樹脂展の４７ツ
化エチレン膜である特許請求の範囲第２項記載の湿度セ
ンナ。 - （４） 前記多孔質樹脂膜は気孔率３５〜８５％であ
る特許請求の範囲第１項を九は第２項または第３項記載
の湿度センサ。 - （５） 前記多孔質樹脂膜は孔の大きさにおいて０．
４Ｊｌｓ〜０．Ｏ１μ集に分布している特許請求の範囲
路１項または＠２項またはｗＪ３項記載の湿度センサ０ - （６） 前記多孔質樹脂膜は厚さ２０μ淋〜３００μ
慣である％Ｉｌ！Ｆ請求の範囲第１項または第５項記載
の湿度センサ。 - （７）前記多孔質樹脂膜は気孔率３５〜８５％、孔の大
きさの分布が０．４μｍ〜０．０１μ悔である特許請求
の範囲第１項または第２項または第３項記載の＊ｆセン
チ。 - （８）前記多孔質樹脂膜は厚さ２０μ鶴〜３００μ惰で
ある特許請求の範囲第７項記載の湿度センサ。 - （９）前記多孔質樹脂膜は前記湿度検知部と接触してい
る特許請求の範囲第１項記載の湿度センサ。 - （１０）素子本体を前記多孔質樹脂膜の間にはさみ、そ
の周辺部で溶着して素子本体を密封するように前記遮断
壁を構成している特許請求の範囲第９項記載の湿度セン
サ。 - （１１）前記湿度検知部が前記多孔質樹脂膜で覆われ、
その多孔質樹脂膜は素子本体の周辺に枠で押えられて多
孔質樹脂膜及び素子本体の基板によシ前記層断壁が形成
されている特許請求の範囲第９項記載の湿度センナ。 - （１２）前記多孔質樹脂膜が袋状に成形され、その袋状
体が素子本体にかぶされて前記違断壁が構成されている
特許請求の範囲第９項記載の湿度センサ。 - （１３）前記多孔質樹脂ＨＩＩｉ湿度検知部と接触して
いない特許請求の範囲第１項記載の湿度センサ。 - （１４）前記多孔質樹脂膜はスペーサを介して前記湿度
検知部と近接対向して設けられている特許請求の範囲第
１３項記載の湿度センナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18599981A JPS5886447A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18599981A JPS5886447A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | 湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5886447A true JPS5886447A (ja) | 1983-05-24 |
Family
ID=16180594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18599981A Pending JPS5886447A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | 湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5886447A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59224534A (ja) * | 1983-06-03 | 1984-12-17 | Citizen Watch Co Ltd | 圧力電気変換器 |
| JPS60161854U (ja) * | 1984-04-05 | 1985-10-28 | 日清紡績株式会社 | 湿度センサ− |
| JPS61209348A (ja) * | 1985-03-14 | 1986-09-17 | Nippon Mining Co Ltd | 湿度センサ− |
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| WO1993016377A1 (en) * | 1992-02-14 | 1993-08-19 | Seiko Epson Corporation | Humidity sensor and its manufacture |
| US6247349B1 (en) * | 1997-02-18 | 2001-06-19 | Industrial Technology Research Institute | Polymer-based humidity sensing elements |
| JP2007315220A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Toyota Motor Corp | 車両用動力装置およびその制御装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5626249A (en) * | 1979-08-08 | 1981-03-13 | Mitsubishi Electric Corp | Humidity sensor |
-
1981
- 1981-11-18 JP JP18599981A patent/JPS5886447A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5626249A (en) * | 1979-08-08 | 1981-03-13 | Mitsubishi Electric Corp | Humidity sensor |
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| JP2007315220A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Toyota Motor Corp | 車両用動力装置およびその制御装置 |
| US8095258B2 (en) | 2006-05-24 | 2012-01-10 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Vehicle powertrain, controller thereof, and method for controlling vehicle powertrain |
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