JPS5853743A - 電気抵抗式湿度センサ− - Google Patents
電気抵抗式湿度センサ−Info
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- JPS5853743A JPS5853743A JP56152200A JP15220081A JPS5853743A JP S5853743 A JPS5853743 A JP S5853743A JP 56152200 A JP56152200 A JP 56152200A JP 15220081 A JP15220081 A JP 15220081A JP S5853743 A JPS5853743 A JP S5853743A
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- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電気抵抗式湿度センサーに関し、特に感湿材
料の劣化、感湿特性の低下を防止しうる安定性及び信頼
性を高めた電気抵抗式湿度センサーに関する。
料の劣化、感湿特性の低下を防止しうる安定性及び信頼
性を高めた電気抵抗式湿度センサーに関する。
電気抵抗穴湿度センサーとしては、湿度が変化したとき
に感湿材料の電気抵抗が変化する現象を利用して湿度を
検出するものが普通である。感湿材料としては、これま
で、セラミックス材料、ＬｉＣ１等の電解質を用いたも
の、吸湿性樹脂に導電性粉末を分散したもの、及び親水
性高分子物質あるいは高分子電解質を用いたもの、が知
られている。しかしながら、これらの感湿材料には、そ
の材料固有の欠点がある。セラミックス材料の場合には
、セラミックスに対する湿気の吸着が一部不可逆的な化
学吸着であシ、ヒステリシスが大きい。ＬｉＣ１を用い
た場合、−個のセンサーで計測できる湿度領域が狭く、
又、湿度の高い雰囲気中に長時間放置すると、ＬｉＣｚ
そのものが昇華あるいは溶出して行くために、待時、特
性の更正を必要とする。吸湿性樹脂に導電性粉末（例え
ばカーボンブラックンを分散したものでは、低湿度雰囲
気で感湿特性がなく、又、分散の度合が均一にならない
ために製作歩留シが極めて悪く信頼性に乏しい、、ｒｊ
らＣ録こ材料に比較すると高分予電解質を感湿材料とし
て用いた電気抵抗式湿度センサーは優れた感湿特性を示
す。特に、内部に疎水性基、外部にイオン性基を有する
高分子共重合体の水溶液であるラテックスを塗布乾燥し
て得られる感湿材料はその特異な構造性によシ、低い電
気抵抗値を示すと同時に従来の感湿材料にはみられない
優れた感湿特性を示す。しかし、上述したようなラテッ
クス又は通常の高分子電解質を感湿材料として用いる時
には、湿気の凝結に注意しなければならない。その理由
は、ラテックス又は高分子電解質は水を溶媒としている
ために、水がこれらの感湿材料の表面に凝結する（結露
する）と局所的に感湿材料が溶解して、感湿特性が変化
するという欠点を有しているからである。又、種種の薬
品雰囲気にさらした時、その感湿特性が変化してしまう
欠点をも有している。
に感湿材料の電気抵抗が変化する現象を利用して湿度を
検出するものが普通である。感湿材料としては、これま
で、セラミックス材料、ＬｉＣ１等の電解質を用いたも
の、吸湿性樹脂に導電性粉末を分散したもの、及び親水
性高分子物質あるいは高分子電解質を用いたもの、が知
られている。しかしながら、これらの感湿材料には、そ
の材料固有の欠点がある。セラミックス材料の場合には
、セラミックスに対する湿気の吸着が一部不可逆的な化
学吸着であシ、ヒステリシスが大きい。ＬｉＣ１を用い
た場合、−個のセンサーで計測できる湿度領域が狭く、
又、湿度の高い雰囲気中に長時間放置すると、ＬｉＣｚ
そのものが昇華あるいは溶出して行くために、待時、特
性の更正を必要とする。吸湿性樹脂に導電性粉末（例え
ばカーボンブラックンを分散したものでは、低湿度雰囲
気で感湿特性がなく、又、分散の度合が均一にならない
ために製作歩留シが極めて悪く信頼性に乏しい、、ｒｊ
らＣ録こ材料に比較すると高分予電解質を感湿材料とし
て用いた電気抵抗式湿度センサーは優れた感湿特性を示
す。特に、内部に疎水性基、外部にイオン性基を有する
高分子共重合体の水溶液であるラテックスを塗布乾燥し
て得られる感湿材料はその特異な構造性によシ、低い電
気抵抗値を示すと同時に従来の感湿材料にはみられない
優れた感湿特性を示す。しかし、上述したようなラテッ
クス又は通常の高分子電解質を感湿材料として用いる時
には、湿気の凝結に注意しなければならない。その理由
は、ラテックス又は高分子電解質は水を溶媒としている
ために、水がこれらの感湿材料の表面に凝結する（結露
する）と局所的に感湿材料が溶解して、感湿特性が変化
するという欠点を有しているからである。又、種種の薬
品雰囲気にさらした時、その感湿特性が変化してしまう
欠点をも有している。
本発明の目的は、上記の欠点を解消し、感湿材料を用い
て形成した感湿材料皮膜の塵埃の付着又は結露による劣
化及び感湿特性の低下を防止しうる安定性及び信頼性の
高い電気抵抗式湿度センサーを提供することである。
て形成した感湿材料皮膜の塵埃の付着又は結露による劣
化及び感湿特性の低下を防止しうる安定性及び信頼性の
高い電気抵抗式湿度センサーを提供することである。
本発明につき概説すれば、本発明の電気抵抗式湿度セン
サーは、外界の湿度変化に対応する電気抵抗値の変化に
よシ湿度を検出する湿度センサーにおいて、感湿材料皮
膜の表面にシリコーン樹脂の保護皮膜を被覆してなるこ
とを特徴とするものである。
サーは、外界の湿度変化に対応する電気抵抗値の変化に
よシ湿度を検出する湿度センサーにおいて、感湿材料皮
膜の表面にシリコーン樹脂の保護皮膜を被覆してなるこ
とを特徴とするものである。
本発明によれば、前記した感湿材料皮膜の表面にシリコ
ーン樹脂の保護皮膜を形成することにょシ、まず第１に
感湿材料皮膜が結露した水滴又は雰囲気中の塵埃、腐食
性ガスあるいは薬品に直接接触しなくなるために、感湿
材料の劣化及び感湿特性の低下を防止することができ、
又、第２に高湿下における異常な膨潤を防止することが
でき、湿度セくサーとしての安定性及び信頼性を向上さ
せることができる。
ーン樹脂の保護皮膜を形成することにょシ、まず第１に
感湿材料皮膜が結露した水滴又は雰囲気中の塵埃、腐食
性ガスあるいは薬品に直接接触しなくなるために、感湿
材料の劣化及び感湿特性の低下を防止することができ、
又、第２に高湿下における異常な膨潤を防止することが
でき、湿度セくサーとしての安定性及び信頼性を向上さ
せることができる。
本発明における感湿材料は、特に限定されず、中でも前
記した通常の高分子電解質のラテックス等を適宜使用す
ることができる。
記した通常の高分子電解質のラテックス等を適宜使用す
ることができる。
本発明において、保護皮膜を形成するシリコーン樹脂と
しては、縮重合型（水酸基含有）シリコ−７樹脂及び付
加重合型シリコーン樹脂のそれぞれ単独若しくはそれら
の混合系を適用することができる。これらのシリコーン
樹脂の保護皮膜の形成に当り、その形成温度は１５０″
Ｃ以下とすることが望ま七い。これよシ高温になると、
感湿材料例えばラテックスの皮膜の構造性が崩れ、更に
は、皮膜そのものが熱劣化するために、湿度センサーの
感湿特性そのものが低下してしまうので、１５０℃よシ
高温で反応するシリコーン樹脂を保護皮膜１１ 等のよう力反応基を有するシロキサン同志を触媒の存在
下に反応させて高分子量化あるいは架橋反応させてゴム
状化したものを代表的にあげることができ、例えば縮重
合型シリコーン樹脂としては、α ω−ジヒドロキシポ
リジメチルシロキサンとビニルトリメトキシシランを主
成分とするもの、又、付加重合型シリコーン樹脂として
は、信越シリコーン社製ＫＥ１０９のような市販品又は
、α。
しては、縮重合型（水酸基含有）シリコ−７樹脂及び付
加重合型シリコーン樹脂のそれぞれ単独若しくはそれら
の混合系を適用することができる。これらのシリコーン
樹脂の保護皮膜の形成に当り、その形成温度は１５０″
Ｃ以下とすることが望ま七い。これよシ高温になると、
感湿材料例えばラテックスの皮膜の構造性が崩れ、更に
は、皮膜そのものが熱劣化するために、湿度センサーの
感湿特性そのものが低下してしまうので、１５０℃よシ
高温で反応するシリコーン樹脂を保護皮膜１１ 等のよう力反応基を有するシロキサン同志を触媒の存在
下に反応させて高分子量化あるいは架橋反応させてゴム
状化したものを代表的にあげることができ、例えば縮重
合型シリコーン樹脂としては、α ω−ジヒドロキシポ
リジメチルシロキサンとビニルトリメトキシシランを主
成分とするもの、又、付加重合型シリコーン樹脂として
は、信越シリコーン社製ＫＥ１０９のような市販品又は
、α。
ω−ジビニルジメチルポリシロキサンとヒドロシリルジ
メチルポリシロキサンを生成分とするものを使用するこ
とができる。
メチルポリシロキサンを生成分とするものを使用するこ
とができる。
このような保護皮膜の厚さは特に限定されないが、湿度
センサーの応答性の観点から、２０μｍ以下とすること
が望ましい。
センサーの応答性の観点から、２０μｍ以下とすること
が望ましい。
次に、本発明及びその効果を実施例によシ詳説するが、
本発明はこれらによりなんら限定されるものではない。
本発明はこれらによりなんら限定されるものではない。
実施例１及び対照１
（ａ） 感湿材料の製造
疎水性モノマーとして、メタクリル酸メチル（ＭＭＡ）
０．２モル、カチオン性モノマー（乳化剤も兼ねる）と
して、２−メタクリルオキシエチルトリメチルアンモニ
ウムアイオダイド（ＭＥＴＭＡＩ ）０．１モル及び重
合開始剤として、アゾビスイソブチルアミジン塩酸塩（
ＡＩＢＡ）０．００１モルを、３００ｍ／の水媒体中、
窒素雰囲気下、６０″Ｃで１０時間、高速攪拌しながら
乳化共重合を行った。
０．２モル、カチオン性モノマー（乳化剤も兼ねる）と
して、２−メタクリルオキシエチルトリメチルアンモニ
ウムアイオダイド（ＭＥＴＭＡＩ ）０．１モル及び重
合開始剤として、アゾビスイソブチルアミジン塩酸塩（
ＡＩＢＡ）０．００１モルを、３００ｍ／の水媒体中、
窒素雰囲気下、６０″Ｃで１０時間、高速攪拌しながら
乳化共重合を行った。
その結果、粒手の内部にＭＭＡ単位が入り、表面にカチ
オン基であるトリメチルアンモニウム基が存在する安定
なラテックスが得られた。このラテックスをセロファン
の透析チューブを用いて２ケ月間透析精製して、低分子
量不純物を除去した。
オン基であるトリメチルアンモニウム基が存在する安定
なラテックスが得られた。このラテックスをセロファン
の透析チューブを用いて２ケ月間透析精製して、低分子
量不純物を除去した。
０））湿度センサーの作製 、−
図面を参照して説明する。すなわち、第１図は櫛型金電
極を有する湿度センサーの一具体例を示した平面図、第
２図は第１図の湿度センサーのＡ−Ａ ’断面図であシ
、符号１はアルミナ基板、２は金電極、３は感湿材料、
４はリード線接続端子を示す。上記（ａ）で得られた感
湿材料３すなわちラテックスを第１図及び第２図に示す
ように、櫛型の金電極２を設けたアルミナ基板上に塗布
し、乾燥して電気抵抗式湿度センサー（対照ｌ・）１得
た。
極を有する湿度センサーの一具体例を示した平面図、第
２図は第１図の湿度センサーのＡ−Ａ ’断面図であシ
、符号１はアルミナ基板、２は金電極、３は感湿材料、
４はリード線接続端子を示す。上記（ａ）で得られた感
湿材料３すなわちラテックスを第１図及び第２図に示す
ように、櫛型の金電極２を設けたアルミナ基板上に塗布
し、乾燥して電気抵抗式湿度センサー（対照ｌ・）１得
た。
この時形成された感湿ラテックス皮膜の重量は５ｍｇと
した。
した。
（Ｃ） 本発明による保護皮膜の形成上記湿度センサ
ーの感湿ラテックス皮膜の表面に付加重合型シリコーン
樹脂（信越シリコーン社製、ＫＥ１０９）をスピンナー
で塗布し、ｉｏ。
ーの感湿ラテックス皮膜の表面に付加重合型シリコーン
樹脂（信越シリコーン社製、ＫＥ１０９）をスピンナー
で塗布し、ｉｏ。
℃で２時間硬化し、厚さ５μｍの保護皮膜を設けた湿度
センサー（実施例１）を得た。
センサー（実施例１）を得た。
実施例１と対照１の湿度センサーの感湿特性を調べた。
すなわち、第３図は湿度センサーの相対湿度Ｃ％）（横
軸）と電気抵抗（Ω）（縦軸）との関係を示したグラフ
であり、Ａ（−・−〕は本本実施例の場合、Ｂ（−０−
）は対照１の場合を示す。第３図のグラフから明らかな
ように、両者はとんど変らず、保護皮膜の形成は感湿特
性に影響のないことが確認された。
軸）と電気抵抗（Ω）（縦軸）との関係を示したグラフ
であり、Ａ（−・−〕は本本実施例の場合、Ｂ（−０−
）は対照１の場合を示す。第３図のグラフから明らかな
ように、両者はとんど変らず、保護皮膜の形成は感湿特
性に影響のないことが確認された。
次に、両湿度センサーの水分凝結による特性の変化につ
いて検討した。すなわち、両湿度センサーを相対湿度３
０％の雰囲気中に放置し、これらの湿度センサーの表面
に０．００５ｍＩ！の水滴を３０分毎に５回滴下して、
電気抵抗の変化を測定し九。得られた結果を第４図に示
す。すなわち、第４図は湿度センサーの表面に一定時間
毎に水滴を滴下した場合の時間（時）（横軸）と電気抵
抗（Ω）（縦軸）との関係を示したグラフであシ、Ａ（
−・−）は本実施例１の場合、Ｂ（−０−）は対照１の
場合を示し、又、矢印は水滴を滴下した時点を示す。第
４図のグラフから明らかなように、初期の電気抵抗値Ｒ
ｏ と５回水滴が乾燥した後の電気抵抗値Ｒとの差をＲ
−Ｒ０＝△几とすると、実施例１の△Ｒは零であったが
、対照１のΔＲはかなシ大きく、水分の凝結によシミ気
抵抗値が変化しておシ、これによシ保護皮膜の効果は十
分に認められる。
いて検討した。すなわち、両湿度センサーを相対湿度３
０％の雰囲気中に放置し、これらの湿度センサーの表面
に０．００５ｍＩ！の水滴を３０分毎に５回滴下して、
電気抵抗の変化を測定し九。得られた結果を第４図に示
す。すなわち、第４図は湿度センサーの表面に一定時間
毎に水滴を滴下した場合の時間（時）（横軸）と電気抵
抗（Ω）（縦軸）との関係を示したグラフであシ、Ａ（
−・−）は本実施例１の場合、Ｂ（−０−）は対照１の
場合を示し、又、矢印は水滴を滴下した時点を示す。第
４図のグラフから明らかなように、初期の電気抵抗値Ｒ
ｏ と５回水滴が乾燥した後の電気抵抗値Ｒとの差をＲ
−Ｒ０＝△几とすると、実施例１の△Ｒは零であったが
、対照１のΔＲはかなシ大きく、水分の凝結によシミ気
抵抗値が変化しておシ、これによシ保護皮膜の効果は十
分に認められる。
実施例２及び対照２
（ａ） 感湿材料の製造
スチレン０．１モル、スチレンスルホン酸ナトリウム０
．０１モル（乳化剤を兼ねる）及び触媒として過硫酸カ
リウムｏ、ｏｏｉモルを、５００ｃｃの水媒体中、窒素
気流中、６０″Ｃで高速攪拌しながら１０時間乳化重合
を行った。その結果スチレンが内部に入り、スチレンス
ルホン酸ナトリウムが表面についたラテスクスが得られ
た。このラテックスをセロファンの透析チューブを用い
て２力月間透析精製して、不純物を除去した。
．０１モル（乳化剤を兼ねる）及び触媒として過硫酸カ
リウムｏ、ｏｏｉモルを、５００ｃｃの水媒体中、窒素
気流中、６０″Ｃで高速攪拌しながら１０時間乳化重合
を行った。その結果スチレンが内部に入り、スチレンス
ルホン酸ナトリウムが表面についたラテスクスが得られ
た。このラテックスをセロファンの透析チューブを用い
て２力月間透析精製して、不純物を除去した。
（ｂ） 湿度センサーの作製
上記（ａ）で得られた感湿材料（ラテックス）を用い、
実施例−１と同様の操作により、電気抵抗式湿度センサ
ー（対照２）を得た。この時形成された感湿ラテックス
皮膜の重量は５ｍｇであった。
実施例−１と同様の操作により、電気抵抗式湿度センサ
ー（対照２）を得た。この時形成された感湿ラテックス
皮膜の重量は５ｍｇであった。
（Ｃ） 本発明による保護皮膜の形成上記湿度センサ
ーの感湿ラテックス皮膜の表面に、α、ω−ジヒドロキ
シポリジメチルシロキサ７９５重量部、ビニルトリメト
キシシラン６重量部及ヒジブチルスズジオクトエート０
．３重量部を配合した縮重合型シリコーン樹脂をスピン
ナーで塗布し、室温、５０％相対湿度下で１００時間反
応させた後、１００℃で２時間硬化し、厚さ３μｍの保
護皮膜を設けた湿度センサー（実施例２）を得た。
ーの感湿ラテックス皮膜の表面に、α、ω−ジヒドロキ
シポリジメチルシロキサ７９５重量部、ビニルトリメト
キシシラン６重量部及ヒジブチルスズジオクトエート０
．３重量部を配合した縮重合型シリコーン樹脂をスピン
ナーで塗布し、室温、５０％相対湿度下で１００時間反
応させた後、１００℃で２時間硬化し、厚さ３μｍの保
護皮膜を設けた湿度センサー（実施例２）を得た。
以下、実施例１と同様の操作によシ、両湿度センサーに
つき、水分の凝結によって特性が変化するか否かについ
て検討した。その結果、相対湿度が３０％の雰囲気にお
ける実施例２と対照２の電気抵抗値は９．０Ｘ１０’
Ωであり、はぼ同じであった。しかし、実施例２のもの
のΔＲはほぼ零であったが、対照２のもののΔＲは１．
６Ｘ１０’Ωであった。
つき、水分の凝結によって特性が変化するか否かについ
て検討した。その結果、相対湿度が３０％の雰囲気にお
ける実施例２と対照２の電気抵抗値は９．０Ｘ１０’
Ωであり、はぼ同じであった。しかし、実施例２のもの
のΔＲはほぼ零であったが、対照２のもののΔＲは１．
６Ｘ１０’Ωであった。
実施例３及び対照３
（ａ） 感湿材料の製造
５００ｍ／の水に疎水性モノマーとしてアクリロニトリ
ル０．２モル、架橋剤としてアリルグリシジルエーテル
０．０２モル及びアミノエチルメタクリレート０．０２
モル、クラフト点を与えるモノマーとしてヒドロキシエ
チルメタクリレ−） ０．０１モル、並びに重合開始剤
としてアゾビスインブチルアミジン塩酸塩Ｑ、００１モ
ルを加え、液温を７０″Ｃとし、窒素雰囲気下、１０時
間高速攪拌しながら共重合反応と架橋反応を同時に行っ
た。次に、こうして得られたラテックスにグラフト重合
開始剤として硝酸第２セリウムアンモニウムｏ、ｏｉし
て２−メタクリルオキシエチルトリメチルアンモニウム
ブロマイド０．１モルを加え、液温を５０℃とし、窒素
雰囲気下、６時間、高速攪拌しながらグラフト反応を行
った。その結果、表面層がカチオン性ポリマーで覆われ
た微粒子が分散したラテックスを得た。
ル０．２モル、架橋剤としてアリルグリシジルエーテル
０．０２モル及びアミノエチルメタクリレート０．０２
モル、クラフト点を与えるモノマーとしてヒドロキシエ
チルメタクリレ−） ０．０１モル、並びに重合開始剤
としてアゾビスインブチルアミジン塩酸塩Ｑ、００１モ
ルを加え、液温を７０″Ｃとし、窒素雰囲気下、１０時
間高速攪拌しながら共重合反応と架橋反応を同時に行っ
た。次に、こうして得られたラテックスにグラフト重合
開始剤として硝酸第２セリウムアンモニウムｏ、ｏｉし
て２−メタクリルオキシエチルトリメチルアンモニウム
ブロマイド０．１モルを加え、液温を５０℃とし、窒素
雰囲気下、６時間、高速攪拌しながらグラフト反応を行
った。その結果、表面層がカチオン性ポリマーで覆われ
た微粒子が分散したラテックスを得た。
Φ） 湿度センサーの作製
上記（ａ）、で得られた感湿材料（ラテックス）を用い
、実施例１と同様の操作によシミ気抵抗式湿度センサー
を得た。（対照３）この時形成された感湿ラテックス皮
膜の重量は４ｍｇであった。
、実施例１と同様の操作によシミ気抵抗式湿度センサー
を得た。（対照３）この時形成された感湿ラテックス皮
膜の重量は４ｍｇであった。
（Ｃ） 本発明による保護皮膜の形成上記湿度センサ
ーの感湿ラテックス皮膜の表面に、α、ω−ジビニルジ
メチルポリシロキサン（分子量３４，０００）９５重量
部、ヒドロシリルジメチルポリシロキサン（分子量１，
３５４）３重量部及び白金系触媒０．０８重量部を配合
した付加重合型シリコーン樹脂をスピンナーで塗布し、
１００でで２時間、更に１５０℃で１時間反応させて、
厚さ５μｍの保護皮膜を設けた湿度センサーを得た。
ーの感湿ラテックス皮膜の表面に、α、ω−ジビニルジ
メチルポリシロキサン（分子量３４，０００）９５重量
部、ヒドロシリルジメチルポリシロキサン（分子量１，
３５４）３重量部及び白金系触媒０．０８重量部を配合
した付加重合型シリコーン樹脂をスピンナーで塗布し、
１００でで２時間、更に１５０℃で１時間反応させて、
厚さ５μｍの保護皮膜を設けた湿度センサーを得た。
以下、実施例１と同様の操作によシ、両湿度センサーに
つき、水分の凝結によって特性が変化するか否かについ
て検討した。その結果、相対湿度３０チの雰囲気におけ
る実施例３と対照３の電気抵抗値は１．２Ｘ１０’ Ω
であシ、はぼ同じであった。しかし、実施例３のものの
Δ凡はほぼ零であったが、対照３のもののΔＲは２．５
ｘｌＯ’Ωであった。
つき、水分の凝結によって特性が変化するか否かについ
て検討した。その結果、相対湿度３０チの雰囲気におけ
る実施例３と対照３の電気抵抗値は１．２Ｘ１０’ Ω
であシ、はぼ同じであった。しかし、実施例３のものの
Δ凡はほぼ零であったが、対照３のもののΔＲは２．５
ｘｌＯ’Ωであった。
実施例４〜７及び対照４〜７
前記実施例１〜３及び対照１〜３と同様にして、保護皮
膜の有無によって湿度センサーの特性がどのように変化
するかにつき、各種感湿材料の成分及び保護皮膜の構成
材料につき検討を行った。得られた結果を下表に示す。
膜の有無によって湿度センサーの特性がどのように変化
するかにつき、各種感湿材料の成分及び保護皮膜の構成
材料につき検討を行った。得られた結果を下表に示す。
表から明らかな°ように、本発明の実施例４〜７のもの
は、対照４〜７のものに比し、前記ΔＲは、はぼ零と変
化せず、シリコーン樹脂の保護皮膜の効果は顕著である
。
は、対照４〜７のものに比し、前記ΔＲは、はぼ零と変
化せず、シリコーン樹脂の保護皮膜の効果は顕著である
。
これらの各側から、本発明で使用するシリコーン樹脂の
保護皮膜が、感湿材料の固有の感湿特性に影響を及ぼす
ことなく、むしろ塵埃の付着又は結露による悪影響を防
止することは明らかである。
保護皮膜が、感湿材料の固有の感湿特性に影響を及ぼす
ことなく、むしろ塵埃の付着又は結露による悪影響を防
止することは明らかである。
それ故、本発明においては、感湿材料は、上記例示のも
の以外に、いかなるものも使用可能である。
の以外に、いかなるものも使用可能である。
以上説明し喪ように、本発明によれば、感湿材料の表面
に特定の保護皮膜を設けることによシ、感湿材料皮膜の
塵埃の付着又は結露による劣化及び感湿特性の低下を防
止した安定性及び信頼性の高い電気抵抗式湿度センサー
を提供することができる。
に特定の保護皮膜を設けることによシ、感湿材料皮膜の
塵埃の付着又は結露による劣化及び感湿特性の低下を防
止した安定性及び信頼性の高い電気抵抗式湿度センサー
を提供することができる。
第１図は櫛型金電極を有する湿度センサーの一具体例を
示しｆ！、〒震」」２図は第１図０Ａ−Ａ／断面図、第
３図は湿度センサーの相対湿間と電気抵抗の関係を示し
たグラフ、第４図は湿度センサーの表面に一定時間毎に
水滴を滴下した場合の時間と電気抵抗との関係を示した
グラフである。 １・・・アルミナ基板、２・・・金電極、３・・・感湿
材料、４・・・リード線接続端子。 ｔ ３目
示しｆ！、〒震」」２図は第１図０Ａ−Ａ／断面図、第
３図は湿度センサーの相対湿間と電気抵抗の関係を示し
たグラフ、第４図は湿度センサーの表面に一定時間毎に
水滴を滴下した場合の時間と電気抵抗との関係を示した
グラフである。 １・・・アルミナ基板、２・・・金電極、３・・・感湿
材料、４・・・リード線接続端子。 ｔ ３目
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、外界の湿度変化に対応する電気抵抗値の変化によシ
湿度を検出する湿度センサーにおいて、感、塁材料皮膜
の表面にシリコーン樹脂の保護皮膜を被覆してなる電気
抵抗式湿度センサー。 ２、該感湿材料皮膜が、疎水性の核と、該核を覆うもの
であって且つイオン性基の表面層とからなる微粒子の集
合体からなる皮膜である特許請求の範囲第１項に記載の
電気抵抗式湿度センサー。 ３、該シリコーン樹脂の保護皮膜が、１５０′ｃ以下の
温度で皮膜形成が可能なシリコーン樹脂の皮膜である特
許請求の範囲第１項又は第２項に記載の電気抵抗式湿度
センサー。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56152200A JPS5853743A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | 電気抵抗式湿度センサ− |
| DE8282305083T DE3270451D1 (en) | 1981-09-28 | 1982-09-27 | Humidity sensor and method for preparing a humidity sensor |
| EP82305083A EP0076131B1 (en) | 1981-09-28 | 1982-09-27 | Humidity sensor and method for preparing a humidity sensor |
| CA000412379A CA1199537A (en) | 1981-09-28 | 1982-09-28 | Humidity sensor and method for preparing the same |
| US06/426,087 US4473813A (en) | 1981-09-28 | 1982-09-28 | Humidity sensor with improved protective layering |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56152200A JPS5853743A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | 電気抵抗式湿度センサ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5853743A true JPS5853743A (ja) | 1983-03-30 |
| JPS6239939B2 JPS6239939B2 (ja) | 1987-08-26 |
Family
ID=15535240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56152200A Granted JPS5853743A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | 電気抵抗式湿度センサ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5853743A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58193445A (ja) * | 1982-05-07 | 1983-11-11 | Hitachi Ltd | 湿度センサ |
| JPS6347646A (ja) * | 1986-08-13 | 1988-02-29 | Nok Corp | 感湿素子 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5149772A (ja) * | 1974-10-25 | 1976-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Kanshitsusoshi |
-
1981
- 1981-09-28 JP JP56152200A patent/JPS5853743A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5149772A (ja) * | 1974-10-25 | 1976-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Kanshitsusoshi |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58193445A (ja) * | 1982-05-07 | 1983-11-11 | Hitachi Ltd | 湿度センサ |
| JPH025268B2 (ja) * | 1982-05-07 | 1990-02-01 | Hitachi Ltd | |
| JPS6347646A (ja) * | 1986-08-13 | 1988-02-29 | Nok Corp | 感湿素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6239939B2 (ja) | 1987-08-26 |
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