KR950019660A - 비접촉식 내부결함 탐상방법 및 장치 - Google Patents
비접촉식 내부결함 탐상방법 및 장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 레어저를 이용한 시편 내부결함 탐상방법 및 그 장치에 관한 것이다.
그 기술적인 구성인, 펄스형 레이저를 이용하여 시편 내부에 초음파를 발생시키고, 시편 내부를 전파한 초음파를 초음파 측정장치를 통하여 측정한 후, 이를 디지타이저에 의해 디지탈 신호로 컴퓨터에 입력시켜 모니터의 화면에 영상화하는 것이다.
이에 따라서, 시편을 전체적으로 이동시키는 별도의 보조장치가 필요없도록 하며, 광학적으로 거친면에서도 시편 내부 탐상 측정이 용이하게 되고, 측정장치의 구성을 간단하게 하면서도 내부 결함분포를 모니터를 통해 화상으로 용이하게 파악할 수 있는 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 비접촉식 내부결함 탐상장치의 구성도,
제2도는 본 발명의 레이저를 이용한 초음파 측정장치의 구성도.
Claims (4)
- 레이저(1)의 광선을 투과시켜 측정시편(8)에 입사하여 초음파가 발생토록 편광기(4)와, 편광형 빗살가르개(5)가 설치되며, 상기 측정시편(8)이 고정되는 시편이동대(9)가 마련되고, 시편이동대(8)를 스텝 모터 조정기(15)를 통해 컴퓨터(12)로 조절하여 내부 결함을 탐상하는 초음파 측정장치(10)와, 초음파 측정장치(10)에 의해 측정된 신호가 디지타이져(11)에 의해 디지탈 신호로서 컴퓨터(12)에 입력되어 모니터(13) 화면에 영상화하는 영상장치로 구성되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 내부결함 탐상장치.
- 제1항에 있어서, 초음파 측정장치(10)의 내부에는 헬륨-네온레이져(16)에 의한 광선이 평행광선으로 되도록 거울(17)(18)과 오목, 볼록렌즈(19)(20)가 설치되고, 시편(8) 표면에 상기 광선이 집사되는 렌즈(21)가 마련되며, 반사광선을 렌즈(23)(24)를 통해 광센서(25)(26)에 입력토록 되고, 광센서의 초음파 신호를 증폭하는 차동증폭기(27)가 설치되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 내부결함 탐상장치.
- 펄스형 레이저의 출력을 볼록렌즈가 집광하여 편광기와 편광형 빗살가르개로 조절되며 시편표면에 입사하여 초음파를 발생시키고, 발생된 초음파는 레이저 펄스 주사에 의해 시편 내부 결함을 탐상하며, 시편 반대쪽면에 도달한 초음파를 거울에서 반사하여 오목, 볼록렌즈 조합에 의해 평행광선이 되도록 한 후, 렌즈를 통해 광센서에 입사하고 반사되지 않은 광선은 다른 렌즈를 통해 광센서에 입사조절토록 되며, 광센서의 초음파 신호는 차동증폭기에 의해 증폭되어 디지타이저에 의해 디지탈 신호로 컴퓨터에 입력됨은 물론, 상기 컴퓨터는 초음파 신호의 크기를 4단계로 분리하고 크기에 따라 색의 밝기를 부여하며 모니터의 화면상에 화상으로 표현하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 내부결함 탐상방법.
- 제3항에 잇어서, 시편표면으로부터 반사된 광선은, 거울에 의해 광선의 50%가 렌즈를 통해 광센서에 입력시키고, 반사되지 않은 나머지 50%는 다른 렌즈를 통해 광센서에 입사되어 차동증폭기에서 증폭되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 내부 결함탐상방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019930031048A KR970010982B1 (ko) | 1993-12-29 | 1993-12-29 | 비접촉식 내부결함 탐상방법 및 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019930031048A KR970010982B1 (ko) | 1993-12-29 | 1993-12-29 | 비접촉식 내부결함 탐상방법 및 장치 |
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Publication Number | Publication Date |
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KR950019660A true KR950019660A (ko) | 1995-07-24 |
KR970010982B1 KR970010982B1 (ko) | 1997-07-05 |
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Country Status (1)
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---|---|
KR (1) | KR970010982B1 (ko) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20020011662A (ko) * | 2000-08-03 | 2002-02-09 | 정명세 | 레이저 유도 초음파를 이용하여 금속재의 내부 결함을측정하는 방법 |
KR100416962B1 (ko) * | 2000-11-14 | 2004-02-05 | 이주현 | 비접촉식 전압감지장치 |
CN111610254A (zh) * | 2020-05-18 | 2020-09-01 | 武汉大学 | 一种基于高速振镜协同的激光超声全聚焦成像检测装置及方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100946550B1 (ko) * | 2003-04-18 | 2010-03-11 | 주식회사 포스코 | 다중 빔 조사에 의한 레이저 초음파의 발생장치 |
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1993
- 1993-12-29 KR KR1019930031048A patent/KR970010982B1/ko not_active IP Right Cessation
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CN111610254A (zh) * | 2020-05-18 | 2020-09-01 | 武汉大学 | 一种基于高速振镜协同的激光超声全聚焦成像检测装置及方法 |
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