JPS5878563U - 電子顕微鏡の「けい」光板 - Google Patents
電子顕微鏡の「けい」光板Info
- Publication number
- JPS5878563U JPS5878563U JP17329581U JP17329581U JPS5878563U JP S5878563 U JPS5878563 U JP S5878563U JP 17329581 U JP17329581 U JP 17329581U JP 17329581 U JP17329581 U JP 17329581U JP S5878563 U JPS5878563 U JP S5878563U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron microscope
- fluorescent
- electrons
- light plate
- fluorescent plate
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000003973 paint Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Indication In Cameras, And Counting Of Exposures (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は螢光板の使用状態図、第２図は第１図の螢光板
の平面図、第３図は第１図のフィルムの平面図、第４図
は本考案によるマスクの平面図、第５図は完成された螢
光板の平面図である。 １・・・電子線束、２・・・螢光板、３・・・可視光、
４・・・フィルム、５・・・パターン、６・・・マスク
、７・・・マスク上のパターン、８・・・螢光塗料塗布
面。
の平面図、第３図は第１図のフィルムの平面図、第４図
は本考案によるマスクの平面図、第５図は完成された螢
光板の平面図である。 １・・・電子線束、２・・・螢光板、３・・・可視光、
４・・・フィルム、５・・・パターン、６・・・マスク
、７・・・マスク上のパターン、８・・・螢光塗料塗布
面。
Claims (1)
- 加速された電子で試料を透過した電子を電子レンズによ
り拡大して螢光板に当てて電子を可視光に変換して像観
察を行う電子顕微鏡において、螢光塗料塗布面に像の位
置関係の確認及び寸法の測定又は写直擦影の範囲等を設
定するために一定のパターンを表示する方法としてパタ
ーンをマスクにより印刷して形成することを特徴とした
電子顕微鏡の螢光板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17329581U JPS5878563U (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | 電子顕微鏡の「けい」光板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17329581U JPS5878563U (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | 電子顕微鏡の「けい」光板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5878563U true JPS5878563U (ja) | 1983-05-27 |
Family
ID=29965160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17329581U Pending JPS5878563U (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | 電子顕微鏡の「けい」光板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5878563U (ja) |
-
1981
- 1981-11-24 JP JP17329581U patent/JPS5878563U/ja active Pending
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