JPS5862829A - 磁気記録体及びその製造方法 - Google Patents

磁気記録体及びその製造方法

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JPS5862829A
JPS5862829A JP16055281A JP16055281A JPS5862829A JP S5862829 A JPS5862829 A JP S5862829A JP 16055281 A JP16055281 A JP 16055281A JP 16055281 A JP16055281 A JP 16055281A JP S5862829 A JPS5862829 A JP S5862829A
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JP
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coercive force
magnetic recording
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JP16055281A
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Masamichi Tagami
勝通 田上
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NEC Corp
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NEC Corp
Nippon Electric Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/74Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
    • G11B5/82Disk carriers

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  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、磁気ディスク装置等に用いられる磁気記録体
及びその製造方法に関する。
磁気記録装置における記録密度の向上は斯界の変わらぬ
趨勢であり、これを実現する為には磁気記録体の薄層化
、薄膜化、高保磁力化が不可決である。
従来1記録体の媒体としては酸化鉄微粒子とバインダー
の混合物を基体上に均一に塗布したいわゆるコーティン
グ媒体が広く用いられているoしかしコーティング媒体
においてその膜厚を数千A以下とししかも均一な記録再
生特性を実現することはきわめて困難である。そこでコ
ーティング媒体に代わる高密度記録体として薄層化、高
保磁力化が容易な連続薄膜媒体として例えば金属合金媒
体が注目されている。また一方近年になって金属合金媒
体よりも機械的強度に優れ、また化学的に安定である強
磁性酸化鉄連続薄膜媒体が開発されている。
磁気ディスク装置としては、従来から直径14インチの
磁気記録体を用いた大容量の装置が広く用いられてきた
が2、使用目的の多様化にともない中容量、小容量の小
型化装置が要求され、磁気ディスクの大きさも直径8イ
ンチ、5インチと小さくなってきている、。それに伴な
い磁気ディスク径が小さくなるほど最外周トラック(半
径rt)と最内周トラック(半径re)の牛径比(rl
/rt)が大きくなる傾向にある。この為、最内周トラ
ックと最外層トラックとで媒体がその内外周にわたって
均一な磁気特性を有する従来のような磁気ディスクでは
最内N)ラックと最外周トラックとで周波数特性を初め
として、記録電流特性、ピークシフト特性等に大きな差
が生じている。
この為、記録領域を内外2つの領域に分け、記録電流の
異なる別々のヘッドを用いる等の対液が施されているも
のの、装置製作のコストアップ或いは装蓋小型化への妨
げとなるなどの問題を生じていた。
本発明はかかる点を解決しようとするもので磁気ディス
クの記録媒体の保磁力を半径方向に変えることによって
磁気ディスクの半径方向の記録再生特性(周波数特性)
の均一化を可能にした磁気記録体及びその製造方法を提
供するものである。
本発明は円板状基−上に形成された記録媒体の保磁力が
、半径方向に沿って内周に向うけど増大していることを
特徴とする磁気記録体であり、この記―媒体としてはC
Oを含むrp・20.またはF e 、 O,とr −
re、 Osの中間組成物を主成分とする酸化鉄連続薄
膜が挙げられるO その製造方法としては、円板状基体の中心に近い部分に
相対す・るターゲット部分はどCOの含有率が高くなっ
ている、上記円板状基体に平行に対置した。Pico合
金又はCoを含有するFe、O。
焼結体ターゲットをスパッタリングする工程を含むこと
を特徴とする。また他の製造方法は、円板状基体中心に
相対するターゲツト面上の点もしくはターゲツト面を含
む平面上の点を中心とする2つの同心円で囲まれたター
ゲット表面上の一定巾のリング状もしくは扇形領域にお
いてFe又はre、04の占める面積に対するCo片の
占める面積の比が上記リング状もしくは扇形領域の半径
が小さくなる程増加するように00片を配置したFe又
はF e 、 04ターゲツトをスパッタリングする工
程を含むことを特徴とするもので、これらの方法によれ
ば円板状基体上に形成された記録媒体の保磁力が半径方
向に沿って内周に向うほど増大している磁気記録体が得
られる。
このように円板状磁気記録体の保磁力を半径方向に沿っ
て内局に尚うほど増大させることによって内周側トラッ
クはど媒体本来の記録密度特性をよくシ、この結果最内
周及び最外周の全領域においてより均一な周波数特性、
出力特性、ピークシフト特性を得ることが出来る。
以下具体的な実施例を挙げて本発明の詳細な説明する。
実施例1 実験に使用した装置は、市販のプレーナー型マグネトロ
ンスパッタ装置である。第1図及び第2図はそれぞれ本
発明の磁気記録体を作製したときの記―体の円板状基体
1とターゲット4の構成を示す平面図と側面図である。
図の如く円板状基体面にそれに平行に対向してターゲッ
トを配置し基体を回転させてスパッタリングした。ター
ゲット4にはF6.04焼結体を用い、それを図のよう
に円形ターゲットの基体側半円部分をcoを3%ドープ
した’ea042e残り半分をCoをドープしないr・
−043によって構成した。円板状基体にはアルマイト
被覆した8インチ(内径100■、外径210 m )
アルミ合金板を使用した。スパッタ電力1.5 kW 
、基体温度120℃、基体回転17 rpmニ保ち17
分間スパッタリングを行った。
第3図は形成したFe、O,膜を大気中290℃で1時
間酸化してγ−F、μ入を主成分とする膜にしたときの
記録媒体の保磁力を半径方向に沿って測定したもので、
半径方向に沿って単調に増大している媒体が得られてい
ることがわかる。Coをドープしたターゲットの配置、
比率によって任意に保磁力の半径方向依存性を制御出来
た。
実施例2 スパッタ装置及びターゲットと記録体基体の配置は実施
例1と同様の条件とし第4図の如くターゲット4にはF
 e 、 04の焼結体を用い、その上にc。
片5を配置した。C,片の配置は基体中心に相対するタ
ーゲット表面の点を中心どして半径が0から2.5Q1
.2.5副から51,5σから7.5譚。
7.5mから10cm、10cmから20備のターゲッ
ト上のリング状領域において、Co片面積のPa、O4
面積に対する比がそれぞれ0.7%、0.5%、0.2
%、0.1%、0%となるようにした。
スパッタガスにアルゴンを用い−スパツタ圧を4 x 
10−sTorrにしスパッタ電力0.6 kW 、基
本温度120℃、基体回転17 rpmに保ち35分間
スパッタリングを行なった。
第5図は形成されたre、0.膜を大気中275℃で1
時間酸化してy−1?@@Osを主成分とする膜にした
ときの記録媒体の保磁力を半径方向に沿って】測定した
ものである0 ディスク闘転数を一定に保ちつつ、最内周φ105■と
外周φ200■のトラックにおける周波数特性を調べた
結果、第5図の保磁力の傾向をもつディスクは第6図に
示したようにφ105■。
1φ200露における周波数特性は類似し、従らてビー
クシフF特性もほぼ同様であった。これに対して保磁力
が4000q、”′8000sの均一な磁気媒体を有す
る磁気ディスクではその周波数特性は内周と外周とでそ
れぞれ第7図、第8図で示したように大きな違いが生じ
た。
実施例3 スパッタ装置及び記録体基体とターゲットの配置は実施
例1と同様とし、ターゲットは第9図のように三つの領
域にわけ、6にはCOを4%ドープしたco re金合
金7にはC,を0.5%ドープしたCOF、合金、8に
は純Feとした。記録体基体は実施例1と同様のものを
用いた。
スパッタガスには吊索を用い、スパッタ圧をIX 10
= Torrにし、スパッタ電力2kW、基体温度15
0℃、基体回転17 rpmに保ち25分間スパッタリ
ングした。形成した膜をさらに300℃で水蒸気と水素
の混合雰囲気中で還元してFe、O。
にした後、大気中300℃で1時間酸化してγ−F 6
 * Osを主成分とする膜にした。第10図はその記
録体の保磁力を半径方向に測定した場合の関係である。
図の如〈実施例1と同様に保磁力を制御出来た。
以上実施例について述べたが、この他の本発明の磁気記
録体を作製するための記録体基体、ターゲット及びその
配(ガの例を示す。
第11図は、記録体基体1と矩形ターゲット9の配置を
示す図である。1つはターゲットがC。
re金合金たはCoを含むre、O,焼結体の短冊でl
I成しSCOの含有率は矢印の如く基体中心へ向う程、
増大するように配置する方法、もう1つは九図の如<0
0片5を配置し、ターゲットにはF。
またはF e 、 04焼結体を用いる方法である。
第12図は、矩形ターゲット9を記録体基体1の中央に
配したもので、1つはターゲットがC。
re金合金たはCOを含むFe、0.焼結体の短冊を図
のように配列しcoの含有率を矢印で示した如く画体中
心へ向う程、増大するようにする方法でもう1つはFe
またはFe、O,焼結体上に図のようにCo片5を配置
する方法である。
第13図は、円形ターゲット10上に00片5を記録体
基体1の中心に向う程増大させるように配置し本発明の
磁気記録体を作製する方法である。
上述の如く、本発明に係る磁気記録体は記録媒体の保磁
力が半径方向に沿って内周に向うほど増大させることに
よって磁気記録体の半径方向の記録再化特性(周波数特
性)の均一化を可能にするものであり、上記製造方法に
よって同磁気記録体を作製することが可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図はそれぞれ記録体作製時の基体とターゲ
ット配置の1例を示す平面図と側面図、第3図は作製さ
れた記録体の半径方向の保磁力分布を示す図、第4図は
ターゲットの1例を示す図、第5図はこれを用いて作製
された記録体の半径方向の保磁力分布を示す図、第6図
は本発明にかかる記録体の内周(φ105 vm ) 
、外周(φ200m)トラックにおける周波数特性を示
す図、第7図。 8図は従来記録体における内外周トラックの周波数特性
を示す図、第9図は本記録体作製のためのターゲットの
他の例を示す図、第10図はこれを用いて作製された記
録体の半径方向の保磁力分布を示す図、第11図、12
図、13図は本記録体を作製するためのターゲットと更
に別の構成例を示す図である。 図において、1・・・記録体基体、2・−C,をドープ
したFe、O,焼結体、3・・・Fe、04焼結体、4
・・・ターゲット、5−・・Co片、 6,7・・・C
OをドープしたC0Fe合金、8・・・純F e 、9
・・・矩形ターゲツト板、10=−円形ターゲットであ
る。 第1図 !42 図 第3 図・ 基体半径方向(cm) 第4図 ′1p15  図 墓イ本半脛方向(cm) wJ6図 0.512510 周波数(MH2) 第7図 周波数(M)−12) 第S図 周JrL数CM)12) 第9図 第10図 基体半径方向’(crrL) ?’、 12図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、円板状基体上に形成された記録媒体の保磁力が、半
    径方向に沿って内周に向うほど増大していることを特徴
    とする磁気記録体。 ム 記録媒体がcoを含むr−F6108を主成分とす
    る強磁性酸化鉄連続薄膜である特許請求の範囲第1項記
    載の磁気記録体。 1 円板状基体の中心に近い部分に相対するターゲット
    部分はどcoの含有率が高くなりている、上記円板状基
    体に平行に対置したP、co金合金はC,を含有するF
    e、04焼結体ターゲ!トをスパッタリングする工程を
    含むことを特徴とする、円板状基体上に形成された記録
    媒体の保磁力が半径方向に沿って内周に向うはど増大し
    ている磁気記録体の製造方法。 表 円板状基体中心に相対するターゲツト面上の点もし
    くはターゲツト面を含む平面上の点を中心とする2つの
    同心円で囲まれたターゲット表面上の一定巾のリング状
    もしくは扇形領域においてre又はre、04の占める
    面積に対するc。 片の占める面積の比が、上記リング状もしくは扇形領域
    の半径が小さくなるほど増加するようにCo片を配置し
    たF、又はPa、O,ターゲットをスパッタリングする
    工程を含むことを特徴とする、円板状基体上に形成され
    た記録媒体の保磁力が半径方向に沿って内周に向うほど
    増大している磁気記録体の製造方法。
JP16055281A 1981-10-08 1981-10-08 磁気記録体及びその製造方法 Granted JPS5862829A (ja)

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JPH028376B2 JPH028376B2 (ja) 1990-02-23

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0160137A1 (en) * 1983-04-28 1985-11-06 Poly-Disc Systems Inc. Recording member having a variable thickness recording layer
JPS6196520A (ja) * 1984-10-18 1986-05-15 Seiko Epson Corp 磁気記録媒体
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US6808783B1 (en) * 2002-01-17 2004-10-26 Maxtor Corporation Storage media with non-uniform properties
US7118815B2 (en) * 2004-02-05 2006-10-10 Seagate Technology Llc Method to improve coercivity radial profile in magnetic recording media and product thereof
US7592079B1 (en) 2003-07-03 2009-09-22 Seagate Technology Llc Method to improve remanence-squareness-thickness-product and coercivity profiles in magnetic media

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