JPS5855802A - 回転変位並びに直線移動変位検出装置 - Google Patents
回転変位並びに直線移動変位検出装置Info
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- JPS5855802A JPS5855802A JP15599781A JP15599781A JPS5855802A JP S5855802 A JPS5855802 A JP S5855802A JP 15599781 A JP15599781 A JP 15599781A JP 15599781 A JP15599781 A JP 15599781A JP S5855802 A JPS5855802 A JP S5855802A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 29
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 5
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 12
- 239000003086 colorant Substances 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 4
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34776—Absolute encoders with analogue or digital scales
- G01D5/34784—Absolute encoders with analogue or digital scales with only analogue scales or both analogue and incremental scales
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、回転機械娶るいは直線運動する機械の可動゛
部分の変位を検出する装置に関し、具体的には、回転機
械における回転軸の回転角度検出装置および直線運動機
械における可動部の移動位置を検出する直線移動変位検
出装置に関する。
部分の変位を検出する装置に関し、具体的には、回転機
械における回転軸の回転角度検出装置および直線運動機
械における可動部の移動位置を検出する直線移動変位検
出装置に関する。
産業機械その他一般機械の駆動部分の自動制御について
機械の可動部の動作、変位あるいは位置を検出すること
は欠かせない事項である。機械の可動部゛が回転運動を
する場合にはその回転角度を゛検出することで可動部の
変位が検知されるので、回転機械K1−1回転角度検出
器が取シ付けられるのが普通である。
機械の可動部の動作、変位あるいは位置を検出すること
は欠かせない事項である。機械の可動部゛が回転運動を
する場合にはその回転角度を゛検出することで可動部の
変位が検知されるので、回転機械K1−1回転角度検出
器が取シ付けられるのが普通である。
第1図は回転角度検出器4を備えた回転機械1およびそ
の駆動機構の斜視図である。回転機械lはモータ3によ
り減速機2を介して駆動され、回転機械lの回転軸5に
直接、あるいはモータ3の出力軸に同様の減速機2を介
して、回転角度検出器4.4′が連結される。回転角度
検出器の例としては従来からロータリーリミットスイッ
チ型あるいtまパルスエンコーダ型のものが知られてい
る。第2図(a)、(切はロータリーリミットス・イツ
チ型回転角度検出器を示したものである。回転機械ある
いは駆動電動機その他の回転軸5け、検出器筐体40内
に挿入される。この回転軸に複数個の回転ディスク6が
固着され、その各回転ディスクには、第2図(りの如く
夫々異なった位置にストライカ−6′が装着されている
。ストライカ−6′は回転軸50回転による同転ディス
ク60回転とともに移動し、各回転ディスクに対応して
所定位置に設けられ丸打動接点7にストライカ−6′が
衝接して押動せしめ、可動接点7を固定接点8に接触せ
しめる。可動接点7および固定接点8には夫々信号II
7/ 8/がついていて、対応する可動接点7と固
定接点8の接触を遠方でも電気的に検知できるようにな
っている。従って、回転ディスク6に固着したストライ
カ−6′の位置を調整すれば回転軸の任意の回転角度を
検出できる。
の駆動機構の斜視図である。回転機械lはモータ3によ
り減速機2を介して駆動され、回転機械lの回転軸5に
直接、あるいはモータ3の出力軸に同様の減速機2を介
して、回転角度検出器4.4′が連結される。回転角度
検出器の例としては従来からロータリーリミットスイッ
チ型あるいtまパルスエンコーダ型のものが知られてい
る。第2図(a)、(切はロータリーリミットス・イツ
チ型回転角度検出器を示したものである。回転機械ある
いは駆動電動機その他の回転軸5け、検出器筐体40内
に挿入される。この回転軸に複数個の回転ディスク6が
固着され、その各回転ディスクには、第2図(りの如く
夫々異なった位置にストライカ−6′が装着されている
。ストライカ−6′は回転軸50回転による同転ディス
ク60回転とともに移動し、各回転ディスクに対応して
所定位置に設けられ丸打動接点7にストライカ−6′が
衝接して押動せしめ、可動接点7を固定接点8に接触せ
しめる。可動接点7および固定接点8には夫々信号II
7/ 8/がついていて、対応する可動接点7と固
定接点8の接触を遠方でも電気的に検知できるようにな
っている。従って、回転ディスク6に固着したストライ
カ−6′の位置を調整すれば回転軸の任意の回転角度を
検出できる。
第3図(IL)、 (b)はパルスエンコーダ型の回転
角度検出器を示し友ものである。ロータリーりンットス
イッチ型と同様に、筐体41に挿入・され丸目転軸5に
回転ディスク9が固着され、第3図(11Oの如くその
ディスクに複数個のスリット(穴)9′が穿けられてい
る。そしてそのスリット部を挾むように、ランプあるい
は発光ダイオードなどの投光a1゜と、光トランジスタ
などの充電変換素子および増幅回路を内蔵した受光器1
1とが*、b付けられている。回転軸50回転角度に応
じて投光器10からの光は1、回転ディスク9で遣られ
たり、スリット9′を通って受光器11に入光したりす
る。ディスク9に穿社るスリットの数および間隔を予め
設定しておくことにより、受光器11の出力は回転角度
に対応するパルス列となり、受光器信号線11’を通じ
て遠方へ送られる。そこでそのパルス数を計数すれば回
転軸の回転角度が検知できる。10′は投光器電源線で
ある。
角度検出器を示し友ものである。ロータリーりンットス
イッチ型と同様に、筐体41に挿入・され丸目転軸5に
回転ディスク9が固着され、第3図(11Oの如くその
ディスクに複数個のスリット(穴)9′が穿けられてい
る。そしてそのスリット部を挾むように、ランプあるい
は発光ダイオードなどの投光a1゜と、光トランジスタ
などの充電変換素子および増幅回路を内蔵した受光器1
1とが*、b付けられている。回転軸50回転角度に応
じて投光器10からの光は1、回転ディスク9で遣られ
たり、スリット9′を通って受光器11に入光したりす
る。ディスク9に穿社るスリットの数および間隔を予め
設定しておくことにより、受光器11の出力は回転角度
に対応するパルス列となり、受光器信号線11’を通じ
て遠方へ送られる。そこでそのパルス数を計数すれば回
転軸の回転角度が検知できる。10′は投光器電源線で
ある。
これらの従来型回転角度検出器には次のような問題点が
あった。
あった。
(イ)、ロータリーリミットスイッチ型、パルスエンコ
ーダ型のものでは、ともに電気的接点、投光器、受光器
などの電気回路部品が内蔵されていて、これらが被検出
体に隣接して配置されるので、熱、水、ダストあるいは
振動などの多い鉄鋼プラントなどの現場においては故障
しやすい。特にロータリーリミットスイッチ型では接触
式の可動接点部分の故障が多い。
ーダ型のものでは、ともに電気的接点、投光器、受光器
などの電気回路部品が内蔵されていて、これらが被検出
体に隣接して配置されるので、熱、水、ダストあるいは
振動などの多い鉄鋼プラントなどの現場においては故障
しやすい。特にロータリーリミットスイッチ型では接触
式の可動接点部分の故障が多い。
(ロ)、ロータリーリミットスイッチ型では、検出する
(口)転角度は不連続でしかとれない。即ち、ストライ
カ−でセットした負度しか検出できない。
(口)転角度は不連続でしかとれない。即ち、ストライ
カ−でセットした負度しか検出できない。
また一度ストライカーの位置をセ・リドしてしまうと、
その変更は現場の検出器の筐体の豊を開けてストライカ
−の位置を動かさなければならず繁雑な作業を要する。
その変更は現場の検出器の筐体の豊を開けてストライカ
−の位置を動かさなければならず繁雑な作業を要する。
(ハ)、パルスエンコーダ型では回転角度の絶対値が検
出されるのではなく回転移動lを示すパルス数しか検出
できないので、回転角度の絶対値を知るためりはロータ
リ、−リミットスイッチ型による回転基準角度の、信号
と組み合わせねばならない。
出されるのではなく回転移動lを示すパルス数しか検出
できないので、回転角度の絶対値を知るためりはロータ
リ、−リミットスイッチ型による回転基準角度の、信号
と組み合わせねばならない。
またパルスエンコーダ型では信号がパルスという高量波
信号となるのでノイズの発生源となっタシ、逆に他のノ
イズによって影響を受けてパルス数の計数ミスを起むし
易い。
信号となるのでノイズの発生源となっタシ、逆に他のノ
イズによって影響を受けてパルス数の計数ミスを起むし
易い。
一方、直線運動する機械の可動部分(例えば圧延ライン
におけるブツシャサイドガイドあるいは一般のシリンダ
装置のピストン棒)の移動位置を検出してその機械を自
動制御する場合、リミットスイッチなどによるワンポイ
ント的な検出ではなく、連続的に可動部分の直線運動位
置を検知してその位置による最適制御を実行する場合が
ある。
におけるブツシャサイドガイドあるいは一般のシリンダ
装置のピストン棒)の移動位置を検出してその機械を自
動制御する場合、リミットスイッチなどによるワンポイ
ント的な検出ではなく、連続的に可動部分の直線運動位
置を検知してその位置による最適制御を実行する場合が
ある。
第4図はこの場合の連続直線運動位装置検出!1gを概
略的に示したものである。直線運動機械lの町動部に磁
性体から鼻あ直線運動コア12を連結し、このコア12
を挾むように変圧器の1次巻線11および2次巻線13
を配置する。loVil次巻l5llに対する交流電源
、15は2次巻1113の出力電圧を増幅する増幅器で
ある。1次巻線11゜[[線運動コア12.2次巻@1
3によって差動変圧器を形成している。従って、直線運
動機械1に連動して動くコア120位曾によウマ2次巻
線13の出力電圧は変化し、それを増幅した出力17は
自動制御回路へ人力する。
略的に示したものである。直線運動機械lの町動部に磁
性体から鼻あ直線運動コア12を連結し、このコア12
を挾むように変圧器の1次巻線11および2次巻線13
を配置する。loVil次巻l5llに対する交流電源
、15は2次巻1113の出力電圧を増幅する増幅器で
ある。1次巻線11゜[[線運動コア12.2次巻@1
3によって差動変圧器を形成している。従って、直線運
動機械1に連動して動くコア120位曾によウマ2次巻
線13の出力電圧は変化し、それを増幅した出力17は
自動制御回路へ人力する。
しかしながら、°この従来型の直線運動位置検出器には
1次巻線11.2次巻線13.増幅器15のような電気
回路部品が内蔵されかつこれが機械lの近傍に配置され
るため、鉄鋼製造プラントのように高温にさらされるよ
うな機械にコア12を連結して使用すると、コア12を
介して熱が検出器16に伝導し、1次巻線11.2次巻
線13、増幅器15などが加熱され、誤動□作、故障を
引き起こし易く、保守性、信頼性も低く問題であった。
1次巻線11.2次巻線13.増幅器15のような電気
回路部品が内蔵されかつこれが機械lの近傍に配置され
るため、鉄鋼製造プラントのように高温にさらされるよ
うな機械にコア12を連結して使用すると、コア12を
介して熱が検出器16に伝導し、1次巻線11.2次巻
線13、増幅器15などが加熱され、誤動□作、故障を
引き起こし易く、保守性、信頼性も低く問題であった。
しかも増幅器15の出力17を自動制御回路へ送る際、
出力17がアナログ電気信号であるため。
出力17がアナログ電気信号であるため。
ノイズを拾い易いという問題もあった。
回転機械あるいは直線運動機械の自動制御が原理的には
可能であるのに、これらの機械の町動部に対する位置検
出器の問題のために1実用化されていなかったり、実用
化されても非常に保守の手間のかかるものであったりし
て保守性、信頼性の高い検出器の出現が待ち望まれてい
た。
可能であるのに、これらの機械の町動部に対する位置検
出器の問題のために1実用化されていなかったり、実用
化されても非常に保守の手間のかかるものであったりし
て保守性、信頼性の高い検出器の出現が待ち望まれてい
た。
本発明は、これらの問題を解決し、保守性、信頼性の高
い回転変位検出装置および直線移動変位検出装置を提供
することを目的とする。
い回転変位検出装置および直線移動変位検出装置を提供
することを目的とする。
以下、本願の第1の発明に係る回転変位検出装置の実施
例を図面をもとに説明する。
例を図面をもとに説明する。
第5図は本発明に係る回転変位検出装置の概略的な縦断
面図でht。回転機械の回転軸5に回転角度を符号化す
るための符号化部を有する回転ディスク7G(後述)が
直結され、その回転ディスク70の符号化部71を挾む
ように一対の光フアイバ端固定器53と55が固定され
ている。各光ファイバ端固定群53.55の内部には焦
点aS用レンズ54がついている。光ファイ/(端面定
器53および光フアイバ端固定器55には、夫々投光用
光フアイバケーブル52および受光用光フアイバケープ
、456が接続されている。回転ディスク70、光フア
イバ端固定器53.55およヒ光ファイバケーブル52
.56の一部は、カッ(−50によって保護され、外部
の水、ダスト、特に光がカバー内部に混入しないような
構造である。カッ(−50に導入される投光用光7アイ
I(ケーブル52は、遠方の環境条件のよい電気室など
に設置された光線発生器51に接続される。同様に一光
用光ファイバケーブル56は、同じく環境条件のよい電
気室などに設置された充電交換器57に接続される。更
に光電変換器57ij、電気的に信号処理器59に接続
される。
面図でht。回転機械の回転軸5に回転角度を符号化す
るための符号化部を有する回転ディスク7G(後述)が
直結され、その回転ディスク70の符号化部71を挾む
ように一対の光フアイバ端固定器53と55が固定され
ている。各光ファイバ端固定群53.55の内部には焦
点aS用レンズ54がついている。光ファイ/(端面定
器53および光フアイバ端固定器55には、夫々投光用
光フアイバケーブル52および受光用光フアイバケープ
、456が接続されている。回転ディスク70、光フア
イバ端固定器53.55およヒ光ファイバケーブル52
.56の一部は、カッ(−50によって保護され、外部
の水、ダスト、特に光がカバー内部に混入しないような
構造である。カッ(−50に導入される投光用光7アイ
I(ケーブル52は、遠方の環境条件のよい電気室など
に設置された光線発生器51に接続される。同様に一光
用光ファイバケーブル56は、同じく環境条件のよい電
気室などに設置された充電交換器57に接続される。更
に光電変換器57ij、電気的に信号処理器59に接続
される。
これらの機能について説明すると、回転機械本体に対し
て遠く離れた場所に置かれた光線発生器51から発生さ
れ九光が、投光用光コアイノ(ケーブル52を経て光フ
アイバ端固定器53の焦点調@pHvy:<s <−+
@@fイ、x fi 70 (D**イ、つ7、→光フ
ァイバ端固定器55の焦点11111用レンズ54→受
光用光フアイバケーブル56→光電変換器57へと伝播
し、光電変換器57にてその伝播光に対応した電気信号
58に変換され、その電気信号が信号処理器59に送ら
れる。この光の伝播において、回転ディスク70の符号
化部71が重要な役目を果たす。
て遠く離れた場所に置かれた光線発生器51から発生さ
れ九光が、投光用光コアイノ(ケーブル52を経て光フ
アイバ端固定器53の焦点調@pHvy:<s <−+
@@fイ、x fi 70 (D**イ、つ7、→光フ
ァイバ端固定器55の焦点11111用レンズ54→受
光用光フアイバケーブル56→光電変換器57へと伝播
し、光電変換器57にてその伝播光に対応した電気信号
58に変換され、その電気信号が信号処理器59に送ら
れる。この光の伝播において、回転ディスク70の符号
化部71が重要な役目を果たす。
次に1本発明の回転変位検出器に適用される回転ディス
ク70について詳述する。
ク70について詳述する。
86図(a)は回転ディスク70の一例を示したもので
ある。この回転ディスク70の外周部には、任意の基線
位1ll(0’、360°・・・)から光透過率が単調
連続に変化する符号化部71が設けられている。、符号
化部71は、周方向に例えば黒色塗装した完全不透明部
分から漸次透明度を増した灰色半透明部分を経て完岑透
明部分に至るように表面処理がなされている。第6図(
IL) K示す如く1回転ディスク符号化部フ1の基線
位置からの回転角度を0とする。回転ディスク70は回
転軸5に固着されるので、この角度θは回転軸の回転角
度と考えてよい6#述した如く、光線発生器51で発生
した光は、この符号化部71を通過するときに、回転角
度θに対応して減衰して光“電変換器に受光される。従
って、第6図(功の実線のような光透過率をもった符号
化部71の場合、光電変換器57の受光量電気信号58
は第6図(C)のようにする。
ある。この回転ディスク70の外周部には、任意の基線
位1ll(0’、360°・・・)から光透過率が単調
連続に変化する符号化部71が設けられている。、符号
化部71は、周方向に例えば黒色塗装した完全不透明部
分から漸次透明度を増した灰色半透明部分を経て完岑透
明部分に至るように表面処理がなされている。第6図(
IL) K示す如く1回転ディスク符号化部フ1の基線
位置からの回転角度を0とする。回転ディスク70は回
転軸5に固着されるので、この角度θは回転軸の回転角
度と考えてよい6#述した如く、光線発生器51で発生
した光は、この符号化部71を通過するときに、回転角
度θに対応して減衰して光“電変換器に受光される。従
って、第6図(功の実線のような光透過率をもった符号
化部71の場合、光電変換器57の受光量電気信号58
は第6図(C)のようにする。
よって、回転角度#に対応した電気信号が得られるので
、これを信号処理部59で処理すれば任意のθを検出す
ることが可能である。
、これを信号処理部59で処理すれば任意のθを検出す
ることが可能である。
信号処理部の構成例を第7図(a) K示し、90’≦
θ≦180°を検出したい場合の回路出力を第7図(b
)に示して、これで説明する。
θ≦180°を検出したい場合の回路出力を第7図(b
)に示して、これで説明する。
信号処理部は、例えばN個の比較器59 (0)、s
9 (1)、59 (2)・・・%59 (N)とイン
バータ(反転)論理回路60 (10)と論理積回路6
o (oo)とで構成される。比較器59(Ω)(1≦
n≦N)にはN情夫々独立に変化可能な基準信号59(
00)、59(01)、・・・、59 (oN)と受光
量電気信号58が入力される。比較器59 (n)では
、その受光量電気″信号58と基準信号59(Ofl)
とを比較して、58が59 (On)以上になると定レ
ベル出力60 (n)を出す。90°≦0≦1800を
検出したい場合は、基準信号59 (00)をθ=90
°に対応する受光量電気信号値として基準信号59(0
1)をθ=180’に対応する受光量電気信号値に調整
すれば、比較器59 (0)の出力60 (0) Fi
、90’+360’XM≦#≦360°K(M+1)、
(M二〇、1.2、−)にて定レベル出力を出し、全く
同様に比較659 (1)の出力60 (1)は、 180°+3go’xu≦θ≦360’X(M−fil
)、(M=0.1.2、−)にて定レベル出力を出す
。従って、出力60(1)をインバータ(反転)論理回
路60 (10)を通した出力と出力60 (0)の信
号とを入力した論理積回路60 (00)の出力60は
、 90°+3600XM≦θ≦180°+360°xM、
(M=0.1,2、−・・)にて定レベルを出すので
所望の回転角度検出が実現する。
9 (1)、59 (2)・・・%59 (N)とイン
バータ(反転)論理回路60 (10)と論理積回路6
o (oo)とで構成される。比較器59(Ω)(1≦
n≦N)にはN情夫々独立に変化可能な基準信号59(
00)、59(01)、・・・、59 (oN)と受光
量電気信号58が入力される。比較器59 (n)では
、その受光量電気″信号58と基準信号59(Ofl)
とを比較して、58が59 (On)以上になると定レ
ベル出力60 (n)を出す。90°≦0≦1800を
検出したい場合は、基準信号59 (00)をθ=90
°に対応する受光量電気信号値として基準信号59(0
1)をθ=180’に対応する受光量電気信号値に調整
すれば、比較器59 (0)の出力60 (0) Fi
、90’+360’XM≦#≦360°K(M+1)、
(M二〇、1.2、−)にて定レベル出力を出し、全く
同様に比較659 (1)の出力60 (1)は、 180°+3go’xu≦θ≦360’X(M−fil
)、(M=0.1.2、−)にて定レベル出力を出す
。従って、出力60(1)をインバータ(反転)論理回
路60 (10)を通した出力と出力60 (0)の信
号とを入力した論理積回路60 (00)の出力60は
、 90°+3600XM≦θ≦180°+360°xM、
(M=0.1,2、−・・)にて定レベルを出すので
所望の回転角度検出が実現する。
上記実施例の回転角度検出器は、従来の回転角度検出器
の問題点を解消し、次のような優れた性質をもつ。
の問題点を解消し、次のような優れた性質をもつ。
(イ)、ロータリーリミットスイッチ型、パルスエンコ
゛−ダ型回転角度検出器のように、電気回路部品が回転
機械の回転軸付近の環境条件の悪いところには全く存在
せず、光ファイバとレンズなどの光学部品のみなので故
障が少ない。!!ItKカバー50を堅牢かう密閉性の
よいものにすれば、熱、水、ダストおよび振動に対して
非常に強いものとな抄、鉄鋼プラントなど現場環境条件
の悪い場所で従来城検出器が使えなかった場所にも使用
できる。
゛−ダ型回転角度検出器のように、電気回路部品が回転
機械の回転軸付近の環境条件の悪いところには全く存在
せず、光ファイバとレンズなどの光学部品のみなので故
障が少ない。!!ItKカバー50を堅牢かう密閉性の
よいものにすれば、熱、水、ダストおよび振動に対して
非常に強いものとな抄、鉄鋼プラントなど現場環境条件
の悪い場所で従来城検出器が使えなかった場所にも使用
できる。
(ロ)、ロータリーリミットスイッチ型では、ストライ
カ−でセットした角度しか検出できず、一度ストライカ
ーをセットしてしまうとその変更が繁雑であったが、本
実施例では、電気室内で信号処t&1部の調整のみでで
きる。具体的には第7図(a)にて、基準−信号5−’
9 (Of’) ; 59 (02)’、・・・などの
調整で簡単にしか啄どのような角度でも検出できる。
カ−でセットした角度しか検出できず、一度ストライカ
ーをセットしてしまうとその変更が繁雑であったが、本
実施例では、電気室内で信号処t&1部の調整のみでで
きる。具体的には第7図(a)にて、基準−信号5−’
9 (Of’) ; 59 (02)’、・・・などの
調整で簡単にしか啄どのような角度でも検出できる。
(・・)、パルス・エンコーダ型では、角度の絶体値は
開傘にri脅出できないが、本実施例では、角度の絶体
値が簡−に検出できる。即ち1本実施例の検出’d;i
nパルスエンコー“ダ型とロータリーリミットスイッチ
型を組み合わせた検出方式と同等の能力をもっている。
開傘にri脅出できないが、本実施例では、角度の絶体
値が簡−に検出できる。即ち1本実施例の検出’d;i
nパルスエンコー“ダ型とロータリーリミットスイッチ
型を組み合わせた検出方式と同等の能力をもっている。
また現場からの回転角度信号伝送が光という媒体を使っ
ているので、従来のパルスエンコーダ型で問題となった
ノイズの問題が全くなく、検出の精度、信頼性が高い。
ているので、従来のパルスエンコーダ型で問題となった
ノイズの問題が全くなく、検出の精度、信頼性が高い。
本発明に係る回転ディスクは上記実施例の#1かに種々
の形態をとり得る。第8図(a) t′i回転ディスク
70の符号化部71に半透明板を複数枚はり合わせ、こ
れによって回転ディスクに伴って光の透過率を第8図(
b)の如く階段状に変化させるようにしたものである。
の形態をとり得る。第8図(a) t′i回転ディスク
70の符号化部71に半透明板を複数枚はり合わせ、こ
れによって回転ディスクに伴って光の透過率を第8図(
b)の如く階段状に変化させるようにしたものである。
第8図(Q) Fi、上記実施例における回転ディスク
の回転角、即ち機械の回転軸の回転角度に対する受光部
の電気信号を示(7た吃のである。光透過率は、回転角
度θに関して単調増加(あるいは単一減少)であるなら
ば、第8図(b)のように階段状あるいは第6図(b)
の点線のように曲線状に変化する形態でもよい。以上は
回転ディスクの符号化部を半透明体とし光の減衰を利用
した例である−が、こ゛の符号化部を光学フィルタにて
構成し、その波長を利用した方式でもよい。第9図はこ
の場合の回転ディスク70の一例を示したものである。
の回転角、即ち機械の回転軸の回転角度に対する受光部
の電気信号を示(7た吃のである。光透過率は、回転角
度θに関して単調増加(あるいは単一減少)であるなら
ば、第8図(b)のように階段状あるいは第6図(b)
の点線のように曲線状に変化する形態でもよい。以上は
回転ディスクの符号化部を半透明体とし光の減衰を利用
した例である−が、こ゛の符号化部を光学フィルタにて
構成し、その波長を利用した方式でもよい。第9図はこ
の場合の回転ディスク70の一例を示したものである。
ディスク70の外周部を赤、赤紫、紫、育・・・等の可
視光フィルタ71’の組Off構成し、回転角に応じて
これらの部分を光が通過するときに成る波長の光だけを
選択的に透過させ、光電変換器57および信号処理器5
9で光の波長を分別して回転角度θを得る。更に第1O
図(a)に示す如く、回転ディスク70の外周部に従来
のパルスエンコーダ型と同じようなスリット9′を穿け
、投光器からの光の適所、通過の回数によって回転角を
検出することでもよい。これによって環境条件に強くノ
イズに対して影響を受けないパルスエンコーダ型回転角
度検出器が得られる。第10図(功はこの実施例におけ
る回転角度と受光部の電気信号との関係を示した本ので
ある。
視光フィルタ71’の組Off構成し、回転角に応じて
これらの部分を光が通過するときに成る波長の光だけを
選択的に透過させ、光電変換器57および信号処理器5
9で光の波長を分別して回転角度θを得る。更に第1O
図(a)に示す如く、回転ディスク70の外周部に従来
のパルスエンコーダ型と同じようなスリット9′を穿け
、投光器からの光の適所、通過の回数によって回転角を
検出することでもよい。これによって環境条件に強くノ
イズに対して影響を受けないパルスエンコーダ型回転角
度検出器が得られる。第10図(功はこの実施例におけ
る回転角度と受光部の電気信号との関係を示した本ので
ある。
次に、本願の第2の発明に係る直線移動変位検出装置の
実施例を図面をもとに説明する。
実施例を図面をもとに説明する。
811図は上記第2の本発明の一施例を示した研略的な
縦断面図である。直線運動機械1′の可動部例えばシリ
ンダ装置のピストン棒に長尺の位置符号化長板23が固
着され、この符号化長板を挾むように一対の光フアイバ
端固定器22.24が配置されている。第5図の回転角
度検出器の場合と同様に光フアイバ端固定器22.24
には、各各投光用光ファイバケーブル21および受光用
光フアイバケーブル25が接続され、これらの光7アイ
パケーブル21.25の他端は直線運動機械から遠く離
れた環境のよい電気室などに設置された光線発生器20
および光電変換器26に接続される。符号化長板23、
光フアイバ端固定器22.24および光フアイバケーブ
ル21.25の一部は、カバー30によって保鏝されて
いる。光電変換器26には信号処理器27が接続される
。
縦断面図である。直線運動機械1′の可動部例えばシリ
ンダ装置のピストン棒に長尺の位置符号化長板23が固
着され、この符号化長板を挾むように一対の光フアイバ
端固定器22.24が配置されている。第5図の回転角
度検出器の場合と同様に光フアイバ端固定器22.24
には、各各投光用光ファイバケーブル21および受光用
光フアイバケーブル25が接続され、これらの光7アイ
パケーブル21.25の他端は直線運動機械から遠く離
れた環境のよい電気室などに設置された光線発生器20
および光電変換器26に接続される。符号化長板23、
光フアイバ端固定器22.24および光フアイバケーブ
ル21.25の一部は、カバー30によって保鏝されて
いる。光電変換器26には信号処理器27が接続される
。
符号化長板23Fi、その長手方向に光の透過量あるい
は異なる波長の光を通過させこれによって符号化された
信号光を得るように構成された坂である。その具体的な
構成は第6図(&)、!s8図(a)、第9図あるいは
第10図(IL) K関して述べたものと同様でよい。
は異なる波長の光を通過させこれによって符号化された
信号光を得るように構成された坂である。その具体的な
構成は第6図(&)、!s8図(a)、第9図あるいは
第10図(IL) K関して述べたものと同様でよい。
第12図(IL) t:を光の透過率を連続的に変化さ
せるようにした例、第13図は可視光による光フィルタ
で長手方向0位置により成る波長の光だけを選択的に通
過させるようにした例である。
せるようにした例、第13図は可視光による光フィルタ
で長手方向0位置により成る波長の光だけを選択的に通
過させるようにした例である。
この場合、各色のフィルタをはり合わせて光色フィルタ
として作成してもよい。なお、符号化長板は、光の通過
する部分のみ透過率が変化すればよいので、鉄板の外枠
に透過板あるいはフィルタ板をスリット状に取り付けて
作成してもよい。
として作成してもよい。なお、符号化長板は、光の通過
する部分のみ透過率が変化すればよいので、鉄板の外枠
に透過板あるいはフィルタ板をスリット状に取り付けて
作成してもよい。
この実施例で機械の直線運動変位を検出する動作は前述
した回転角度検出の場合とほぼ同様である。まず、光線
発生器20にて発生した光は、光ファイバ21から符号
化長板23を経て光ファイバ25へと伝播し、符号化長
板23を通過するときに機械l′の直線運動位置によっ
て光の強度に変化が与えられる。このように光強度に位
置の情報が与えられた光線が元ファイバ25を通って光
電変換器26に受光され、光から電気信号に変換され番
。第12図(→の実線の如く符−号化長板の通過光の強
度によって光電変換器26で線型に出力電圧が変化する
ものであればその出力電圧をそのまi変位検出出力28
として出力すれば機械l′の直線位置出力となるし、同
図(功の点線の如く非線型であっても信号処理器27に
よって補正すれば機械1′の直線位置出力28を作るこ
とは可能である。
した回転角度検出の場合とほぼ同様である。まず、光線
発生器20にて発生した光は、光ファイバ21から符号
化長板23を経て光ファイバ25へと伝播し、符号化長
板23を通過するときに機械l′の直線運動位置によっ
て光の強度に変化が与えられる。このように光強度に位
置の情報が与えられた光線が元ファイバ25を通って光
電変換器26に受光され、光から電気信号に変換され番
。第12図(→の実線の如く符−号化長板の通過光の強
度によって光電変換器26で線型に出力電圧が変化する
ものであればその出力電圧をそのまi変位検出出力28
として出力すれば機械l′の直線位置出力となるし、同
図(功の点線の如く非線型であっても信号処理器27に
よって補正すれば機械1′の直線位置出力28を作るこ
とは可能である。
出力28i;i直線運動機械の自動制御回路(図示省略
)に入力される。
)に入力される。
本実施例の検出器はカバー30の内部の光フアイバ端固
定器22,24、符号化長板23などは光学部品のみな
ので従来の電気部品よりも熱に強く、その温度が変化し
ても特性の変動がない。更に直線運動機械の位置を検知
し伝播する信号が光信号なので従来のような電気的ノイ
ズの問題がなく極めて信頼性が高い。
定器22,24、符号化長板23などは光学部品のみな
ので従来の電気部品よりも熱に強く、その温度が変化し
ても特性の変動がない。更に直線運動機械の位置を検知
し伝播する信号が光信号なので従来のような電気的ノイ
ズの問題がなく極めて信頼性が高い。
本発明の装置は一般の回転機械あるいは直線運動機械す
べて、に適用できる。特に、ガソリンエンジンのような
内燃機関においては回転角度をカム機構などで一械的に
検出しているが、本発明を適用すればカムなどの機構を
使わずに点火、弁制御カテキる。また、レシプロエンジ
ンにて本発明の直線運動変位検出器をエンシソのシリン
ダ部Kj[り付けてピストンのレシプロ運動を検出させ
ること4できる。これはマイクロコンピュータなどでガ
ソリンエンジンを自動制御する場合′などにおいて有効
なセンサである。
べて、に適用できる。特に、ガソリンエンジンのような
内燃機関においては回転角度をカム機構などで一械的に
検出しているが、本発明を適用すればカムなどの機構を
使わずに点火、弁制御カテキる。また、レシプロエンジ
ンにて本発明の直線運動変位検出器をエンシソのシリン
ダ部Kj[り付けてピストンのレシプロ運動を検出させ
ること4できる。これはマイクロコンピュータなどでガ
ソリンエンジンを自動制御する場合′などにおいて有効
なセンサである。
なお、−F記の実施例では光の透過率の変化あるいは通
過光の波長を利用したが、本発明はこれらに@定されず
、回転ディスクあるいは符号化長板で投射光が反射し、
この反射光の強度あるいは波長を利用することでもよい
。このような態様も本発明に含まれる本のである。
過光の波長を利用したが、本発明はこれらに@定されず
、回転ディスクあるいは符号化長板で投射光が反射し、
この反射光の強度あるいは波長を利用することでもよい
。このような態様も本発明に含まれる本のである。
第1図は従来の回転角度検出器を備えた回転機械および
その駆動機構の斜視図、第2図(IL)は従来のo−タ
リーリミットスイッチ型回転角度検出器の縦断面図、@
2図(功は第2図(a)の筐体を除去した状態における
正面図、1s3図(→は従来のパルスエンコーダ型回転
角度検出器の縦断面図、第3図(呻は第3図(→の筐体
を除去した状態における概略的な正面図、第4図は従来
の連続直線運動位置検出器の概略的な側面図、第5図は
本発明の実施例に係る回転変位検出装置の縦断面図、第
6図(りは本発明に係る回転ディスクの一例を示したI
a面図。 第6図(りは回転ディスクの回転角度と符号化部におけ
る光透過率との関係を示した図、36図(C)は回転角
度と受光部の電気信号との関係を示した図、第7図(!
L)は本発明に係る信号処理部の回路構成を示した図、
第7図(功は回転角度と信号処理部の入力および出力と
の関係を示した図、第8図(a)Fi本発明の他の実施
例に係る回転ディスクの端面図、第8図<りは第8図(
IL)の回転ディスクを用いた場合の回転角度と光透過
率との関係を示した図、Hs図(C)は第8図(→の回
転ディスクを用いた場合の回転角度と出力電気信号との
関係を示した図、第9図は本発明の他の実施例に係る回
転ディスクの端面図、第10図(&)は本発明のさらに
他の実施例に係る回転ディスクの端面図、第1θ図(り
は第10図(→の回転ディスクによる回転角度と出力電
気信号との開俵を示し九図s !i 1図は本発明に係
る直線移動変位検出装置の概略的な側面図、QXZ図(
IL)は本発明に係る符号化長板の一例を示した図、第
12図(→は本発明を適用した場合の可動部の直線移動
位置と符号化長板の光透過率との関係を示した図、第1
3図は本発明に係る符号化長板の他の例を示した図であ
る。 l・・・回転機械、 1′・・・直線運動機械、
5・・・回転軸、 20.51・・・光線発
生器、21.52・・・投光用光)6アイバケーブル、
22.24.53.55・・・光フアイバ端固定器、2
3・・・符号化長板、 25.5g・・・受光用光フアイバケーブル、26.5
7・・・光電変換器、 27.59・・・信号処理器、 28.60・・・電気信号出力。 70・・・回転ディスク% 71・・・符号化部。 代理人 弁理士 染 、川 利 吉第1図 □θ(0) 0 90 180 270
360回転角度 悄7図(a) 9 第7図(b) 90 180 450540 θ(0
)第8図(b) 回転角度θ 回転角度θ 第9図 第10図(0) 回転角度θ 第11図 第12図(o) 第12図(b)1′ 直線移動位置 第13図
その駆動機構の斜視図、第2図(IL)は従来のo−タ
リーリミットスイッチ型回転角度検出器の縦断面図、@
2図(功は第2図(a)の筐体を除去した状態における
正面図、1s3図(→は従来のパルスエンコーダ型回転
角度検出器の縦断面図、第3図(呻は第3図(→の筐体
を除去した状態における概略的な正面図、第4図は従来
の連続直線運動位置検出器の概略的な側面図、第5図は
本発明の実施例に係る回転変位検出装置の縦断面図、第
6図(りは本発明に係る回転ディスクの一例を示したI
a面図。 第6図(りは回転ディスクの回転角度と符号化部におけ
る光透過率との関係を示した図、36図(C)は回転角
度と受光部の電気信号との関係を示した図、第7図(!
L)は本発明に係る信号処理部の回路構成を示した図、
第7図(功は回転角度と信号処理部の入力および出力と
の関係を示した図、第8図(a)Fi本発明の他の実施
例に係る回転ディスクの端面図、第8図<りは第8図(
IL)の回転ディスクを用いた場合の回転角度と光透過
率との関係を示した図、Hs図(C)は第8図(→の回
転ディスクを用いた場合の回転角度と出力電気信号との
関係を示した図、第9図は本発明の他の実施例に係る回
転ディスクの端面図、第10図(&)は本発明のさらに
他の実施例に係る回転ディスクの端面図、第1θ図(り
は第10図(→の回転ディスクによる回転角度と出力電
気信号との開俵を示し九図s !i 1図は本発明に係
る直線移動変位検出装置の概略的な側面図、QXZ図(
IL)は本発明に係る符号化長板の一例を示した図、第
12図(→は本発明を適用した場合の可動部の直線移動
位置と符号化長板の光透過率との関係を示した図、第1
3図は本発明に係る符号化長板の他の例を示した図であ
る。 l・・・回転機械、 1′・・・直線運動機械、
5・・・回転軸、 20.51・・・光線発
生器、21.52・・・投光用光)6アイバケーブル、
22.24.53.55・・・光フアイバ端固定器、2
3・・・符号化長板、 25.5g・・・受光用光フアイバケーブル、26.5
7・・・光電変換器、 27.59・・・信号処理器、 28.60・・・電気信号出力。 70・・・回転ディスク% 71・・・符号化部。 代理人 弁理士 染 、川 利 吉第1図 □θ(0) 0 90 180 270
360回転角度 悄7図(a) 9 第7図(b) 90 180 450540 θ(0
)第8図(b) 回転角度θ 回転角度θ 第9図 第10図(0) 回転角度θ 第11図 第12図(o) 第12図(b)1′ 直線移動位置 第13図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 !1’) 機械の可動部分に連結された符号化板に光
を投射して該符号化板を経由した光の変位を電気信号の
変化として取り出すようにした変位検出器において、回
転軸に固着されかつ外局に光信号の符号化処理がなきれ
た符号化円板と、前記符号化円板に投光用光ファイバを
通して投光する投光装置と、前記投光用光ファイバから
の光を前記符号化円板を介してかつ受光用光ファイバを
通して受光し電気信号として出力する光電変換装置と、
前記光電変換装置からの電気信号を前記回転軸の回転角
度信号に変換する信号処理装置とを有することを特徴と
する回転変位検出装置。 (2)機械の可動部分に連結された符号化板に光を投射
し該符号化板を経由した光の変化を電気信号の変化とし
て取り出すようにした変位検出器において、機械の直線
運動部分に固着されかう長手方向に沿って光信号の符号
化処理がなされた符号化長板と、前記符号化長板に投光
用光ファイバを通して投光する投光装置と、前記投光用
光ファイバからの光を前記符号化長板を介してかつ受光
用光7アイパを通して受光し電気信号として出力する光
電変換装置と、前記光電・変換装置からの電気信号を前
記直線運動部分の直線変位信号に変換す′る信号処理装
置とを有することを特徴とする*m移動変位検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15599781A JPS5855802A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 回転変位並びに直線移動変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15599781A JPS5855802A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 回転変位並びに直線移動変位検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5855802A true JPS5855802A (ja) | 1983-04-02 |
Family
ID=15618081
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15599781A Pending JPS5855802A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 回転変位並びに直線移動変位検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5855802A (ja) |
Cited By (9)
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-
1981
- 1981-09-30 JP JP15599781A patent/JPS5855802A/ja active Pending
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