JPS5868516A - 静圧気体軸受装置 - Google Patents
静圧気体軸受装置Info
- Publication number
- JPS5868516A JPS5868516A JP16684281A JP16684281A JPS5868516A JP S5868516 A JPS5868516 A JP S5868516A JP 16684281 A JP16684281 A JP 16684281A JP 16684281 A JP16684281 A JP 16684281A JP S5868516 A JPS5868516 A JP S5868516A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating shaft
- bearing
- wheel
- gas
- pressure gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Sawing (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は硬脆材料、半導体、金屑等をホイールを使用し
て所定の大きさに切断又はダイシングする装置の静圧気
体１抽受装置に関するものである。
て所定の大きさに切断又はダイシングする装置の静圧気
体１抽受装置に関するものである。
一般にホイールによる切断、ダイシング方法は、第１図
に示す様にテーブル１の上に被加工物２を載置しテーブ
ル１に対して、ホイール３の高さを・一定に保ち、ホイ
ール３若しくはテーブル１を所定の送り速度で移動距離
を駆動させることによってホイール３の先端のグイヤモ
／ド刃で被加工物２に直線的な切断溝又は切込み溝を形
成する。
に示す様にテーブル１の上に被加工物２を載置しテーブ
ル１に対して、ホイール３の高さを・一定に保ち、ホイ
ール３若しくはテーブル１を所定の送り速度で移動距離
を駆動させることによってホイール３の先端のグイヤモ
／ド刃で被加工物２に直線的な切断溝又は切込み溝を形
成する。
しかし、この切断溝又は切込み溝を形成する、いわゆる
加工動作中の被加工物２とホイール３との加工箇所は非
常に高い温度となり、そのため、被加工物２に焼けや割
れが発生して、該被加工物２を劣化させることになる。
加工動作中の被加工物２とホイール３との加工箇所は非
常に高い温度となり、そのため、被加工物２に焼けや割
れが発生して、該被加工物２を劣化させることになる。
又加工変質層等を生成して被加工物２の特性を悪化させ
るとともに、熱的変位によって寸法精度等にも多大の影
響を与える。この影響を少なくする為、加工動作中の加
工箇所に加工液を供給して加工箇所の冷却を行なうとと
もに、加工された切り屑の除去を行なっているのが一般
的である。ここで従来の切断又はダイシング等の装置の
静圧気体軸受装置の構成を第２図により説明する。回転
軸１１はラジアル方向の気体軸受部１２，１３，１４．
１６によって浮遊支持されていると共にスラスト方向は
気体軸受部１５．１７によって浮遊支持されている。該
回転軸１１を駆動させる為にジャーナルノ・ウジング１
８の内側にはステータ１９が固定され、該ステータ１９
の内側には回転軸１１に固定されたロータ２０が具備さ
れ、高周波モータとなグている。該ステータ１９はリー
ド線を介して電源に連結されている。電源を入力すれば
ロータ２０が回転を始める。
るとともに、熱的変位によって寸法精度等にも多大の影
響を与える。この影響を少なくする為、加工動作中の加
工箇所に加工液を供給して加工箇所の冷却を行なうとと
もに、加工された切り屑の除去を行なっているのが一般
的である。ここで従来の切断又はダイシング等の装置の
静圧気体軸受装置の構成を第２図により説明する。回転
軸１１はラジアル方向の気体軸受部１２，１３，１４．
１６によって浮遊支持されていると共にスラスト方向は
気体軸受部１５．１７によって浮遊支持されている。該
回転軸１１を駆動させる為にジャーナルノ・ウジング１
８の内側にはステータ１９が固定され、該ステータ１９
の内側には回転軸１１に固定されたロータ２０が具備さ
れ、高周波モータとなグている。該ステータ１９はリー
ド線を介して電源に連結されている。電源を入力すれば
ロータ２０が回転を始める。
即ち回転軸１１が回転する。回転軸１１にはフランジ２
１が挿入され押えねじ２２によって固定されている。該
フランジ２１にホイール２３を挿入して更に押えフラン
ジ２４で該ホイール２３を押えるとともに、止めぬじ２
６でフランジ２１と押えフランジ２４の間Ｖこ固定する
。２６はこれらのカバーである。
１が挿入され押えねじ２２によって固定されている。該
フランジ２１にホイール２３を挿入して更に押えフラン
ジ２４で該ホイール２３を押えるとともに、止めぬじ２
６でフランジ２１と押えフランジ２４の間Ｖこ固定する
。２６はこれらのカバーである。
以上が静圧気体軸受装置の構成であり、所定の周波数に
セットして同転させれば加工可能な状態となる。ここで
圧力気体の導入径路を説明すると、導入口２７より導入
した圧力気体はノ・ウジフグ２８内を通って回転軸７ラ
ンジ２９を挾むように圧力気体で浮遊ゲ持する。即ちス
ラスト軸受となる。
セットして同転させれば加工可能な状態となる。ここで
圧力気体の導入径路を説明すると、導入口２７より導入
した圧力気体はノ・ウジフグ２８内を通って回転軸７ラ
ンジ２９を挾むように圧力気体で浮遊ゲ持する。即ちス
ラスト軸受となる。
スラスト軸受に関辱しない圧力気体は更にジャーナルノ
・ウジフグ１８内を通ってラジアル軸受部１２゜１３及
び１４．１５に入り、ラジアル軸受となり、回転軸１１
を浮遊支持する。前記のスラスト軸受の圧力気体の排出
はハウジング２８内を通過し、更にハウジングに取り付
けられている消音器を通過して排出される。又、ラジア
ル軸受の圧力気体の排出はジャーナルハウジング１８内
を通過するものと、スラストプレート３０を通過し、ノ
・ウジフグ２８内を通過するものとがあって前記スラス
ト軸受の排出同様消音器を通って外部へ排出される。
・ウジフグ１８内を通ってラジアル軸受部１２゜１３及
び１４．１５に入り、ラジアル軸受となり、回転軸１１
を浮遊支持する。前記のスラスト軸受の圧力気体の排出
はハウジング２８内を通過し、更にハウジングに取り付
けられている消音器を通過して排出される。又、ラジア
ル軸受の圧力気体の排出はジャーナルハウジング１８内
を通過するものと、スラストプレート３０を通過し、ノ
・ウジフグ２８内を通過するものとがあって前記スラス
ト軸受の排出同様消音器を通って外部へ排出される。
前述の静圧気体軸受装置を使用して、加工液を供給しな
がら加工をするのであるが、加工中に加工液が飛散した
り、噴霧状態となって回転軸１１と軸受ブツシュ３１の
隙間から軸受部へ侵入したり、又、被加工物の微細な切
り屑が軸受部へ侵入する。その為に回転軸１１と軸受ブ
ツシュ３１との間で焼き付きを起こして回転子ｏＴ能と
なったり、又、軸学部の微小穴を埋めてしまう事となり
軸受として特性が劣化する。このように加工中の加工液
は加工状態によって飛散したり、噴霧状態となって静圧
気体軸受に悪影響を及ぼし、この影響によって回転軸が
回転を停止したり、軸受の剛性カニ劣１ヒしたりする。
がら加工をするのであるが、加工中に加工液が飛散した
り、噴霧状態となって回転軸１１と軸受ブツシュ３１の
隙間から軸受部へ侵入したり、又、被加工物の微細な切
り屑が軸受部へ侵入する。その為に回転軸１１と軸受ブ
ツシュ３１との間で焼き付きを起こして回転子ｏＴ能と
なったり、又、軸学部の微小穴を埋めてしまう事となり
軸受として特性が劣化する。このように加工中の加工液
は加工状態によって飛散したり、噴霧状態となって静圧
気体軸受に悪影響を及ぼし、この影響によって回転軸が
回転を停止したり、軸受の剛性カニ劣１ヒしたりする。
この軸受部への侵入を防止しようとすれｉ−１：ジャー
ナルノ１ウジング１８のホイール側へ侵入防止の為に付
属の遮へい板等を具備するか、カバー２６を遮ヘイ用に
加工しなければならず、装置の構造も複雑となり、コス
トアップにもなる。又焼付き＃を起こした場合には回転
軸１１及び軸受ブツシュ３１が不良となって再製作をし
なければなら、ない。又軸受は部の微／Ｊ％穴力；埋め
られると軸受ブツシュ３１を再加工するか、若しくは再
製作しなすれ・工ならない等の井害も出てくる。
ナルノ１ウジング１８のホイール側へ侵入防止の為に付
属の遮へい板等を具備するか、カバー２６を遮ヘイ用に
加工しなければならず、装置の構造も複雑となり、コス
トアップにもなる。又焼付き＃を起こした場合には回転
軸１１及び軸受ブツシュ３１が不良となって再製作をし
なければなら、ない。又軸受は部の微／Ｊ％穴力；埋め
られると軸受ブツシュ３１を再加工するか、若しくは再
製作しなすれ・工ならない等の井害も出てくる。
本発明は上記の欠点を皆無にしたものであり、メンテナ
ンスが容易で、複雑な構造とならず、しかもコストアン
プＶこもならずに加工液の侵入防止及び切り屑等の侵入
防止ができる静圧気体軸受装置を提供するものである。
ンスが容易で、複雑な構造とならず、しかもコストアン
プＶこもならずに加工液の侵入防止及び切り屑等の侵入
防止ができる静圧気体軸受装置を提供するものである。
本発明を第３１以丁の図面に従って説明する。第３図に
おいて、６１゜５２．５３．５４は圧力気１本を導入し
たラジアル軸受絞り部、５６．５６は同様のスラスト軸
受絞り部、６了はこれらにより浮遊支持されだ［回転軸
、６、− ６８はホイール６９を固定する押えフランジ、６０はこ
れらのカバーである。回転軸６７は、高周波モーター６
１．６２により高速回転駆動される。
おいて、６１゜５２．５３．５４は圧力気１本を導入し
たラジアル軸受絞り部、５６．５６は同様のスラスト軸
受絞り部、６了はこれらにより浮遊支持されだ［回転軸
、６、− ６８はホイール６９を固定する押えフランジ、６０はこ
れらのカバーである。回転軸６７は、高周波モーター６
１．６２により高速回転駆動される。
６１はステーター（固定側）、６２はローター（回転側
）である。
）である。
上記構成において、ラジアル軸受絞り部５１，５２゜５
３ 、５４ 、スラスト軸受絞り部６６．５６より軸受
間隙に供給された圧力気体の排出の一部は１回転軸６７
とスラストプレート６４及び力／（−ベース６６の間隙
を通過してホイール側の矢印６７へ排出される。又他の
圧力気体は高周波モータ一部に吹き付け、モータ一部を
空冷する。即ち、各軸受からの排気は、排気孔６３に集
められ、ステーター６１とローター６２の間隙を通って
、排気口６６から、外部へ排出される構造となっている
Ｏ更に本発明他の実施例のタービンモーターにおいても
第一図により説明する。７１．了２，７３゜７４は圧力
気体を導入したラジアル軸受絞り部、７５．７６は同様
のスラスト軸受絞り部、７７はこれらにより浮遊支持さ
れた回転軸、７８はホイ−ルア９を固定する７う／ジで
ある。回転軸７７ハタービンモータにより高速回転駆動
する。タービン用圧力気体は導入口８ｏよφ導入させ、
回転軸７ランジ８１部の放射状に設けられた数ケ所の排
出穴８２を抜ける事によってタービンとなる。
３ 、５４ 、スラスト軸受絞り部６６．５６より軸受
間隙に供給された圧力気体の排出の一部は１回転軸６７
とスラストプレート６４及び力／（−ベース６６の間隙
を通過してホイール側の矢印６７へ排出される。又他の
圧力気体は高周波モータ一部に吹き付け、モータ一部を
空冷する。即ち、各軸受からの排気は、排気孔６３に集
められ、ステーター６１とローター６２の間隙を通って
、排気口６６から、外部へ排出される構造となっている
Ｏ更に本発明他の実施例のタービンモーターにおいても
第一図により説明する。７１．了２，７３゜７４は圧力
気体を導入したラジアル軸受絞り部、７５．７６は同様
のスラスト軸受絞り部、７７はこれらにより浮遊支持さ
れた回転軸、７８はホイ−ルア９を固定する７う／ジで
ある。回転軸７７ハタービンモータにより高速回転駆動
する。タービン用圧力気体は導入口８ｏよφ導入させ、
回転軸７ランジ８１部の放射状に設けられた数ケ所の排
出穴８２を抜ける事によってタービンとなる。
上記構成において、ラジアル軸受絞り部７１，７２゜７
３．７４、スラスト軸受絞り部７５．了６及びタービン
に導入された圧力気体の排気は、ラジアル軸受絞り部７
１，７２、スラスト軸受絞り部７５゜７ｅそｈにｌ；１
−ピンの圧力気体はノ蔦つシンク８３内を通って排気口
から外部へ排出される。一方、ラジアル軸受７３，７４
の排気は回転軸７７と軸受ブツシュ８４及びカバーペー
ス８６の間隙を通ってホイール側へ排出される。
３．７４、スラスト軸受絞り部７５．了６及びタービン
に導入された圧力気体の排気は、ラジアル軸受絞り部７
１，７２、スラスト軸受絞り部７５゜７ｅそｈにｌ；１
−ピンの圧力気体はノ蔦つシンク８３内を通って排気口
から外部へ排出される。一方、ラジアル軸受７３，７４
の排気は回転軸７７と軸受ブツシュ８４及びカバーペー
ス８６の間隙を通ってホイール側へ排出される。
以上、本発明によると圧力気体の排出をホイール側へ行
なうことによって加工液の侵入が防止できると共に切ゆ
屑の侵入防止にもなって静圧気体軸受装置の信頼性が高
く力るばかりでなく、付属部品等を製作することも無く
なりコストダウンとなる。更に構造も複雑にならず、メ
ンテナンスも容易となり、安価な静圧気体軸受装置を多
量に供給することが可能となる。
なうことによって加工液の侵入が防止できると共に切ゆ
屑の侵入防止にもなって静圧気体軸受装置の信頼性が高
く力るばかりでなく、付属部品等を製作することも無く
なりコストダウンとなる。更に構造も複雑にならず、メ
ンテナンスも容易となり、安価な静圧気体軸受装置を多
量に供給することが可能となる。
第１図はホイールによる切断、ダンシングの方法を示す
ホイールの概略断面図、第２図は従来の高周波モーター
駆動の静圧気体軸受装置の断面図、第３図は本発明の一
実施例における静圧気体軸受装置の断面図、第４図は本
発明の他の実施例における静圧気体軸受装置の斜視断面
図である。 ５１．５２，６３，５４．・・・・・ラジアル軸受絞り
部、５９．７９・・・・・・ホイール、５７，７７・・
・・・・回転軸。
ホイールの概略断面図、第２図は従来の高周波モーター
駆動の静圧気体軸受装置の断面図、第３図は本発明の一
実施例における静圧気体軸受装置の断面図、第４図は本
発明の他の実施例における静圧気体軸受装置の斜視断面
図である。 ５１．５２，６３，５４．・・・・・ラジアル軸受絞り
部、５９．７９・・・・・・ホイール、５７，７７・・
・・・・回転軸。
Claims (1)
- 圧力気体をノズルを絞って軸受間隙に供給する気体軸受
部と、この気体軸受部により回転可能に支持された回転
軸と、この回転軸の一端に設けられ、被加工物を加工す
るホイールとからなり、加圧液及び切り屑の侵入を防止
するよう圧力気体を、回転軸と相対する部品との間隙を
通過させホイール側へ排出した静圧気体軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16684281A JPS5868516A (ja) | 1981-10-19 | 1981-10-19 | 静圧気体軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16684281A JPS5868516A (ja) | 1981-10-19 | 1981-10-19 | 静圧気体軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5868516A true JPS5868516A (ja) | 1983-04-23 |
Family
ID=15838656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16684281A Pending JPS5868516A (ja) | 1981-10-19 | 1981-10-19 | 静圧気体軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5868516A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6124817A (ja) * | 1984-07-13 | 1986-02-03 | Disco Abrasive Sys Ltd | 静圧気体軸受装置 |
| JPS63176818A (ja) * | 1987-01-14 | 1988-07-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静圧気体軸受装置 |
| JPH0643348U (ja) * | 1992-11-24 | 1994-06-07 | 新明和工業株式会社 | エアスピンドル |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5228225U (ja) * | 1975-08-20 | 1977-02-26 | ||
| JPS52119741A (en) * | 1976-03-31 | 1977-10-07 | Seiko Seiki Kk | Sealing device for bearing |
-
1981
- 1981-10-19 JP JP16684281A patent/JPS5868516A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5228225U (ja) * | 1975-08-20 | 1977-02-26 | ||
| JPS52119741A (en) * | 1976-03-31 | 1977-10-07 | Seiko Seiki Kk | Sealing device for bearing |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6124817A (ja) * | 1984-07-13 | 1986-02-03 | Disco Abrasive Sys Ltd | 静圧気体軸受装置 |
| JPS63176818A (ja) * | 1987-01-14 | 1988-07-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静圧気体軸受装置 |
| JPH0643348U (ja) * | 1992-11-24 | 1994-06-07 | 新明和工業株式会社 | エアスピンドル |
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