JPS5885139A - 分光分析装置 - Google Patents
分光分析装置Info
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- JPS5885139A JPS5885139A JP18309581A JP18309581A JPS5885139A JP S5885139 A JPS5885139 A JP S5885139A JP 18309581 A JP18309581 A JP 18309581A JP 18309581 A JP18309581 A JP 18309581A JP S5885139 A JPS5885139 A JP S5885139A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/27—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、分光分析装置に関し、さらに詳しくは、試
料全透過する光を光電変換して得た微弱な′＃を流が一
定値に達するまで積分する際の積分時間をパラメータと
して吸光度測定をする分光分析装置に関する。
料全透過する光を光電変換して得た微弱な′＃を流が一
定値に達するまで積分する際の積分時間をパラメータと
して吸光度測定をする分光分析装置に関する。
通常、自動化学分析装置における分光分析装置では、光
源よりの光を光学フィルタあるいは分光器等の単色器に
よシ単色化した光を試料に照射し、試料を透過する光を
電流に変換し、得られる電流の大小による吸光度測定が
行なわれていた。
源よりの光を光学フィルタあるいは分光器等の単色器に
よシ単色化した光を試料に照射し、試料を透過する光を
電流に変換し、得られる電流の大小による吸光度測定が
行なわれていた。
ところで、分光分析装置において、光源としてタングス
テンランプ、試料を透過する光の量含検出する検出器と
してシリコンフォトダイオード全周いた場合、タングス
テンランプの分光特性やシリコンフォトダイオードの分
光感度特性は、第１図および第２図に示すように、各波
長毎に相違していた。％に、前記分光特性や分光感度特
性は、紫外領域における低下が著しい吃のであった◇そ
こで、波長によシ検出器の感度が相違するために、波長
を変更して試料を分析しようとする場合には、従来、次
のようｋして、測定系の検出利得を調整していた。すな
わち、第３図に示すように、単色光ビームの波長に応じ
て、光軸に直交するように配置されたスリット１を第６
図中の矢印Ａ方向に移動させることによりスリット幅ｔ
ｆ：調整して単色光量を増減させたシ、あるいは、スリ
ット１を設けない場合には、第４図に示すように、検出
器６よりの検出信号を増幅し、増幅の際に単色光ビーム
の波長に応じた抵抗器Ｒｔ−コントロール信号により切
換手段５で選択することにょシ、検出利得を調整してい
た。
テンランプ、試料を透過する光の量含検出する検出器と
してシリコンフォトダイオード全周いた場合、タングス
テンランプの分光特性やシリコンフォトダイオードの分
光感度特性は、第１図および第２図に示すように、各波
長毎に相違していた。％に、前記分光特性や分光感度特
性は、紫外領域における低下が著しい吃のであった◇そ
こで、波長によシ検出器の感度が相違するために、波長
を変更して試料を分析しようとする場合には、従来、次
のようｋして、測定系の検出利得を調整していた。すな
わち、第３図に示すように、単色光ビームの波長に応じ
て、光軸に直交するように配置されたスリット１を第６
図中の矢印Ａ方向に移動させることによりスリット幅ｔ
ｆ：調整して単色光量を増減させたシ、あるいは、スリ
ット１を設けない場合には、第４図に示すように、検出
器６よりの検出信号を増幅し、増幅の際に単色光ビーム
の波長に応じた抵抗器Ｒｔ−コントロール信号により切
換手段５で選択することにょシ、検出利得を調整してい
た。
しかしながら、前記のような検出利得の調整では、波長
を順次に自動的に変更してスキャニングし、種々の波長
について試料の吸収特性全測定しようとする場合に、増
幅回路やスリット１の駆動機構が複雑になると共に、ス
リット１ｔ−用いるときには透過する単色光のエネルギ
を強制的に減衰させることになる。しかも切換手段にお
けるリーク電流や雑音の混入によυ、各波長での最適Ｓ
Ｘ／’Ｎ比を得ることが困難であった。
を順次に自動的に変更してスキャニングし、種々の波長
について試料の吸収特性全測定しようとする場合に、増
幅回路やスリット１の駆動機構が複雑になると共に、ス
リット１ｔ−用いるときには透過する単色光のエネルギ
を強制的に減衰させることになる。しかも切換手段にお
けるリーク電流や雑音の混入によυ、各波長での最適Ｓ
Ｘ／’Ｎ比を得ることが困難であった。
この発明は前記事情に鑑みてなされたものであり、測定
系の検出利得の調整が容易であシ、かつＳ／Ｎ比の向上
を図ることのできる分光分析装置を提供することを目的
とするものである。
系の検出利得の調整が容易であシ、かつＳ／Ｎ比の向上
を図ることのできる分光分析装置を提供することを目的
とするものである。
この発明は、試料内を透過する単色光を光電変換する検
出器よりの微弱な出力電流を積分し、出力電流の積分値
が一定に達するまでの時間を分析のパラメータとするこ
とを基本原理とするものである。
出器よりの微弱な出力電流を積分し、出力電流の積分値
が一定に達するまでの時間を分析のパラメータとするこ
とを基本原理とするものである。
次に、この発明の一実施例について図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第５図および第６図は、この発明の一実施例を示すブロ
ック図である。
ック図である。
分光分析装置は、主として、所望の単色光に分光してこ
れを試料に照射する分光手段と、試料を透過する単色光
を光電変換する検出手段と、検出手段より出力される電
流を積分する積分手段と、検出手段と積分手段とを断続
するスイッチ手段と、積分手段を初期状態にもどす初期
化手段と、分光手段、検出手段、変換手段を制御すると
共に積分手段で積分した電流が一定値に達するまでの時
間に基づき吸光度を演算する演算処理手段（以下ＣＰＵ
システムという）と、ＣＰＵシステムに各種の動作指令
を入力し、また、演算結果を出力する入出力装置とを具
備するものである。
れを試料に照射する分光手段と、試料を透過する単色光
を光電変換する検出手段と、検出手段より出力される電
流を積分する積分手段と、検出手段と積分手段とを断続
するスイッチ手段と、積分手段を初期状態にもどす初期
化手段と、分光手段、検出手段、変換手段を制御すると
共に積分手段で積分した電流が一定値に達するまでの時
間に基づき吸光度を演算する演算処理手段（以下ＣＰＵ
システムという）と、ＣＰＵシステムに各種の動作指令
を入力し、また、演算結果を出力する入出力装置とを具
備するものである。
分光手段は、分光器６と波長切換モータドライバ１０と
を具備しておシ、分光器６は光源たとえばタングステ／
ランプよりの光音各種波長の単色光に分光し、波長切換
モータドライバ１０によシ所定波長の単色光ビームを測
定セル２内の試料に照射するように構成されており、ま
た、波長切換モータドライバ１０はＣＰＵシステム９よ
りの指令に応じて所定の波長の単色光ビームを出力する
ために分光器６を駆動するように構成されている。
を具備しておシ、分光器６は光源たとえばタングステ／
ランプよりの光音各種波長の単色光に分光し、波長切換
モータドライバ１０によシ所定波長の単色光ビームを測
定セル２内の試料に照射するように構成されており、ま
た、波長切換モータドライバ１０はＣＰＵシステム９よ
りの指令に応じて所定の波長の単色光ビームを出力する
ために分光器６を駆動するように構成されている。
検出手段は、フォトダイオード３を具備し、測定セル２
内の試料を透過する単色光ビームを受光して、これを光
電変換し、電流ｉを出力する０積分手段は、オペアンプ
７とオペアンプ７０入力側と出力側とを結合するコンデ
ンサＣとを具備する回路にて、検出手段より出力される
電流ｉｆ積分し、得られる積分値が一定の値−０に達す
るまで、積分する電流をＡカ変換器（ＡＤＣ） １４を
介してＣＰＵシステムに出力する。なお、コンデンサＣ
は、設定する一定の値−０に応じてその容量全適宜に選
択することができる。また、ＡＤＣ１４は少なくとも１
６ビツトの装置であることが望ましい０これは、ＡＤＣ
の分解能ｆｆ１１／１．０００よりも高め、測定時間の
短縮を図ることができるからである。
内の試料を透過する単色光ビームを受光して、これを光
電変換し、電流ｉを出力する０積分手段は、オペアンプ
７とオペアンプ７０入力側と出力側とを結合するコンデ
ンサＣとを具備する回路にて、検出手段より出力される
電流ｉｆ積分し、得られる積分値が一定の値−０に達す
るまで、積分する電流をＡカ変換器（ＡＤＣ） １４を
介してＣＰＵシステムに出力する。なお、コンデンサＣ
は、設定する一定の値−０に応じてその容量全適宜に選
択することができる。また、ＡＤＣ１４は少なくとも１
６ビツトの装置であることが望ましい０これは、ＡＤＣ
の分解能ｆｆ１１／１．０００よりも高め、測定時間の
短縮を図ることができるからである。
スイッチ手段は、検出手段と積分手段とを断続するスイ
ッチ１３と、ＣＰＵシステム９よりの指令によシスイッ
チ１３を駆動するスイッチ駆動回路１２とを具備してお
り、分光器６によシ所定波長の単色光ビームが測定セル
２内の試料に照射されると同時にスイッチ１３ｆ：ＯＮ
状態にし、検出手段中のフォトダイオード１３で検出す
る電流ｉｆ積分手ＲＫ導通し、積分手段での積分値が一
定の値−０になったことを判別したＣＰＵシステム９よ
りの指令によりスイッチ駆動回路１２を介してスイッチ
１６ｔＯＦＦ状！ＩＫする。つまシ、スイッチ手段中の
スイッチ１５は、検出手段よりの電流イを積分して一定
値−０になるまで、検出手段と積分手段と′ｔｌ−ＯＮ
状態にする。
ッチ１３と、ＣＰＵシステム９よりの指令によシスイッ
チ１３を駆動するスイッチ駆動回路１２とを具備してお
り、分光器６によシ所定波長の単色光ビームが測定セル
２内の試料に照射されると同時にスイッチ１３ｆ：ＯＮ
状態にし、検出手段中のフォトダイオード１３で検出す
る電流ｉｆ積分手ＲＫ導通し、積分手段での積分値が一
定の値−０になったことを判別したＣＰＵシステム９よ
りの指令によりスイッチ駆動回路１２を介してスイッチ
１６ｔＯＦＦ状！ＩＫする。つまシ、スイッチ手段中の
スイッチ１５は、検出手段よりの電流イを積分して一定
値−０になるまで、検出手段と積分手段と′ｔｌ−ＯＮ
状態にする。
初期化手段は、オペアンプ７の入力側と出力側とを抵抗
Ｒマ、Ｒｓ、＆、スイッチ１６およびオペアンプ１５で
接続してなり、積分手段で積分した電流ｉが一定値−０
に達したことを判別したＣＰＵシステム９よ〕の指令に
よりスイッチ１６’ｆ−ＯＮ状態にして、積分手段にチ
ャージされた電荷を放電することにより積分手段を初期
化（０レベル）し、積分手段が初期化されたことＴｈ
ＡＤＣ１４を介して判別したＣＰＵシステム９よシの指
令にょシスイッチ１６をＯＦＦ状態にする。
Ｒマ、Ｒｓ、＆、スイッチ１６およびオペアンプ１５で
接続してなり、積分手段で積分した電流ｉが一定値−０
に達したことを判別したＣＰＵシステム９よ〕の指令に
よりスイッチ１６’ｆ−ＯＮ状態にして、積分手段にチ
ャージされた電荷を放電することにより積分手段を初期
化（０レベル）し、積分手段が初期化されたことＴｈ
ＡＤＣ１４を介して判別したＣＰＵシステム９よシの指
令にょシスイッチ１６をＯＦＦ状態にする。
ＣＰＵシステム９は、第６図に示すように、設定値判別
回路９αと、初期値判別回路９ｈと、積分時間計数回路
９Ｇと、単色光指定回路９ｄと、メモリ９ｅと、演Ｊｉ
ｇ、器９ｆとを少なくとも具備している。
回路９αと、初期値判別回路９ｈと、積分時間計数回路
９Ｇと、単色光指定回路９ｄと、メモリ９ｅと、演Ｊｉ
ｇ、器９ｆとを少なくとも具備している。
そして、設定値判別回路９ａは、積分手段よシの出力を
入力して、積分値が一定値ｅ、に達したことを判別し、
スイッチ１３がＯＦＦ状態となるようにスイッチ駆動回
路１２に指令信号を出力すると共に、積分手段にチャー
ジされた電荷をディスチャージするためにＯＮ状態とな
るようにスイッチ１６に指令信号を出力し、また積分値
が一定値−０Ｋ違し九ことを判別した信号は積分時間計
数回路９＃にも出力するようになっている。初期値判別
回路９ｈは、初期化手段を介して積分手段にチャージさ
れた電荷金ディスチャージする際の信号’ｔＡＤｃ１４
を介して入力して、入力する信号レベルが初期値（０レ
ベル）Ｋ達したことを判別し、スイッチ１６がＯＦＦ状
態となるようにスイッチ１６に指令信号を出力すると共
に、初期値に達したことを判別した信号を積分時間計数
回路９Ｇに出力する。単色光指定回路９ｄは、入出力装
置８によシ指定されたモードによ）、分光器６がそのモ
ードに必要な特定波長の単色光を出力するように波長切
換モータドライバ１０に指令信号を出力すると共に、ス
イッチ１３をＯＮ状態となるようにスイッチ駆動回路１
２に指令信号を出力し、また、積分時間計数回路９０に
指定した単色光を示す信号を出力する。積分時間計数回
路９−は、単色光指定回路９ｄよシの特定の単色光を指
定する信号と初期値判別回路９ｂよシの初期値を判別し
九信号とを二人力として一致する時点から一定値−０に
達し九ことを判別する信号を設定値判別回路９ａよ多入
力する時点までの積分時間を計数し、計数したデータす
なわち前記時点でのＡＤＣ値と特定の単色光を指定する
信号とをメモリ９−に出力する。メモリ９−は、あらか
じめ１００％Ｔ（透過率）校正時に測定して得た積分時
間のデータを各波長毎に記憶しており、積分時間計数回
路９ｃより入力する積分時間を演算器９ｆに出力し、演
算器９ｆは波長毎に前記記憶データに基づき吸光産金演
算して、入力装置８に吸光度データを出力するＯ ここで、吸光度の演算はたとえば次のようにして行なわ
れる。積分手段におけるオペアンプ７のダイナミックレ
ンジは設計時規格されており、つまり一定値−０に達す
るまでの規格化した積分時間基準値を設定しておく〇 試料によっては、一定値−〇に達するまでの積分時間に
大小があるが、この様に積分時間を変更するという事は
、ゲインを変化させたのと同等である。ここでＡＤＣ１
４で変換したデジタルデーターを吸光度の演算に用いる
場合ゲイン変更分すなわち、積分時間基準値と試料を測
定したときの積分時間の比を取る事によりゲイン分が算
出され、これを補正する事により正しく吸光度が求めら
れる０この様にする事により、ＡＤＣ１４からのデジタ
ルデー声−のビット数は常に一定であシ、ＣＰＵシステ
ム９によ）対数変換した時の一換精度は常に一定に保た
れる。即ち、波長２項目、試料にかかわらず、常に一定
８／Ｎ を保つ事氷できる。次いで、ランバート・ベー
アの吸光変成により、水に対する吸光度を計算する。以
上の計算は、さらに、数式を用いて説明すると次のとお
夛である０水を試料とするときの積分時間 ・・・・
・・１゜ある試料の積分時間 ・・・・・
・ｔ。
入力して、積分値が一定値ｅ、に達したことを判別し、
スイッチ１３がＯＦＦ状態となるようにスイッチ駆動回
路１２に指令信号を出力すると共に、積分手段にチャー
ジされた電荷をディスチャージするためにＯＮ状態とな
るようにスイッチ１６に指令信号を出力し、また積分値
が一定値−０Ｋ違し九ことを判別した信号は積分時間計
数回路９＃にも出力するようになっている。初期値判別
回路９ｈは、初期化手段を介して積分手段にチャージさ
れた電荷金ディスチャージする際の信号’ｔＡＤｃ１４
を介して入力して、入力する信号レベルが初期値（０レ
ベル）Ｋ達したことを判別し、スイッチ１６がＯＦＦ状
態となるようにスイッチ１６に指令信号を出力すると共
に、初期値に達したことを判別した信号を積分時間計数
回路９Ｇに出力する。単色光指定回路９ｄは、入出力装
置８によシ指定されたモードによ）、分光器６がそのモ
ードに必要な特定波長の単色光を出力するように波長切
換モータドライバ１０に指令信号を出力すると共に、ス
イッチ１３をＯＮ状態となるようにスイッチ駆動回路１
２に指令信号を出力し、また、積分時間計数回路９０に
指定した単色光を示す信号を出力する。積分時間計数回
路９−は、単色光指定回路９ｄよシの特定の単色光を指
定する信号と初期値判別回路９ｂよシの初期値を判別し
九信号とを二人力として一致する時点から一定値−０に
達し九ことを判別する信号を設定値判別回路９ａよ多入
力する時点までの積分時間を計数し、計数したデータす
なわち前記時点でのＡＤＣ値と特定の単色光を指定する
信号とをメモリ９−に出力する。メモリ９−は、あらか
じめ１００％Ｔ（透過率）校正時に測定して得た積分時
間のデータを各波長毎に記憶しており、積分時間計数回
路９ｃより入力する積分時間を演算器９ｆに出力し、演
算器９ｆは波長毎に前記記憶データに基づき吸光産金演
算して、入力装置８に吸光度データを出力するＯ ここで、吸光度の演算はたとえば次のようにして行なわ
れる。積分手段におけるオペアンプ７のダイナミックレ
ンジは設計時規格されており、つまり一定値−０に達す
るまでの規格化した積分時間基準値を設定しておく〇 試料によっては、一定値−〇に達するまでの積分時間に
大小があるが、この様に積分時間を変更するという事は
、ゲインを変化させたのと同等である。ここでＡＤＣ１
４で変換したデジタルデーターを吸光度の演算に用いる
場合ゲイン変更分すなわち、積分時間基準値と試料を測
定したときの積分時間の比を取る事によりゲイン分が算
出され、これを補正する事により正しく吸光度が求めら
れる０この様にする事により、ＡＤＣ１４からのデジタ
ルデー声−のビット数は常に一定であシ、ＣＰＵシステ
ム９によ）対数変換した時の一換精度は常に一定に保た
れる。即ち、波長２項目、試料にかかわらず、常に一定
８／Ｎ を保つ事氷できる。次いで、ランバート・ベー
アの吸光変成により、水に対する吸光度を計算する。以
上の計算は、さらに、数式を用いて説明すると次のとお
夛である０水を試料とするときの積分時間 ・・・・
・・１゜ある試料の積分時間 ・・・・・
・ｔ。
規格化された積分時間 ・・・・・・ｔ３水
についてのＡＤＣ値（電流値２校正デー菊・・・・・・
Ａ１ある試料Ｋ）いてのＡＤＣ値（電流値）・・・・・
・Ａ８ム＆ａ（吸光度） ＡＶ’ｒ。
についてのＡＤＣ値（電流値２校正デー菊・・・・・・
Ａ１ある試料Ｋ）いてのＡＤＣ値（電流値）・・・・・
・Ａ８ム＆ａ（吸光度） ＡＶ’ｒ。
ｗ ２− ｌａｇズ７■
ｗｚ ２ − （＃ｙＡｔ −ｔｏｒｔム鵞 ＋
ｔｏｇ Ｔｌ −１ｏｇ Ｔ（１）ただしｓ Ｔｌ −
ｔｘ／ｌｓ ％Ｔｔ ＝ ｔｔ／ｌｓ次に１前記のよう
に構成する分光分析装置の作用について述べる。
ｔｏｇ Ｔｌ −１ｏｇ Ｔ（１）ただしｓ Ｔｌ −
ｔｘ／ｌｓ ％Ｔｔ ＝ ｔｔ／ｌｓ次に１前記のよう
に構成する分光分析装置の作用について述べる。
先ず、オペレータが、入出力装置８におけるキーボード
で各種の検査項目たとえばＧＯＴ測定、ＧＰＴ測定等の
モードを指定する。入出力装置８により指定されたモー
ドに応じて単色光指定回路９ｄは、分光器６より所定の
波長たとえば６４岬ｌの単色光を出力するように波長切
換モータビ２イパ１０に指令信号を出力すると共に、ス
イッチ１６がＯＮ状態となるようにスイッチ駆動回路１
２に指令信号を出力する。また、単色光指定回路９ｄは
、特定のモードたとえばＧＯＴモードを指定する信号を
積分時間計数回路９Ｇにも出力しておシ、計数した積分
時間がどの波長についてのものかがわかるようになって
いる。波長切換モータドライバ１０によって指定された
所定の波長の単色光ビームが分光器６より出力され、測
定セル２内の試料に照射される。試料を透過する単色光
ビームは、検出手段内のフォトダイオード３で受光され
、充電変換された電流ｉはＯＮ状態となっているスイッ
チ１３を介して積分手段に入力され、積分される０積分
手段は積分する電流値（又は電圧値）′を順次ＡＤＣ１
４に入力するＧそしてＡＤＣ１４でディジタル値に変換
してＣＰＵシステム９内の設定値判別回路９ａに出力す
る０設定値判別回路９Ｇは、積分値が一定値−０に達す
ると、スイッチ１３ｔＯＦＦ状態となるようにスイッチ
駆動回路１２に指令信号を出力すると共に、積分値が一
定値−・に達したことを判定する信号を積分時間計数回
路９ｃに出力する。積分時間計数回路９−は、ＧＯＴモ
ードを指定する信号と初期値判別回路９＆よりの０レベ
ル信号とを二人力として、これらが一致する時点より設
定値判別回路９６よりの判定信号を入力する時点までの
積分時間を計数し、計数したデータとＧＯＴモード管指
定する信号とをメモリ９ｅＫ出力する。メモリ９＃は、
記憶している校正データにもとづき、計数データを演算
器９７によシ吸光度に演算し、入出力装置８に吸光度デ
ータとして出力する。一方、設定値判別回路９ａは、積
分値が一定値６゜に達すると、初期化手段におけるスイ
ッチ１６ｔ−ＯＮ状態となるように５スイツチ１６を駆
動する指令信号を出力している。スイッチ１６がＯＮ状
態になると、積分手段でチャージされた電荷が抵抗Ｒ７
−Ｒｓ −Ｒｅおよびスイッチ１６を介して、増幅器１
５で消費される（ディスチャージ）。従って、積分手段
の出力は低下し、やがて所定の値（初期値）に戻る。こ
の結果、初期値判別回路９ｂは、ディスチャージによる
電流値が初期値に達したことを判定すると、スインｆ１
６ｙりＥＯＦＦ状態となるように、スイン５’−１６を
駆動する指令信号を出力すると共に、積分時間計数回路
９ｃに判定した信号を出力する。
で各種の検査項目たとえばＧＯＴ測定、ＧＰＴ測定等の
モードを指定する。入出力装置８により指定されたモー
ドに応じて単色光指定回路９ｄは、分光器６より所定の
波長たとえば６４岬ｌの単色光を出力するように波長切
換モータビ２イパ１０に指令信号を出力すると共に、ス
イッチ１６がＯＮ状態となるようにスイッチ駆動回路１
２に指令信号を出力する。また、単色光指定回路９ｄは
、特定のモードたとえばＧＯＴモードを指定する信号を
積分時間計数回路９Ｇにも出力しておシ、計数した積分
時間がどの波長についてのものかがわかるようになって
いる。波長切換モータドライバ１０によって指定された
所定の波長の単色光ビームが分光器６より出力され、測
定セル２内の試料に照射される。試料を透過する単色光
ビームは、検出手段内のフォトダイオード３で受光され
、充電変換された電流ｉはＯＮ状態となっているスイッ
チ１３を介して積分手段に入力され、積分される０積分
手段は積分する電流値（又は電圧値）′を順次ＡＤＣ１
４に入力するＧそしてＡＤＣ１４でディジタル値に変換
してＣＰＵシステム９内の設定値判別回路９ａに出力す
る０設定値判別回路９Ｇは、積分値が一定値−０に達す
ると、スイッチ１３ｔＯＦＦ状態となるようにスイッチ
駆動回路１２に指令信号を出力すると共に、積分値が一
定値−・に達したことを判定する信号を積分時間計数回
路９ｃに出力する。積分時間計数回路９−は、ＧＯＴモ
ードを指定する信号と初期値判別回路９＆よりの０レベ
ル信号とを二人力として、これらが一致する時点より設
定値判別回路９６よりの判定信号を入力する時点までの
積分時間を計数し、計数したデータとＧＯＴモード管指
定する信号とをメモリ９ｅＫ出力する。メモリ９＃は、
記憶している校正データにもとづき、計数データを演算
器９７によシ吸光度に演算し、入出力装置８に吸光度デ
ータとして出力する。一方、設定値判別回路９ａは、積
分値が一定値６゜に達すると、初期化手段におけるスイ
ッチ１６ｔ−ＯＮ状態となるように５スイツチ１６を駆
動する指令信号を出力している。スイッチ１６がＯＮ状
態になると、積分手段でチャージされた電荷が抵抗Ｒ７
−Ｒｓ −Ｒｅおよびスイッチ１６を介して、増幅器１
５で消費される（ディスチャージ）。従って、積分手段
の出力は低下し、やがて所定の値（初期値）に戻る。こ
の結果、初期値判別回路９ｂは、ディスチャージによる
電流値が初期値に達したことを判定すると、スインｆ１
６ｙりＥＯＦＦ状態となるように、スイン５’−１６を
駆動する指令信号を出力すると共に、積分時間計数回路
９ｃに判定した信号を出力する。
以上の動作により特定の波長における吸光度測定が行な
われ、以上の動作を入出力装置８で指定するモード毎に
順次くシかえずことにより、種々の波長における吸光度
測定が行なわれることになるＯ 以上この発明の一実施例について詳述したが、この発明
は前記実施例に限定されるまでもなく、この発明の要旨
の範囲内で種々に変形して実施することができる。
われ、以上の動作を入出力装置８で指定するモード毎に
順次くシかえずことにより、種々の波長における吸光度
測定が行なわれることになるＯ 以上この発明の一実施例について詳述したが、この発明
は前記実施例に限定されるまでもなく、この発明の要旨
の範囲内で種々に変形して実施することができる。
前記実施列においては、分光器６から出力される単色光
ビー五を一箇のフォトダイオードで受光し、単色光ビー
ムの波長を順次に切シ換えてスキャニングを行なうもの
であったが、回折格子を有する分光器より分散光を出力
し、第７図に示すように５検出手段内に配列した多数の
フォトダイオード３Ａ、３Ｂ−３Ｎで分散光中の各単色
光を受光するようにしてスキャニングを行なうものであ
ってもよい。この場合、スイッチ手段には、前記実施例
におけるスイッチ１３のかわりに１マルチプレクナ１６
ｔ−設けておき、第７図に示すように、単色光指定回路
９ｄよりの信号にょシ、波長に応じた特定のフォトダイ
オードと積分手段とを□□□状態にし、電流値が一定値
一〇に達したことを判別した設定値判別回路９・よシの
信号によシ前記ＯＮ状態をＯＦＦ状態に切シ換えるよう
に、スイッチ駆動回路１８でマルチプレクサ１６を動作
させるようにしておいてもよいし、また、第８図に示す
ように、１ルチプレクサ１６の動作ｔ ＣＰＵシステム
９のプ目グ２ムに従って行なうようにしてもよい。
ビー五を一箇のフォトダイオードで受光し、単色光ビー
ムの波長を順次に切シ換えてスキャニングを行なうもの
であったが、回折格子を有する分光器より分散光を出力
し、第７図に示すように５検出手段内に配列した多数の
フォトダイオード３Ａ、３Ｂ−３Ｎで分散光中の各単色
光を受光するようにしてスキャニングを行なうものであ
ってもよい。この場合、スイッチ手段には、前記実施例
におけるスイッチ１３のかわりに１マルチプレクナ１６
ｔ−設けておき、第７図に示すように、単色光指定回路
９ｄよりの信号にょシ、波長に応じた特定のフォトダイ
オードと積分手段とを□□□状態にし、電流値が一定値
一〇に達したことを判別した設定値判別回路９・よシの
信号によシ前記ＯＮ状態をＯＦＦ状態に切シ換えるよう
に、スイッチ駆動回路１８でマルチプレクサ１６を動作
させるようにしておいてもよいし、また、第８図に示す
ように、１ルチプレクサ１６の動作ｔ ＣＰＵシステム
９のプ目グ２ムに従って行なうようにしてもよい。
以上詳述したこの発明によると次のような効果を奏する
ことができる。すなわち、この発明においては、フォト
ダイオードで検出される電流が微弱であっても、これを
積分し、積分した電流値が一定の値に達するまでの積分
時間をパラメータとして吸光度測定をしており、従来の
ように、試料に照射する光のエネルギをスリットで減衰
させた）、リーク電流やノイズを生ずる切換手段で検出
利得を調整していないので、Ｓハ比の高い吸光度分析を
行々うことができるし、また、検出利得を容易に制御す
ることができる。
ことができる。すなわち、この発明においては、フォト
ダイオードで検出される電流が微弱であっても、これを
積分し、積分した電流値が一定の値に達するまでの積分
時間をパラメータとして吸光度測定をしており、従来の
ように、試料に照射する光のエネルギをスリットで減衰
させた）、リーク電流やノイズを生ずる切換手段で検出
利得を調整していないので、Ｓハ比の高い吸光度分析を
行々うことができるし、また、検出利得を容易に制御す
ることができる。
第１図はタングステンランプの分光特性を示すグラフ、
第２図はシリコンフォトダイオードの分光感度特性を示
すグラフ、第６図および第４図は従来における検出利得
の調整を示す説明図、第５図および第６図はこの発明の
一実施例を示す説明図並びに第７図および第８図はこの
発明の他の実施例を示す説明図である。 ２・・・測定セル、 ６・・・フォトダイオード、
６・・・分光器、 ７・−・オペアンプ、 ８・・
・入出力装置、９・・・演算処理手段、 １０−・・波
長切換モータドライバ、 １２−スイッチ駆動回路、
１３・・・スイッチ、 １４・・・ＡＤＣ，１５
・・・オペアンプ、１６・・・スイッチ（Ｙルチプレク
サ）、 １８・・・スイッチ駆動回路。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名）償長（
ｎｍ） （ｎｍ）
第２図はシリコンフォトダイオードの分光感度特性を示
すグラフ、第６図および第４図は従来における検出利得
の調整を示す説明図、第５図および第６図はこの発明の
一実施例を示す説明図並びに第７図および第８図はこの
発明の他の実施例を示す説明図である。 ２・・・測定セル、 ６・・・フォトダイオード、
６・・・分光器、 ７・−・オペアンプ、 ８・・
・入出力装置、９・・・演算処理手段、 １０−・・波
長切換モータドライバ、 １２−スイッチ駆動回路、
１３・・・スイッチ、 １４・・・ＡＤＣ，１５
・・・オペアンプ、１６・・・スイッチ（Ｙルチプレク
サ）、 １８・・・スイッチ駆動回路。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名）償長（
ｎｍ） （ｎｍ）
Claims (1)
- 分光器より出力される光を試料に照射し、試料を透過す
る光を光電変換することによシ吸光度測定を行なう分光
分析装置において、光電変換された信号を入力してこれ
を積分する積分回路と、該積分値が所定値に達するまで
の積分時間を計数する積分時間計数回路と、該積分時間
をパラメータとして吸光度測定結果を得る演算処理手段
とを備えていること１に特徴とする分光分析装置０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18309581A JPS5885139A (ja) | 1981-11-17 | 1981-11-17 | 分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18309581A JPS5885139A (ja) | 1981-11-17 | 1981-11-17 | 分光分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5885139A true JPS5885139A (ja) | 1983-05-21 |
| JPH0143900B2 JPH0143900B2 (ja) | 1989-09-25 |
Family
ID=16129668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18309581A Granted JPS5885139A (ja) | 1981-11-17 | 1981-11-17 | 分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5885139A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012247286A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Seiko Epson Corp | 光フィルター装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS522583A (en) * | 1975-06-24 | 1977-01-10 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Penetration rate measuring device |
| JPS5531939A (en) * | 1978-08-29 | 1980-03-06 | Dainichi Seika Kogyo Kk | Measuring circuit for photo amount |
-
1981
- 1981-11-17 JP JP18309581A patent/JPS5885139A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS522583A (en) * | 1975-06-24 | 1977-01-10 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Penetration rate measuring device |
| JPS5531939A (en) * | 1978-08-29 | 1980-03-06 | Dainichi Seika Kogyo Kk | Measuring circuit for photo amount |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012247286A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Seiko Epson Corp | 光フィルター装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0143900B2 (ja) | 1989-09-25 |
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