JPS5878411A - 湿式多層セラミツク基板 - Google Patents

湿式多層セラミツク基板

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Publication number
JPS5878411A
JPS5878411A JP56176365A JP17636581A JPS5878411A JP S5878411 A JPS5878411 A JP S5878411A JP 56176365 A JP56176365 A JP 56176365A JP 17636581 A JP17636581 A JP 17636581A JP S5878411 A JPS5878411 A JP S5878411A
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JP
Japan
Prior art keywords
ceramic
capacitor
ceramic insulating
insulating layer
layers
Prior art date
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Pending
Application number
JP56176365A
Other languages
English (en)
Inventor
松本 智三
品川 充久
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP56176365A priority Critical patent/JPS5878411A/ja
Publication of JPS5878411A publication Critical patent/JPS5878411A/ja
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  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発@は、セライック基体上に積層したセラミック絶縁
層を誘電体としてコンデンサを形成した湿式多層セラ建
ツク基板に関する。
同調回路などに用いられるコンデンサを、湿式多層セラ
(ツクa*tC内装して形成するようにしたものがある
。この湿式多層セラ建ツク基板1は、アル電すなどから
なる未焼結の七う建ツク基体上に、印刷法などによりペ
ースト状の導電層とセラミック基体と同一材料でペース
ト状のセラミック絶縁層を積層し、これを焼成すること
によって作られ、上記導電層管電極とし、上記セラミッ
ク絶縁層tll電体として内装されたコンデンサを形成
するようにしたものである。
ところで、コンデンサは、第1図に示すように、引出し
lI3を有する電極1と引出しi14を有する電1i2
とt対向させ、電極1,20間に誘電体t設けて形成さ
れ、電極1.2の面積1ks、電極1゜2の間隔をDと
し、真空中の誘電率tgo%誘電体の比誘電率を8tと
すると、コンデンサの静電容量Cは次式で表わされる0
すなわち、 (1)式から明らかなように、静電容量Ctl、gr、
8゜Dによって決まるものであるから、これらに誤差が
あると轟然静電容量に誤差が生ずる。
ここで、従来の、コンデンサを円淡し九湿式多層セl)
イック基板t−1t!2図に示す。
同図において、5扛セラ建ツク基板、6ないし9はセラ
ミック絶縁層、10.11はピアホール、12.13は
導線、14.15t!端子であって、第1図に対応する
部分には同一符号を付けている。
この湿式多層セラ建ツク基INは、導電層である電極1
.2とセラミック絶縁層6ないし9とを積層し、電極1
.2とそC>naK&けられているセラミツク絶縁層6
t−誘電 している。そして、各セラミック絶縁層6ないし8には
ピアホール10.11を穿ち、そこに導線12。
13を設けて引出し線3と端子14とを、また、引出し
1113と端子15とt夫々接続している。
そこで、かかる湿式多層セラ建ツク基板に形成されたコ
ンデンサの静電容量Ct−α)式に関してみると、轟然
のことではあるが、(1)式のεrはセラミック絶縁層
6の比誘電率、Sは電極1.2の面積、Dは電極1,2
0間隔、従って、セラミック絶縁層6の厚さということ
になる。そして、比誘電率#rはセフインク純度にもよ
るが、通常8.5〜92@度の鎖管とる。
ところで、七′)建ツク絶縁層6の比誘電率や厚さ、電
@1,20面積に誤差が生ずると、コンデンサの静電容
量Kw4差が生ずるか、特に、七2建ツク絶縁層6は焼
結時などにおいて厚さの誤差を生じ中すく、通常35j
1m±5μmの範囲で厚さのバラツキが生ずる◎このた
めに、静電容量も±14.3嚢oIi!21でばらつい
てしまう。
そして、他の要因による静電容量のバラツキも合わせる
と、同&ll(口)路の回路素子として使用するには不
適轟となり、このために、生産過程において、所定の誤
差範囲内にある静電容量のコンデンサを選別すればよい
が、歩留りが非常に低下してしまう。
本発明は、上記従来技術の欠点を除き、静電容量の誤差
管軽減したコンデンサを内装した湿式多層セラ建ツク基
板を提供するKある〇 この目的を達成するために、本発明は、コンデンサの誘
電体を複数のセ9ぐツク絶縁層に19形成し、個々のセ
ラミック絶縁層の厚み誤差の静電容量に対する影響を軽
減できるようにした点を特徴とする。
以下、本発明の実施例を図面について説明する。
菖3図は本発明による湿式多層セラ建ツク基板の一実施
例管示す構成図であって、第2図に対応する部分に同一
符号を付けて一部詳細な省略する〇−図において、対向
する電極1,2間に、セラ2ツク絶縁層6.7.8が積
層されて設けられ、この多層構造のセラミック絶縁層を
誘電体として電極1.2とともコンデンサを形成してい
る。この上うに、所定の厚さのセラミック絶縁層を多層
構造にしてコンデンサの誘電体を形成したことにより、
個別のセラミック絶縁層の厚みのバラツキに伴なう静電
容量の誤差は軽減される。
すなわち、各セラミック絶縁層に厚みのバラツキがある
としても、それらを積層すると、個々のセラミック絶縁
層の厚みのバラツキはならされて、全体の厚みに対する
誤差範囲の割合が小さくなる。
そこで、第3図において、セラミック絶縁層6。
7#8’D厚みの最大誤差を夫々σ1,σ2,σ3とし
、これらを積層したと11の全体の厚みの最大誤差をC
ト薯とすると、 1  m   114 σl−8=(σ1+σ,+σm )    ”’ ″。
0+1値2)となる。
前述のように、厚さ35μmのセラミック絶縁層に±5
μmの範囲でバラツキがあるとすると、(2)式の−1
,σ嵩,σ1に5μmf代入することにより、σ*−s
 w= 9, 7μmとなり、セラミック絶縁層1層当
りの誤差範囲は2,9βmとなってバラツキがならされ
る0従って、積層した全体の厚みは、35x3±8、7
μmのばらつきがあるが、そのばらつきは、8.7/1
05 = 0.083、すなわち8.3−に抑えること
ができる。
一般に、n個の同一厚さのセラ建ツク絶縁層會積層する
と、厚みのばらつきは1 / v’Hにならされ、全体
の厚みのバラツキは小さくなる。
第4図は本発明による湿式多層セラミック基板の他の実
施例を示す構造図であって、第3図に対応する部分に扛
同−符号を付けている。
同図において、対向する電極の一方は導電層11゜1!
からなり、また、他方は導電層2s −2gからなる。
そして、各導電層1i + 21 e 1s e 2m
 tllセララック絶縁層67.8會介して対向してい
る。
この場合にも、第3図で説明した実施例と同様に、各セ
ラミック絶縁層6,7.8の厚みのバラツキ線ならされ
て、コンデンサの静電容量のバラツキは小さくなる。
この実施例においては、対向する各電極を形成する導電
層の数を任意に定め”ることができ、また、対向する導
電層の間に設けるセラ建ツク絶幽層の数も任意に定める
ことができて、任意の静電容量のコンデンサを形成する
ことができる0しかし、導電層の数管増すと静電容量も
増加するから、109F以上の比較的大容量のコンデン
サを形成するのに適する。これに対して、第3図の実施
例は、セラ建ツク絶縁層の数を増すと静電容量は減少す
るから、109 F以下の比較的小容量のコンデンサを
形成するのに適する0 以上説明し友ように、本発明によれば、セラミック絶縁
層に厚みのバラツキがあっても、コンデンサの誘導体と
しては、複数の骸セラ建ツク絶縁層tl!IMi した
ものであるから、上記の厚みのバラツキはならされ、精
駅の良いコンデンサを形成することができて歩留りも向
上し、従来技術の欠点を除いて優れた機能の湿式多層セ
ラミック基板を安価に提供することができる0
【図面の簡単な説明】
縞1図はコンデンサの基本構造を示す説明図、亀2図は
従来O湿式多層セラオツク基板を示す構成図、第39社
本発明による湿式多層セラミック基板の一実施例を示す
構成図、第4図は本発明による湿式多層セラミック基板
の他の実施例を示す構成図である。 1.2・・・・・・電極、5・・・・・・セラミック基
体、6゜7.81・旧・・セラミック絶縁層。 第1図 第2図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)  セラミック基体上に、セラミック絶縁層を積
    層し、皺セラ建ツク絶縁層tSt電体とするコンデンサ
    管形成してなる湿式多層セラ建ツタ基板において1、複
    数のセラミック絶縁層を誘電体としてコンデンサを形成
    することにより、前記セラミック絶縁層の厚さの誤差に
    伴なう前記コンデンサの静電容量の誤差を軽減可能に構
    成したことt特徴とする湿式多層セラ5ツク基板。
  2. (2)  特許請求の範11111項において、前記コ
    ンデンサの対向する電極が夫々一層の導電層からなり、
    該導電層間に前記複数のセラミック絶縁層會設けたこと
    を**とする湿式多層セラミック基板◎(3)  特許
    請求の範囲第1項において、前記コンデンサの対向する
    電極はその少なくとも一方が多層の導電層からなり、一
    方の電極の前記導電層と他方の電極の#記導電層と交互
    に積層するとtもに、対向する各導電層間に前記セラミ
    ック絶縁層を設けたことt41黴とする温式多層セラミ
    ック基体0
JP56176365A 1981-11-05 1981-11-05 湿式多層セラミツク基板 Pending JPS5878411A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62196811A (ja) * 1986-02-22 1987-08-31 三菱マテリアル株式会社 コンデンサ内蔵型セラミツク基板

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54131760A (en) * 1978-04-01 1979-10-13 Ngk Insulators Ltd Ceramic condenser
JPS5658295A (en) * 1979-10-17 1981-05-21 Hitachi Ltd Method of manufacturing high accuracy capacitor contained multilayer circuit board

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