JPH04359116A - 位置検出装置 - Google Patents

位置検出装置

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Publication number
JPH04359116A
JPH04359116A JP15940491A JP15940491A JPH04359116A JP H04359116 A JPH04359116 A JP H04359116A JP 15940491 A JP15940491 A JP 15940491A JP 15940491 A JP15940491 A JP 15940491A JP H04359116 A JPH04359116 A JP H04359116A
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JP
Japan
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light
code
code band
fiber cable
band
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Pending
Application number
JP15940491A
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English (en)
Inventor
Akira Kobayashi
小林 公
Hirotaka Kumada
熊田 博孝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Honda Motor Co Ltd
Original Assignee
Honda Motor Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は位置検出装置に関し、特
に、厳しい環境下で使用される回転体の回転数や回転角
、ならびに直線運動物体の移動速度や移動量等を検出す
るための位置検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、回転角やリフト量を検出するセン
サとしてフォトエンコーダが知られている。図6は回転
角を検出するのに使用されるフォトエンコーダの一例を
示す要部断面図であり、図7は図6におけるA−A矢視
図である。
【0003】図6および図7において、ケーシング1の
内部には軸受2および3で回転自在に支持された軸4が
設けられている。この軸4の中間部には回転符号板5が
固定されている。ケーシング1の内壁の一つの面には発
光素子6a,6bが取付けられ、この取付面と対向する
面の、前記発光素子6a,6bのそれぞれと対向する位
置には受光素子7a,7bが取付けられている。
【0004】さらに、発光素子6a,6bおよび受光素
子7a,7bの間には、前記回転符号板5に加えて、ブ
ラケット16によって取付けられた固定符号板14,1
5が配置されている。なお、固定符号板14には受光素
子7aが対向し,固定符号板15には発光素子7bが対
向するようにそれぞれ位置調整されて取付けられている
【0005】図7に示したように、回転符号板5の周縁
部全域には多数個のスリット5aが等角度間隔で穿設さ
れている(なお、スリットは図が繁雑になるのをさける
ため一部分のみ示している)。この多数のスリット5a
の互いの間隔は、被検出体である回転体の回転角度や回
転数の要求検出精度に応じて任意に設定される。前記軸
4には位置検出の被検出体であるスロットル軸等の回転
体(図示せず)が結合される。
【0006】さらに、固定符号板14,15の前記回転
符号としてのスリット5aと対向する位置に、同様のス
リット14a,15aが固定符号として穿設されている
。なお、前記固定符号板14,15の取付間隔は、受光
素子7a,7bによる受光信号の出力位相が、例えば9
0°だけずれるように位置調整して取付けられる。すな
わち、スリット5aおよびスリット14aが符合して発
光素子6aから出た光がスリット5a,14aを通過し
て受光素子7aで受光されるタイミングでは、スリット
5aとスリット15aがずれていて、発光素子6bから
出た光は受光素子7bで受光されないように位置調整し
てある。
【0007】以上の構成によって、前記回転体つまりス
ロットル軸等の回転位置を検出するためには、発光素子
6a,6bを付勢し、それらの光を受光素子7a,7b
で受光するようにする。前記回転体が回転すると、受光
素子7aおよび7bはそれぞれに対応するスリットが合
致して一直線上に並んだときに発光素子6a,6bの光
をそれぞれ受光して検出信号(パルス)を出力する。す
なわち、前記各スリットはパルス発生用の符号となって
いる。受光素子7a,7bの検出信号は図示しない制御
装置に転送され、この制御装置では前記パルスの数に基
づいて回転符号板5すなわち回転体の回転角や回転数が
演算される。
【0008】なお、受光素子7a,7bから出力される
位相のずれた2種類のパルス信号を検出信号としている
ので、その位相のずれの方向によって回転体の回転方向
を判断できる。また、回転の基準を判定するためスリッ
ト5aに対する回転符号板の内周側には基準位置を示す
スリット5bが追加されることがある。このスリット5
bを形成したときには、発光素子および受光素子をさら
に一対追加することになる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の位置検
出装置には、次のような問題点があった。すなわち、位
置検出装置は非常に厳しい環境下で使用されることがあ
る。例えば位置検出装置が自動車の回転体の位置検出に
使用されるような場合には、エンジンの熱の影響などで
高温にさらされることがある。
【0010】ところで、前記発光素子6a,6bや受光
素子7a,7bとしては、発光ダイオードやフォトトラ
ンジスタなどの半導体素子が使用されることが多く、こ
れらの半導体素子は高温において十分な性能を発揮しな
いという欠点がある。したがって、これらの素子を使用
した位置検出装置の使用可能温度は、素子の温度特性に
依存して狭い範囲に制限されるという問題点があった。
【0011】本発明の目的は、前述の問題点を解決し、
厳しい環境下で使用される移動物体の移動量を検出でき
る位置検出装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】前記の問題点を解決する
ために、本発明は、被検出体と一体的に変位するように
設けられ、この被検出体の変位方向に予定間隔で配列さ
れたスリットからなる変位符号帯と、前記変位符号帯に
隣接して配置され、前記スリットの配列間隔と同一間隔
で前記変位方向に配列されたスリットからなる複数の固
定符号帯と、共通光路を経て進入した光を複数光路に分
散させ、反対にその複数光路から進入した光を前記共通
光路に収束させる手段、および前記複数光路のそれぞれ
を進行する光の波長帯域を相互に異ならせる手段を含み
、かつ前記各複数光路上に前記変位符号帯、および前記
複数の固定符号帯のうちの予定された1つが位置するよ
うに配置された光学系と、前記変位符号帯および固定符
号帯を通過して入射した光をその入射方向に反射する光
反射手段と、光ファイバーケーブルと、前記光ファイバ
ーケーブルに光を入射する発光部と、前記光ファイバー
ケーブルから出て前記光学系に入射され、前記光反射手
段で反射された後、光ファイバーケーブルを通って戻っ
てきた光を前記波長帯域の異なる光毎に受光する受光部
とを具備し、前記各固定符号帯と前記変位符号帯とはそ
れぞれが同時には符合することがないように各固定符号
帯の位置を設定した点に第1の特徴がある。
【0013】また、本発明は、被検出体の変位方向に光
反射部および光吸収部が交互に配された第1符号帯と、
前記第1符号帯に隣接して配置され、前記光反射部およ
び光吸収部の配列間隔と同一間隔で前記変位方向に配列
されたスリットからなる第2符号帯と、共通光路を経て
進入した光を複数光路に分散させ、反対にその複数光路
から進入した光を前記共通光路に収束させる手段、およ
び前記複数光路のそれぞれを進行する光の波長帯域を相
互に異ならせる手段を含み、かつ前記共通光路から複数
光路に進入した光が前記第2符号帯を通過した後に前記
第1符号帯に照射されるように前記第2符号帯に隣接し
て配置された光学系と、前記第2符号帯および第1符号
帯を通過して入射した光をその入射方向に反射する光反
射手段と、光ファイバーケーブルと、前記光ファイバー
ケーブルに光を入射する発光部と、前記光ファイバーケ
ーブルから出て前記光学系に入射され、前記光反射手段
で反射された後、光ファイバーケーブルを通って戻って
きた光を前記波長帯域の異なる光毎に受光する受光部と
を具備し、前記第1符号帯および第2符号帯のいずれか
一方を被検出体に固定し、かつ前記第1符号帯および第
2符号帯のうち被検出体に固定されない方は、前記被検
出体の変位方向に複数に分離され、その分離された各符
号帯と被検出体に固定された符号帯とはそれぞれが同時
には符合することがないように各符号帯の位置を設定し
た点に第2の特徴がある。
【0014】
【作用】前記第1の特徴を有する本発明では、被検出手
段の変位に伴って変位符号帯が変位する。その結果、変
位符号帯および固定符号帯が符合すると、光ファイバー
ケーブルの先端から放出され、光学系によって複数光路
に分けられた光が、変位符号帯および固定符号帯のスリ
ットを通過する。そうして、前記変位符号帯および固定
符号帯のスリットを通過した複数の光は前記変位符号帯
および固定符号帯の背後に配置された光反射手段に照射
され、その反射光が共通の光路である光ファイバーケー
ブルを通過して受光部で受光される。
【0015】前記複数光路のそれぞれを進行する光の波
長帯域は相互に異なり、受光部では、この波長帯域の異
なる複数の光を各波長帯域毎に受光するようにしている
。この受光部においては、前記変位符号帯および固定符
号帯が符合したときにのみ受光信号が検出される。これ
に対し、前記変位符号帯および固定符号帯が符合しない
ときは光ファイバーケーブルの先端から放出された光は
、光反射手段に照射されず、したがって受光部は反射光
を検出しない。
【0016】すなわち、被検出体の変位に伴ってスリッ
トの符合・非符合が交互に繰返され、これに応じて受光
手段の出力信号は高低に変化する。この高低に変化する
信号を適宜のパルス整形手段で整形してパルス信号とし
て取出せば、このパルス数に基づいて被検出体の変位量
を算出することができる。
【0017】また、第2の特徴を有する本発明では、第
1および第2符号帯のいずれか被検出体に固定された方
が変位して、第1符号帯の光反射部と前記第2符号帯の
スリットとが符合すると、光ファイバーケーブルの先端
から放出された光が、第2符号帯のスリットを通過して
第1符号帯の光反射部に照射される。そして、そこで反
射された光は反対方向に進み、第2符号帯のスリットを
通過した後、光ファイバーケーブルを通過して受光手段
で受光される。一方、前記スリットと光反射部が符合し
ないときは光ファイバーケーブルの先端から放出された
光は、前記光吸収部で吸収され、したがって受光手段は
反射光を検出しない。受光手段で検出された光は、第1
の特徴を有する本発明と同様に処理され、被検出体の変
位量が算出される。なお、第1の特徴を有する本発明と
同様、受光手段では予定の波長領域毎に光を分けて受光
する。
【0018】このように、本発明では、光ファイバーケ
ーブルを通過してきた光を予定の波長領域毎に分けて受
光するようにしてあるので、光反射手段または光反射部
で反射された波長の異なる複数系統の信号を1本の光フ
ァイバーケーブルによって検出できる。
【0019】そして、上述のように、一対の光ファイバ
ーケーブルのそれぞれに対応する第1および第2符号帯
のうち被検出体に固定されない方(つまり第1の特徴を
有する本発明では固定符号帯)の符号は複数に分離され
、かつ分離されたおのおのの符号と分離されない符号は
同時には符合しないように位置調整されているので複数
系統の信号は互いに位相がずれるようになる。したがっ
てこの位相のずれ方向に基づいて例えば被検出体の変位
方向を判断できる。
【0020】また、発光素子および受光素子は、光ファ
イバーケーブルを介して被検出体から離れた位置に設け
ることができるので、発光素子および受光素子の特性が
被検出体の設置位置の環境に左右されない。
【0021】
【実施例】以下に図面を参照して、本発明を詳細に説明
する。図1は本発明の第1実施例を示す検出装置の正面
断面図、図2は図1のB−B断面図、図3は同C−C断
面図であり、図6,図7と同符号は同一または同等部分
である。
【0022】図1〜図3において、軸4に固定された回
転符号板5には、変位符号帯としてのスリット5aがそ
の周縁全域に設けられている(図示は一部省略)。一方
、固定符号帯としてのスリット17a,17bを有する
固定符号板17が前記回転符号板5に隣接して配置され
、ケーシング1に固定されている。
【0023】ケーシング1の1つの壁面には、その先端
がケーシング1の内部に突出した光ファイバーケーブル
8が固定されている。この光ファイバーケーブル8の取
付位置は、その端面がそれぞれ前記固定符号板17に設
けられたスリット17a,17Bのいずれか一方に対応
するように設定される。
【0024】前記固定符号板17の背後つまり前記光フ
ァイバーケーブル8とは反対側のケーシング1の壁面に
はミラー12が貼付けられている。また、回転符号板5
の前面つまり前記光ファイバーケーブル8側には、前記
回転符号板5のスリット5aを挟んで前記固定符号板1
7のスリット17a,17bにそれぞれ対向するフィル
タ18,19が配置されている。このフィルタ18およ
び19は、そこを透過する光の波長帯域が互いにずれる
ように、それぞれのフィルタ特性が調整されている。
【0025】さらにフィルタ18の前面にはハーフミラ
ー(半鍍銀面)11が配置され、フィルタ19の前面に
は反射ミラー24が配置されている。前記ハーフミラー
11,反射ミラー24は互いの面が平行になるように配
置され、かつ前記光ファイバーケーブル8から出る光の
光軸に対して45°傾斜して配置されている。前記フィ
ルタ18および19ならびにハーフミラー11および反
射ミラー24は、ブラケット22によってケーシング1
の円周方向内壁に固定される。
【0026】このような構成により、光ファイバーケー
ブル8から出た光がハーフミラー11に照射されると、
その一部はハーフミラー11を透過し、残りはハーフミ
ラー11で反射・方向変換され、さらに反射ミラー24
で反射・方向変換される。
【0027】軸4が回転してスリット5aと17aとが
一致したとき、ハーフミラー11を透過した光はフィル
タ18、スリット5a、スリット17aを通過してミラ
ー12に至る。そして、そこで反射され、元の経路を経
て光ファイバーケーブル8に入射する。これに対して、
スリット5aと17bとが一致したときは、ハーフミラ
ー11および反射ミラー24で反射されて方向変換され
た光が、フィルタ19、スリット5aならびにスリット
17bを通過してミラー12に至る。
【0028】一方、光ファイバーケーブル8の他方の端
面は、当該検出装置の制御部である電子制御装置の壁面
9に固定される。電子制御部の内面にはセンサボックス
10が取付けられ、このセンサボックス10には発光素
子6および受光素子7a,7bが取付けられている。発
光素子7aは、そこで発生した光がハーフミラー22,
23を透過して光ファイバーケーブル8に入射するよう
に配置される。発光素子6と光ファイバーケーブル8と
の間の、この発光素子6と光ファイバーケーブル8を結
ぶ光軸上には、この光軸に対して45°傾斜させた状態
でハーフミラー22,23が配置されている。
【0029】また、受光素子7a,7bは、前記ハーフ
ミラー22,23の反射面側に配置され、光ファイバー
ケーブル8を通過してきた光がこのハーフミラー22,
23で反射されて方向変換された後に入射されるように
なっている。
【0030】前記受光素子7a,7bの前面には、フィ
ルタ20,21が設けられている。このフィルタ20,
21は、受光素子7a,7bに入射する光の波長を制限
するもので、その透過波長帯域が、それぞれフィルタ2
0は前記フィルタ18と、フィルタ21はフィルタ19
とほぼ同一になるように設定されている。したがって、
発光素子6を出てスリット17aを通過し、ミラー12
で反射されて戻ってきた光は、途中でフィルタ18を透
過しているので、このフィルタ18と同一の透過波長帯
域を有するフィルタ20を透過して受光素子7aで受光
される。これに対し、スリット17bを通過して戻って
きた光はフィルタ21を透過して受光素子7bで受光さ
れる。
【0031】なお、前記固定符号板17の位置は上述の
ようには限定されず、固定符号板17を光ファイバーケ
ーブル8側つまり回転符号板5の前面に配置して、各ス
リットを光が通過する順序を変えてもよい。また、図示
のように固定符号板17を回転符号板5の背後に配置し
た場合には、ミラー12と固定符号板17との間隔をあ
けることなく、ミラー12を固定符号板17の裏面に貼
付けるようにしてもよい。
【0032】さらに、固定符号板17を2枚の板で別々
に形成し、それぞれの板にスリット17a,17bを分
けて穿設するようにしてもよい。要は、この2組のスリ
ット17a,17bが、軸4の回転によって回転符号板
5のスリット5aと同時に符合することがないように位
置調整して設定してあればよい。
【0033】以上の構成によって受光素子7a,7bで
検出された受光信号の例を図5に示す。同図に示したよ
うに、前記固定符号板17のスリット17a,17bは
、同時には回転符号板5のスリット5aと一致すること
はないので受光素子7a,7bからの検出信号は交互に
出力される。つまり位相がずれた出力信号が得られる。 回転軸4の回転方向を点Rで反転させると、受光素子7
a,7bの出力信号の位相のずれの方向が変化するため
、このずれの方向に基づいて回転軸4の回転方向つまり
被検出体の変位方向を判定することができる。
【0034】前記各スリットが一致したか否かによって
高低に変化する受光素子7a,7bの出力信号に対し、
適宜のしきい値に従ってパルス整形処理を施する。そし
て、そのパルス信号の立上がりまたは立下がりを検出し
、その検出結果と予め分かっているスリットの間隔とに
基づいて回転符号板5の回転数や回転角度を算出するこ
とができる。
【0035】次に、本発明の第2実施例について説明す
る。図4は本発明の第2実施例を示す検出装置の断面図
であり、図1〜図3と同符号は同一または同等部分を示
す。
【0036】同図において、回転符号板5は第1実施例
のものと同等であり、その周縁部全域に亘って等角度間
隔でスリットが穿設されている。一方、ケーシング1の
内壁の、前記回転符号板5のスリット5aに対応する位
置には固定符号板12aが貼付けられている。固定符号
板12aには光反射部と吸収部とが前記回転符号板5の
スリットと同間隔を有して交互に縞をなすように形成さ
れている。すなわち、図3に示した固定符号板17のス
リットに相当する部分を光反射部とし、固定符号板17
の残りに相当する部分を光吸収部として形成する。この
縞は、例えばガラスまたは光沢仕上げされた金属に光を
反射しないような黒色系の塗装を施し、前記スリットに
相当する部分の塗膜を剥離させて形成する。この固定符
号板12aに形成された縞は、図3に示したスリット1
7a,17bと同様、光ファイバーケーブル8から出て
ハーフミラー11で2つに分けられた光が前記回転符号
板5のスリット5aを通過して照射されるように、それ
ぞれの光に対応するように2つ配置されている。そして
、この2つの縞はそれぞれ異なるタイミングにおいて前
記回転符号板5のスリット5aと一致するように位置調
整して形成されている。
【0037】このような構成によって軸4が回転し、回
転符号板5のスリット5aが、固定符号板12aに施さ
れた縞の光反射部と一致すると、光ファイバーケーブル
8から出力された光は、スリット5aを通過して前記縞
の光反射部に照射される。上述のように前記2つの縞に
は同時に光が照射されることはないので、ハーフミラー
11で2つに分けられ、前記スリット5aを通過して前
記縞の光反射部に照射された光は、それぞれ異なるタイ
ミングで光ファイバーケーブル8を戻り、受光素子7a
,7bで検出される。他方、前記回転符号板5のスリッ
トを通過した光が前記光吸収部に照射されたときは受光
素子7a,7bでは光が検出されない。
【0038】こうして、スリット5aと固定符号板12
aの反射部との一致・不一致に応じて受光素子7a,7
bの出力レベルは高低に変化し、第1実施例に関して説
明したのと同様にしてパルス信号を取り出すことができ
る。
【0039】この第2実施例の変形例として、回転符号
板5の周囲に光反射部と光吸収部とを交互に配した縞を
形成し、この回転符号板5の前方つまり光ファイバーケ
ーブル側に、この縞の間隔と同間隔でスリットを設けた
固定符号板を配するようにしてもよい。このようにした
変形例では、光ファイバーケーブル8から放出された光
は固定符号板を通過した後、回転符号板5に至る。そし
て、その光が回転符号板5の光反射部に照射された場合
は受光素子7a,7bで光が検出され、光吸収部に照射
された場合は受光素子7a,7bで光が検出されない。 なお、本実施例において示したハーフミラー11を、コ
ールドミラー、ホットミラーなどの2色性ミラー(ダイ
クロイックミラー)に変えることによってフィルタ18
,19を省略できる。すなわち、ダイクロイックミラー
では特定の波長の光を透過し、その他の光を反射するこ
とができるので、前記ハーフミラー11とフィルタ18
,19の機能の双方を果たせる。同様に、ハーフミラー
11の代わりにプリズムを使用して、共通の光路から進
入した光を波長帯域の異なる複数光路に分け、その光を
反射ミラー等の光学手段で所望のスリットや縞などの符
号帯に導くようにしてもよい。また、受光素子7a,7
bの帯域感度を調整することによっても、この受光素子
7a,7bに入射する光の帯域を制限することはできる
【0040】また、本実施例においては、被検出物が回
転体である場合を示したが、本発明はこのような回転体
の位置や移動量の検出だけでなく、直線運動する移動体
の位置や移動量を検出する検出装置にも適用できる。そ
の場合には、前記光の反射面や吸収面ならびにスリット
の配列方向を移動体の移動方向に合わせて直線状にすれ
ばよい。
【0041】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、次のような効果が得られる。 (1)被検出体と検出センサの構成要素である発光素子
および受光素子などの半導体素子とを離れた場所に設置
できる。したがって、例えば被検出体が自動車のエンジ
ン近くにある回転体などのように、その場所が高温にな
りやすい場合でも、前記半導体素子は温度の影響を受け
ることがない。 (2)被検出体のそばに半導体素子やこれらを取付ける
回路基盤を設ける必要がなくなるので、被検出体の周囲
に空間が少ないような場合にも、この被検出体の位置検
出を行うことができる。 (3)電気信号線を介さずに被検出体の位置の検出結果
を電子制御装置に導くことができるので、ノイズの影響
を受けにくい。 (4)1本の光ファイバーケーブルで複数の位置検出信
号を検出できるので、経済的であり、スペースの有効利
用も図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】  本発明の第1実施例を示す位置検出装置の
正面断面図である。
【図2】  本発明の第1実施例を示す位置検出装置の
B−B矢視図である。
【図3】  本発明の第1実施例を示す位置検出装置の
C−C矢視図である。
【図4】  本発明の第2実施例を示す位置検出装置の
正面断面図である。
【図5】  受光素子の出力信号を示す波形図である。
【図6】  従来の位置検出装置を示す断面図である。
【図7】  回転符号板の形状を示す図6のA−A矢視
図である。
【符号の説明】
4…軸、  5…回転符号板、  5a,17a,17
b…スリット、  6…発光素子、  7a,7b…受
光素子、  8…光ファイバーケーブル、  11,2
2,23…ハーフミラー、  12…ミラー、  12
a,17…固定符号板、  18,19,20,21…
フィルタ、  24…反射ミラー

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  受光素子で検出された光の検出レベル
    の変化に基づいて移動体の位置を検出する位置検出装置
    において、被検出体と一体的に変位するように設けられ
    、この被検出体の変位方向に予定間隔で配列されたスリ
    ットからなる変位符号帯と、前記変位符号帯に隣接して
    配置され、前記スリットの配列間隔と同一間隔で前記変
    位方向に配列されたスリットからなる複数の固定符号帯
    と、共通光路を経て進入した光を複数光路に分散させ、
    反対にその複数光路から進入した光を前記共通光路に収
    束させる手段、および前記複数光路のそれぞれを進行す
    る光の波長帯域を相互に異ならせる手段を含み、かつ前
    記各複数光路上に前記変位符号帯、および前記複数の固
    定符号帯のうちの予定された1つが位置するように配置
    された光学系と、前記変位符号帯および固定符号帯を通
    過して入射した光をその入射方向に反射する光反射手段
    と、光ファイバーケーブルと、前記光ファイバーケーブ
    ルに光を入射する発光部と、前記光ファイバーケーブル
    から出て前記光学系に入射され、前記光反射手段で反射
    された後、光ファイバーケーブルを通って戻ってきた光
    を前記波長帯域の異なる光毎に受光する受光部とを具備
    し、前記各固定符号帯と前記変位符号帯とはそれぞれが
    同時には符合することがないように各固定符号帯の位置
    を設定したことを特徴とする位置検出装置。
  2. 【請求項2】  受光素子で検出された光の検出レベル
    の変化に基づいて移動体の位置を検出する位置検出装置
    において、被検出体の変位方向に光反射部および光吸収
    部が交互に配された第1符号帯と、  前記第1符号帯
    に隣接して配置され、前記光反射部および光吸収部の配
    列間隔と同一間隔で前記変位方向に配列されたスリット
    からなる第2符号帯と、共通光路を経て進入した光を複
    数光路に分散させ、反対にその複数光路から進入した光
    を前記共通光路に収束させる手段、および前記複数光路
    のそれぞれを進行する光の波長帯域を相互に異ならせる
    手段を含み、かつ前記共通光路から複数光路に進入した
    光が、前記第2符号帯を通過した後に前記第1符号帯に
    照射されるように前記第2符号帯に隣接して配置された
    光学系と、前記第2符号帯および第1符号帯を通過して
    入射した光をその入射方向に反射する光反射手段と、光
    ファイバーケーブルと、前記光ファイバーケーブルに光
    を入射する発光部と、前記光ファイバーケーブルから前
    記光学系に入射され、前記光反射手段で反射された後、
    光ファイバーケーブルを通って戻ってきた光を、前記波
    長帯域の異なる光毎に受光する受光部とを具備し、前記
    第1符号帯および第2符号帯のいずれか一方を被検出体
    に固定し、かつ前記第1符号帯および第2符号帯のうち
    被検出体に固定されない方は、前記被検出体の変位方向
    に複数に分離され、その分離された各符号帯と被検出体
    に固定された符号帯とはそれぞれが同時には符合するこ
    とがないように各符号帯の位置を設定したことを特徴と
    する位置検出装置。
  3. 【請求項3】  共通光路を経て進入した光を複数光路
    に分散させ、反対にその複数光路から進入した光を前記
    共通光路に収束させる前記手段が、前記共通光路に対し
    て傾斜して配置されたハーフミラーと、前記ハーフミラ
    ーの反射面に、平行に配置された反射ミラーとからなる
    ことを特徴とする請求項1または2記載の位置検出装置
  4. 【請求項4】  前記受光部が、複数の受光素子と、各
    受光素子の前面に配置され、それぞれ透過波長帯域の異
    なるフィルタとからなることを特徴とする請求項1,2
    または3記載の位置検出装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003294491A (ja) * 2002-03-04 2003-10-15 Independence Technology Llc センサ

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JP2003294491A (ja) * 2002-03-04 2003-10-15 Independence Technology Llc センサ

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