JPS585636A - 被検査物の検査方法 - Google Patents
被検査物の検査方法Info
- Publication number
- JPS585636A JPS585636A JP10288781A JP10288781A JPS585636A JP S585636 A JPS585636 A JP S585636A JP 10288781 A JP10288781 A JP 10288781A JP 10288781 A JP10288781 A JP 10288781A JP S585636 A JPS585636 A JP S585636A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspected
- stage
- scanning
- pipe
- gas
- Prior art date
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- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は被検査物の検査方法に係シ、特に被検査物の真
の不良側７９ｉｏみを計数するようにし九被検査物表面
の検査方法に関するものである。
の不良側７９ｉｏみを計数するようにし九被検査物表面
の検査方法に関するものである。
従来、乾板等の被検査物表面の検査装置として第１図に
示す如く構成されたものが知られている。
示す如く構成されたものが知られている。
即ちｌはペースで該峙−ス上に操作盤８とレンズ系を収
納した本体２が載置されている０本体２の先端に紘走査
レンズ３が取シ付けられ該走査レンズ３と対向して乾板
等の被検査物７を配する。
納した本体２が載置されている０本体２の先端に紘走査
レンズ３が取シ付けられ該走査レンズ３と対向して乾板
等の被検査物７を配する。
該被検査物はＸＹステージ４上に載置され該ｘ丁ステー
ジにはＸ及びＹ軸方向に被検査物７を移動させるための
Ｙ軸及びＸ軸駆動装置５．６を有し、これらは操作卓１
１上に載置されＸＹステージ制御ユニット９及び走査制
御ユニ、トｌＯが該操・作卓下部に配設されている。
ジにはＸ及びＹ軸方向に被検査物７を移動させるための
Ｙ軸及びＸ軸駆動装置５．６を有し、これらは操作卓１
１上に載置されＸＹステージ制御ユニット９及び走査制
御ユニ、トｌＯが該操・作卓下部に配設されている。
上述の如き被検査物表面の検査装置に於ては、本体２内
に配置した検査レンズ２系を介して被検査物表面を走査
して、表面上の不良結果を操作盤８上の計数表示手段８
ａに表示していた。
に配置した検査レンズ２系を介して被検査物表面を走査
して、表面上の不良結果を操作盤８上の計数表示手段８
ａに表示していた。
この場合に、被検査物７の乾板等の表面に第２図に示す
如く塵埃１２等が付着している場合にも、乾板の不良個
所として計数してしまい、これら塵埃を計数して実際に
は不良ではない被検査物７を不要品であると断定してし
まう欠点を有していえ。
如く塵埃１２等が付着している場合にも、乾板の不良個
所として計数してしまい、これら塵埃を計数して実際に
は不良ではない被検査物７を不要品であると断定してし
まう欠点を有していえ。
本発明鉱以上述べた欠点を除去するための被検査物表面
の検査方法を提供するものであシ、その特徴とするとこ
ろは被検査物表面検査装置の被検査物近傍に配した、ガ
ス吹出口よ〕不良個所計数と同期してガスを噴射させて
、不良個所が除去されたときは計数結果から減算を行っ
て真の不良個所のみを表示するようにしたものである。
の検査方法を提供するものであシ、その特徴とするとこ
ろは被検査物表面検査装置の被検査物近傍に配した、ガ
ス吹出口よ〕不良個所計数と同期してガスを噴射させて
、不良個所が除去されたときは計数結果から減算を行っ
て真の不良個所のみを表示するようにしたものである。
以下、本発明の１実施例を第２図及び第３図について詳
記する。
記する。
第２図とは第１図に示し九本体２中の検出レンズ系を模
式的に示すと共に本発明の構成の路線図を示すもので第
１図と同一部分Ｋａ同一符号を付して重複説明は省略す
る。レーデ源１３よルのレーデビーム１３ｍは８偏光さ
れてビームエクスノ臂ン〆一１４に入ル、該ビームエク
スノ臂ンダー１４を通過したレーデビームは偏光ビーム
スグリ、り１５とλ４板１６を通して走査々２−１７に
照射される。該走査ミラー１７は走査機１８によって揺
動され、走査ミラー１７で反射されたレーデビームは走
査レンズ３を通して被検査物７のＸ軸方向を端から端ま
で走査する。
式的に示すと共に本発明の構成の路線図を示すもので第
１図と同一部分Ｋａ同一符号を付して重複説明は省略す
る。レーデ源１３よルのレーデビーム１３ｍは８偏光さ
れてビームエクスノ臂ン〆一１４に入ル、該ビームエク
スノ臂ンダー１４を通過したレーデビームは偏光ビーム
スグリ、り１５とλ４板１６を通して走査々２−１７に
照射される。該走査ミラー１７は走査機１８によって揺
動され、走査ミラー１７で反射されたレーデビームは走
査レンズ３を通して被検査物７のＸ軸方向を端から端ま
で走査する。
このような走査でｘＹステージ４をＹ軸方向に順次移動
させれば被検査物７の全表面を上から下まで面走査する
ことが出来る。被検査物７上の不良個所、例えに塵埃１
２は反射されて走査シン１♂→走査ミラー１７→λ／４
板１６→偏光ビームスグリツタ１５→集光レンズ１９→
光電検出器２０の光路を経て検叫される。
させれば被検査物７の全表面を上から下まで面走査する
ことが出来る。被検査物７上の不良個所、例えに塵埃１
２は反射されて走査シン１♂→走査ミラー１７→λ／４
板１６→偏光ビームスグリツタ１５→集光レンズ１９→
光電検出器２０の光路を経て検叫される。
ＸＹステージ４の近傍にはガス吹田管２１を設は図示し
ないがＮ２ｔ！ス源を該がス吹出管２１に連通させ、例
えば光電検出器２０の出力で不良部分がカウントされ計
数表示手段８ａが加算される信号を用いてがスパルプを
「オン」状態として、ガス吹出管２１ＫＮ２ガス２２を
送シ込みガス吹出口よシガス２２を噴出させて塵埃を吹
き飛ばす、ｆス２２は勿論フィルター岬を介して送出さ
れ充分にクリーンな状態のものである必要がある。
ないがＮ２ｔ！ス源を該がス吹出管２１に連通させ、例
えば光電検出器２０の出力で不良部分がカウントされ計
数表示手段８ａが加算される信号を用いてがスパルプを
「オン」状態として、ガス吹出管２１ＫＮ２ガス２２を
送シ込みガス吹出口よシガス２２を噴出させて塵埃を吹
き飛ばす、ｆス２２は勿論フィルター岬を介して送出さ
れ充分にクリーンな状態のものである必要がある。
この状態で真の不良個所でなければ一般には干渉縞が無
くなって、不良個所でないことを検出することが出来る
。このような出力を第３図に示すように減算回路２３に
加え、上述の計数表示手段８＆の計数回路２４０カウン
ト数を減算するようにする。かくすれば被検査物７の真
の不良１ｌＷＥのみをカウントすることが出来て、塵埃
等圧よって生ずる擬似の不良個所のカウントを減らすこ
とが出来る。
くなって、不良個所でないことを検出することが出来る
。このような出力を第３図に示すように減算回路２３に
加え、上述の計数表示手段８＆の計数回路２４０カウン
ト数を減算するようにする。かくすれば被検査物７の真
の不良１ｌＷＥのみをカウントすることが出来て、塵埃
等圧よって生ずる擬似の不良個所のカウントを減らすこ
とが出来る。
本発明社上述の如く構成させたので単に被検査物表面検
査装置のｘ！ステージ近傍にガス吹出管を設け、減算回
路を付加するだけで被検査装置の検査精度を大巾に向上
させる仁とが出来る特徴を有するものである。
査装置のｘ！ステージ近傍にガス吹出管を設け、減算回
路を付加するだけで被検査装置の検査精度を大巾に向上
させる仁とが出来る特徴を有するものである。
第１ｆｆｉｔｉ従来の被検査物表面検査装置の構成を示
す斜視図、第２図社本発明の被検査方法を説明するため
の光学系ｏ＊’ｉｓ的斜視図、第３図は本発明の計数方
法を説明するための系統図である。 １・・・ペース、２一本体、３−・・走査レンズ、４・
・・ｘｙステージ、７−被検査物、８・−操作盤、１３
−・レーデ源、１４−ビームエクスｄン〆一、１５・・
・偏光ビームスグリツタ、１６−λ４板、１７・・・走
査ミツ−１２〇−光電検出器、２３−・減算回路、２４
−・計数回路
す斜視図、第２図社本発明の被検査方法を説明するため
の光学系ｏ＊’ｉｓ的斜視図、第３図は本発明の計数方
法を説明するための系統図である。 １・・・ペース、２一本体、３−・・走査レンズ、４・
・・ｘｙステージ、７−被検査物、８・−操作盤、１３
−・レーデ源、１４−ビームエクスｄン〆一、１５・・
・偏光ビームスグリツタ、１６−λ４板、１７・・・走
査ミツ−１２〇−光電検出器、２３−・減算回路、２４
−・計数回路
Claims (1)
- 被検査物表面検査装置の被検査物近傍にガス吹出口を設
け、該被検査物上の不良箇所を検出する毎に、上記ガス
吹出口よシガスを吹き付け、不良個所が除去されたとき
不良個数の計数を行なわ表いようにすることを４Ｉ徴と
する被検査物の検査方法・
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10288781A JPS585636A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 被検査物の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10288781A JPS585636A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 被検査物の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS585636A true JPS585636A (ja) | 1983-01-13 |
Family
ID=14339368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10288781A Pending JPS585636A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 被検査物の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS585636A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04358500A (ja) * | 1991-01-09 | 1992-12-11 | Jong-Ki Lee | 体感スピーカー及びこれを用いた体感システム |
| JPWO2004040281A1 (ja) * | 2002-10-30 | 2006-03-02 | 凸版印刷株式会社 | 配線パターンの検査装置、検査方法、検出装置および検出方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5087386A (ja) * | 1973-12-03 | 1975-07-14 | ||
| JPS52140384A (en) * | 1976-05-19 | 1977-11-22 | Hitachi Ltd | Flaw detector |
| JPS55102233A (en) * | 1979-01-30 | 1980-08-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Removing method of dust |
| JPS5614933A (en) * | 1979-07-18 | 1981-02-13 | Hitachi Ltd | Sample inspecting device |
-
1981
- 1981-06-30 JP JP10288781A patent/JPS585636A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5087386A (ja) * | 1973-12-03 | 1975-07-14 | ||
| JPS52140384A (en) * | 1976-05-19 | 1977-11-22 | Hitachi Ltd | Flaw detector |
| JPS55102233A (en) * | 1979-01-30 | 1980-08-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Removing method of dust |
| JPS5614933A (en) * | 1979-07-18 | 1981-02-13 | Hitachi Ltd | Sample inspecting device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04358500A (ja) * | 1991-01-09 | 1992-12-11 | Jong-Ki Lee | 体感スピーカー及びこれを用いた体感システム |
| JPWO2004040281A1 (ja) * | 2002-10-30 | 2006-03-02 | 凸版印刷株式会社 | 配線パターンの検査装置、検査方法、検出装置および検出方法 |
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