JPH028376B2 - - Google Patents
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- JPH028376B2 JPH028376B2 JP16055281A JP16055281A JPH028376B2 JP H028376 B2 JPH028376 B2 JP H028376B2 JP 16055281 A JP16055281 A JP 16055281A JP 16055281 A JP16055281 A JP 16055281A JP H028376 B2 JPH028376 B2 JP H028376B2
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 31
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 26
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 15
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 8
- 229910001566 austenite Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 229910002546 FeCo Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000010408 film Substances 0.000 description 6
- 229910003321 CoFe Inorganic materials 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/74—Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
- G11B5/82—Disk carriers
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、磁気デイスク装置等に用いられる磁
気記録体及びその製造方法に関する。
気記録体及びその製造方法に関する。
磁気記録装置における記録密度の向上は斯界の
変わらぬ趨勢であり、これを実現する為には磁気
記録体の薄層化，薄膜化，高保磁力化が不可決で
ある。
変わらぬ趨勢であり、これを実現する為には磁気
記録体の薄層化，薄膜化，高保磁力化が不可決で
ある。
従来、記録体の媒体としては酸化鉄微粒子とバ
インダーの混合物を基体上に均一に塗布したいわ
ゆるコーテイング媒体が広く用いられている。し
かしコーテイング媒体においてその膜厚を数千Å
以下とししかも均一な記録再生特性を実現するこ
とはきわめて困難である。そこでコーテイング媒
体に代わる高密度記録体として薄層化，高保磁力
化が容易な連続薄膜媒体として例えば金属合金媒
体が注目されている。また一方近年になつて金属
合金媒体よりも機械的強度に優れ、また化学的に
安定である強磁性酸化鉄連続薄膜媒体が開発され
ている。
インダーの混合物を基体上に均一に塗布したいわ
ゆるコーテイング媒体が広く用いられている。し
かしコーテイング媒体においてその膜厚を数千Å
以下とししかも均一な記録再生特性を実現するこ
とはきわめて困難である。そこでコーテイング媒
体に代わる高密度記録体として薄層化，高保磁力
化が容易な連続薄膜媒体として例えば金属合金媒
体が注目されている。また一方近年になつて金属
合金媒体よりも機械的強度に優れ、また化学的に
安定である強磁性酸化鉄連続薄膜媒体が開発され
ている。
磁気デイスク装置としては、従来から直径14イ
ンチの磁気記録体を用いた大容量の装置が広く用
いられてきたが、使用目的の多様化にともない中
容量，小容量の小型化装置が要求され、磁気デイ
スクの大きさも直径８インチ，５インチと小さく
なつてきている。それに伴ない磁気デイスク径が
小さくなるほど最外周トラツク（半径γ1）と最内
周トラツク（半径γ2）の半径比（γ1／γ2）が大き
くなる傾向にある。この為、最内周トラツクと最
外周トラツクとで媒体がその内外周にわたつて均
一な磁気特性を有する従来のような磁気デイスク
では最内周トラツクと最外周トラツクとで周波数
特性を初めとして、記録電流特性，ピークシフト
特性等に大きな差が生じている。
ンチの磁気記録体を用いた大容量の装置が広く用
いられてきたが、使用目的の多様化にともない中
容量，小容量の小型化装置が要求され、磁気デイ
スクの大きさも直径８インチ，５インチと小さく
なつてきている。それに伴ない磁気デイスク径が
小さくなるほど最外周トラツク（半径γ1）と最内
周トラツク（半径γ2）の半径比（γ1／γ2）が大き
くなる傾向にある。この為、最内周トラツクと最
外周トラツクとで媒体がその内外周にわたつて均
一な磁気特性を有する従来のような磁気デイスク
では最内周トラツクと最外周トラツクとで周波数
特性を初めとして、記録電流特性，ピークシフト
特性等に大きな差が生じている。
この為、記録領域を内外２つの領域に分け、記
録電流の異なる別々のヘツドを用いる等の対策が
施されているものの、装置製作のコストアツプ或
いは装置小型化への妨げとなるなどの問題を生じ
ていた。
録電流の異なる別々のヘツドを用いる等の対策が
施されているものの、装置製作のコストアツプ或
いは装置小型化への妨げとなるなどの問題を生じ
ていた。
本発明はかかる点を解決しようとするもので磁
気デイスクの磁気記録体の保磁力を半径方向に変
えることによつて磁気デイスクの半径方向の記録
再生特性（周波数特性）の均一化を可能にした磁
気記録体及びその製造方法を提供するものであ
る。
気デイスクの磁気記録体の保磁力を半径方向に変
えることによつて磁気デイスクの半径方向の記録
再生特性（周波数特性）の均一化を可能にした磁
気記録体及びその製造方法を提供するものであ
る。
本発明は円板状基体上に形成された記録媒体の
保磁力や、半径方向に沿つて内周に向うほど増大
していることを特徴とする磁気記録体であり、こ
の記録媒体としてはCoを含むγ―Fe2O3または
Fe3O4γ―Fe2O3の中間組成物を主成分とする酸化
鉄連続薄膜が挙げられる。
保磁力や、半径方向に沿つて内周に向うほど増大
していることを特徴とする磁気記録体であり、こ
の記録媒体としてはCoを含むγ―Fe2O3または
Fe3O4γ―Fe2O3の中間組成物を主成分とする酸化
鉄連続薄膜が挙げられる。
その製造方法としては、円板状基体の中心に近
い部分に相対するターゲツト部分ほどCoの含有
率が高くなつている、上記円板状基体に平行に対
置した、FeCo合金又はCoを含有するFe3O4焼結
体ターゲツトをスパツタリングする工程を含むこ
とを特徴とする。また他の製造方法は、円板状基
体中心に相対するターゲツト面上の点もしくはタ
ーゲツト面を含む平面上の点を中心とする２つの
同心円で囲まれたターゲツト表面上の一定巾のリ
ング状もしくは扇形領域においてFe又はFe3O4の
占める面積に対するCo片の占める面積の比が上
記リング状もしくは扇形領域の半径が小さくなる
程増加するようにCo片を配置したFe又はFe3O4
ターゲツトをスパツタリングする工程を含むこと
を特徴とするもので、これらの方法によれば円板
状基体上に形成された記録媒体の保磁力が半径方
向に沿つて内周に向うほど増大している磁気記録
体が得られる。
い部分に相対するターゲツト部分ほどCoの含有
率が高くなつている、上記円板状基体に平行に対
置した、FeCo合金又はCoを含有するFe3O4焼結
体ターゲツトをスパツタリングする工程を含むこ
とを特徴とする。また他の製造方法は、円板状基
体中心に相対するターゲツト面上の点もしくはタ
ーゲツト面を含む平面上の点を中心とする２つの
同心円で囲まれたターゲツト表面上の一定巾のリ
ング状もしくは扇形領域においてFe又はFe3O4の
占める面積に対するCo片の占める面積の比が上
記リング状もしくは扇形領域の半径が小さくなる
程増加するようにCo片を配置したFe又はFe3O4
ターゲツトをスパツタリングする工程を含むこと
を特徴とするもので、これらの方法によれば円板
状基体上に形成された記録媒体の保磁力が半径方
向に沿つて内周に向うほど増大している磁気記録
体が得られる。
このように円板状磁気記録体の保磁力を半径方
向に沿つて内周に向うほど増大させることによつ
て内周側トラツクほど媒体本来の記録密度特性を
よくし、この結果最内周及び最外周の全領域にお
いてより均一な周波数特性，出力特性，ピークシ
フト特性を得ることが出来る。
向に沿つて内周に向うほど増大させることによつ
て内周側トラツクほど媒体本来の記録密度特性を
よくし、この結果最内周及び最外周の全領域にお
いてより均一な周波数特性，出力特性，ピークシ
フト特性を得ることが出来る。
以下具体的な実施例を挙げて本発明を詳細に説
明する。
明する。
実施例 １
実験に使用した装置は、市販のプレーナー型マ
グネトロンスパツタ装置である。第１図及び第２
図はそれぞれ本発明の磁気記録体を作製したとき
の記録体の円板状基体１とターゲツト４の構成を
示す平面図と側面図である。図の如く円板状基体
面にそれに平行に対向してターゲツトを配置し基
体を回転させてスパツタリングした。ターゲツト
４にはFe3O4焼結体を用い、それを図のように円
形ターゲツトの基体側半円部分をCoを３％ドー
プしたFe3O42，残り半分をCoをドープしない
Fe3O4３によつて構成した。円板状基体にはアル
マイト被覆した８インチ（内径100mm，外径210
mm）アルミ合金板を使用した。スパツタ電力
1.5kW，基体温度120℃，基体回転17rpmに保ち
17分間スパツタリングを行つた。
グネトロンスパツタ装置である。第１図及び第２
図はそれぞれ本発明の磁気記録体を作製したとき
の記録体の円板状基体１とターゲツト４の構成を
示す平面図と側面図である。図の如く円板状基体
面にそれに平行に対向してターゲツトを配置し基
体を回転させてスパツタリングした。ターゲツト
４にはFe3O4焼結体を用い、それを図のように円
形ターゲツトの基体側半円部分をCoを３％ドー
プしたFe3O42，残り半分をCoをドープしない
Fe3O4３によつて構成した。円板状基体にはアル
マイト被覆した８インチ（内径100mm，外径210
mm）アルミ合金板を使用した。スパツタ電力
1.5kW，基体温度120℃，基体回転17rpmに保ち
17分間スパツタリングを行つた。
第３図は形成したFe3O4膜を大気中290℃で１
時間酸化してγ―Fe2O3を主成分とする膜にした
ときの記録媒体の保磁力を半径方向に沿つて測定
したもので、半径方向に沿つて単調に増大してい
る媒体が得られていることがわかる。Coをドー
プしたターゲツトの配置，比率によつて任意に保
磁力の半径方向依存性を制御出来た。
時間酸化してγ―Fe2O3を主成分とする膜にした
ときの記録媒体の保磁力を半径方向に沿つて測定
したもので、半径方向に沿つて単調に増大してい
る媒体が得られていることがわかる。Coをドー
プしたターゲツトの配置，比率によつて任意に保
磁力の半径方向依存性を制御出来た。
実施例 ２
スパツタ装置及びターゲツトと記録体基体の配
置は実施例１と同様の条件とし第４図の如くター
ゲツト４にはFe3O4の焼結体を用い、その上にCo
片５を配置した。Co片の配置は基体中心に相対
するターゲツト表面の点を中心として半径が０か
ら2.5cm，2.5cmから５cm，５cmから7.5cm，7.5cm
から10cm，10cmから20cmのターゲツト上のリング
状領域において、Co片面積のFe3O4面積に対する
比がそれぞれ0.7％，0.5％，0.2％，0.1％，０％
となるようにした。
置は実施例１と同様の条件とし第４図の如くター
ゲツト４にはFe3O4の焼結体を用い、その上にCo
片５を配置した。Co片の配置は基体中心に相対
するターゲツト表面の点を中心として半径が０か
ら2.5cm，2.5cmから５cm，５cmから7.5cm，7.5cm
から10cm，10cmから20cmのターゲツト上のリング
状領域において、Co片面積のFe3O4面積に対する
比がそれぞれ0.7％，0.5％，0.2％，0.1％，０％
となるようにした。
スパツタガスにアルゴンを用い、スパツタ圧を
４×10-3Torrにしてスパツタ電力0.6kW，基本
温度120℃，基体回転17rpmに保ち35分間スパツ
タリングを行なつた。
４×10-3Torrにしてスパツタ電力0.6kW，基本
温度120℃，基体回転17rpmに保ち35分間スパツ
タリングを行なつた。
第５図は形成されたFe3O4膜を大気中275℃で
１時間酸化してγ―Fe2O3を主成分とする膜にし
たときの記録媒体の保磁力を半径方向に沿つて測
定したものである。
１時間酸化してγ―Fe2O3を主成分とする膜にし
たときの記録媒体の保磁力を半径方向に沿つて測
定したものである。
デイスク回転数を一定に保ちつつ、最内周
φ105mmと外周φ200mmのトラツクにおける周波数
特性を調べた結果、第５図の保磁力の領向をもつ
デイスクは第６図に示したようにφ105mm，φ200
mmにおける周波数特性は類似し、従つてピークシ
フト特性もほぼ同様であつた。これに対して保磁
力が400Oe，800Oeの均一な磁気媒体を有する磁
気デイスクではその周波数特性は内周と外周とで
それぞれ第７図，第８図で示したように大きな違
いが生じた。
φ105mmと外周φ200mmのトラツクにおける周波数
特性を調べた結果、第５図の保磁力の領向をもつ
デイスクは第６図に示したようにφ105mm，φ200
mmにおける周波数特性は類似し、従つてピークシ
フト特性もほぼ同様であつた。これに対して保磁
力が400Oe，800Oeの均一な磁気媒体を有する磁
気デイスクではその周波数特性は内周と外周とで
それぞれ第７図，第８図で示したように大きな違
いが生じた。
実施例 ３
スパツタ装置及び記録体基体とターゲツトの配
置は実施例１と同様とし、ターゲツトは第９図の
ように三つの領域にわけ、６にはCoを４％ドー
プしたCoFe合金，７にはCoを0.5％ドープした
CoFe合金，８には純Feとした。記録体基体は実
施例１と同様のものを用いた。
置は実施例１と同様とし、ターゲツトは第９図の
ように三つの領域にわけ、６にはCoを４％ドー
プしたCoFe合金，７にはCoを0.5％ドープした
CoFe合金，８には純Feとした。記録体基体は実
施例１と同様のものを用いた。
スパツタガスには酸素を用い，スパツタ圧を１
×10-3Torrにし、スパツタ電力2kW，基体温度
150℃，基体回転17rpmに保ち25分間スパツタリ
ングした。形成した膜をさらに300℃で水蒸気と
水素の混合雰囲気中で還元してFe3O4にした後、
大気中300℃で１時間酸化してγ―Fe2O3を主成
分とする膜にした。第１０図はその記録体の保磁
力を半径方向に測定した場合の関係である。図の
如く実施例１と同様に保磁力を制御出来た。
×10-3Torrにし、スパツタ電力2kW，基体温度
150℃，基体回転17rpmに保ち25分間スパツタリ
ングした。形成した膜をさらに300℃で水蒸気と
水素の混合雰囲気中で還元してFe3O4にした後、
大気中300℃で１時間酸化してγ―Fe2O3を主成
分とする膜にした。第１０図はその記録体の保磁
力を半径方向に測定した場合の関係である。図の
如く実施例１と同様に保磁力を制御出来た。
以上実施例について述べたが、この他の本発明
の磁気記録体を作製するための記録体基，ターゲ
ツト及びその配置の例を示す。
の磁気記録体を作製するための記録体基，ターゲ
ツト及びその配置の例を示す。
第１１図は、記録体基体１と矩形ターゲツト９
の配置を示す図である。１つはターゲツトが
CoFe合金またはCoを含むFe3O4焼結体の短冊で
構成し、Coの含有率は矢印の如く基体中心へ向
う程、増大するように配置する方法、もう１つは
同図の如くCo片５を配置し、ターゲツトにはFe
またはFe3O4焼結体を用いる方法である。
の配置を示す図である。１つはターゲツトが
CoFe合金またはCoを含むFe3O4焼結体の短冊で
構成し、Coの含有率は矢印の如く基体中心へ向
う程、増大するように配置する方法、もう１つは
同図の如くCo片５を配置し、ターゲツトにはFe
またはFe3O4焼結体を用いる方法である。
第１２図は、矩形ターゲツト９を記録体基体１
の中央に配したもので、１つはターゲツトが
CoFe合金またはCoを含むFe3O4焼結体の短冊を
図のように配列しCoの含有率を矢印で示した如
く基体中心へ向う程、増大するようにする方法で
もう１つはFeまたはFe3O4焼結体上に図のように
Co片５を配置する方法である。
の中央に配したもので、１つはターゲツトが
CoFe合金またはCoを含むFe3O4焼結体の短冊を
図のように配列しCoの含有率を矢印で示した如
く基体中心へ向う程、増大するようにする方法で
もう１つはFeまたはFe3O4焼結体上に図のように
Co片５を配置する方法である。
第１３図は、円形ターゲツト１０上にCo片５
を記録体基体１の中心に向う程増大させるように
配置し本発明の磁気記録体を作製する方法であ
る。
を記録体基体１の中心に向う程増大させるように
配置し本発明の磁気記録体を作製する方法であ
る。
上述の如く、本発明に係る磁気記録体は記録媒
体の保磁力が半径方向に沿つて内周に向うほど増
大させることによつて磁気記録体の半径方向の記
録再生特性（周波数特性）の均一化を可能にする
ものであり、上記製造方法によつて同磁気記録体
を作製することが可能である。
体の保磁力が半径方向に沿つて内周に向うほど増
大させることによつて磁気記録体の半径方向の記
録再生特性（周波数特性）の均一化を可能にする
ものであり、上記製造方法によつて同磁気記録体
を作製することが可能である。
第１図，第２図はそれぞれ記録体作製時の基体
とターゲツト配置の１例を示す平面図と側面図、
第３図は作製された記録体の半径方向の保磁力分
布を示す図、第４図はターゲツトの１例を示す
図、第５図はこれを用いて作製された記録体の半
径方向の保磁力分布を示す図、第６図は本発明に
かかる記録体の内周（φ105mm），外周（φ200mm）
トラツクにおける周波数特性を示す図、第７図，
８図は従来記録体における内外周トラツクの周波
数特性を示す図、第９図は本記録体作製のための
ターゲツトの他の例を示す図、第１０図はこれを
用いて作製された記録体の半径方向の保磁力分布
を示す図、第１１図，１２図，１３図は本記録体
を作製するためのターゲツトと更に別の構成例を
示す図である。 図において、１……記録体基体、２……Coを
ドープしたFe3O4焼結体、３……Fe3O4焼結体、
４……ターゲツト、５……Co片、６，７……Co
をドープしたCoFe合金、８……純Fe、９……矩
形ターゲツト板、１０……円形ターゲツトであ
る。
とターゲツト配置の１例を示す平面図と側面図、
第３図は作製された記録体の半径方向の保磁力分
布を示す図、第４図はターゲツトの１例を示す
図、第５図はこれを用いて作製された記録体の半
径方向の保磁力分布を示す図、第６図は本発明に
かかる記録体の内周（φ105mm），外周（φ200mm）
トラツクにおける周波数特性を示す図、第７図，
８図は従来記録体における内外周トラツクの周波
数特性を示す図、第９図は本記録体作製のための
ターゲツトの他の例を示す図、第１０図はこれを
用いて作製された記録体の半径方向の保磁力分布
を示す図、第１１図，１２図，１３図は本記録体
を作製するためのターゲツトと更に別の構成例を
示す図である。 図において、１……記録体基体、２……Coを
ドープしたFe3O4焼結体、３……Fe3O4焼結体、
４……ターゲツト、５……Co片、６，７……Co
をドープしたCoFe合金、８……純Fe、９……矩
形ターゲツト板、１０……円形ターゲツトであ
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 円板状基体上に形成された記録媒体の保磁力
が、半径方向に沿つて内周に向うほど増大してい
ることを特徴とする磁気記録体。 ２ 記録媒体がCoを含むγ―Fe2O3を主成分とす
る強磁性酸化鉄連続薄膜である特許請求の範囲第
１項記載の磁気記録体。 ３ 円板状基体の中心に近い部分に相対するター
ゲツト部分ほどCoの含有率が高くなつている、
上記円板状基体に平行に対置したFeCo合金又は
Coを含有するFe3O4焼結体ターゲツトをスパツタ
リングする工程を含むことを特徴とする、円板状
基体上に形成された記録媒体の保磁力が半径方向
に沿つて内周に向うほど増大している磁気記録体
の製造方法。 ４ 円板状基体中心に相対するターゲツト面上の
点もしくはターゲツト面を含む平面上の点を中心
とする２つの同心円で囲まれたターゲツト表面上
の一定巾のリング状もしくは扇形領域において
Fe又はFe3O4の占める面積に対するCo片の占め
る面積の比が、上記リング状もしくは扇形領域の
半径が小さくなるほど増加するようにCo片を配
置したFe又はFe3O4ターゲツトをスパツタリング
する工程を含むことを特徴とする、円板状基体上
に形成された記録媒体の保磁力が半径方向に沿つ
て内周に向うほど増大している磁気記録体の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16055281A JPS5862829A (ja) | 1981-10-08 | 1981-10-08 | 磁気記録体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16055281A JPS5862829A (ja) | 1981-10-08 | 1981-10-08 | 磁気記録体及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5862829A JPS5862829A (ja) | 1983-04-14 |
| JPH028376B2 true JPH028376B2 (ja) | 1990-02-23 |
Family
ID=15717451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16055281A Granted JPS5862829A (ja) | 1981-10-08 | 1981-10-08 | 磁気記録体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5862829A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4522848A (en) * | 1983-04-28 | 1985-06-11 | Patel Pravin K | Process of preparing a recording member having a variable thickness recording layer |
| JPS6196520A (ja) * | 1984-10-18 | 1986-05-15 | Seiko Epson Corp | 磁気記録媒体 |
| JPS61222031A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-10-02 | Fujitsu Ltd | 磁気デイスクの製造方法 |
| US6808783B1 (en) * | 2002-01-17 | 2004-10-26 | Maxtor Corporation | Storage media with non-uniform properties |
| US7592079B1 (en) | 2003-07-03 | 2009-09-22 | Seagate Technology Llc | Method to improve remanence-squareness-thickness-product and coercivity profiles in magnetic media |
| US7118815B2 (en) * | 2004-02-05 | 2006-10-10 | Seagate Technology Llc | Method to improve coercivity radial profile in magnetic recording media and product thereof |
-
1981
- 1981-10-08 JP JP16055281A patent/JPS5862829A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5862829A (ja) | 1983-04-14 |
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