JPS5877673A - 背面ソケツト型オ−トハンドラ装置 - Google Patents

背面ソケツト型オ−トハンドラ装置

Info

Publication number
JPS5877673A
JPS5877673A JP17689681A JP17689681A JPS5877673A JP S5877673 A JPS5877673 A JP S5877673A JP 17689681 A JP17689681 A JP 17689681A JP 17689681 A JP17689681 A JP 17689681A JP S5877673 A JPS5877673 A JP S5877673A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measured
socket
test head
contact
back socket
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17689681A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsumi Sato
克己 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP17689681A priority Critical patent/JPS5877673A/ja
Publication of JPS5877673A publication Critical patent/JPS5877673A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、背面ソケット□型オートハンドラ簑Wj1c
@する。
従来のケルビンコンタクト型のオートハンドラ装置は、
第1図(;示すような構造を有しており、D I P(
Dual  In  1ine  Packaje )
等の被測定体であるデバイスの特性チェックを行ってい
る0図中1は、図示しないオートハンドラ装置本体6二
設けられたテストヘッドである。
テストヘッドは被測足体の特性をチェックする機靜を有
している。テストヘッド1上C;は、2段に積層された
ばねビンからなる被測足体支持架台2が載置されている
。支持架台2上には、被測定体Sが固定されるようにな
っている。被卿足体3のリードビン(:は専゛離性接触
部杓4を介して支持架台2上(二設けられたケルビンコ
ンタクトビン5が接触するようになっている。ケルビン
コンタクトビン5は、動作板6とこれに磁力で着脱する
動作マグネット7(:よって、被測定体3のず−ドビン
C=電気的C:接触するよう響:なっている。
而して、このよう弓二構成されたケルビンシンタクト型
のオートハンドラ装置8には、次のような欠点がある。
Φ ケルビンコンタクトビン5が導電性接触部材4を介
して接触面積の小さな被測足体3のリードビンに接触す
るため、パス長さが長くなりノイズが発生し易い。
■ ケルビンコンタクトビン5は、2段に積層されたば
ねビンからなる支Axと、テストヘッド1上の接続ボー
ト9を介してテストヘッド1礪;接続されているためパ
ス長さが長くなり、しかも、支持架台2は点接触によっ
て接続ポート9上に支持されているので、支持架台2の
方向性により接触抵抗が大きく変化して測定信号の減衰
を招く。
■ ケルビンコンタクト5を直接接続ポートクに接触さ
せて手動操作で被測足体1の特性チェックを行うと、支
持架台2を用いた場合の自動操作Cニルべて著しくパス
長さが短くなり、接触抵抗が変化して自111#I操作
による測定値と大きく異なる測定結果(=なる。
本発明は、かかる点に慝みてなされたもので、被測足体
とテストヘッド間のパス長さを短かくしてノイズの発生
を阻止できると共c:、自動測定値と手動測定値とをほ
ぼ同じf* l−して自動操作と手動操作の切替を容易
にすることができる背面ソケット型オートハンドラ装置
を提供するものである。
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
第2図は、本発明の一実施例の説明図である。
図中20は、DIP等の被測足体であるデバイスの特性
チェックを行うオートハンドラillに設けられたテス
トヘッドである。テストヘッド20上には、接続ボート
21が載置されている。
w−続ボート21上C:は、下部ソケット22が載置さ
れている。下部ソケット22には、後述する背面ソケッ
ト23の接触リード24が嵌入する支持孔25が形成さ
れている。支持孔25には、接触リード24と電気的(
:接触するよう≦;纒電電部材26貼着されており、s
’ti1部材26の一端部は下部ソケット22の下面か
ら外部に突出されている。外部に突出したallAt部
材26の一端部261は、リード線21を介して接続ボ
ー)274:電気的に接続されている。下部ソケット2
z上C二は、支持孔25P1に接触リード24を嵌入し
て背面ソケット23が載置されている。背面ソケツ)2
3の上部には、被測定体29が載置される凹部30が形
成されている。
被測定体29は、背面ソケット28円に内蔵された戻し
はね31と被測定体29上に設置される押え金具32と
(:よって凹部30円に固定されている。また、背面ソ
ケット28は耐熱性に優れた例えばテフロンで形成され
ている。背面ソケット28内C:は、凹部30円を恒温
(二設足するヒータ33が内蔵されている。背面ソケッ
ト23と下部ソケット22とを接続せしめる接触リード
24は、背面ソケット2J′を貫挿して他端部のコレタ
クト部j4mを凹部10円(;突き出している。このコ
ンタクト部24麿は、接触抵抗の小さい金、白金等の合
金からなる接触片S4を介して、被測足体2gのり−ド
ピン嘔:接触している。また、背向ソケット28は、接
触リードj4のパス長さを短くするため(二七の高さを
小さく設定されている。
こめよう櫨;構成された背面ソケット型オートハンドラ
装置35によれば、テストヘッド20上の接続ボート2
1に1置された下部ソケット22の支持孔25円に、接
触リード24を嵌入して被測足体29を収容した背面ソ
ケット23が保持されているので、接続ボート21から
被測定体2gのリードビンまでのパス長さは、従来のケ
ルビンコンタクト型のオートハンド55に置8の場合に
比べて著しく矩くなる。その結果、オートハンドラ装置
による被測定体29の特性チェックの際(:ノイズが発
生するのを阻止できると共(=、測定信号の減資を防止
できる。
また、接続ボート21と被測定体29間のパス長さが短
くなっているので、背面ソケット23と下部ソケット2
2を接続した自動測定の際の測定値と、背面ソケット2
3を接続ボート21上C:直接載置して行う手動測定の
際の測定値とをほぼ等しくすることができる。その結果
、オートハンドラgilllIi本体が故障の場合には
、自勧測定から手動測足に速やかに切り替えて対処でき
るので、作業性を向上させることができる。
以上説明した如く、本発明1:係る背面ソケット型オー
ドハンドラ装置によれば、被測定体とテストヘッド間の
パス長さを短かくしてノイズの発生を阻止できると共(
;、自動測定値と手動測定値とをほぼ同じ値にして自動
操作と手動操作の切替えを容易にすることができる等鵬
著な効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は、従豪のケルビンコンタクト型のオートハンド
ラ装置の説明図、第2図は、本発明の一実施例の説明図
である。 20・・・テストヘッド、21・・・接続ボート、22
・・・下部ソケット、2M・・・背面ソケット、24・
・・接触リード、25・・・支持孔、26・・・導電部
材、zr・・・リード線、28・・・背面ソケット、2
9・・・被測定体、30・・・凹部、31・・・戻しば
ね、32・・・押え金具、SS・・・ヒータ、14・・
・接触片、L互・・・背向ソケット型オートハンドラ装
置。 第置図 旦 12図 至

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 被測足体が収容される凹部を有する背面ソケットと、該
    凹部に設けられた前記被測定体の固定手段と、前記被測
    足体のり−ドビン4二接触するように一端部が前記凹部
    内に形成され、かつ、他端部が前記ソケットから外部に
    突出された接触リードと、該接触リードが嵌入される支
    持孔tVする下部ソケットと、前記接触リード(:@触
    するよう(二前記支持孔円砿=貼着され、かつ、前記被
    測定体の特性を”調べるテストヘッドC二電気的に接続
    された導電部材とを具備することを特徴とする背面ソケ
    ット型オートハンドラ装置。
JP17689681A 1981-11-04 1981-11-04 背面ソケツト型オ−トハンドラ装置 Pending JPS5877673A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17689681A JPS5877673A (ja) 1981-11-04 1981-11-04 背面ソケツト型オ−トハンドラ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17689681A JPS5877673A (ja) 1981-11-04 1981-11-04 背面ソケツト型オ−トハンドラ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5877673A true JPS5877673A (ja) 1983-05-11

Family

ID=16021639

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17689681A Pending JPS5877673A (ja) 1981-11-04 1981-11-04 背面ソケツト型オ−トハンドラ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5877673A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0158181U (ja) * 1987-10-07 1989-04-11

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0158181U (ja) * 1987-10-07 1989-04-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102317802B (zh) 具有改善的热控制的用于电气/可靠性测试的集成单元
TWI417552B (zh) 測試探針
TWI337385B (ja)
JPS5877673A (ja) 背面ソケツト型オ−トハンドラ装置
CN115932550A (zh) 一种半导体测试装置
TW200841026A (en) A detecting device
CN211652636U (zh) 超快扫描量热仪超薄传感器支架
CN210429811U (zh) 一种多芯测试电路结构
JP3224519B2 (ja) ウェーハ測定治具、テストヘッド装置およびウェーハ測定装置
TW200823469A (en) Testing jig
KR200182523Y1 (ko) 검사용 탐침장치
JPS6080772A (ja) プロ−ブニ−ドル
JPH04335162A (ja) 検査装置
CN215953783U (zh) 一种集成电路测试装置
JP3274359B2 (ja) Cspソケット構造
GB2339343A (en) IC socket for holding IC having multiple parallel pins
JP2010271160A (ja) 電気的接続装置
JPS5942707Y2 (ja) ハンドリング装置の電極子
JPH0424459Y2 (ja)
JPH04277665A (ja) 半導体集積回路装置のソケット
JPS6245180Y2 (ja)
JPH046208Y2 (ja)
JPS6217728Y2 (ja)
JP2651430B2 (ja) カード式コンタクトプローブ
JPH0346578A (ja) 半導体装置のバイアス印加試験用ソケット