JPS58204516A - 厚膜多層回路板 - Google Patents

厚膜多層回路板

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Publication number
JPS58204516A
JPS58204516A JP8661082A JP8661082A JPS58204516A JP S58204516 A JPS58204516 A JP S58204516A JP 8661082 A JP8661082 A JP 8661082A JP 8661082 A JP8661082 A JP 8661082A JP S58204516 A JPS58204516 A JP S58204516A
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JP
Japan
Prior art keywords
thick film
capacitor
multilayer circuit
circuit board
capacitance
Prior art date
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Pending
Application number
JP8661082A
Other languages
English (en)
Inventor
杉下 信行
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS58204516A publication Critical patent/JPS58204516A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は厚膜多層回路板に係り、さらに詳細には、厚膜
コンデンサを内層に形成した厚膜多層回路板だ関する。
近年、自動車電装回路のエレクトコニクス化やボータプ
ル尾響機器などの進歩とともに電子回路の小形化の要求
が高まり、厚膜回路も一層の高密変化が必要になってき
た。
厚膜回路を高密度化するには、厚膜技術で形成する配線
導体、抵抗体及びコンデンサの多層化が有効である。第
1図は厚膜多層回路板の断面図である。セラミック基板
1に、第1層配線導体2、内層抵抗体用端子導体6及び
内層コンデンサの下部電番4が、同一導電ペーストラ印
刷、焼成して形成する。ついで内層抵抗体5、内層コン
デンサの誘電体6及びこのコンデンサの上部電極7を形
成し、これらの厚膜素子全てを覆うように絶縁層8を形
成する。この絶縁層上に、第2層配線導体9、抵抗体の
端子10を同一導電材料で形成し、最後に上層抵抗体1
1ヲ形成する。
このような構造の厚膜多層回路では、高精度を要する抵
抗体はトリミング可能な上層に形成し、高精度全必要と
しないものは内層に形成する。コンデンサは比較的大き
な面積が必要であシ、かつ防湿用被覆をほどこす必要が
あるため、全て内層に形成する。したがって、絶縁層の
被覆、上層素子の形成等の工程で特性が変化すると、高
精度なコンデンサが得られない。
従来、厚膜コンデンサは、第2図に示すように対向電極
の位置ずれによる静電容量のばらつき全防ぐためと、印
刷し易さのために、下部電極4の面積を上部電極7の面
積より大きく形成していた。しかし、このような構造の
厚膜コンデンサに第1図のように絶縁層を被覆すると、
静電容量が増加してしまう。温度補償用コンデンサのよ
うに、静電容量が小さくて、高い容量値′n1度を必要
とするコンデンサでは、この容量変化の割合が大きく、
所要容量値範囲をこえてしまうものが生じ、厚膜多層回
路板全体の製造歩留りが低下する欠点があった。
本発明の目的は、前記の欠点全改善し、高精度な厚膜コ
ンデンサを内層した厚膜多層回路板を提供するにある。
前記従来技術における絶縁層被覆による静電容量の増加
について詳しく実験した結果、面積が等しい厚膜コンデ
ンサでは、誘電体の厚膜を変えて静電容量が異なるよう
にし、これに絶縁層を被覆した場合、(1)絶縁層の膜
厚が一定ならば静電容量の増加量は、もとのコンデンサ
の静電容量の大きさに関係なく一定になる、(2)絶縁
層の膜厚を大きくすると静電容量の増加量は増大するが
、ある膜厚以上では飽和することがわかった。このよう
な現象から、従来技術での静電容量の増加はつぎのよう
な理由で生ずると考えられる。すなわち、第3図に示す
ように、コンデンサの上部電極7の面積が、下部電極4
の面積より小さいために、コンデンサに電界全印加した
ときの電力線12の1部が空気中を通って対極に達する
。このコンデンサに空気より比誘電率の大きい絶縁層8
を被覆すると、この絶縁層を誘電体としたコンデンサが
付加されたことになり、全体として静電容量が増加する
本発明は前記の現象に基き、厚膜コンデンサの上部電極
の面積を下部電極の面積より大きくすることによって従
来技術の欠点を改善しようとするものである。すなわち
、第4図に示すごとく、下部電極4の面積を上部電極7
の面積より小さくすれば、このコンデンサに電界全印加
したときに空気中全通る電力線は極めて少くなり、これ
に絶縁層全被覆しても静電容量の増加がほとんどなくな
る。
以下本発明を実施例第5図により説明する。
96%−4403のセラミック基板1上に、A、q−P
d、系厚膜導体ペース)k印刷し、850℃で焼成して
、測定端子引出し部を除いてkX3m角の下部電極4全
形成した。この上に、比誘電率が15の結晶化ガラスペ
ーストラ印刷し、膜厚を6段階に変えて5mX5ff角
の誘電体6を形成し、さらにその上にAq−Pd系導体
ペーストk AWX4111角の大きさに印刷して、誘
電体6と同時に850℃で焼成して上部電極7を形成し
て厚膜コンデンサを作成した。
また、比較試料として、第5図の下部電極4と上部電極
7の面積を実施例と逆にした厚膜コンデンサを、実施例
と同様に作成した。作成した厚膜コンデンサの誘電体6
の膜厚は、17.8μ鶴348μm及び50.3μmで
あり、静電容量は各膜厚について、それぞれ66〜68
ρF、33〜55pF及び23〜25pFで、実施例と
比較例での差はなかった。
つぎに、これらの厚膜コンデンサに、比誘電率が11の
低融点結晶化ガラスペーストラ印刷し、580℃で焼成
して8nX8tw角の絶縁層8を形成した。
この絶縁層の膜厚ば3段階に変え、それぞれ、17μう
千6μm及び58−であった。
これらの試料の、絶縁層被覆による静電容量の変化を次
表にまとめて示した。
これから比較例では絶縁層の膜厚が大きくなると静電容
量の増加率が犬になり、実用的な膜厚58μm付近で、
20〜AOpFのコンデンサでは3%前後の容量変化率
となり、実施例では0.1%前後の容量変化率となるこ
とがわかった。
以上詳述したとおり、本発明の厚膜多層回路板の内層に
形成した厚膜コンデンサは、製造過程で特性変化が極め
て少ない。このため高精度のコンデンサを内層化した厚
膜多層回路板が歩留り良く製造できる。このため、厚膜
多層回路板が安価になる。
44、図面の簡単な説明 第1図は本発明の厚膜多層回路板の断面図、第2図は従
来の厚膜コンデンサの断面図、第3図は従来の厚膜コン
デンサの欠点を説明する断面図、第4図、第5図は本発
明に係わる厚膜コンデンサの断面図と平面図である。
1・・セラミック基板  2・・第1層配線溝体5・・
内層抵抗体用端子導体 4・下部電極     5・・・内層抵抗体6・・・誘
電体      7・・・上部電極8・・・絶縁層  
    9・・・第2層配線溝体10・・・抵抗体の端
子   11・・□・上層抵抗体12・・電力線 代理人弁理士 薄 1)利 +

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 厚膜コンデンサが内層に形成された厚膜多層回路板にお
    いて、上記厚膜コンデンサの上部電極の面積が下部電極
    の面積より大きいことを特徴とする厚膜多層回路板。
JP8661082A 1982-05-24 1982-05-24 厚膜多層回路板 Pending JPS58204516A (ja)

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JP8661082A JPS58204516A (ja) 1982-05-24 1982-05-24 厚膜多層回路板

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JP8661082A JPS58204516A (ja) 1982-05-24 1982-05-24 厚膜多層回路板

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JP8661082A Pending JPS58204516A (ja) 1982-05-24 1982-05-24 厚膜多層回路板

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Cited By (4)

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