JPS5878628U - 封入装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の封入装置の配管系統図であり、第゛：図
は本考案による一実施例の配管系統図である。 直間におりて、１・・・・・・不活性ガス供給用ストッ
プバルブ、２・・・・・・不活性ガス用圧力計、３・・
・・・・不活性ガス供給調節用ニードバルブ、４・・・
・・・封入石英内排気用調節バルブ、５・・・・・・封
入石英管内圧力監視用圧力計、６・・・・・・封入石英
管内圧力リーク用バルフ、７・・・・・・真空度チェッ
ク用ガイスラー管、８・・・・・田−タリーポンプリー
ク用電磁弁、９・・・・・・ロータリーポンプ、１０・
・・・・・封入石英管取付治具、１１・・・・・・封入
石英管、１２・・・・・・警報装置用圧カセ７、ンサー
、１３・・・・・・警報装置、１４・・・・・・圧力警
報ブザ−、である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 半導体ウェハーのクローズ拡散に使用する封入装置にお
   いて、上下限の封入圧力の警報装置を具備した事を特徴
   とする封入装置。